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雙模表面聲波濾波器、接收濾波器及雙工器的制作方法

文檔序號(hào):40524439發(fā)布日期:2024-12-31 13:33閱讀:10來源:國(guó)知局
雙模表面聲波濾波器、接收濾波器及雙工器的制作方法

本公開涉及半導(dǎo)體器件領(lǐng)域,特別涉及表面聲波器件。


背景技術(shù):

1、通常,接收濾波器對(duì)插入損耗和阻帶抑制等指標(biāo)有嚴(yán)格的要求,并且為了降低成本,對(duì)芯片尺寸的最小化有持續(xù)的需求。由于上述原因,接收濾波器通常使用雙模表面聲波濾波器(稱為“雙模saw(surface?acoustic?wave)濾波器”或“dms(double-mode?saw)濾波器”)或由dms濾波器和串聯(lián)/并聯(lián)單端口諧振器組成的混合型濾波器。在這種結(jié)構(gòu)中,dms部件叉指電極參數(shù)的合理設(shè)計(jì)對(duì)濾波器的整體性能至關(guān)重要,特別是對(duì)于插入損耗和阻帶抑制。

2、以band66接收濾波器(2110?mhz至2200?mhz)為例,通常預(yù)計(jì)相鄰頻帶band3(1710mhz至1785?mhz)和band1(1920?mhz至1980?mhz)的阻帶抑制水平應(yīng)低于-40db。這確保了終端設(shè)備根據(jù)工作要求達(dá)到最佳性能。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、一種雙模表面聲波(saw)濾波器,包括壓電基板、設(shè)置在壓電基板上的一對(duì)反射器、以及設(shè)置在壓電器基板上和一對(duì)反射器之間并沿橫向交替排列的n個(gè)輸入和輸出叉指換能器(idt,interdigital?transducer)。每個(gè)idt包括一對(duì)帶有多個(gè)電極指的梳狀電極,相鄰的電極指指向相反的方向。每個(gè)idt中的電極指總數(shù)是大于或等于3的奇數(shù)。

2、本申請(qǐng)的雙模saw濾波器通過配置上述idt電極的參數(shù),可有效改善帶外抑制,抑制相鄰信道的干擾信號(hào)。作為較好的選擇,其可作為雙工器以及通信設(shè)備的濾波器件。



技術(shù)特征:

1.一種雙模saw濾波器,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙模saw濾波器,其中,n是大于或等于5的奇數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙模saw濾波器,其中,在n個(gè)idt中,第x個(gè)idt和第(n+1-x)個(gè)idt相對(duì)于中心idt具有鏡像對(duì)稱關(guān)系,其中x是大于或等于1且小于或等于n的整數(shù),并且中心idt是第(n+1)/2個(gè)idt。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的雙模saw濾波器,其中,在包括中心idt和布置在中心idt和反射器之一之間的idt區(qū)域內(nèi),idt中的電極指總數(shù)不同于區(qū)域中另一個(gè)idt中的電極指總數(shù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的雙模saw濾波器,其中,每個(gè)idt至少包括諧振部件和調(diào)制部件。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙模saw濾波器,其中,在每個(gè)idt內(nèi),在橫向方向上測(cè)量的諧振部件中的每個(gè)電極指的寬度大于在橫向方向下測(cè)量的調(diào)制部件中的各個(gè)電極指。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙模saw濾波器,其中,在每個(gè)idt內(nèi),諧振部件中每個(gè)電極指的寬度是調(diào)制部件中每個(gè)電極指寬度的1.05至1.15倍。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙模saw濾波器,其中,在每個(gè)idt內(nèi),諧振部件中的電極指的數(shù)量大于調(diào)制部件中的電極指的數(shù)量。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙模saw濾波器,其中,在包括中心idt和中心idt與反射器之一之間的idt的區(qū)域內(nèi),idt的諧振部件中的每個(gè)電極指的寬度不同于區(qū)域中的另一個(gè)idt的諧振部件中的每個(gè)電極指的寬度。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙模saw濾波器,其中,在包括中心idt和中心idt與反射器之一之間的idt的區(qū)域內(nèi),idt的諧振部件中的電極指的數(shù)量不同于區(qū)域中的另一個(gè)idt的諧振部件中的電極指的數(shù)量。

11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙模saw濾波器,其中,每個(gè)反射器包括多個(gè)反射器電極指,并且每個(gè)反射器電極指的寬度大于設(shè)置在反射器之間的至少一個(gè)idt的諧振部件中的每個(gè)電極指的寬度。

12.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙模saw濾波器,其中,第一idt和第n?idt中的每一個(gè)都包括與反射器之一相鄰布置的諧振部件和與相鄰idt相鄰布置的調(diào)制部件。

13.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙模saw濾波器,其中,第二至第(n-1)個(gè)idt中的每一個(gè)都包括兩個(gè)調(diào)制部件和兩個(gè)調(diào)制部件之間的諧振部件。

14.一種接收濾波器,其特征在于,包括:

15.一種雙工器,其特征在于,包括:


技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開了一種雙模表面聲波(SAW)濾波器,包括壓電基板、設(shè)置在壓電基板上的一對(duì)反射器、以及設(shè)置在壓電器基板上和一對(duì)反射器之間并沿橫向交替排列的N個(gè)輸入和輸出叉指換能器(IDT)。每個(gè)IDT包括一對(duì)帶有多個(gè)電極指的梳狀電極,相鄰的電極指指向相反的方向。每個(gè)IDT中的電極指總數(shù)是大于或等于3的奇數(shù)。本申請(qǐng)還公開了一種接收濾波器及雙工器。

技術(shù)研發(fā)人員:何鑫,馮端,高海婷
受保護(hù)的技術(shù)使用者:深圳新聲半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/12/30
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