電子設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及電子設(shè)備的制造方法，特別是設(shè)及具備對(duì)有機(jī)娃樹脂層和玻璃基板之 間的剝離線供給規(guī)定的有機(jī)溶劑進(jìn)行分離(剝離)的分離工序的電子設(shè)備的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來，太陽能電池(PV)、液晶面板化CD)、有機(jī)化面板(OLED)等設(shè)備（電子裝置） 的薄型化、輕量化正在進(jìn)行，運(yùn)些設(shè)備中使用的玻璃基板的薄板化正在進(jìn)行。由于薄板化而 玻璃基板的強(qiáng)度不足時(shí)，設(shè)備的制造工序中，玻璃基板的處理性降低。
[0003]因此，一直W來，廣泛采用了在比最終厚度還厚的玻璃基板上形成設(shè)備用構(gòu)件(例 如薄膜晶體管)后通過化學(xué)蝕刻處理將玻璃基板薄板化的方法。
[0004] 然而，對(duì)于該方法，例如將1張玻璃基板的厚度從0.7mm薄板化至0.2mm、0.Imm的情 況下，用蝕刻液削去原來的玻璃基板材料的大半，因此在生產(chǎn)率、原材料的使用效率的觀點(diǎn) 上不優(yōu)選。另外，上述利用化學(xué)蝕刻的玻璃基板的薄板化方法中，在玻璃基板表面存在微細(xì) 的劃痕時(shí)，由于蝕刻處理而W劃痕作為起點(diǎn)形成微細(xì)的凹陷(蝕痕），有時(shí)變?yōu)楣鈱W(xué)缺陷。
[0005]最近，為了應(yīng)對(duì)上述問題，提出了如下方法:準(zhǔn)備層疊有薄板玻璃基板和加強(qiáng)板的 玻璃層疊體，在玻璃層疊體的薄板玻璃基板上形成顯示裝置等電子設(shè)備用構(gòu)件，然后從薄 板玻璃基板上分離支撐板(例如參照專利文獻(xiàn)1)。加強(qiáng)板具有支撐板和固定于該支撐板上 的有機(jī)娃樹脂層，有機(jī)娃樹脂層和薄板玻璃基板可剝離地密合。玻璃層疊體的有機(jī)娃樹脂 層和薄板玻璃基板的界面被剝離，從薄板玻璃基板分離出的加強(qiáng)板與新的薄板玻璃基板層 疊，可W作為玻璃層疊體再利用。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn)
[000引專利文獻(xiàn)1:國際公開第2007/018028號(hào)
【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 發(fā)明要解決的問題
[0010] 近年來，伴隨著形成于玻璃層疊體的玻璃基板上的電子設(shè)備用構(gòu)件的高功能化、 復(fù)雜化，形成電子設(shè)備用構(gòu)件時(shí)的溫度變得更高、且暴露于該高溫的時(shí)間也需要長時(shí)間的 情況不少。
[0011] 專利文獻(xiàn)1所記載的玻璃層疊體在大氣中300°C、1小時(shí)的處理中不會(huì)特別產(chǎn)生問 題。然而，根據(jù)本發(fā)明人等的研究，參照專利文獻(xiàn)1，對(duì)玻璃層疊體進(jìn)行350°C、1小時(shí)的處理 時(shí)，將玻璃基板從有機(jī)娃樹脂層表面剝離時(shí)，玻璃基板未從樹脂層表面剝離，其一部分被破 壞，或者樹脂層的樹脂的一部分殘留在玻璃基板上，因此，作為結(jié)果，形成電子設(shè)備用構(gòu)件 后，電子設(shè)備的分離無法順利進(jìn)行，有時(shí)導(dǎo)致電子設(shè)備的生產(chǎn)率降低。
[0012] 本發(fā)明是鑒于上述問題而作出的，目的在于，提供即使為高溫加熱處理?xiàng)l件后有 機(jī)娃樹脂層與玻璃基板的剝離也容易地進(jìn)行的電子設(shè)備的制造方法。
[001引用于解決問題的方案
[0014] 本發(fā)明人對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的問題進(jìn)行了研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn):通過對(duì)有機(jī)娃樹脂層和玻璃 基板的剝離界面的邊界線即剝離線供給規(guī)定性質(zhì)的有機(jī)溶劑，剝離會(huì)容易地進(jìn)行，從而完 成了本發(fā)明。
[0015] 目P，為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的第1方式為一種電子設(shè)備的制造方法，其具備如 下工序:從依次具有支撐基材、有機(jī)娃樹脂層、玻璃基板和電子設(shè)備用構(gòu)件的帶電子設(shè)備用 構(gòu)件的層疊體中，W上述有機(jī)娃樹脂層和上述玻璃基板的界面作為剝離面，將包含上述支 撐基材和上述有機(jī)娃樹脂層的帶有機(jī)娃樹脂層的支撐基材與包含上述玻璃基板和上述電 子設(shè)備用構(gòu)件的電子設(shè)備分離，得到上述電子設(shè)備，其中，對(duì)有機(jī)娃樹脂層和上述玻璃基板 的剝離界面的邊界線即剝離線供給溶解度參數(shù)超過10的有機(jī)溶劑或上述有機(jī)溶劑和水的 混合溶液，進(jìn)行上述帶有機(jī)娃樹脂層的支撐基材與上述電子設(shè)備的分離。
[0016] 第1方式中，有機(jī)溶劑優(yōu)選包含任選具有面原子的醇類溶劑或非質(zhì)子性極性溶劑。 [0017]第巧式中，有機(jī)溶劑優(yōu)選包含選自由碳數(shù)1~6的醇類溶劑、二甲基甲酯胺(DMF)、 N，N-二甲基乙酷胺(DMAc)、二甲基亞諷(DMSO)、N-甲基化咯燒酬(醒P)、環(huán)下諷和乙臘組成 的組中的至少1種。
[0018] 第1方式中，有機(jī)娃樹脂層中的有機(jī)娃樹脂優(yōu)選為有機(jī)締基聚硅氧烷和有機(jī)氨聚 硅氧烷的反應(yīng)固化物。
[0019] 另外，優(yōu)選的是，前述有機(jī)娃樹脂為加成反應(yīng)型有機(jī)娃的固化物，前述加成反應(yīng)型 有機(jī)娃為包含下述(a)和(b)的固化性有機(jī)娃樹脂組合物，前述有機(jī)娃樹脂層是通過使前述 固化性有機(jī)娃樹脂組合物在前述支撐基材的表面固化而形成的：（a)每1分子中具有至少2 個(gè)締基的線狀有機(jī)聚硅氧烷、(b)每1分子中具有至少3個(gè)與娃原子鍵合的氨原子、且與娃原 子鍵合的氨原子的至少1個(gè)存在于分子末端的娃原子上的線狀有機(jī)聚硅氧烷。
[0020]發(fā)明的效果
[0021] 根據(jù)本發(fā)明，可W提供即使為高溫加熱處理?xiàng)l件后有機(jī)娃樹脂層與玻璃基板的剝 離也容易地進(jìn)行的電子設(shè)備的制造方法。
【附圖說明】
[0022] 圖1的(A)~圖1的（C)為依次示出本發(fā)明的電子設(shè)備的制造方法的分離工序的步 驟的示意性截面圖。
[0023] 圖2的(A)和圖2的(B)分別為圖1的(B)的狀態(tài)的立體截面圖和頂視圖。
[0024] 圖3的(A)和圖3的(B)為示出電子設(shè)備的構(gòu)成例的示意性截面圖。
[0025] 圖4的(A)~圖4的（C)為依次示出帶電子設(shè)備用構(gòu)件的層疊體的制造方法的各工 序的步驟的示意性截面圖。
[0026] 圖5為剝離強(qiáng)度的測(cè)定裝置的概要圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]W下，對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方案參照附圖來說明，但本發(fā)明不限定于W下的實(shí)施 方式，可W在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，對(duì)W下實(shí)施方式加W各種變形和置換。
[0028] 作為本發(fā)明的電子設(shè)備的制造方法的特征，可W舉出如下方面:對(duì)有機(jī)娃樹脂層 和玻璃基板的剝離界面的邊界線即剝離線供給顯示出規(guī)定的溶解度參數(shù)(SP值）的有機(jī)溶 劑或上述有機(jī)溶劑和水的混合溶液。可W推測(cè):通過供給上述有機(jī)溶劑或混合溶液，有機(jī)溶 劑侵入到有機(jī)娃樹脂層的玻璃基板側(cè)的表層，使有機(jī)娃樹脂層和玻璃基板的界面粘接力降 低，因此，有機(jī)娃樹脂層和玻璃基板的剝離更容易地進(jìn)行。
[0029]本發(fā)明的電子設(shè)備的制造方法至少具有如下工序(分離工序）：從依次具有支撐基 材、有機(jī)娃樹脂層、玻璃基板和電子設(shè)備用構(gòu)件的帶電子設(shè)備用構(gòu)件的層疊體中，W有機(jī)娃 樹脂層和玻璃基板的界面作為剝離面，將包含支撐基材和有機(jī)娃樹脂層的帶有機(jī)娃樹脂層 的支撐基材與包含玻璃基板和電子設(shè)備用構(gòu)件的電子設(shè)備分離，得到電子設(shè)備。
[0030] 圖1的(A)~圖1的（C)為依次示出本發(fā)明的電子設(shè)備的制造方法的分離工序的步 驟的示意性截面圖。W下，邊參照?qǐng)D1的(A)~圖1的(C)邊對(duì)分離工序的步驟進(jìn)行詳述。
[0031]首先，準(zhǔn)備帶電子設(shè)備用構(gòu)件的層疊體，其具有支撐基材、配置于支撐基材上的有 機(jī)娃樹脂層、配置于有機(jī)娃樹脂層上的玻璃基板和配置于玻璃基板上的電子設(shè)備用構(gòu)件。 圖1的(A)為本發(fā)明的帶電子設(shè)備用構(gòu)件的層疊體的一例的示意性截面圖。
[0032]如圖1的(A)所示那樣，帶電子設(shè)備用構(gòu)件的層疊體10依次具有:支撐基材12、有機(jī) 娃樹脂層14、玻璃基板16和電子設(shè)備用構(gòu)件18。需要說明的是，對(duì)于有機(jī)娃樹脂層14,優(yōu)選 其一個(gè)面固定于支撐基板12的層，并且另一個(gè)面與玻璃基板16的第1主表面相接觸，有機(jī)娃 樹脂層14和玻璃基板16的界面可剝離地密合。
[0033]由支撐基材12的層和有機(jī)娃樹脂層14構(gòu)成的2層部分在制造液晶面板等電子設(shè)備 用構(gòu)件的后述的構(gòu)件形成工序中加強(qiáng)玻璃基板16。由支撐基材12的層和有機(jī)娃樹脂層14構(gòu) 成的2層部分也稱為帶有機(jī)娃樹脂層的支撐基材20。
[0034]另外，由玻璃基板16和電子設(shè)備用構(gòu)件18構(gòu)成的2層部分也稱為電子設(shè)備22。
[0035] 需要說明的是，對(duì)于構(gòu)成帶電子設(shè)備用構(gòu)件的層疊體的各構(gòu)件和其制造步驟，在 后段中歸納說明。
[0036]首先，對(duì)分離步驟進(jìn)行說明，所述分離步驟W有機(jī)娃樹脂層和玻璃基板的界面作 為剝離面，從帶電子設(shè)備用構(gòu)件的層疊體中分離帶有機(jī)娃樹脂層的支撐基材和電子設(shè)備。
[0037]首先，從帶電子設(shè)備用構(gòu)件的層疊體中分離帶有機(jī)娃樹脂層的支撐基材和電子設(shè) 備時(shí)，優(yōu)選對(duì)有機(jī)娃樹脂層和玻璃基板的界面賦予剝離的起點(diǎn)。例如，在圖1的(A)中的玻璃 基板16和有機(jī)娃樹脂層14的界面插入銳利的刀具狀物體，賦予剝離的起點(diǎn)。
[0038]接著，如圖1的(B)所示那樣，進(jìn)行帶有機(jī)娃樹脂層的支撐基材20和電子設(shè)備22的 分離。此時(shí)，對(duì)有機(jī)娃樹脂層14和玻璃基板16的剝離界面的邊界線即剝離線供給溶解度參 數(shù)超過10的有機(jī)溶劑或該有機(jī)溶劑和水的混合溶液(將它們統(tǒng)稱為溶液24)。
[0039]圖2的(A)和圖2的(B)示出圖1的(B)的狀態(tài)的立體截面圖和頂視圖，示出了剝離線 X(剝離邊界線）。剝離線X為表示有機(jī)娃樹脂層14和玻璃基板16沒有被剝離的部分與有機(jī)娃 樹脂層14和玻璃基板16被剝離的部分的邊界的線。如圖2的(A)和圖2的(B)所示那樣，邊提 起電子設(shè)備22的一端側(cè)邊進(jìn)行剝離時(shí)，剝離線X從電子設(shè)備的一端側(cè)向另一端側(cè)(從圖2的 (B)的右側(cè)起向左側(cè))移動(dòng)。
[0040]作為對(duì)剝離線供給的有機(jī)溶劑，使用溶解度參數(shù)(SP值:cal/cm3)超過10的有機(jī)溶 劑。其中，在有機(jī)娃樹脂層和玻璃基板的剝離更良好地進(jìn)行的方面，有機(jī)溶劑的溶解度參數(shù) 優(yōu)選為11W上。上限沒有特別限制，從濕潤性的方面出發(fā)，通常優(yōu)選為23W下。
[0041] 有機(jī)溶劑可W僅使用巧巾也可W組合使用巧巾W上。
[0042] 需要說明的是，溶解度參數(shù)（S)是指，將有機(jī)溶劑的每1摩爾的蒸發(fā)熱設(shè)為AH (cal/mol)、摩爾體積設(shè)為Wcm3 ?mol)時(shí)由S=(AH/V)i/2所定義的值。
[0043] 另外，有機(jī)溶劑相對(duì)于后述有機(jī)娃樹脂層的接觸角沒有特別限制，在有機(jī)娃樹脂 層和玻璃基板的剝離更良好地進(jìn)行的方面，優(yōu)選為90°W下。
[0044] 需要說明的是，接觸角的測(cè)定方法如下：使用協(xié)和界面科學(xué)株式會(huì)社制造的PCA-1，將液滴的滴加量設(shè)為化1，在23°C下對(duì)每1個(gè)樣品面滴加5點(diǎn)，測(cè)定滴加60秒后的接觸角。 將去除了 5點(diǎn)的接觸角中的最大值、最小值的各1點(diǎn)后的3點(diǎn)的接觸角的平均值作為接觸角 求出。
[0045] 另外，作為對(duì)剝離線供給的溶液，還可W舉出：溶解度參數(shù)超過10的有機(jī)溶劑和水 的混合溶液。有機(jī)溶劑的定義如上所述。
[0046] 混合溶液中的有機(jī)溶劑的含量沒有特別限制，在有機(jī)娃樹脂層和玻璃基板的剝離 更良好地進(jìn)行的方面，相對(duì)于混合溶液總量，優(yōu)選為10質(zhì)量％ ^上，更優(yōu)選為20質(zhì)量％W 上。上限沒有特別限制。
[0047] 作為有機(jī)溶劑的優(yōu)選方案，在有機(jī)娃樹脂層和玻璃基板的剝離更良好地進(jìn)行的方 面，可W舉出:滿足上述溶解度參數(shù)的、任選具有面原子的醇類溶劑或非質(zhì)子性極性溶劑。
[0048] 作為醇類溶劑，在有機(jī)娃樹脂層和玻璃基板的剝離更良好地進(jìn)行的方面，可W優(yōu) 選舉出碳數(shù)1~6的醇類溶劑，更優(yōu)選為碳數(shù)1~3的醇類溶劑。具體而言，可W舉出：乙醇、丙 醇、下醇、戊醇、己醇等。需要說明的是，醇類溶劑可W為直鏈狀、支鏈狀、環(huán)狀的任意種。
[0049] 另外，醇類溶劑中也可W包含面原子。即，也可W為氨原子被面原子取代而得的醇 類溶劑。作為面原子，可W舉出:氣原子、漠原子、艦原子等。
[0050] 作為非質(zhì)子性極性溶劑，可W舉出：二甲基甲酯胺（DMF)、N，N-二甲基乙酷胺 (DMAc)、二甲基亞諷(D