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用于高速圖像獲取的基于中介層的成像傳感器及檢驗系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:11292466閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及用于高速圖像獲取的基于中介層的成像傳感器及檢驗系統(tǒng)。更具體的,本發(fā)明包含:中介層,其安置于襯底的表面上;光感測陣列傳感器,其安置于中介層上,光感測陣列傳感器經(jīng)背部薄化且經(jīng)配置用于背部照明,光感測陣列傳感器包含像素列;一個或多個放大電路元件,其經(jīng)配置以放大光感測陣列傳感器的輸出,放大電路操作地連接到中介層;一個或多個模/數(shù)轉(zhuǎn)換電路元件,其經(jīng)配置以將光感測陣列傳感器的輸出轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號,ADC電路元件操作地連接到中介層;一個或多個驅(qū)動器電路元件,其經(jīng)配置以驅(qū)動陣列傳感器的時鐘或控制信號,中介層經(jīng)配置以電耦合光感測陣列傳感器、放大電路、轉(zhuǎn)換電路、驅(qū)動器電路或一個或多個額外電路中的至少兩者。

技術(shù)研發(fā)人員:戴維·L·布朗;國武·鄭;勇-霍·亞歷克斯·莊;芬卡特拉曼·伊艾
受保護(hù)的技術(shù)使用者:科磊股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2012.09.19
技術(shù)公布日:2017.09.22
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