1.一種新型微波等離子體處理裝置，其特征在于：由石英管和微波腔及微波源組成，石英管穿過矩形波導(dǎo)微波腔的寬邊面，矩形波導(dǎo)的一端連接微波源，矩形波導(dǎo)的另一端為短路板，短路板至石英管的距離為λg/4，穿過矩形波導(dǎo)的寬邊面的石英管的上下兩端各有一段金屬管與矩形波導(dǎo)相連接，石英管的一端有第一進(jìn)氣接口，與工作氣體氣路系統(tǒng)相連接，石英管的另一端伸入反應(yīng)室的上端面并用密封法蘭和O形膠圈與圓柱腔體真空室形成真空連接，反應(yīng)室的底端法蘭上安裝旋轉(zhuǎn)鼓，與反應(yīng)室形成真空動密封連接，伸入反應(yīng)室的石英管的端口伸進(jìn)旋轉(zhuǎn)鼓容器，反應(yīng)室底部通過反應(yīng)室底端法蘭蓋密封，旋轉(zhuǎn)鼓穿過反應(yīng)室底端法蘭蓋至反應(yīng)室內(nèi)，并通過緊固螺栓鎖緊。
2.如權(quán)利要求1所述的新型微波等離子體處理裝置，其特征在于：所述反應(yīng)室的側(cè)向連接真空系統(tǒng)。
3.如權(quán)利要求2所述的新型微波等離子體處理裝置，其特征在于：所述真空系統(tǒng)包括真空規(guī)管、旋風(fēng)分離器、過濾器、粗調(diào)和細(xì)調(diào)節(jié)流閥、放氣閥，然后接真空泵用的截斷放氣閥、相應(yīng)的真空管路,最后接真空泵，反應(yīng)室的另一側(cè)向裝有觀察窗。
4.如權(quán)利要求1所述的新型微波等離子體處理裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)鼓由透明介質(zhì)制成的鐘罩形容器、真空動密封旋轉(zhuǎn)軸和軸承、反應(yīng)室底端法蘭蓋、旋轉(zhuǎn)軸容器底座以及皮帶輪組成，鐘罩形容器用安裝壓板和雙頭螺柱裝入真空動密封旋轉(zhuǎn)軸容器底座上，軸承安裝在反應(yīng)室底端法蘭蓋上。
5.如權(quán)利要求4所述的新型微波等離子體處理裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)鼓的真空動密封旋轉(zhuǎn)軸與產(chǎn)生等離子體的石英管中心軸一致，真空動密封旋轉(zhuǎn)軸由電動機通過皮帶傳動，使裝入的旋轉(zhuǎn)鼓隨之轉(zhuǎn)動。
6.如權(quán)利要求1所述的新型微波等離子體處理裝置，其特征在于：整個微波等離子體源傾斜安裝于一個支架上，旋轉(zhuǎn)鼓的旋轉(zhuǎn)軸與水平面有形成一個角度，該角度為30°至60°之間，整個微波等離子體源通過裝置安裝板安裝于支架上。
7.如權(quán)利要求6所述的新型微波等離子體處理裝置，其特征在于：所述支架為可調(diào)節(jié)支架，支架上等距開設(shè)有一個以上的調(diào)節(jié)孔，整個微波等離子體源通過調(diào)節(jié)螺栓傾斜安裝于支架上，并安裝于對應(yīng)的調(diào)節(jié)孔內(nèi)，使得微波等離子體源與水平面間呈30°至60°夾角。