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光發(fā)送的制造方法

文檔序號:8001203閱讀:223來源:國知局
光發(fā)送的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及光發(fā)送機。本發(fā)明的目的在于提供一種能夠抑制起因于光調(diào)制器驅(qū)動器的頻率響應特性的峰化的波形抖動的光發(fā)送機。具備:均衡器(14a,14b),被輸入數(shù)據(jù)信號;光調(diào)制器驅(qū)動器(16),放大該均衡器的輸出;以及光調(diào)制器(18),將該光調(diào)制器驅(qū)動器的輸出變換為光信號并輸出。特征在于,該均衡器(14a,14b)具有:信號線路(20,30),傳輸該數(shù)據(jù)信號;耦合線路(22,32),與該信號線路電磁耦合;電阻部(24,34),與該耦合線路連接;以及接地通路(28,30),與該電阻部連接,該均衡器(14a,14b)使該光調(diào)制器驅(qū)動器(16)的頻率響應特性發(fā)生峰化的頻帶中的該數(shù)據(jù)信號的功率降低,抑制向該光調(diào)制器(18)輸入的該數(shù)據(jù)信號的波形抖動。
【專利說明】光發(fā)送機
【技術領域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及用于光通信等的光發(fā)送機。
【背景技術】
[0002]在專利文獻I中公開了利用半導體激光元件將由光調(diào)制器驅(qū)動器放大后的數(shù)據(jù)信號變換為光信號的技術。
[0003]現(xiàn)有技術文獻 專利文獻
專利文獻1:日本特開2005-252783號公報。
[0004]發(fā)明要解決的課題
光調(diào)制器驅(qū)動器存在如下情況:具有在某頻帶中頻率響應特性變得特別高的被稱為峰化(peaking)的特性。由于該峰化導致存在以下問題:輸入到光調(diào)制器驅(qū)動器的數(shù)據(jù)信號的品質(zhì)劣化,產(chǎn)生波形抖動。而且,當波形抖動變得顯著時,有時會發(fā)生數(shù)據(jù)錯誤。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明是為了解決上述那樣的課題而完成的,其目的在于提供一種能夠?qū)ζ鹨蛴诠庹{(diào)制器驅(qū)動器的頻率響應特性的峰化的波形抖動進行抑制的光發(fā)送機。
[0006]用于解決課題的手段
本申請發(fā)明提供了一種光發(fā)送機,其特征在于,具備:均衡器,被輸入數(shù)據(jù)信號;光調(diào)制器驅(qū)動器,放大該均衡器的輸出;以及光調(diào)制器,將該光調(diào)制器驅(qū)動器的輸出變換為光信號并輸出,該均衡器具有:信號線路,傳輸該數(shù)據(jù)信號;耦合線路,與該信號線路電磁耦合;電阻部,與該耦合線路連接;以及接地通路,與該電阻部連接,該均衡器使該光調(diào)制器驅(qū)動器的頻率響應特性發(fā)生峰化的頻帶中的該數(shù)據(jù)信號的功率降低,抑制向該光調(diào)制器輸入的該數(shù)據(jù)信號的波形抖動。
[0007]發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明,由于利用均衡器降低光調(diào)制器驅(qū)動器的頻率響應特性發(fā)生峰化的頻帶中的數(shù)據(jù)信號的功率,所以能夠抑制波形抖動。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1是表示本發(fā)明實施方式I的光發(fā)送機的框圖。
[0009]圖2是表示正相均衡器和反相均衡器的平面圖。
[0010]圖3是正相均衡器的等效電路圖。
[0011]圖4是表示本發(fā)明實施方式I的光調(diào)制器驅(qū)動器的頻率響應特性的圖。
[0012]圖5是表示正相均衡器的頻率響應特性的圖。
[0013]圖6是表示發(fā)生波形抖動的眼圖(eye pattern)的圖。
[0014]圖7是表示本發(fā)明實施方式2的光發(fā)送機的正相均衡器和反相均衡器的圖。[0015]圖8是表示本發(fā)明實施方式2的正相均衡器和反相均衡器的頻率響應特性的圖。
[0016]圖9是表示本發(fā)明實施方式2的正相均衡器和反相均衡器的反射特性的圖。
[0017]圖10是表示本發(fā)明實施方式3的正相均衡器和反相均衡器的圖。
[0018]圖11是表示比較例的正相均衡器和反相均衡器的圖。
[0019]圖12是表示DC耦合型均衡器和AC耦合型均衡器的頻率響應特性的圖。
[0020]圖13是表示DC耦合型均衡器和AC耦合型均衡器的反射特性的圖。
[0021]圖14是表示本發(fā)明實施方式4的光發(fā)送機的圖。
【具體實施方式】
[0022]實施方式1.圖1是表示本發(fā)明實施方式I的光發(fā)送機的框圖。光發(fā)送機10具備被輸入數(shù)據(jù)信號的正相信號的正相信號輸入端子12a和被輸入數(shù)據(jù)信號的反相信號的反相信號輸入端子12b。正相信號輸入端子12a連接于正相均衡器14a。反相信號輸入端子12b連接于反相均衡器14b。
[0023]正相均衡器14a的輸出端和反相均衡器14b的輸出端連接于光調(diào)制器驅(qū)動器16。光調(diào)制器驅(qū)動器16對正相均衡器14a的輸出和反相均衡器14b的輸出進行放大,并將它們加在一起進行輸出。光調(diào)制器驅(qū)動器16的輸出端連接于光調(diào)制器18。光調(diào)制器18將光調(diào)制器驅(qū)動器16的輸出變換為光信號進行輸出。光調(diào)制器18整體式(monolithic)地集成電場吸收型調(diào)制器和半導體激光元件而小型化及低功耗化。用封裝件19對正相均衡器14a、反相均衡器14b、光調(diào)制器驅(qū)動器16以及光調(diào)制器18進行氣密密封。
[0024]圖2是表示正相均衡器和反相均衡器的平面圖。正相均衡器14a具有傳輸正相信號的正相信號線路20。在正相信號線路20電磁耦合有正相耦合線路22。在正相耦合線路22連接有正相電阻部24。在正相電阻部24經(jīng)由金屬膜26連接有接地通路(ground via)28。
[0025]反相均衡器14b具有傳輸反相信號的反相信號線路30。在反相信號線路30電磁耦合有反相耦合線路32。在反相耦合線路32連接有反相電阻部34。在反相電阻部34經(jīng)由金屬膜36連接有接地通路38。正相均衡器14a和反相均衡器14b形成在電介質(zhì)基板40上。電介質(zhì)基板40是對氧化鋁陶瓷材料進行燒結而被形成的。
[0026]通過金屬蒸鍍將正相信號線路20、正相耦合線路22、正相電阻部24、反相信號線路30、反相耦合線路32和反相電阻部34形成在電介質(zhì)基板40上。正相信號線路20和反相信號線路30分別在與電介質(zhì)基板40之間形成特性阻抗為50 Ω的微帶線路,能夠降低損失。圖3是正相均衡器的等效電路圖。反相均衡器14b也是同樣的等效電路圖。正相均衡器14a和反相均衡器14b作為使規(guī)定頻帶中的數(shù)據(jù)信號的功率降低的陷波濾波器來發(fā)揮作用。
[0027]圖4是表示本發(fā)明實施方式I的光調(diào)制器驅(qū)動器的頻率響應特性的圖。光調(diào)制器驅(qū)動器16的頻率響應特性大約以24GHz為中心發(fā)生峰化。而且,正相均衡器14a和反相均衡器14b構成為使光調(diào)制器驅(qū)動器16的頻率響應特性發(fā)生峰化的頻帶中的數(shù)據(jù)信號的功率降低。圖5是表示正相均衡器的頻率響應特性的圖。反相均衡器也具有圖5所示的頻率特性。正相均衡器14a和反相均衡器14b降低將中心頻率設為24GHz的頻帶中的數(shù)據(jù)信號的功率。
[0028]針對本發(fā)明實施方式I的光發(fā)送機10的工作進行說明。數(shù)據(jù)信號的比特速率例如是40Gbit/s。作為數(shù)據(jù)信號的傳輸方式,采用在分開的傳輸線路中傳輸正相信號和反相信號的差動傳輸方式。圖1的實線箭頭表示作為電信號的數(shù)據(jù)信號的流,虛線箭頭表示光信號。例如從多路復用器等高速IC向光發(fā)送機10傳輸數(shù)據(jù)信號。首先,經(jīng)由正相信號輸入端子12a將正相信號輸入至正相均衡器14a。同時,經(jīng)由反相信號輸入端子12b將反相信號輸入至反相均衡器14b。
[0029]在正相均衡器14a和反相均衡器14b中,降低光調(diào)制器驅(qū)動器16的頻率響應特性發(fā)生峰化的頻帶中的數(shù)據(jù)信號的功率。正相均衡器14a的輸出和反相均衡器14b的輸出被輸入至光調(diào)制器驅(qū)動器16。在光調(diào)制器驅(qū)動器16中放大數(shù)據(jù)信號,并將其輸入(供電)至光調(diào)制器18。在光調(diào)制器18中將數(shù)據(jù)信號變換為光信號向外部輸出。這樣,光發(fā)送機10在將電數(shù)據(jù)信號放大到期望的振幅之后將其變換為光信號。
[0030]當使用在頻率響應特性中具有峰化的光調(diào)制器驅(qū)動器16時,數(shù)據(jù)信號的品質(zhì)劣化,產(chǎn)生波形抖動。圖6是表示發(fā)生波形抖動的眼圖的圖。由于波形抖動為數(shù)據(jù)錯誤的原因,所以優(yōu)選將其抑制。因此,在本發(fā)明實施方式I的光發(fā)送機10中,利用正相均衡器14a和反相均衡器14b使光調(diào)制器驅(qū)動器16的頻率響應特性發(fā)生峰化的頻帶中的數(shù)據(jù)信號的功率降低。由此,能夠抑制輸入至光調(diào)制器18的數(shù)據(jù)信號的劣化,并且能夠抑制波形抖動。
[0031]這樣,利用作為陷波濾波器來發(fā)揮作用的正相均衡器14a和反相均衡器14b調(diào)整向光調(diào)制器驅(qū)動器16輸入的數(shù)據(jù)信號,以使光調(diào)制器18不受由于光調(diào)制器驅(qū)動器16的峰化造成的影響。即,正相均衡器14a和反相均衡器14b降低數(shù)據(jù)信號的功率,以便使由光調(diào)制器驅(qū)動器16得到的放大特性平坦化。
[0032]僅通過變更正相耦合線路22和反相耦合線路32的尺寸、正相電阻部24或反相電阻部34的電阻值就能夠容易地調(diào)整正相均衡器14a和反相均衡器14b的作為陷波濾波器的功能。此外,由于用電容器和電阻形成正相均衡器14a和反相均衡器14b,所以能夠使溫度依賴性、隨時間變化變小。因此,能夠?qū)崿F(xiàn)長期使用。此外,由于通過金屬蒸鍍形成正相信號線路20、正相耦合線路22、正相電阻部24、反相信號線路30、反相耦合線路32和反相電阻部34,所以能夠無尺寸偏差地精度良好地形成均衡器。
[0033]正相均衡器和反相均衡器只要能夠降低光調(diào)制器驅(qū)動器16的頻率響應特性發(fā)生峰化的頻帶中的數(shù)據(jù)信號的功率,則以什么樣的方式構成都可以。此外,在本發(fā)明的實施方式I中,使正相均衡器14a和反相均衡器14b作為陷波濾波器來發(fā)揮作用,以阻止特別窄的頻率范圍的數(shù)據(jù)信號。這是為了不阻止與波形抖動的抑制無關的頻率的數(shù)據(jù)信號。因此,如果光調(diào)制器驅(qū)動器16的峰化寬廣,則也可以使正相均衡器和反相均衡器作為阻止頻率范圍比陷波濾波器寬的帶阻濾波器來發(fā)揮作用。
[0034]數(shù)據(jù)信號的傳輸方式不限定于差動傳輸方式。例如在不需要高傳輸速率的情況下,也可以采用LVDS信號。此外,在不將數(shù)據(jù)信號分成正相和反相而以I根傳輸線路傳輸?shù)那闆r下,I個均衡器就足夠了。也可以對光調(diào)制器18采用馬赫曾德爾型光調(diào)制器。當使用馬赫曾德爾型光調(diào)制器時,獲得高消光比且低色散代價的光波形。
[0035]實施方式2.針對本發(fā)明的實施方式2的光發(fā)送機,以與實施方式I的光發(fā)送機的不同點為中心進行說明。本發(fā)明實施方式2的光發(fā)送機的特征在于,正相電阻部的電阻值與反相電阻部的電阻值不同。
[0036]本發(fā)明實施方式2的光調(diào)制器驅(qū)動器的對正相信號的頻率響應特性與對反相信號的頻率響應特性不同。具體而言,光調(diào)制器驅(qū)動器的對正相信號的頻率響應特性具有第一峰化,對反相信號的頻率響應特性具有第二峰化。第一峰化與第二峰化相比,峰化強度更聞。
[0037]圖7是表示本發(fā)明實施方式2的光發(fā)送機的正相均衡器和反相均衡器的圖。正相均衡器14c的正相電阻部24a為了降低正相信號的功率以便抑制起因于第一峰化的波形抖動而具有最佳電阻值(8 Ω)。另一方面,反相均衡器14d的反相電阻部34a為了降低反相信號的功率以便抑制起因于第二峰化的波形抖動而具有最佳電阻值(10 Ω )。
[0038]圖8是表示本發(fā)明實施方式2的正相均衡器和反相均衡器的頻率響應特性(傳輸特性S21)的圖。根據(jù)圖8可知,通過將正相電阻部24a和反相電阻部34a的電阻值設為不同的值,從而濾波器的濾波特性不同。正相均衡器14c較大地降低了發(fā)生第一峰化的頻帶中的正相信號的功率,并且抑制由于第一峰化造成的波形抖動。此外,反相均衡器14d略微地降低了發(fā)生第二峰化的頻帶中的反相信號的功率,并且抑制由于第二峰化造成的波形抖動。這樣,根據(jù)本發(fā)明實施方式2的光發(fā)送機,在光調(diào)制器驅(qū)動器的對正相信號的頻率響應特性與對反相信號的頻率響應特性不同的情況下,能夠抑制波形抖動。
[0039]再有,通過將正相電阻部24a和反相電阻部34a的電阻值設為不同的值,從而正相均衡器14c和反相均衡器14d的反射特性也不同。圖9是表示本發(fā)明實施方式2的正相均衡器和反相均衡器的反射特性Sll的圖。
[0040]然而,本發(fā)明實施方式2的光發(fā)送機在第一峰化與第二峰化的強度不同的情況下,對正相信號和反相信號分別進行最佳濾波(功率降低),抑制波形抖動。因此,也能夠改變正相均衡器和反相均衡器的電阻值以外的參數(shù)來獲得同樣的效果。
[0041]例如,也可以將正相耦合線路22的沿正相信號線路20的長度和反相耦合線路32的沿反相信號線路30的長度設為不同的值。此外,也可以將正相耦合線路22的寬度和反相耦合線路32的寬度設為不同的值。此外,也可以將從正相耦合線路22到正相信號線路20的距離和從反相耦合線路32到反相信號線路30的距離設為不同的值。此外,也可以將從正相耦合線路22到光調(diào)制器驅(qū)動器的距離和從反相耦合線路32到光調(diào)制器驅(qū)動器的距離設為不同的值。
[0042]實施方式3.針對本發(fā)明實施方式3的光發(fā)送機,以與實施方式I的光發(fā)送機的不同點為中心進行說明。本發(fā)明實施方式3的光發(fā)送機的特征在于,在正相均衡器和反相均衡器的信號線路上分別電磁耦合有多個耦合線路。
[0043]圖10是表示本發(fā)明實施方式3的正相均衡器和反相均衡器的圖。在正相信號線路20電磁耦合有追加正相耦合線路52。在追加正相耦合線路52連接有追加正相電阻部54。在追加正相電阻部54經(jīng)由金屬部56連接有追加接地通路58。這樣,對正相信號設置有正相均衡器14a和追加正相均衡器50這兩個均衡器。
[0044]在反相信號線路30電磁耦合有追加反相耦合線路62。在追加反相耦合線路62連接有追加反相電阻部64。在追加反相電阻部64經(jīng)由金屬部66連接有追加接地通路68。這樣,對反相信號設置有反相均衡器14b和追加反相均衡器60這兩個均衡器。再有,正相電阻部24、追加正相電阻部54、反相電阻部34以及追加反相電阻部64的電阻值分別為9Ω。
[0045]在此,針對比較例進行說明。圖11是表示比較例的正相均衡器和反相均衡器的圖。比較例的正相均衡器100具備與正相信號線路102直接連接的電阻部104。而且,在電阻部104連接有金屬部106。另一方面,比較例的反相均衡器110具備與反相信號線路112直接連接的電阻部114。而且,在電阻部114連接有金屬部116。電阻部104和電阻部114的電阻值分別為20 Ω。比較例的正相均衡器和反相均衡器統(tǒng)稱為DC耦合型均衡器。與此相對地,將本發(fā)明實施方式3的正相均衡器14a、追加正相均衡器50、反相均衡器14b和追加反相均衡器60統(tǒng)稱為AC耦合型均衡器。
[0046]圖12是表示DC耦合型均衡器和AC耦合型均衡器的頻率響應特性的圖??芍?AC耦合型均衡器在低頻區(qū)域中具有更良好的傳輸特性。圖13是表示DC耦合型均衡器和AC耦合型均衡器的反射特性的圖??芍?,AC耦合型均衡器在寬頻帶上為更良好的反射特性。
[0047]根據(jù)本發(fā)明實施方式3的光發(fā)送機,與使用DC耦合型均衡器的情況相比,能夠?qū)崿F(xiàn)良好的傳輸特性和反射特性。此外,由于對正相信號和反相信號分別設置有2個均衡器,所以能夠提高在規(guī)定頻帶中降低功率的效果。因此,作為在峰化強度高的情況下的對策特別有效。
[0048]實施方式4.針對本發(fā)明的實施方式4的光發(fā)送機,以與實施方式I的光發(fā)送機的不同點為中心進行說明。本發(fā)明實施方式4的光發(fā)送機的特征在于,將均衡器配置在光調(diào)制器驅(qū)動器的輸出側。
[0049]圖14是表示本發(fā)明實施方式4的光發(fā)送機的圖。光發(fā)送機120具備光調(diào)制器驅(qū)動器16。而且,將光調(diào)制器驅(qū)動器16的輸出經(jīng)由端子122輸入至均衡器124。用光調(diào)制器18將均衡器124的輸出變換為光信號并向外部輸出。
[0050]均衡器124作為使光調(diào)制器驅(qū)動器16的頻率響應特性發(fā)生峰化的頻帶中的光調(diào)制器驅(qū)動器16的輸出功率降低的陷波濾波器來發(fā)揮作用。作為均衡器124,使用在此之前說明的正相均衡器或反相均衡器的任一個。均衡器124和光調(diào)制器18被封裝件130氣密密封。
[0051]根據(jù)本發(fā)明實施方式4的光發(fā)送機,由于在用光調(diào)制器驅(qū)動器耦合了正相信號和反相信號之后用均衡器降低規(guī)定頻帶的功率,所以通過使用實施方式1-3的任一個中所說明的正相均衡器和反相均衡器的一方的均衡器,從而能夠獲得本發(fā)明的效果。因此,能夠使均衡器小型化。
[0052]附圖標記的說明:
10光發(fā)送機、12a正相信號輸入端子、12b反相信號輸入端子、14a正相均衡器、14b反相均衡器、14c正相均衡器、14d反相均衡器、16光調(diào)制器驅(qū)動器、18光調(diào)制器、19封裝件、20正相信號線路、22正相耦合線路、24正相電阻部、26金屬膜、28接地通路、30反相信號線路、32反相耦合線路、34反相電阻部、36金屬膜、38接地通路、40電介質(zhì)基板、50追加正相均衡器、60追加反相均衡器。
【權利要求】
1.一種光發(fā)送機,其特征在于,具備: 均衡器,被輸入數(shù)據(jù)信號; 光調(diào)制器驅(qū)動器,放大所述均衡器的輸出;以及 光調(diào)制器,將所述光調(diào)制器驅(qū)動器的輸出變換為光信號并輸出, 所述均衡器具有: 信號線路,傳輸所述數(shù)據(jù)信號; 耦合線路,與所述信號線路電磁耦合; 電阻部,與所述耦合線路連接;以及 接地通路,與所述電阻部連接, 所述均衡器使所述光調(diào)制器驅(qū)動器的頻率響應特性發(fā)生峰化的頻帶中的所述數(shù)據(jù)信號的功率降低,抑制向所述光調(diào)制器輸入的所述數(shù)據(jù)信號的波形抖動。
2.根據(jù)權利要求1所述的光發(fā)送機,其特征在于, 所述均衡器具有: 正相均衡器,被輸入所述數(shù)據(jù)信號的正相信號;以及 反相均衡器,被輸入所述數(shù)據(jù)信號的反相信號, 所述光調(diào)制器驅(qū)動器放大所述正相均衡器的輸出和所述反相均衡器的輸出,并將它們加在一起進行輸出, 所述光調(diào)制器驅(qū)動器的對所述正相信號的頻率響應特性具有第一峰化, 所述光調(diào)制器驅(qū)動器的對所述反相信號的頻率響應特性具有第二峰化, 所述正相均衡器降低所述正相信號的功率,以便抑制被輸入至所述光調(diào)制器的所述數(shù)據(jù)信號的起因于所述第一峰化的波形抖動, 所述反相均衡器降低所述反相信號的功率,以便抑制被輸入至所述光調(diào)制器的所述數(shù)據(jù)信號的起因于所述第二峰化的波形抖動。
3.根據(jù)權利要求2所述的光發(fā)送機,其特征在于, 所述正相均衡器具有: 正相信號線路,傳輸所述正相信號; 正相耦合線路,與所述正相信號線路電磁耦合; 正相電阻部,與所述正相耦合線路連接;以及 接地通路,與所述正相電阻部連接, 所述反相均衡器具有: 反相信號線路,傳輸所述反相信號; 反相耦合線路,與所述反相信號線路電磁耦合; 反相電阻部,與所述反相耦合線路連接;以及 接地通路,與所述反相電阻部連接。
4.根據(jù)權利要求3所述的光發(fā)送機,其特征在于, 所述第一峰化與所述第二峰化的強度不同, 所述正相耦合線路的沿所述 正相信號線路的長度與所述反相耦合線路的沿所述反相信號線路的長度不同。
5.根據(jù)權利要求3所述的光發(fā)送機,其特征在于,所述第一峰化與所述第二峰化的強度不同, 所述正相耦合線路的寬度與所述反相耦合線路的寬度不同。
6.根據(jù)權利要求3所述的光發(fā)送機,其特征在于, 所述第一峰化與所述第二峰化的強度不同, 所述正相電阻部的電阻值與所述反相電阻部的電阻值不同。
7.根據(jù)權利要求3所述的光發(fā)送機,其特征在于, 所述第一峰化與所述第二峰化的強度不同, 從所述正相耦合線路到所述正相信號線路的距離與從所述反相耦合線路到所述反相信號線路的距離不同。
8.根據(jù)權利要求3所述的光發(fā)送機,其特征在于, 所述第一峰化與所述第二峰化的強度不同, 從所述正相耦合線路到所述光調(diào)制器驅(qū)動器的距離與從所述反相耦合線路到所述光調(diào)制器驅(qū)動器的距離不同。
9.根據(jù)權利要求1所述的光發(fā)送機,其特征在于, 所述均衡器具備: 追加耦合線路,與所述信號線路電磁耦合;` 追加電阻部,與所述追加耦合線路連接;以及 追加接地通路,與所述追加電阻部連接。
10.一種光發(fā)送機,其特征在于,具備: 光調(diào)制器驅(qū)動器,放大數(shù)據(jù)信號; 均衡器,被輸入所述光調(diào)制器驅(qū)動器的輸出;以及 光調(diào)制器,將所述均衡器的輸出變換為光信號并輸出, 所述均衡器具有: 信號線路,傳輸所述數(shù)據(jù)信號; 耦合線路,與所述信號線路電磁耦合; 電阻部,與所述耦合線路連接;以及 接地通路,與所述電阻部連接, 所述均衡器使所述光調(diào)制器驅(qū)動器的頻率響應特性發(fā)生峰化的頻帶中的所述光調(diào)制器驅(qū)動器的輸出功率降低。
11.根據(jù)權利要求1至10的任一項所述的光發(fā)送機,其特征在于, 所述光調(diào)制器具備: 電場吸收型調(diào)制器;以及 半導體激光兀件, 所述電場吸收型調(diào)制器和所述半導體激光元件被整體式地集成。
12.根據(jù)權利要求1至10的任一項所述的光發(fā)送機,其特征在于, 所述光調(diào)制器是馬赫曾德爾型光調(diào)制器。
【文檔編號】H04B10/58GK103516437SQ201310252052
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年6月24日 優(yōu)先權日:2012年6月25日
【發(fā)明者】加治屋哲, 八田龍夫, 上野雄銳 申請人:三菱電機株式會社
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