專利名稱：一種有機(jī)電致發(fā)光顯示器件及制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平板顯示器件及制造方法，尤其是指有機(jī)電致發(fā)光或有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器件及制造方法。
背景技術(shù)：
有機(jī)發(fā)光電致又稱為有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light EmittingDiode，OLED)是一種新型的平板顯示技術(shù)。與液晶顯示相比OLED具有主動(dòng)發(fā)光、高亮度、高對(duì)比度、超薄、低功耗、大視角以及工作溫度范圍寬等諸多優(yōu)點(diǎn)，被認(rèn)為是最有可能替代液晶顯示器的技術(shù)。有機(jī)發(fā)光顯示可分為有源和無源驅(qū)動(dòng)兩種。無源矩陣有機(jī)發(fā)光顯示器件的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適合小尺寸的顯示屏。有源矩陣有機(jī)發(fā)光顯示器件的一般采用薄膜晶體管來驅(qū)動(dòng)，適合高清晰度大尺寸的顯示屏。在目前比較常見的制備無源驅(qū)動(dòng)OLED工藝中，參照?qǐng)D1、圖2，基板一般是采用鍍有ITO即透明電極材料氧化銦與氧化錫復(fù)合膜材的玻璃。在刻蝕ITO陽(yáng)極之前，需先刻蝕一層預(yù)先濺射在上面的金屬鉻(Cr)或其他金屬如鉬(Mo)、銀(Ag)作為輔助電極以減少陰極引線電阻。采用輔助電極不僅增加了工藝步驟，還出現(xiàn)了因使用鉻而帶來的環(huán)境污染問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出不采用鉻或其他金屬作為輔助電極引線而直接采用ITO/隔離柱鍍上金屬層導(dǎo)出陰極的制造的有機(jī)發(fā)光顯示器件。這種方法可以降低制造成本、減少工藝步驟，提高生產(chǎn)效率，避免因使用鉻而帶來的環(huán)境污染。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種制作出上述器件的方法。
在無源矩陣有機(jī)發(fā)光顯示器的基板上有多條ITO透明電極作為有機(jī)發(fā)光二極管的陽(yáng)極和與該透明陽(yáng)極垂直交叉的多條金屬陰極形成象素矩陣。無源矩陣有機(jī)發(fā)光顯示器的驅(qū)動(dòng)方式為利用正、負(fù)電極同時(shí)導(dǎo)通，空穴與電子分別注入有機(jī)材料層形成回路，其中陽(yáng)極線與陰極線的交點(diǎn)即為顯示象素。陽(yáng)極與陰極之間為有機(jī)半導(dǎo)體材料。本發(fā)明采用ITO玻璃或塑料為襯底，利用光刻技術(shù)將隔離柱延伸出顯示區(qū)域外所示，通過被隔離柱分割的蒸鍍的金屬層作為陰極引線。
本發(fā)明中的基板可以是剛性的玻璃，也可以是柔性的襯底如塑料。透明導(dǎo)電材料可以是常用的ITO，ZnO，In2O3等已知的半導(dǎo)體材料或極薄的金屬膜如金、銀、鉑等。


圖1現(xiàn)有技術(shù)的ITO、鉻圖形的基板圖2現(xiàn)有技術(shù)制作上絕緣層和隔離柱的基板圖3本發(fā)明利用隔離柱制作引線1、玻璃基板2、鉻引線3、ITO電極4、顯示區(qū)域5、絕緣層 6、隔離柱具體實(shí)施方式
實(shí)施例11、將ITO玻璃1洗凈，干燥，涂布光刻膠，預(yù)烘烤，曝光，顯影，洗凈，干燥，后烘烤，ITO刻蝕，刻出ITO圖形；將光刻膠去掉。ITO形成為相互平行的條狀像素圖形；ITO電極3延伸出顯示區(qū)域4成為引線。本發(fā)明也可以采用其他透明導(dǎo)電薄膜如IZO的玻璃/塑料等。
2、旋涂光刻膠，初次烘烤，曝光，顯影，清洗，吹干，二次烘烤、固化，就得到置于ITO條形陽(yáng)極間隙之上作為象素絕緣層的5；絕緣膜的材料可以是聚甲基丙稀酸己脂(PMMA)、聚乙烯醇(PVA)、聚酰氬胺(PI)或環(huán)氧樹脂或無機(jī)絕緣材料如SiO2，Si2N3等；3、旋涂負(fù)性光刻膠，初次烘烤，曝光，曝光后烘烤或二次曝光，顯影，清洗，干燥，后烘烤、固化，得到具有倒梯形的光刻膠即隔離柱6；隔離柱6做在與ITO引線3垂直的絕緣層5上；隔離柱的截面呈倒梯形，在顯示區(qū)域內(nèi)方向與ITO陽(yáng)極垂直；在引線區(qū)域隔離柱按ITO引線延伸出顯示區(qū)域4。
4、將基板送入真空腔體中進(jìn)行鍍膜。在基板連續(xù)蒸鍍有機(jī)半導(dǎo)體層。有機(jī)半導(dǎo)體層也可以是單層或多層如空穴注入層、發(fā)光層、電子傳輸層、電子注入層等已知的有機(jī)發(fā)光工藝結(jié)構(gòu)。發(fā)光材料是NPB/Alq3，NPD/AND/Alq2或其他已知的有機(jī)電致發(fā)光材料。發(fā)光可以是單色、區(qū)域彩色或全彩色。蒸鍍電子注入材料是LiF，LiO2，Ba，Ca等已知的低脫出功函數(shù)金屬。
5、制作金屬陰極；在真空腔體中蒸鍍金屬材料，金屬材料覆蓋發(fā)光區(qū)與引線區(qū)。隔離柱按照像素與引線的圖形把金屬薄膜分割開來使金屬薄膜在與隔離柱垂直方向不導(dǎo)通。隔離柱延伸出顯示區(qū)域4，使金屬陰極在陰極隔離柱的作用下自然形成陰極圖形；金屬陰極材料是鋁(Al)、銀或其穩(wěn)定的金屬或其合金。
6、封裝。在顯示區(qū)域4外邊涂膠，將和顯示區(qū)域大小相稱的玻璃或金屬的后封蓋附在膠上然后固化。
實(shí)施例21、將ITO玻璃1洗凈，干燥，涂布光刻膠，預(yù)烘烤，曝光，顯影，洗凈，干燥，后烘烤，ITO刻蝕，刻出ITO圖形；將光刻膠去掉。ITO3形成為相互平行的條狀像素圖形；ITO3延伸出顯示區(qū)域4成為引線。本發(fā)明也可以采用其他透明導(dǎo)電薄膜如IZO的玻璃/塑料等。
2、旋涂光刻膠，初次烘烤，曝光，顯影，清洗，吹干，二次烘烤、固化，就得到置于ITO條形陽(yáng)極間隙之上作為象素絕緣層的5；絕緣膜的材料可以是聚甲基丙稀酸已脂(PMMA)、聚乙烯醇(PVA)、聚酰氬胺(PI)或環(huán)氧樹脂或無機(jī)絕緣材料如SiO2，Si2N3等；3、旋涂負(fù)性光刻膠，初次烘烤，曝光，曝光后烘烤或二次瀑布曝光，顯影，清洗，干燥，后烘烤、固化，得到具有倒梯形的光刻膠即隔離柱6；隔離柱6做在與ITO引線3垂直的絕緣層5上；隔離柱的截面呈倒梯形，在顯示區(qū)域內(nèi)方向與ITO陽(yáng)極垂直；在引線區(qū)域隔離柱按ITO引線延伸出顯示區(qū)域4。
4、在基板上制備空穴注入聚合物、發(fā)光聚合物。制模方法可以是旋涂、印刷或其它已知的成膜方法?？昭ㄗ⑷氩牧鲜荘EDOT(聚噻酚或其衍生物)，PANI(聚苯胺或其衍生物)；發(fā)光材料是PPV(polyphenylenevinylene)或已知的其他有機(jī)發(fā)光聚合物如PF(polyfluorene)。蒸鍍電子注入材料與LiF，LiO2，NaCl，Ba，Ca等已知的低脫出功函數(shù)材料。
5、制作金屬陰極；在真空腔體中蒸鍍金屬材料，金屬材料覆蓋發(fā)光區(qū)與引線區(qū)。隔離柱按照像素與引線的圖形把金屬薄膜分割開來使金屬薄膜在與隔離柱垂直方向不導(dǎo)通。隔離柱延伸出顯示區(qū)域，使金屬陰極7在陰極隔離柱的作用下自然形成陰極圖形；金屬陰極材料是鋁(Al)、銀或其穩(wěn)定的金屬或其合金。
6、封裝。在顯示區(qū)域4外邊涂膠，將和顯示區(qū)域大小相稱的玻璃或金屬的后封蓋附著膠上，然后固化。
權(quán)利要求
1.一種制備OLED顯示器方法，其特征在于不需要使用預(yù)先蒸有金屬薄膜作為輔助電極的襯底，而利用隔離柱(6)延伸出顯示區(qū)域(4)，而后蒸鍍金屬陰極層來導(dǎo)出引線。
2.一種OLED顯示器，其特征在于不采用鍍鉻的玻璃襯底，而利用蒸鍍金屬導(dǎo)出引線。
3.如權(quán)利要求1所述的OLED器件的隔離柱(6)，其特征在于隔離柱具有倒置梯形結(jié)構(gòu)或蘑菇形狀結(jié)構(gòu)。制備的方法是采用負(fù)性光刻膠如聚酰氬胺(PI)等光刻蝕方法，或多次制膜的方法。
4.如權(quán)利要求1所述的OLED器件的金屬層，其特征在于具有高的電導(dǎo)率、在化學(xué)上較為穩(wěn)定如鋁(Al)，銀(Ag)或銅(Cu)等金屬或其合金。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種平板顯示器件及制造方法，尤其是指有機(jī)電致發(fā)光或有機(jī)發(fā)光二極管顯示器件及制造方法。該器件由透明導(dǎo)電陽(yáng)極、有機(jī)半導(dǎo)體材料層、金屬陰極構(gòu)成。在透明導(dǎo)電陽(yáng)極間做上絕緣層，并在絕緣層上制作上隔離柱，利用隔離柱將陰極引線導(dǎo)出。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是利用隔離柱分割鍍?cè)谝r底上的金屬層導(dǎo)出陰極技術(shù)，不需要使用鍍有輔助金屬電極的襯底如常用的ITO/Cr的玻璃基片，降低成本同時(shí)減少工藝步驟，還避免因?yàn)榭涛g常用的引線金屬如鉻而帶來的環(huán)境污染問題。本發(fā)明提出直接采用鍍透明導(dǎo)電材料如ITO玻璃為襯底制作OLED顯示器件的方法，用隔離柱分割金屬薄膜并導(dǎo)出引線的制造顯示器件技術(shù)。
文檔編號(hào)H05B33/12GK1767705SQ20041006766
公開日2006年5月3日 申請(qǐng)日期2004年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月29日
發(fā)明者孫潤(rùn)光 申請(qǐng)人:孫潤(rùn)光