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光學(xué)部件的制作方法

文檔序號:12289729閱讀:224來源:國知局
光學(xué)部件的制作方法與工藝

本公開通常涉及光學(xué)部件。更具體地,本發(fā)明涉及但不需要限于相干發(fā)射機、接收機和/或收發(fā)機的光學(xué)部件。



背景技術(shù):

在本說明書中,術(shù)語“光”將在它在光學(xué)系統(tǒng)中被使用的意義上被使用以不僅意指可見光,而且意指具有在可見光范圍之外的波長的電磁輻射。

光學(xué)部件的設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)朝著較小的尺寸和較大的功能前進。通常,這導(dǎo)致部件的較大程度的集成。特別是,用例如硅、二氧化硅、磷化銦和砷化鎵等材料制造的光學(xué)芯片的功能的增加,使得多功能及小的設(shè)備例如光學(xué)發(fā)射機和調(diào)制器的創(chuàng)造是可行的。

然而,完全的芯片集成依然存在缺點:產(chǎn)量受損的成本、明顯的光學(xué)損失、和一芯片一產(chǎn)品的減小的制造靈活性。

在衡量的另一端處,組裝、對準(zhǔn)和固定在復(fù)雜光學(xué)設(shè)備中的多個光學(xué)部件的成本和復(fù)雜性依然是個挑戰(zhàn)。在多部件模塊中的光學(xué)器件的準(zhǔn)確對準(zhǔn),目前可能每模塊要花費很多小時。

高數(shù)據(jù)速率的光學(xué)發(fā)射機和接收機由相干技術(shù)實現(xiàn)。當(dāng)今,100Gb/s和/或更高的線速率利用了更高階振幅和相位調(diào)制、偏振復(fù)用、相干檢測和復(fù)雜的數(shù)字信號處理技術(shù)。在一般雙偏振正交相移鍵控(DP-QPSK)實現(xiàn)中,例如可使用高速數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC)和一對QPSK馬赫-曾德耳調(diào)制器(MZM)從25GHz時鐘/數(shù)據(jù)速率產(chǎn)生100Gb/s線速率。數(shù)據(jù)有效地在輸入激光載波的兩相和兩偏振狀態(tài)上被編碼。類似地,可在接收機處通過偏振解復(fù)用和相干檢測技術(shù)來提取所編碼的數(shù)據(jù)。在正交振幅調(diào)制(QAM)實現(xiàn)中,具有偏振的振幅和相位狀態(tài)都被利用來增加線速率。

發(fā)射機和接收機一般位于系統(tǒng)中的同一位置處,且常常被共同封裝以制造接收機。激光載波源可集成到發(fā)射機內(nèi)(單片地或作為單獨的芯片)或可位于在配置成向系統(tǒng)供應(yīng)輸入光信號的獨立包裝的設(shè)備中附近。在相干檢測方案中,相干接收機通常需要本機振蕩器(LO)激光基準(zhǔn)的輸入來提取QPSK編碼數(shù)據(jù)。LO源可為了效率的目的而從獨立激光器被得到,一般通過分裂由激光源提供的輸入光信號來得到。

基本相干發(fā)射機由提供輸入光信號的可調(diào)諧激光源(載波)、馬赫-曾德耳干涉儀(調(diào)制器)和偏振組合器組成以創(chuàng)建復(fù)合信號用于傳輸。發(fā)射機可以是具有變化水平的函數(shù)積分的III-V芯片??烧{(diào)諧激光器也可向發(fā)射機提供在相同波長或接近的波長處操作的相鄰接收機的LO信號。

為了從包括調(diào)制器芯片、輸入光纖和獨立激光器的分立零件創(chuàng)建有效的發(fā)射機模塊,輸入光信號被分裂以向接收機LO以及向調(diào)制器供應(yīng)光學(xué)信號。此外,來自調(diào)制器芯片的輸出信號必須轉(zhuǎn)換成它的正交偏振,且接著從發(fā)射機輸出的正交偏振的光信號必須組合以給出輸出信號。

基本相干接收機配置由LO、偏振分裂器、一對3分貝(dB)混合器和平衡檢測器的陣列組成。接收機可以是具有變化水平的函數(shù)積分的III-V芯片。

除了上面提到的基本功能以外,發(fā)射機和接收機還都一般需要調(diào)節(jié)信號電平的裝置和分別以可變光學(xué)衰減器和光學(xué)監(jiān)控器的形式控制信號電平的裝置。

在US8,526,102中描述了相干接收機,其中很多函數(shù)被包含在一個芯片上。這樣的大的和復(fù)雜的芯片具有上面所述的缺點。

類似地,在芯片集成的水平被限制的場合,則剩余的功能由常規(guī)光學(xué)器件提供,其中在光具組中的每個部件被放置在適當(dāng)?shù)牡胤讲⒈还鈱W(xué)地單獨對準(zhǔn)。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

根據(jù)本發(fā)明,在第一方面中,提供了用于在相干光學(xué)發(fā)射機中使用的集成光學(xué)塊,光學(xué)塊包括:分束器,其配置成接收輸入光信號,將輸入光信號分成第一和第二輸入光信號,輸出第一輸入光信號用于在光學(xué)發(fā)射機芯片中使用,并輸出第二輸入光信號用于用作本機振蕩器信號;偏振組合器,其配置成從光學(xué)發(fā)射機芯片接收第一和第二調(diào)制光信號,并組合第一和第二調(diào)制光信號以形成輸出;以及偏振旋轉(zhuǎn)器,其配置成旋轉(zhuǎn)第二調(diào)制光信號的偏振,使得它在組合之前實質(zhì)上正交于第一調(diào)制光信號的偏振。

可選地,分束器包括棱鏡。

可選地,第一輸入光信號所穿過的棱鏡的表面鄰接偏振組合器的表面,以及其中第一輸入光信號在輸出到光學(xué)發(fā)射機芯片之前穿過偏振組合器。

可選地,偏振組合器配置成接收第一調(diào)制光信號并將第一調(diào)制光信號直接傳遞到信號輸出。

可選地,偏振旋轉(zhuǎn)器鄰接偏振組合器的表面,并配置成在進入到偏振組合器內(nèi)之前旋轉(zhuǎn)第二調(diào)制光信號的偏振。

可選地,第一和第二調(diào)制光信號在空間上分離,以及其中偏振組合器配置成引導(dǎo)第二調(diào)制光信號以與第一調(diào)制光信號對準(zhǔn),用于組合。

根據(jù)本發(fā)明,在第二方面中,提供了用在相干光學(xué)接收機中的集成光學(xué)塊,光學(xué)塊包括:偏振分裂器,其配置成接收調(diào)制光信號并將調(diào)制光信號分裂成具有第一偏振的調(diào)制光信號的第一分量和具有實質(zhì)上正交于第一偏振的第二偏振的調(diào)制光信號的第二分量;以及偏振旋轉(zhuǎn)器,其用于將調(diào)制光信號的第二分量的偏振旋轉(zhuǎn)實質(zhì)上90度,其中偏振分裂器還配置成將調(diào)制光信號的第二分量引導(dǎo)到偏振旋轉(zhuǎn)器。

可選地,上面所述的集成光學(xué)塊還包括配置成測量來自光學(xué)平面的輸入光信號的功率的至少一個監(jiān)測器。

可選地,至少一個監(jiān)測器配置成測量在光學(xué)平面之外的一個或多個調(diào)制光信號的功率。

可選地,監(jiān)測器包括配置成使待監(jiān)測的光信號的一部分偏轉(zhuǎn)到檢測器的介質(zhì)層。

可選地,監(jiān)測器包括PIN二極管。

可選地,監(jiān)測器還包括配置成將待監(jiān)測的光信號聚焦到監(jiān)測器上的微透鏡。

可選地,集成光學(xué)塊還包括配置成基于至少一個光功率測量來使光信號中的功率衰減的可變光學(xué)衰減器。

可選地,至少一個光功率測量由至少一個監(jiān)測器提供。

可選地,可變光學(xué)衰減器包括配置成傳遞入射在介質(zhì)層上的光信號的一部分并反射光信號的剩余部分的介質(zhì)區(qū)。

可選地,介質(zhì)區(qū)包括在兩個光學(xué)透射部件之間的間隙。

可選地,間隙包括真空、空氣和介質(zhì)材料之一。

可選地,可變光學(xué)衰減器包括由介質(zhì)區(qū)分離的第一和第二棱鏡。

可選地,可變光學(xué)衰減器包括配置成改變界面以改變穿過的光信號的該部分的控制機構(gòu)。

可選地,控制機構(gòu)的至少部分連接到可變光學(xué)衰減器的表面,使得其偏轉(zhuǎn)改變界面,以及其中控制機構(gòu)包括熱控雙金屬條和壓電元件之一。

可選地,可變光學(xué)衰減器配置成作為光學(xué)快門來操作。

可選地,集成光學(xué)塊還包括配置成改變通過光學(xué)塊傳播的一個或多個光信號的方向用于減輕光學(xué)塊的一個或多個元件的未對準(zhǔn)的對準(zhǔn)微調(diào)器。

可選地,對準(zhǔn)微調(diào)器包括配置成反射具有第一偏振的光并使具有與第一偏振正交的第二偏振的光通過的介質(zhì)層,且還包括至少一個偏振旋轉(zhuǎn)鏡,其配置成反射光信號使得反射光信號具有旋轉(zhuǎn)了實質(zhì)上90度的其偏振,并布置成從介質(zhì)層接收反射光信號并改變反射光信號的角度。

可選地,對準(zhǔn)微調(diào)器還包括由介質(zhì)層分離的第一和第二棱鏡。

可選地,對準(zhǔn)微調(diào)器還包括在對準(zhǔn)微調(diào)器的相對表面上的第一和第二偏振旋轉(zhuǎn)鏡,其中第一偏振旋轉(zhuǎn)鏡配置成接收進入對準(zhǔn)微調(diào)器并從介質(zhì)層反射的具有第一偏振的第一光信號并反射第一光信號以產(chǎn)生具有實質(zhì)上正交于第一偏振的第二偏振的第二光信號,使得第二光信號可穿過介質(zhì)層,以及其中第二偏振旋轉(zhuǎn)鏡配置成接收第二光信號并反射第二光信號以產(chǎn)生具有第一偏振的第三光信號,使得第三光信號由介質(zhì)層反射并離開對準(zhǔn)微調(diào)器,以及其中第一和第二偏振旋轉(zhuǎn)鏡中的一個或兩個被對準(zhǔn),使得第三光信號以與第一光信號進入對準(zhǔn)微調(diào)器時的角度不同的角度離開對準(zhǔn)微調(diào)器。

可選地,至少一個偏振旋轉(zhuǎn)鏡通過粘合劑保持在適當(dāng)?shù)奈恢蒙?,并可在粘合劑固化之前被設(shè)置到期望對準(zhǔn)。

可選地,至少一個偏振旋轉(zhuǎn)鏡包括彎曲反射表面。

可選地,對準(zhǔn)微調(diào)器還包括在至少一個偏振旋轉(zhuǎn)鏡和對準(zhǔn)微調(diào)器的相應(yīng)表面之間的光學(xué)透射塊。

可選地,對準(zhǔn)微調(diào)器包括:透射光學(xué)元件,其包括第一和第二內(nèi)部小面;以及至少一個鏡,其中對準(zhǔn)微調(diào)器配置成從第一內(nèi)部小面、從至少一個鏡和第二內(nèi)部小面反射所接收的光信號以在由鏡的對準(zhǔn)確定的角度下從對準(zhǔn)微調(diào)器輸出。

可選地,集成光學(xué)塊還包括配置成控制在從光學(xué)塊輸出和輸入到光學(xué)塊的光信號之間的間距的間距轉(zhuǎn)換器,間距轉(zhuǎn)換器包括:透射光學(xué)元件,其包括布置成相對于所接收的光信號的方向成一角度的相對的實質(zhì)上平行的表面,其中相對的表面配置成使得所接收的光信號從每個相對的表面反射并實質(zhì)上平行于所接收的光信號的方向和從所接收的光信號的方向偏移而從間距轉(zhuǎn)換器輸出。

可選地,集成光學(xué)塊包括布置成提供多個輸出和/或輸入并具有實質(zhì)上250微米的共同間距的多個間距調(diào)節(jié)器。

根據(jù)本發(fā)明,在第三方面中,提供了包括上面所述的一個或多個集成光學(xué)塊的光學(xué)部件。

根據(jù)本發(fā)明,在第四方面中,提供了包括上面所述的一個或多個集成光學(xué)塊的相干光學(xué)發(fā)射機和/或接收機設(shè)備。

可選地,相干光學(xué)發(fā)射機和/或接收機包括一個或多個光學(xué)芯片,其中一個或多個集成光學(xué)塊布置成將光信號發(fā)射到一個或多個光學(xué)芯片并從一個或多個光學(xué)芯片接收光信號。

可選地,一個或多個光學(xué)芯片包括光學(xué)芯片,其包括多個光學(xué)發(fā)射機、多個光學(xué)接收機或至少一個光學(xué)發(fā)射機和至少一個光學(xué)接收機。

可選地,相干光學(xué)發(fā)射機和/或接收機還包括位于一個或多個集成光學(xué)塊和一個或多個光學(xué)芯片之間的透鏡的一個或多個陣列,其中在透鏡的陣列中的多個透鏡配置成聚焦在集成光學(xué)塊和光學(xué)芯片之間穿過的光。

可選地,相干光學(xué)發(fā)射機和/或接收機包括多個光學(xué)發(fā)射機芯片和/或光學(xué)接收機芯片,其中集成光學(xué)塊布置成將光信號發(fā)射到多個光學(xué)發(fā)射機芯片和/或多個光學(xué)接收機芯片之一并從多個光學(xué)發(fā)射機芯片和/或多個光學(xué)接收機芯片之一接收光信號。

可選地,相干光學(xué)發(fā)射機和/或接收機包括布置成形成單個單片結(jié)構(gòu)的多個集成光學(xué)塊。

可選地,一個或多個光學(xué)塊配置成從橫貫進入和離開一個或多個光學(xué)芯片的光信號的方向的方向接收輸入光信號。

可選地,相干光學(xué)發(fā)射機和/或接收機還包括配置成向一個或多個光學(xué)塊提供輸入光信號的一個或多個可調(diào)諧激光器。

根據(jù)本發(fā)明,在第五方面中,提供了用于監(jiān)測光信號的功率的監(jiān)測器,監(jiān)測器包括:用于在待監(jiān)測的光信號的光學(xué)平面中放置的介質(zhì)層;以及檢測器,其配置成當(dāng)介質(zhì)層在待監(jiān)測的光信號的光學(xué)平面中時在待監(jiān)測的光信號的光學(xué)平面中之外,其中介質(zhì)層配置成將待監(jiān)測的光信號的一部分偏轉(zhuǎn)到檢測器。

可選地,監(jiān)測器還包括第一和第二棱鏡,其布置成使得介質(zhì)層分離第一棱鏡的表面與第二棱鏡的表面以形成界面。

可選地,監(jiān)測器包括PIN二極管。

根據(jù)本發(fā)明,在第六方面中,提供了用于控制光信號的衰減的可變光學(xué)衰減器,可變光學(xué)衰減器包括:介質(zhì)區(qū),其配置成使入射在介質(zhì)層上的光信號的一部分通過并反射光信號的剩余部分;以及配置成改變界面以改變穿過的光信號的該部分的控制機構(gòu)。

可選地,可變光學(xué)衰減器包括由介質(zhì)區(qū)分離的第一和第二棱鏡。

可選地,介質(zhì)區(qū)包括在兩個光學(xué)透射部件之間的間隙。

可選地,間隙包括真空、空氣和介質(zhì)材料之一。

可選地,控制機構(gòu)的至少部分連接到可變光學(xué)衰減器的表面,使得其偏轉(zhuǎn)改變界面,以及其中控制機構(gòu)包括熱控雙金屬條和壓電元件之一。

可選地,可變光學(xué)衰減器配置成作為光學(xué)快門來操作。

根據(jù)本發(fā)明,在第七方面中,提供了用于改變一個或多個光信號的方向的對準(zhǔn)微調(diào)器,對準(zhǔn)微調(diào)器包括:配置成反射具有第一偏振的光并使具有與第一偏振正交的第二偏振的光通過的介質(zhì)層;以及至少一個偏振旋轉(zhuǎn)鏡,其配置成反射光信號使得反射光信號具有旋轉(zhuǎn)了實質(zhì)上90度的其偏振,其中至少一個偏振鏡布置成從介質(zhì)層接收反射光信號并改變反射光信號的角度。

可選地,對準(zhǔn)微調(diào)器還包括由介質(zhì)層分離的第一和第二棱鏡。

可選地,對準(zhǔn)微調(diào)器包括在對準(zhǔn)微調(diào)器的相對表面上的第一和第二偏振旋轉(zhuǎn)鏡,其中第一偏振旋轉(zhuǎn)鏡配置成接收進入對準(zhǔn)微調(diào)器并從介質(zhì)層反射的具有第一偏振的第一光信號并反射第一光信號以產(chǎn)生具有實質(zhì)上正交于第一偏振的第二偏振的第二光信號,使得第二光信號可穿過介質(zhì)層,以及其中第二偏振旋轉(zhuǎn)鏡配置成接收第二光信號并反射第二光信號以產(chǎn)生具有第一偏振的第三光信號,使得第三光信號由介質(zhì)層反射并離開對準(zhǔn)微調(diào)器,以及其中第一和第二偏振旋轉(zhuǎn)鏡中的一個或兩個被對準(zhǔn),使得第三光信號以與第一光信號進入對準(zhǔn)微調(diào)器時的角度不同的角度離開對準(zhǔn)微調(diào)器。

可選地,至少一個偏振旋轉(zhuǎn)鏡通過粘合劑保持在適當(dāng)?shù)奈恢蒙?,并可在粘合劑固化之前被設(shè)置到期望對準(zhǔn)。

可選地,至少一個偏振旋轉(zhuǎn)鏡包括凹或凸反射表面。

可選地,對準(zhǔn)微調(diào)器還包括在至少一個偏振旋轉(zhuǎn)鏡和對準(zhǔn)微調(diào)器的相應(yīng)表面之間的光學(xué)透射塊。

根據(jù)本發(fā)明,在第八方面中,提供了用于改變一個或多個光信號的方向的對準(zhǔn)微調(diào)器,對準(zhǔn)微調(diào)器包括:透射光學(xué)元件,其包括第一和第二內(nèi)部小面;以及至少一個鏡,其中對準(zhǔn)微調(diào)器配置成從第一內(nèi)部小面、從至少一個鏡和第二內(nèi)部小面反射所接收的光信號以在由鏡的對準(zhǔn)確定的角度下從對準(zhǔn)微調(diào)器輸出。

可選地,至少一個偏振旋轉(zhuǎn)鏡通過粘合劑保持在適當(dāng)?shù)奈恢蒙?,并可在粘合劑固化之前被設(shè)置到期望對準(zhǔn)。

可選地,至少一個偏振旋轉(zhuǎn)鏡包括彎曲反射表面。

可選地,對準(zhǔn)微調(diào)器還包括在至少一個偏振旋轉(zhuǎn)鏡和對準(zhǔn)微調(diào)器的相應(yīng)表面之間的光學(xué)透射塊。

附圖說明

在本文參考附圖公開了本發(fā)明的示例性實施方式,其中:

圖1是集成光學(xué)塊的示意圖;

圖2、3、4a、4b、6、8、11和16是相干光學(xué)發(fā)射機的示意圖;

圖5是光學(xué)監(jiān)測器的示意圖;

圖7是可變光學(xué)衰減器的示意圖;

圖9是集成光學(xué)塊的示意圖;

圖10是相干光學(xué)接收機的示意圖;

圖12a、12b和13是對準(zhǔn)微調(diào)器的示意圖;

圖14是間距轉(zhuǎn)換塊的示意圖;以及

圖17是垂直堆疊的集成光學(xué)塊的示意圖。

具體實施方式

通常,在本文公開了用于在相干發(fā)射機、接收機和/或收發(fā)機中使用的集成光學(xué)塊。如在本文使用的,術(shù)語“集成光學(xué)塊”包括放置在一起的多個光學(xué)部件,使得每個部件的表面鄰接以形成單個集成單片塊。光學(xué)部件被特別配置,以便放置在一起,使得每個部件的表面鄰接以形成單個集成塊。這不同于分立的光學(xué)布置,其中光學(xué)部件彼此分開地放置。

通常,多個光學(xué)部件可包括光學(xué)透射塊和在單片塊中粘合在一起的界面(例如介質(zhì))。這樣的布置允許多個部件被組裝為子組件而不影響組件的其余部分,且還允許成對的表面(或界面)用于提高在多個光學(xué)部件之間的對準(zhǔn)精確度。

集成光學(xué)塊可包括在光學(xué)部件之間的界面處和/或在塊的表面上嵌在塊中的膜和界面。界面可被設(shè)置在適當(dāng)?shù)慕嵌认乱蕴幚泶┻^集成光學(xué)塊的光束。

發(fā)明人認(rèn)識到,在功能塊和透鏡陣列的微光學(xué)制造中的發(fā)展導(dǎo)致這樣的部件被制造為更嚴(yán)格的公差,使集成變得可能。這可被采用來使分立的功能元件能夠被集成到高級功能塊內(nèi)。

發(fā)明人還認(rèn)識到,可通過合并新穎的對準(zhǔn)校正結(jié)構(gòu)(其可合并到同一集成光學(xué)塊內(nèi))來減輕由于制造公差而引起的任何殘余未對準(zhǔn)。

此外,發(fā)明人認(rèn)識到,可在光學(xué)平面之外提供在光學(xué)部件內(nèi)的光信號的控制和監(jiān)控。

集成光學(xué)塊的使用和/或平面外控制、監(jiān)測和微調(diào)提供在制造包括光學(xué)芯片例如集成有其它光學(xué)功能的PLC的設(shè)備的對準(zhǔn)時間和成本中的優(yōu)點。平面外監(jiān)測、微調(diào)和可變光學(xué)衰減通過鄰接多個集成光學(xué)塊來實現(xiàn)在產(chǎn)品級的有效可擴性。

在本文公開了提供來自光學(xué)芯片的同一側(cè)的輸入和輸出的光學(xué)部件。單側(cè)芯片的使用實現(xiàn)更簡單和更廉價的制造,因為只有芯片的一側(cè)需要被對準(zhǔn),且此外它允許更緊湊的總模塊設(shè)計。

在本文公開了集成或單片光學(xué)塊以在與光學(xué)芯片例如光學(xué)發(fā)射機、接收機或收發(fā)機芯片對準(zhǔn)時實現(xiàn)多種光學(xué)功能。在本文還公開了提供與光學(xué)芯片和輸出端口或光纖的簡單和廉價的光學(xué)對準(zhǔn)的這樣的集成或單片光學(xué)塊。所公開的方法和裝置的另一優(yōu)點是,多個芯片和多功能芯片可方便地被對準(zhǔn)并包裝在一起。

圖1示出用于在相干光學(xué)發(fā)射機中使用的集成光學(xué)塊100。光學(xué)塊100包括多個光學(xué)透射塊,其可被制造為包括玻璃。光學(xué)透射塊放置在一起以形成從外部看起來是單片的結(jié)構(gòu)??梢杂性谛纬杉晒鈱W(xué)塊的光學(xué)透射塊之間的一個或多個空氣間隙。這樣的空氣間隙可形成布置成影響穿過其的光的透射的界面。

集成光學(xué)塊100包括分束器102、偏振組合器102和偏振旋轉(zhuǎn)器106。分束器102可以是配置成接收輸入光信號、允許那個信號的一部分穿過并反射輸出的一部分作為LO信號的棱鏡。穿過分束器102的輸入光信號的該部分也穿過偏振組合器104,并被輸出用于在光學(xué)發(fā)射機芯片(在圖2中示出)中使用。

偏振組合器104配置成從光學(xué)發(fā)射機芯片接收在空間上分離的調(diào)制光信號。偏振組合器104還配置成組合在空間上分離的調(diào)制光信號以為相干發(fā)射機形成輸出信號。

偏振旋轉(zhuǎn)器106配置成將調(diào)制光信號之一的偏振旋轉(zhuǎn)實質(zhì)上90度。偏振旋轉(zhuǎn)器106鄰接偏振組合器104的外表面。偏振旋轉(zhuǎn)器106可以是半波片。分束器102的表面鄰接偏振組合器104的表面。界面105包括介質(zhì)區(qū),其可包括真空、空氣間隙或介質(zhì)材料的疊層。界面105可形成分束器102的部分。此外,棱鏡107粘合到偏振組合器104的表面。第二界面109包括介質(zhì)區(qū),其可包括真空、空氣間隙或介質(zhì)材料的疊層。第二界面109可形成棱鏡107的一部分。

相應(yīng)地,光學(xué)塊100的元件布置在一起,使得它們被集成。光學(xué)塊100的元件可由透光粘結(jié)劑例如在感興趣的波長之上透射的市場上可買到的UV激活的聚合物保持在一起。

圖2示出在相干發(fā)射機布置中的光學(xué)塊100。相干發(fā)射機還包括輸入/輸出光纖陣列200、輸入/輸出微透鏡陣列202、發(fā)射機微透鏡陣列204和光學(xué)發(fā)射機芯片206。圖2示出相鄰于彼此布置的兩個相干發(fā)射機。第二相干發(fā)射機包括與第一相干發(fā)射機的特征類似的特征,且所以不在這里詳細討論。

微透鏡陣列202、204包括布置在陣列中并具有恒定的間距的多個微透鏡。間距可以例如是250微米。在圖2的布置中,每個微透鏡陣列202、204具有配置成將光信號聚焦到集成光學(xué)塊100內(nèi)并形成集成光學(xué)塊100的三個微透鏡。

光學(xué)發(fā)射機芯片206包括信號輸入端口208及水平和垂直輸出端口210、212。輸入端口208與配置成將輸入光信號分成兩半的返回或反射設(shè)備214光學(xué)地通信,這兩半通過光學(xué)發(fā)射機芯片206反射回。返回或反射設(shè)備214與兩個馬赫-曾德耳(MZ)調(diào)制器216a、216b光學(xué)地通信,這兩個馬赫-曾德耳(MZ)調(diào)制器216a、216b每個與水平輸出端口210和垂直輸出端口212之一光學(xué)地通信。光學(xué)發(fā)射機芯片還可包括用于監(jiān)測在光學(xué)發(fā)射機芯片內(nèi)的光信號的功率的一個或多個監(jiān)測器。

圖2示出穿過集成光學(xué)塊100的由虛線表示的光路。可具有可調(diào)諧激光器作為它的源并水平地(H或TE)偏振的激光輸入光信號Lz穿過輸入/輸出光纖陣列200和輸入/輸出微透鏡陣列。激光輸入光信號由分束器102接收并分成第一和第二輸入光束218、220。第一和第二輸入光信號218、220每個代表激光輸入光信號的一部分。在示例性裝置中,第二輸入光信號可包括第一輸入光信號的光功率(或3dB)。

第一輸入光信號218穿過分束器102和偏振組合器104,并進入發(fā)射機透鏡陣列204并聚焦到信號輸入端口208內(nèi)。第二輸入光信號220由分束器反射并從相干發(fā)射機被引導(dǎo)出用于用作LO信號。對于在同一波長處操作的本地接收機,第二輸入光信號因此通過輸入/輸出透鏡陣列202和輸入/輸出光纖陣列200被引導(dǎo)到LO輸出端口。

第一輸入光信號218被發(fā)射到光學(xué)發(fā)射機芯片206的波導(dǎo)(其可以是中心波導(dǎo))內(nèi),它穿過該波導(dǎo)而傳播到返回或反射器設(shè)備214??蛇x地,第一輸入光信號218的功率可由在芯片206上的監(jiān)測器監(jiān)測。第一輸入光信號218大約50:50分裂成H通道和V通道,使得MZ調(diào)制器216a、216b中的每個接收可調(diào)諧激光的光束。

光學(xué)發(fā)射機芯片206可以是磷化銦(InP)芯片。在芯片上的可選特征包括半導(dǎo)體光學(xué)放大器(SOA)、分束器和可變光學(xué)衰減器。

H和V通道輸入光信號由MZ調(diào)制器216a、216b調(diào)制,且經(jīng)調(diào)制的H和V光信號通過發(fā)射機透鏡陣列204被傳輸?shù)紿和V輸出端口210、212內(nèi)并進入光學(xué)塊100內(nèi)??蛇x地,在光學(xué)發(fā)射機芯片上的監(jiān)測器可監(jiān)測經(jīng)調(diào)制的H和V通道調(diào)制光信號的功率。

H通道調(diào)制光信號222由偏振組合器104接收并通過它、輸入/輸出透鏡陣列和輸入/輸出光纖陣列200被直接傳輸?shù)叫盘栞敵龆丝赟out。V通道調(diào)制光信號224由偏振旋轉(zhuǎn)器206接收并使它的偏振旋轉(zhuǎn)了90度以變成垂直偏振(V或TM)。V通道調(diào)制光信號224從偏振組合器104的外部小面反射并與H通道調(diào)制光信號222組合并被傳輸?shù)叫盘栞敵龆丝赟out

光信號218、222、224可相等地間隔開,間距是大約250微米或固定間距的某個倍數(shù)。可選地,光信號218、222、224使用發(fā)射機微透鏡204聚焦在芯片波導(dǎo)小面處,且這些透鏡可以是以給定間距(例如250微米)的陣列的形式。光信號218、222、224可通過輸入/輸出微透鏡202的陣列聚焦到輸入/輸出光纖陣列200的光纖內(nèi)。微透鏡202、204可由硅、玻璃或其它適當(dāng)?shù)木A級材料制成。

圖3示出一備選布置,其中可從相干發(fā)射機的一側(cè)提供可調(diào)諧激光輸入信號Lz??衫缡褂眠@個布置,其中一個或多個可調(diào)節(jié)激光器被包括在與相干發(fā)射機相同的封裝內(nèi)。可在陣列中提供多個可調(diào)諧激光器300、302以向第二分束器100a、100b提供可調(diào)諧激光輸入信號。每個分束器100a、100b布置成從來自激光器300a、300b之一的一側(cè)接收光,并將每個激光輸入信號的一部分發(fā)送到發(fā)射機并反射一部分作為LO輸出光束,如在上面討論的。

光學(xué)塊100a、100b可布置成使得每個可在同一平面中從激光器300a、300b之一接收激光輸入信號而沒有串?dāng)_或干擾。在圖3的示例性布置中,這通過一個或多個階梯式或隔板塊302的引入來提供,階梯狀或隔板塊302被引入到光學(xué)塊100b之一內(nèi)??蛇x地,光學(xué)塊100a、100b可在垂直平面或水平平面中交錯或成階梯狀。在這種情況下,微透鏡陣列可以如以前一樣被使用,但在輸出陣列中的一個透鏡保持未被使用,如圖3所示。

圖4a示出包括集成光學(xué)塊100的相干光學(xué)發(fā)射機布置。集成光學(xué)塊100還包括多個監(jiān)測器400、402、404。監(jiān)測器可因此從光學(xué)發(fā)射機芯片406移除并作為集成光學(xué)塊100的部分被包括。圖4a的相干發(fā)射機的其余特征類似于在圖1中的特征且不再次被詳細討論。

監(jiān)測器400、402、404可以在光學(xué)塊100的光學(xué)平面之外。在圖4a中,光學(xué)平面與圖的平面重合,且進出圖的方向被考慮為在光學(xué)平面之外。根本地,對于在光學(xué)平面之外的特征,它應(yīng)在光信號的路徑中,因為它們橫穿光學(xué)塊100。

圖4a示出形成在輸入/輸出側(cè)上的光學(xué)塊的部分的監(jiān)測器。然而,監(jiān)測器也可形成在光學(xué)芯片側(cè)上的光學(xué)塊的部分,如圖4b所示。此外,可使用輸入/輸出和芯片側(cè)監(jiān)測的各種組合。

在圖5中示出監(jiān)測器的詳細表示。監(jiān)測器包括兩個直角三角形棱鏡500、502和介質(zhì)層504。棱鏡500、502布置成使得第一棱鏡500的表面通過介質(zhì)區(qū)504與第二棱鏡502的相應(yīng)表面分離。監(jiān)測器檢測器506位于棱鏡布置之上。監(jiān)測器檢測器506可具有相對于棱鏡布置的固定方位,并可例如由粘結(jié)劑例如環(huán)氧樹脂保持在適當(dāng)?shù)奈恢蒙?。監(jiān)測器檢測器506配置成將光信號轉(zhuǎn)換成可從電觸頭508、510讀取的電信號。進入的光信號512在介質(zhì)層504處分裂,產(chǎn)生表示進入的光信號512的一部分的垂直光信號514。該部分可以是例如進入的光信號的大約1%。垂直光信號514入射在監(jiān)測器檢測器506上以監(jiān)測進入的信號512的功率電平。監(jiān)測器檢測器506的定位使進入的信號512能夠被監(jiān)測并從設(shè)備的光學(xué)平面之外被測量。

可使用InGaAs或類似的半導(dǎo)體材料來制造監(jiān)測器檢測器506。監(jiān)測器檢測器506可易于安裝到PCB上且對對準(zhǔn)相對不敏感。這樣的監(jiān)測器設(shè)備可被制造有孔和光束截捕器以收集盡可能多的垂直光信號并最小化串?dāng)_。監(jiān)測器檢測器506可以是具有小孔的高速PIN二極管。垂直光信號514可使用微透鏡聚焦在監(jiān)測器檢測器506上。

監(jiān)測器400、402、404可被制造在單個零件中,形成集成光學(xué)塊100的部分。相應(yīng)地,圖4的集成光學(xué)塊100提供偏振旋轉(zhuǎn)、偏振光束組合、光學(xué)載波光束分裂和平面外功率監(jiān)測。

在示例性方法和裝置中,檢測器區(qū)域可包括以特定的幾何形狀的多個區(qū)段或單獨區(qū)域以確定光束的位置,用于對準(zhǔn)目的。這將不減損功率測量能力。

圖6示出包括光學(xué)塊100的光學(xué)相干發(fā)射機,光學(xué)塊100此外包括可變光學(xué)衰減器(VOA)500或光學(xué)快門。圖6示出形成集成光學(xué)塊的部分的多個監(jiān)測器,雖然這些在這個實施方式中是可選的。圖6的相干發(fā)射機的其余特征類似于上面討論的特征,且將不再次被詳細討論。

在圖7中示出VOA的詳圖。VOA通??山?jīng)由功率管理在閉環(huán)控制中操作。功率管理可由如在本文公開的一個或多個監(jiān)測器得到。VOA由相鄰于彼此安裝并由形成界面704的介質(zhì)區(qū)分離的兩個直角三角形棱鏡700、702組成。介質(zhì)區(qū)可包括真空、空氣間隙或介質(zhì)材料。與界面704交會的進入的光信號706可變地分成兩個光信號708、710。第一光信號708穿過VOA,且第二光信號710以某種方式被反射和吸收或丟棄。以這種方式,第一光信號708是進入的光信號706的衰減版本。在示例性VOA中,在界面704處,在具有將衰減的光的波長的階數(shù)和確定被透射或反射的光的部分的厚度的棱鏡700、702之間存在精確和可變間隙。

控制機構(gòu)712配置成控制被反射和吸收(710)的進入的光信號706的數(shù)量比例。控制機構(gòu)712可以是可偏轉(zhuǎn)條,例如永久控制的雙金屬條或壓電致動器。這實現(xiàn)在界面704處的空間和因而在光學(xué)平面外偏轉(zhuǎn)的光的部分的精細控制。在示例性光學(xué)發(fā)射機和/或接收機中,設(shè)備本身布置在空間中,使得棱鏡700、702位于光學(xué)平面中,且控制機構(gòu)712和偏轉(zhuǎn)的光的吸收區(qū)在光學(xué)平面之外。然而,在其它示例性光學(xué)發(fā)射機和/或接收機中,在光學(xué)平面中被偏轉(zhuǎn)到另一棱鏡或塊的部分反射的光中可能有優(yōu)點。

可選地,VOA可氣密地密封,以便防止在界面704的端面之間的微粒的進入。優(yōu)選地,界面704可由布置在界面704的邊緣處的柔性膜密封。這樣的密封將足夠柔韌以允許如控制器712要求的運動,且將防止界面表面的污染。在示例性方法和裝置中,可代替VOA來使用各種類型的光學(xué)快門。

光學(xué)快門可以是本文描述的VOA的擴展。快門行動可被定義為在指定限制例如-60dB之下的衰減。為了完成此,本文所述的設(shè)備需要介質(zhì)區(qū)——在這種情況下在棱鏡表面之間的間隙——大于大約3微米。

圖8示出利用兩個光學(xué)發(fā)射機芯片800a、800b的恒定間距微透鏡陣列的相干光學(xué)發(fā)射機。在圖8的示例性布置中,第一和第二集成光學(xué)塊100a、100b相鄰于彼此放置。這個布置由于由監(jiān)測器400a、402a、404a、400b、402b、404b所示的平面外監(jiān)測而變得可能。此外,微透鏡陣列202、204可以看到是具有連續(xù)的間距的,其可以是例如250微米。相干光學(xué)發(fā)射機也可包括如上面討論的一個或多個VOA。圖8的裝置的其余特征類似于上面討論的特征且不再次被詳細討論。注意,可使用類似的布置,其中光學(xué)芯片之一是接收機,或其中兩個光學(xué)芯片都是接收機。

圖8所示的布置是擴展性更好的布置,其中多功能光學(xué)部件可設(shè)置在較小的規(guī)模上。布置可擴展到包括多于兩個光學(xué)芯片(在圖8的示例性部件中的光學(xué)發(fā)射機芯片)。

圖9示出用于在相干光學(xué)接收機中使用的集成光學(xué)塊。光學(xué)塊900包括偏振分裂器902和偏轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)器904。偏振旋轉(zhuǎn)器904配置成將調(diào)制光信號的偏振旋轉(zhuǎn)實質(zhì)上90度。偏振旋轉(zhuǎn)器904鄰接偏轉(zhuǎn)組合器902的外表面。偏振旋轉(zhuǎn)器904可以是半波片。

圖10示出包括集成光學(xué)塊900的相干光學(xué)接收機布置。相干光學(xué)接收機還包括輸入光纖陣列1000和輸入微透鏡陣列1002。輸入光纖陣列包括在端口Sin中的信號和在端口LOin中的LO。LO信號可由附近的相干光學(xué)發(fā)射機提供,例如,如果接收機和發(fā)射機形成收發(fā)機的部分。輸入微透鏡陣列1002配置成從在端口中的信號In和LO接收光信號,并將光信號聚集到光學(xué)塊900內(nèi)。相干光學(xué)接收機還包括接收機微透鏡陣列1004和光學(xué)接收機芯片1006。接收機微透鏡陣列1004配置成從光學(xué)塊900接收光信號并將光信號聚焦到接收機芯片1006內(nèi)。

光學(xué)接收機芯片1006包括LO輸入端口1008、H通道輸入端口1010和V通道輸入端口1012。H和V通道輸入端口1010、1012與H和V通道解調(diào)器1014、1016光學(xué)地通信,H和V通道解調(diào)器1014、1016可以都是配置成組合所接收的信號和LO輸入以向檢測器1018提供相等功率的四個輸出的90度光學(xué)混合相位混合器。LO輸入端口1008經(jīng)由分裂器與H和V通道混合器1014、1016光學(xué)地通信。H和V通道混合器與多個檢測器1018光學(xué)地通信。

可選地,相干光學(xué)接收機還包括監(jiān)測器1020、1022,其可以與上面關(guān)于圖5所述的監(jiān)測器相同。

圖10示出穿過集成光學(xué)塊900的由虛線表示的光路。輸入調(diào)制光信號1024由輸入光纖陣列1000接收并通過微透鏡陣列1002被傳輸。輸入調(diào)制光信號1024接著由偏振分裂器902接收。偏振分裂器將經(jīng)調(diào)制的輸入光信號分成它的H偏振分量和V偏振分量1028。H偏振分量1026穿過偏振分裂器902,且V分量1028朝著偏振旋轉(zhuǎn)器904反射并旋轉(zhuǎn)了90度。

兩個由此產(chǎn)生的H偏振調(diào)制光信號穿過接收機透鏡陣列1004傳輸并分別聚焦到H輸入端口1010和V輸入端口1012內(nèi)。經(jīng)調(diào)制的光信號在混合相位混合器1014、1016中與LO信號混合,且輸出在芯片1006上的平衡檢測器1018上被檢測到。

相干接收機需要在載波頻率處或附近的LO的輸入。這由如上所述的并在LO輸入端口處連接到接收機的可調(diào)諧激光器提供。類似于上面所述的發(fā)射機布置,微透鏡陣列可方便地用于將來自光纖和芯片的光束聚焦到塊內(nèi)并從塊進入光纖和芯片小面內(nèi)。這樣的微透鏡陣列可具有標(biāo)準(zhǔn)間距(例如250微米),但其它布置是可能的。

在光學(xué)塊900上的監(jiān)控器1020、1022配置成監(jiān)控LO和經(jīng)調(diào)制的輸入光信號1024。監(jiān)控器1020、1022可被制造為單個零件。此外,監(jiān)測器1020、1022、偏振分裂器902和偏轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)器904被制造為單個單元以便于對準(zhǔn)和制造。

將光學(xué)部件集成到單個微光學(xué)塊100、900內(nèi)的兩個優(yōu)點包括:相干發(fā)射機、接收機或收發(fā)機的尺寸上的減小;以及在模塊構(gòu)建期間的對準(zhǔn)時間上的明顯減小。然而,一些對準(zhǔn)或?qū)?zhǔn)的至少微調(diào)可能是必要的,以便減小在微光學(xué)塊和光學(xué)芯片之間和在微光學(xué)塊和輸入/輸出光纖陣列之間的插入損失。為了這個目的,本文公開的光學(xué)塊可包括對準(zhǔn)微調(diào)器。

對準(zhǔn)微調(diào)器1100可被構(gòu)造為光學(xué)塊的整體部分,如圖11所示。對準(zhǔn)可以是光束對光束或可以是對于在光學(xué)塊中的所有光束??蛇x地,對準(zhǔn)微調(diào)器可沿著光學(xué)塊的一個光學(xué)邊緣,但在示例性裝置中,可以有在光學(xué)塊的兩側(cè)上的對準(zhǔn)微調(diào)器。

圖12a示出對準(zhǔn)微調(diào)器1100或光束操縱器的表示。對準(zhǔn)微調(diào)器1100包括第一直角三角形棱鏡1102和第二直角三角形棱鏡1104。第一和第二棱鏡1102、1104的斜邊表面布置成面向彼此并由在界面1106處的介質(zhì)材料分離。界面1106配置成反射具有第一偏振的光并使具有正交于第一偏振的第二偏振的光通過。第一偏振旋轉(zhuǎn)鏡1108位于用于接收由界面1106反射的光信號的對準(zhǔn)微調(diào)器1100的表面處。偏振旋轉(zhuǎn)鏡1108可包括偏振旋轉(zhuǎn)器1109例如四分之一波片和反射表面1111。第二偏振旋轉(zhuǎn)鏡1110位于與第一偏振旋轉(zhuǎn)鏡1108相對的對準(zhǔn)微調(diào)器1100的表面上。如同偏振鏡1108一樣,偏振旋轉(zhuǎn)鏡1110可包括偏振旋轉(zhuǎn)器例如四分之一波片和反射表面。第一和第二偏振旋轉(zhuǎn)鏡1108、1110可包括具有一般由在外表面上的金屬化涂層1112組成的鏡的玻璃(或類似的材料)平板。對準(zhǔn)微調(diào)器1100還可通過合并高度h的頂部玻璃塊1114來合并光路長度校正,其給出在2h的路徑長度中的延伸。這在圖12a中示出,但是可選的。

第二偏振旋轉(zhuǎn)鏡1110通過粘合劑例如粘合樹脂粘合到玻璃塊1114。第二偏振旋轉(zhuǎn)鏡1110配置成例如手動地通過相對于棱鏡1102、1104調(diào)節(jié)鏡1110的角度或通過機器來對準(zhǔn)以在粘合劑固化之前定位最小損失的輸出角。當(dāng)實現(xiàn)第二偏振鏡1110的正確對準(zhǔn)時,使粘合劑固化以固定該對準(zhǔn)。在這種情況下,固化的粘合劑的厚度可在第二鏡1110和上棱鏡1102之間的整個界面上改變。

在圖12a中由虛線示出穿過對準(zhǔn)微調(diào)器1100的光信號的光路。偏振(例如TE)光從左邊進入對準(zhǔn)微調(diào)器1100。光束入射在界面1106上并在90度下朝著第一偏振旋轉(zhuǎn)鏡1108反射。反射光信號再次由第一偏振鏡1108反射在下棱鏡1104的底部上。整個反射將偏振改變了90度,且所以光橫穿界面1106并離開上棱鏡1102的頂表面并入射在對準(zhǔn)調(diào)節(jié)的第二偏振鏡1110上。從第二鏡1110反射的光信號再次在偏振中旋轉(zhuǎn)了90度(例如回到TE)并在界面1106處發(fā)射以作為TE偏振光離開到右邊。

如可在圖2a中看到的,來自第二偏振選擇鏡1110的反射的角度不是垂直的,并由第二鏡1110的對準(zhǔn)改變。因此,反射光信號1116在較窄的角度下入射在界面1106上,且所以光信號1118離開對準(zhǔn)微調(diào)器1100時的角度不同于光進入對準(zhǔn)微調(diào)器1100時的角度。

在圖12b所示的可選的對準(zhǔn)微調(diào)器1200中,第二偏振旋轉(zhuǎn)鏡包括偏振旋轉(zhuǎn)器例如四分之一波片和凸或凹反射表面1212。對準(zhǔn)微調(diào)器1200的其余特征類似于上面討論的那些特征且將不再次被詳細討論。

如同對準(zhǔn)微調(diào)器1100一樣,凸或凹反射表面1212被設(shè)置在一層粘合劑上,但在這種情況下,粘合劑可厚度上保持實質(zhì)上是一致的。通過調(diào)節(jié)在頂蓋和棱鏡塊之間的界面的平面中的凸或凹反射表面1212的位置來實現(xiàn)微調(diào)。這將圓頂?shù)牟煌瑓^(qū)域暴露于光信號,其相對于光束分裂光軸,從而改變反射的角度。一旦期望微調(diào)位置被達到,樹脂就被固化。這個布置的優(yōu)點是,微調(diào)的角度較不可能被在固化或老化期間樹脂的收縮或變形影響,且校正敏感度可通過設(shè)計而改變。

圖13示出另一對準(zhǔn)微調(diào)器1300,其中進入的光信號的垂直反射由偏轉(zhuǎn)器/反射器塊1302實現(xiàn)。對準(zhǔn)微調(diào)器1300還包括位于偏轉(zhuǎn)器/反射器塊1302的上表面處的鏡1304。如同上面提到的對準(zhǔn)微調(diào)器1100、1200一樣,鏡1304可包括凸或凹反射表面或扁平反射表面,并被設(shè)置在鏡1304的對準(zhǔn)之后固化的一層粘合劑上。偏轉(zhuǎn)器/反射器塊1302包括內(nèi)部反射小面1306、1308。第一內(nèi)部反射小面1306布置成朝著鏡1304反射進入的光信號,而第二內(nèi)部反射小面1306布置成從對準(zhǔn)微調(diào)器1300反射從鏡1304接收的光信號。如同對準(zhǔn)微調(diào)器1100、1200一樣,鏡1304的對準(zhǔn)確定光信號從對準(zhǔn)微調(diào)器1304的離開的角度。在圖13中示出穿過對準(zhǔn)微調(diào)器1300的光信號的路徑。

在類似的布置中,可修改并控制偏振相關(guān)的平面外光束。可使用例如液晶單元來實現(xiàn)VOA功能,且可使用組合這個功能與監(jiān)控和微調(diào)的結(jié)構(gòu)。

由于制造原因和由于標(biāo)準(zhǔn)化和互操作性的原因,有在光纖連接器之間和在光學(xué)芯片上的端口或光學(xué)小面之間的設(shè)定和有規(guī)律的間距常常是合乎需要的。制造具有標(biāo)準(zhǔn)間距的部件例如透鏡或微透鏡的陣列,且使用在市場上可買到的尺寸的現(xiàn)貨供應(yīng)的部件常常是經(jīng)濟的。

在本文公開的方法和裝置中的例子是,其中透鏡在光學(xué)芯片和光學(xué)塊之間和/或在光學(xué)塊和光纖連接器/光纖陣列之間。可使用包括轉(zhuǎn)換塊1400的光學(xué)塊來實現(xiàn)間距轉(zhuǎn)換以便使光學(xué)部件的特征與透鏡對準(zhǔn),如圖14所示。間距轉(zhuǎn)換塊1400包括通常菱形的透射元件1402,其包括配置成反射光信號的相對的和實質(zhì)上平行的表面1404、1406。在圖14中由箭頭示出穿過透射元件的光。

透射元件1402布置成使得進入間距轉(zhuǎn)換塊1400的光從表面1404、1406反射并在同一方向上但偏移地離開間距轉(zhuǎn)換塊1400。

間距轉(zhuǎn)換塊1400包括鏡1408的可選特征,其配置成相對于輸入光束調(diào)節(jié)輸出光束的角度。鏡1408可以是扁平的并在一角度下粘合到表面1406以便在不同的角度下使光信號偏轉(zhuǎn)??蛇x地且如在圖14中看到的,鏡1408可以是具有凹或凸反射表面的彎曲鏡。

圖15示出包括被實現(xiàn)為相干發(fā)射機的部分的多個對準(zhǔn)微調(diào)器1500的集成光學(xué)塊(雖然集成光學(xué)塊可以可選地合并到相干接收機或收發(fā)機內(nèi))。

一個或多個間距轉(zhuǎn)換塊可合并到分束器或組合器的光學(xué)塊1500內(nèi),如圖15所示。圖15所示的間距轉(zhuǎn)換塊不同于圖14所示的間距轉(zhuǎn)換塊,雖然圖14的間距轉(zhuǎn)換塊1400可以用與所示的方式類似的方式在集成光學(xué)塊1500中實現(xiàn)。當(dāng)使用透鏡的陣列時,可認(rèn)識到,在一側(cè)上的比如250微米的間距被加倍到在另一側(cè)上的500微米,以及500微米的透鏡陣列可具有50%冗余透鏡或一個透鏡和在不同間距上的光纖陣列塊。其它類似的布置將形成所公開的方法和裝置的部分。雖然四分之一波片可夾在分束器塊和間距轉(zhuǎn)換塊之間,將四分之一波片放置在塊的表面上且在這種情況下在間距轉(zhuǎn)換塊的表面上可能是優(yōu)選的。

在其它示例性裝置中,光學(xué)塊(有或沒有光束間距調(diào)節(jié))可賦予90度轉(zhuǎn)動,使得輸出光束正交于橫穿光學(xué)芯片的光束。在圖16中為具有共面地安裝的兩個光學(xué)芯片的例子示出這樣的示例性裝置。光學(xué)芯片可包含多于一個發(fā)射機/調(diào)制器或接收機。在未示出的某些示例性裝置中,橫穿芯片的光束與輸出光束的角度關(guān)系可以是除了90度以外的角度。

在又一示例性裝置(未示出)中,多個光學(xué)芯片可安裝在臺階上,因此而使一個芯片的光束能夠在與其它芯片平行的平面中。類似地,集成光學(xué)塊可堆疊在垂直平面中,光束在平面之間轉(zhuǎn)移,因為和當(dāng)被功能要求需要時,如圖17所示。這樣的示例性裝置允許輸出和輸入光束到多芯片封裝布置在矩陣中。

技術(shù)人員將能夠設(shè)想可選的實施方式而不從權(quán)利要求偏離。

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