鈧鋁合金濺鍍目標(biāo)的制作方法
【專利說明】杭鋁合金濺鍍目標(biāo)
[0001]相關(guān)申請案的交叉參考
[0002]本申請案根據(jù)37 C.F.R，§ 1.53 (b)規(guī)定是以下共同擁有的美國專利申請案的部分接續(xù)申請案:2013年11月27日申請的第14/092,026號、2013年11月27日申請的第14/092，793號和2013年11月27日申請的第14/092，077號，以上各者中的每一者根據(jù)37C.F.R.§ 1.53(b)規(guī)定是2013年I月31日申請的第13/955，774號共同擁有的美國專利申請案的部分接續(xù)申請案，所述第13/955，774號美國專利申請案是2013年2月28日申請的第13/781,491號共同擁有的美國專利申請案的部分接續(xù)申請案，所述第13/781,491號美國專利申請案是2012年10月29日申請的第13/663,449號共同擁有的美國專利申請案的部分接續(xù)申請案，以上各者整體以引用方式并入本文中。第13/955，774號美國專利申請案根據(jù)37 C.F.R.§ 1.53(b)規(guī)定也是2011年8月12日申請的第13/208，883號共同擁有的美國專利申請案的部分接續(xù)申請案，所述第13/208,883號美國專利申請案是2011年3月29日申請的第13/074，262號共同擁有的美國專利申請案的部分接續(xù)申請案，以上各者整體以引用的方式并入本文中。第14/092,793號美國專利申請案根據(jù)37 C.F.R.§1.53(b)規(guī)定也是2013年2月14日申請的第13/766，993號共同擁有的美國專利申請案的部分接續(xù)申請案，所述第13/766，993號美國專利申請案根據(jù)37 C.F.R.§ 1.53(b)規(guī)定是2012年10月25日申請的第13/660，941號美國專利申請案的部分接續(xù)申請案，以上各者整體以引用的方式并入本文中。第14/092，077號美國專利申請案根據(jù)37 C.F.R.§ 1.53(b)規(guī)定也是2013年2月14日申請的第13/767，754號美國專利申請案的部分接續(xù)申請案。
技術(shù)領(lǐng)域
[0003]本申請涉及電子裝置，更具體來說涉及諧振器。
【背景技術(shù)】
[0004]聲諧振器可用于實施各種電子應(yīng)用中的信號處理功能。舉例來說，一些蜂窩式電話和其它通信裝置使用聲諧振器來實施用于所傳輸和/或所接收信號的頻率濾波器?？筛鶕?jù)不同應(yīng)用來使用若干不同類型的聲諧振器，其中實例包含體聲波(BAW)諧振器，例如薄膜體聲諧振器(FBAR)、耦合諧振器濾波器(CRF)、堆疊體聲諧振器(SBAR)、雙體聲諧振器(DBAR)和固態(tài)安裝型諧振器(SMR)。
[0005]典型聲諧振器包括夾于被稱為聲堆疊的結(jié)構(gòu)中的兩個板狀電極之間的壓電材料層。在于電極之間施加輸入電信號的情況下，互反或反向壓電效應(yīng)致使聲堆疊取決于壓電材料的極化而機械膨脹或收縮。當(dāng)輸入電信號隨時間的過去而變化時，聲堆疊的膨脹和收縮產(chǎn)生在各個方向上傳播穿過聲諧振器且通過壓電效應(yīng)而被轉(zhuǎn)換成輸出電信號的聲波(或模)。一些聲波跨越聲堆疊達成諧振，其中諧振頻率由例如聲堆疊的材料、尺寸和操作條件的因素來確定。聲諧振器的這些和其它機械特性確定其頻率響應(yīng)。
[0006]用于評估聲諧振器的性能的一個量度是其機電耦合系數(shù)(kt2)，所述機電耦合系數(shù)指示電極與壓電材料之間的能量轉(zhuǎn)移的效率。在其它各項相同的情況下，具有較高kt2的聲諧振器大體上被視為具有優(yōu)于具有較低kt2的聲諧振器的性能。因此，在例如4G和LTE應(yīng)用的高性能無線應(yīng)用中使用具有較高kt2水平的聲諧振器是大體上所要的。
[0007]聲諧振器的kt2受若干因素的影響，例如壓電材料與電極的尺寸、組合物和結(jié)構(gòu)性質(zhì)。這些因素反過來受用于制造聲諧振器的材料和制造過程的影響。舉例來說，一種改善kt2的方法是將鈧和/或例如釔、鉺等的其它稀土元素包含于聲諧振器的壓電材料中?？蓮膶嵗曋C振器的以下操作原理來理解歸因于鈧的改善。
[0008]一般來說，對射頻(RF)濾波器應(yīng)用來說最重要的振動模是縱向模，所述縱向模與電場平行或垂直于FBAR表面。其它振動波大體上是不良的且可導(dǎo)致能量損耗從而降低裝置Q。通過改變跨越FBAR的電壓、因此改變跨越極化電荷(稱為偶極，由AlN膜中的帶正電離子和帶負電離子組成)的電場來激活縱向模從而導(dǎo)致取決于電場方向的收縮和膨脹。在某一頻率下，偶極的振動與電場同相，其中發(fā)生串聯(lián)諧振且其對應(yīng)頻率稱為串聯(lián)諧振頻率(標(biāo)記為Fs)。在振動不與電場同相的情況下(場的180度)，諧振器達到并聯(lián)諧振，且其對應(yīng)頻率稱為并聯(lián)諧振頻率(標(biāo)記為Fp)。Fp總是高于Fs，且kt2與它們的差成比例。添加鈧會以此方式更改這些偶極使得Fs與Fp之間的差變得更大，從而產(chǎn)生較高kt2。
[0009]制造具有鈧的聲諧振器的常規(guī)方法經(jīng)受多種缺點，所述缺點可導(dǎo)致跨越每一制造的聲諧振器或在不同制造的聲諧振器之間的kt2的非均勻性。為正在進行的制造具有經(jīng)改善的kt2的聲諧振器，研宄者正尋求設(shè)計和制造聲諧振器的改善的方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本申請的一個實施例涉及一種制造濺鍍目標(biāo)的方法，其包括:形成鈧鋁合金，所述鈧鋁合金包括3-10原子百分?jǐn)?shù)的鈧和90-97原子百分?jǐn)?shù)的鋁；以及使所述鈧鋁合金為用作等離子體沉積裝備中的濺鍍目標(biāo)作準(zhǔn)備。
[0011]本申請的另一個實施例涉及一種制造聲諧振器結(jié)構(gòu)的方法，其包括:在含有氮氣的氣氛中，使用包括鈧鋁合金的濺鍍目標(biāo)來執(zhí)行濺鍍過程，所述鈧鋁合金具有3-10原子百分?jǐn)?shù)的鈧和90-97原子百分?jǐn)?shù)的鋁。
[0012]本申請的又一實施例涉及一種設(shè)備，其包括:包括鈧鋁合金的濺鍍目標(biāo)，其中所述合金具有3-10原子百分?jǐn)?shù)的鈧和90-97原子百分?jǐn)?shù)的鋁。
【附圖說明】
[0013]當(dāng)借助于隨附圖式閱讀時，從以下詳細描述來最好地理解實例實施例。應(yīng)強調(diào)，各種特征未必按比例繪制。事實上，為了論述的清晰性，尺寸可任意增大或減小。在適用且實際的情況下，相同參考數(shù)字指相同元件。
[0014]圖1A是根據(jù)代表性實施例的聲諧振器的橫截面圖。
[0015]圖1B是根據(jù)代表性實施例的圖1A的聲諧振器的俯視圖。
[0016]圖2是根據(jù)代表性實施例的說明聲諧振器的kt2作為壓電層中的鈧濃度的函數(shù)的圖表。
[0017]圖3是根據(jù)代表性實施例的具有不同粒度的鈧鋁合金的說明。
[0018]圖4是根據(jù)代表性實施例的說明制造聲諧振器的方法的流程圖。
[0019]圖5是根據(jù)另一代表性實施例的說明制造濺鍍目標(biāo)的方法的流程圖。
[0020]圖6是根據(jù)代表性實施例的說明制造聲諧振器的方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0021 ] 在以下詳細描述中，出于闡釋的目的且非限制，陳述公開特定細節(jié)的實例實施例以便提供對本教示的透徹理解。然而，受益于本發(fā)明的本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將顯而易見，根據(jù)本教示的脫離本文中所公開的特定細節(jié)的其它實施例仍在隨附權(quán)利要求書的范圍內(nèi)。此外，可省略對熟知的設(shè)備和方法的描述以便不混淆對實例實施例的描述。此些方法和設(shè)備清楚地在本教示的范圍內(nèi)。
[0022]本文中所使用的術(shù)語是僅用于描述特定實施例的目的，且并不意欲為限制性的。所定義的術(shù)語不包括所述所定義術(shù)語如通常在相關(guān)上下文中理解并接受的技術(shù)、科學(xué)或普通意義。
[0023]除非上下文明確指示為相反，否則術(shù)語“一”和“所述”包含單數(shù)指示物與復(fù)數(shù)指示物兩者。因此，舉例來說，“裝置”包含一個裝置和多個裝置。術(shù)語“實質(zhì)上”意思是在可接受界限或程度內(nèi)。術(shù)語“近似”意思是在為本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可接受的界限或量內(nèi)。例如“在……上方”、“在……下方”、“在……頂部”、“在……底部”、“上部”和“下部”的相對術(shù)語可用于描述如隨附圖式中所說明的各種元件彼此的關(guān)系。這些相對術(shù)語既定涵蓋裝置和/或元件除圖式中所描繪的定向之外的不同定向。舉例來說，如果裝置相對于圖式中的視圖而反轉(zhuǎn)，那么被描述為“在另一元件上方”的元件例如現(xiàn)在將位于那個元件下方。其它相對術(shù)語也