精密調(diào)諧升降基臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及微波等離子體反應(yīng)腔內(nèi)的諧振裝置，尤其涉及一種精密調(diào)諧升降基臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]微波等離子體反應(yīng)腔通過大小調(diào)諧基臺(tái)進(jìn)行精密調(diào)諧。目前，公知的是大調(diào)諧基臺(tái)與主基臺(tái)之間通過帶法蘭盤的大波紋管進(jìn)行密封。大波紋管兩端焊接連接法蘭盤，大波紋管一端與大調(diào)諧基臺(tái)一端通過法蘭盤密封連接，大波紋管另一端與主基臺(tái)一端通過橡膠密封圈進(jìn)行密封。由于大波紋管材質(zhì)為304不銹鋼，且工作時(shí)反應(yīng)腔內(nèi)部充滿氣體，密封要求較高，所以大波紋管與法蘭盤的焊接要求高，焊接難度大，導(dǎo)致帶有大波紋管的裝置造價(jià)曰蟲印貝ο
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是解決上述提出的問題，提供能夠在保持密封效能條件下降低成本的一種精密調(diào)諧升降基臺(tái)。
[0004]本實(shí)用新型的目的是以如下方式實(shí)現(xiàn)的:一種精密調(diào)諧升降基臺(tái)，精密調(diào)諧升降基臺(tái)與反應(yīng)腔體構(gòu)成微波等離子反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔體底部固定在主基臺(tái)上，位于所述主基臺(tái)上套設(shè)有同軸間隙配合的大調(diào)諧基臺(tái)和小調(diào)諧基臺(tái)，其中所述小調(diào)諧基臺(tái)位于反應(yīng)腔體的中軸線上，所述大調(diào)諧基臺(tái)與主基臺(tái)之間通過O型密封圈和金屬密封塊進(jìn)行密封。
[0005]更進(jìn)一步的優(yōu)化方案是，上述的精密調(diào)諧升降基臺(tái)，所述O型密封圈固定在大調(diào)諧基臺(tái)外側(cè)面上環(huán)狀溝槽內(nèi)，位于大調(diào)諧基臺(tái)和金屬密封塊之間間隙內(nèi)。
[0006]更進(jìn)一步的優(yōu)化方案是，上述的精密調(diào)諧升降基臺(tái)，所述金屬密封塊與主基臺(tái)之間通過橡膠圈密封連接。
[0007]更進(jìn)一步的優(yōu)化方案是，上述的精密調(diào)諧升降基臺(tái)，所述大調(diào)諧基臺(tái)底端通過法蘭盤與小波紋管密封連接。
[0008]更進(jìn)一步的優(yōu)化方案是，上述的精密調(diào)諧升降基臺(tái)，所述小調(diào)諧基臺(tái)底端與小波紋管一端通過法蘭盤密封連接。
[0009]更進(jìn)一步的優(yōu)化方案是，上述的精密調(diào)諧升降基臺(tái)，所述主基臺(tái)與反應(yīng)腔體焊接。
[0010]更進(jìn)一步的優(yōu)化方案是，上述的精密調(diào)諧升降基臺(tái)，所述反應(yīng)腔體端部連接將微波傳送到反應(yīng)腔體內(nèi)的模式轉(zhuǎn)換器，所述模式轉(zhuǎn)換器橫向開口一端連接短路活塞，其橫向開口另一端連接銷釘調(diào)節(jié)器。
[0011]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型的升降基臺(tái)不僅能夠精密調(diào)諧微波等離子體反應(yīng)腔，而且大調(diào)諧基臺(tái)與主基臺(tái)之間通過O型密封圈和金屬密封塊進(jìn)行密封；由于O型橡膠圈材質(zhì)是硅橡膠，硅橡膠具有極好的密封性能，可置高溫下加熱，不變形，不產(chǎn)生有害物質(zhì)，良好的抗拉力性能，長期使用不變黃不褪色，耐電暈性，耐電弧性、耐老化性能好、耐高低溫，可在-60度?+200度溫度范圍內(nèi)長期使用。工作時(shí)，反應(yīng)腔內(nèi)部氣壓較低。在低壓情況下，O型橡膠圈可以保證微波等離子體反應(yīng)腔內(nèi)的密封性，且成本較低，維護(hù)方便。
【附圖說明】
[0012]為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中
[0013]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
:
[0014]見圖1所示，一種精密調(diào)諧升降基臺(tái)，精密調(diào)諧升降基臺(tái)與反應(yīng)腔體I構(gòu)成微波等離子反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔體I，底部固定在主基臺(tái)2上，位于所述主基臺(tái)2上套設(shè)有同軸間隙配合的大調(diào)諧基臺(tái)3和小調(diào)諧基臺(tái)4，其中所述小調(diào)諧基臺(tái)4位于反應(yīng)腔體I的中軸線上，所述大調(diào)諧基臺(tái)3與主基臺(tái)2之間通過O型密封圈12和金屬密封塊13進(jìn)行密封。所述O型密封圈12固定在大調(diào)諧基臺(tái)3外側(cè)面上環(huán)狀溝槽內(nèi)，位于大調(diào)諧基臺(tái)3和金屬密封塊13之間間隙內(nèi)。所述金屬密封塊13與主基臺(tái)2之間通過橡膠圈14密封連接。所述大調(diào)諧基臺(tái)3底端通過法蘭盤與小波紋管6密封連接。所述小調(diào)諧基臺(tái)4底端與小波紋管6 —端通過法蘭盤密封連接。所述主基臺(tái)2與反應(yīng)腔體I焊接。所述反應(yīng)腔體I端部連接將微波傳送到反應(yīng)腔體I內(nèi)的模式轉(zhuǎn)換器7，所述模式轉(zhuǎn)換器7橫向開口一端連接短路活塞8，其橫向開口另一端連接銷釘調(diào)節(jié)器9。
[0015]在圖1所示實(shí)施例中，反應(yīng)腔體I與箱體11通過螺栓固定連接，基片10位于小調(diào)諧基臺(tái)4上，大調(diào)諧基臺(tái)3和小調(diào)諧基臺(tái)4之間采用間隙配合。同時(shí)，大調(diào)諧基臺(tái)3的一端和小波紋管6 —端通過法蘭盤密封連接，小調(diào)諧基臺(tái)4的一端與小波紋管6的另一端通過法蘭盤密封連接。金屬密封塊13與大調(diào)諧基臺(tái)3之間是間隙配合，O型橡膠圈12固定在大調(diào)諧基臺(tái)3外側(cè)面上環(huán)狀溝槽內(nèi)，位于大調(diào)諧基臺(tái)3和金屬密封塊13之間間隙內(nèi)，起到密封作用，主基臺(tái)2與大調(diào)諧基臺(tái)3之間是間隙配合，主基臺(tái)2與反應(yīng)腔體I之間焊接連接。工作時(shí)，金屬密封塊13與主基臺(tái)2通過橡膠圈14進(jìn)行密封，O型橡膠圈12在金屬密封塊13的范圍內(nèi)滑動(dòng)，起到密封大調(diào)諧基臺(tái)3的作用。分別升降大調(diào)諧基臺(tái)3和小調(diào)諧基臺(tái)4，實(shí)現(xiàn)對(duì)微波等離子體反應(yīng)腔的精密調(diào)諧。
[0016]反應(yīng)腔體I直徑180暈米，尚220暈米，材質(zhì)是304不鎊鋼；大調(diào)諧基臺(tái)3和小調(diào)諧基臺(tái)4的直徑分別為100毫米和50毫米，高度分別為350毫米和510毫米，大調(diào)諧基臺(tái)3材質(zhì)是304不銹鋼，小調(diào)諧基臺(tái)4材質(zhì)是304不銹鋼；主基臺(tái)2內(nèi)徑是100毫米，高度為48毫米，材質(zhì)是304不銹鋼；小波紋管6壁厚0.2毫米，型號(hào)是KF40FXC100，材質(zhì)是304不銹鋼。
[0017]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種精密調(diào)諧升降基臺(tái)，其特征在于:精密調(diào)諧升降基臺(tái)與反應(yīng)腔體(I)構(gòu)成微波等離子反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔體(I)底部固定在主基臺(tái)(2)上，位于所述主基臺(tái)(2)上套設(shè)有同軸間隙配合的大調(diào)諧基臺(tái)⑶和小調(diào)諧基臺(tái)(4)，其中所述小調(diào)諧基臺(tái)(4)位于反應(yīng)腔體(I)的中軸線上，所述大調(diào)諧基臺(tái)⑶與主基臺(tái)⑵之間通過O型密封圈(12)和金屬密封塊(13)進(jìn)行密封。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密調(diào)諧升降基臺(tái)，其特征在于:所述O型密封圈(12)固定在大調(diào)諧基臺(tái)(3)外側(cè)面上環(huán)狀溝槽內(nèi)，位于大調(diào)諧基臺(tái)(3)和金屬密封塊(13)之間間隙內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的精密調(diào)諧升降基臺(tái)，其特征在于:所述金屬密封塊(13)與主基臺(tái)(2)之間通過橡膠圈(14)密封連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的精密調(diào)諧升降基臺(tái)，其特征在于:所述大調(diào)諧基臺(tái)(3)底端通過法蘭盤與小波紋管(6)密封連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的精密調(diào)諧升降基臺(tái)，其特征在于:所述小調(diào)諧基臺(tái)(4)底端與小波紋管(6) —端通過法蘭盤密封連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的精密調(diào)諧升降基臺(tái)，其特征在于:所述主基臺(tái)(2)與反應(yīng)腔體⑴焊接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的精密調(diào)諧升降基臺(tái)，其特征在于:所述反應(yīng)腔體(I)端部連接將微波傳送到反應(yīng)腔體(I)內(nèi)的模式轉(zhuǎn)換器(7)，所述模式轉(zhuǎn)換器(7)橫向開口一端連接短路活塞(8)，其橫向開口另一端連接銷釘調(diào)節(jié)器(9)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種精密調(diào)諧升降基臺(tái)，不僅能夠精密調(diào)諧微波等離子體反應(yīng)腔，而且所述大調(diào)諧基臺(tái)與主基臺(tái)之間通過O型密封圈和金屬密封塊進(jìn)行密封，由于O型橡膠圈材質(zhì)是硅橡膠，硅橡膠具有極好的密封性能，可置高溫下加熱，不變形，不產(chǎn)生有害物質(zhì)，良好的抗拉力性能，長期使用不變黃不褪色，耐電暈性，耐電弧性、耐老化性能好、耐高低溫，可在-60度～+200度溫度范圍內(nèi)長期使用，工作時(shí)，反應(yīng)腔內(nèi)部氣壓較低，在低壓情況下，O型橡膠圈可以保證微波等離子體反應(yīng)腔內(nèi)的密封性，且成本較低，維護(hù)方便。
【IPC分類】H05H1-46
【公開號(hào)】CN204291552
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420752779
【發(fā)明人】劉小利, 周學(xué)芹, 史玉芬, 趙海棟
【申請(qǐng)人】劉小利
【公開日】2015年4月22日
【申請(qǐng)日】2014年12月5日