本發(fā)明涉及太陽能電池制備，特別是涉及一種異質(zhì)結太陽能電池的制備方法及異質(zhì)結太陽能電池。

背景技術：

1、現(xiàn)有的異質(zhì)結太陽能電池鈍化層結構通常為一層較薄的防止硅晶體外延生長的本征非晶硅層與至少一層主要起鈍化作用的本征非晶硅層組成?，F(xiàn)有技術中，對于主要起鈍化作用的本征非晶硅層，通常在較低氣體壓強和較低沉積速率的條件下進行沉積鍍膜，同時使用較低氫氣流量下沉積的本征非晶硅層結構較致密，不利于后續(xù)的摻雜層的微晶生長，從而限制載流子的傳輸性能，降低異質(zhì)結太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。也有現(xiàn)有技術中采用較高的壓強來制備主要起鈍化作用的本征非晶硅層，但是其由于壓強過大使得制備的膜層的鈍化效果較差，最終限制太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率的提升。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的第一方面的一個目的是要提供一種異質(zhì)結太陽能電池的制備方法，解決現(xiàn)有技術中本征非晶硅層的鈍化效果與摻雜層生長相互矛盾無法同時提高的問題。

2、本發(fā)明第一方面的另一個目的是，解決現(xiàn)有技術中起到防止外延作用的本征非晶硅層的防外延效果較差的問題。

3、本發(fā)明第二方面的目的是提供一種異質(zhì)結太陽能電池。

4、特別地，本發(fā)明還提供一種異質(zhì)結太陽能電池的制備方法，包括：

5、在基底的第一表面上沉積第一鈍化層和位于所述第一鈍化層上的第二鈍化層；

6、在基底的第二表面上沉積第三鈍化層和位于所述第三鈍化層上的第四鈍化層；

7、在所述第二鈍化層和第四鈍化上分別沉積第一摻雜層和第二摻雜層；

8、在所述第一摻雜層和第二摻雜層上分別沉積第一透明導電層和第二透明導電層；

9、在所述第一透明導電層和所述第二透明導電層上制備第一電極和第二電極；其中，

10、在第一反應條件下沉積第一鈍化層和第三鈍化層，在第二反應條件下制備第二鈍化層和第四鈍化層，所述第一反應條件和第二反應條件工藝參數(shù)不相同；或

11、所述第二鈍化層包括第二鈍化內(nèi)層和第二鈍化外層，所述第四鈍化層包括第四鈍化內(nèi)層和第四鈍化外層；

12、在第一反應條件下沉積第一鈍化層和第三鈍化層，在第二反應條件下制備第二鈍化外層和第四鈍化外層，所述第一反應條件和第二反應條件工藝參數(shù)不相同。

13、可選地，所述第一反應條件中的壓強小于所述第二反應條件中的壓強，所述第一反應條件中的功率密度小于所述第二反應條件中的功率密度。

14、可選地，所述第一反應條件中的壓強為0.4～0.8torr，功率密度為30～50mw/cm2；所述第二反應條件中的壓強為1.5～2.1torr，功率密度為35～70mw/cm2。

15、可選地，在第三反應條件下沉積第二鈍化內(nèi)層和第四鈍化內(nèi)層，且第三反應條件中氫氣流量小于第二反應條件中的氫氣流量。

16、可選地，所述第一反應條件中，頻率為13.56mhz，沉積腔室溫度為150℃～230℃，硅烷流量400～800sccm。

17、可選地，所述第二反應條件的壓強大于或等于所述第三反應條件的壓強。

18、可選地，所述第一鈍化層、所述第二鈍化層、所述第三鈍化層和所述第四鈍化層均為本征非晶硅。

19、可選地，所述第一反應條件下，氫氣流量為0sccm。

20、可選地，所述第一鈍化層和所述第三鈍化層的厚度為1.5～2.5nm，所述第二鈍化層和第四鈍化層的厚度為4～8nm。

21、特別地，本發(fā)明還提供一種異質(zhì)結太陽能電池，利用上面所述的制備方法制備得到。

22、本方案中的第一鈍化層和第三鈍化層的反應條件均為第一反應條件。第二鈍化層和第四鈍化層的反應條件均為第二反應條件。而第一反應條件和第二反應條件的工藝參數(shù)不相同，從而使得制備得到的位于基底同一側(cè)的第一鈍化層和第二鈍化層可以具備不同的性能，位于基底另一側(cè)的第三鈍化層和第四鈍化層具備不同的性能，進而可以滿足太陽能電池的鈍化層的防止外延和鈍化效果。

23、本方案的第二反應條件具有較高的壓強、較高的功率密度和較高的氫氣流量，因此利用第二反應條件制備的第二鈍化層或第四鈍化層具備較好的鈍化效果，且有利于后續(xù)微晶硅的生長，提高微晶硅層的晶化率，進而提高電池的效率。

24、本方案中制備第二鈍化外層和第四鈍化外層時具有較高的氫氣流量，因此氫氣會對底層有較強的轟擊作用，因此在第一鈍化層和第二鈍化外層之間設置第二鈍化內(nèi)層，同時第三鈍化層和第四鈍化外層之間設置第四鈍化內(nèi)層，且制備第二鈍化內(nèi)層和第四鈍化內(nèi)層的反應條件均為第三條件，且第三反應條件中氫氣流量小于第二反應條件中的氫氣流量。如此，可以使得在制備第二鈍化內(nèi)層和第四鈍化內(nèi)層的氫氣流量較少，對第一鈍化層的轟擊較小，減少了對第一鈍化層和第三鈍化層的損傷，進而不影響第一鈍化層和第三鈍化層的防外延效果。

25、本方案的第三反應條件中的氫氣流量、功率密度和壓強均小于或等于第二反應條件中的氫氣流量、功率密度和壓強，如此可以使得第三反應條件中的第二鈍化內(nèi)層和第四鈍化內(nèi)層的性能相比與采用第二反應條件制備得到的第二鈍化外層和第四鈍化外層的對于后續(xù)微晶生長的輔助性減小，對晶化率提升能力相對減弱，但是由于在第二鈍化內(nèi)層外設置第二鈍化外層，在第四鈍化內(nèi)層外設置第四鈍化外層，則綜合了內(nèi)層和外層的性質(zhì)，減小了對第一鈍化層和第三鈍化層的轟擊損傷的同時，對微晶摻雜層的結晶性提升較好，進而提高電池轉(zhuǎn)換效果。

26、根據(jù)下文結合附圖對本發(fā)明具體實施例的詳細描述，本領域技術人員將會更加明了本發(fā)明的上述以及其他目的、優(yōu)點和特征。

技術特征：

1.一種異質(zhì)結太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的異質(zhì)結太陽能電池的制備方法，其特征在于，

3.根據(jù)權利要求2所述的異質(zhì)結太陽能電池的制備方法，其特征在于，

4.根據(jù)權利要求3所述的異質(zhì)結太陽能電池的制備方法，其特征在于，

5.根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的異質(zhì)結太陽能電池的制備方法，其特征在于，

6.根據(jù)權利要求5所述的異質(zhì)結太陽能電池的制備方法，其特征在于，

7.根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的異質(zhì)結太陽能電池的制備方法，其特征在于，

8.根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的異質(zhì)結太陽能電池的制備方法，其特征在于，

9.根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的異質(zhì)結太陽能電池的制備方法，其特征在于，

10.一種異質(zhì)結太陽能電池，其特征在于，利用權利要求1-9中任一項所述的制備方法制備得到。

技術總結
本發(fā)明提供了一種異質(zhì)結太陽能電池的制備方法及異質(zhì)結太陽能電池，涉及太陽能電池制備技術領域。本發(fā)明的異質(zhì)結太陽能電池的制備方法包括：在基底的第一表面上沉積第一鈍化層和位于第一鈍化層上的第二鈍化層；在基底的第二表面上沉積第三鈍化層和位于第三鈍化層上的第四鈍化層。在第一反應條件下沉積第一鈍化層和第三鈍化層，在第二反應條件下制備第二鈍化層和第四鈍化層，第一反應條件和第二反應條件工藝參數(shù)不相同。本發(fā)明的方法中的第一反應條件和第二反應條件的工藝參數(shù)不相同，從而使得制備得到的位于基底同一側(cè)的第一鈍化層和第二鈍化層，第三鈍化層和第四鈍化層具備不同的性能，進而可以滿足太陽能電池的鈍化層的防止外延和鈍化效果。

技術研發(fā)人員：曹鼎新,彭振維,吳洪凡,賀晨冉
受保護的技術使用者：蘇州邁為科技股份有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/9