技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種對(duì)基板作業(yè)系統(tǒng)，其通過即使在控制部和基板輸送裝置之間產(chǎn)生通信異常也可以利用基板輸送裝置執(zhí)行基板輸送，從而防止生產(chǎn)線整體停止。該對(duì)基板作業(yè)系統(tǒng)具有針對(duì)基板實(shí)施規(guī)定作業(yè)的對(duì)基板作業(yè)裝置、以及向?qū)遄鳂I(yè)裝置輸送基板的基板輸送裝置。對(duì)基板作業(yè)系統(tǒng)具有：主控制部，其直接控制對(duì)基板作業(yè)裝置，并且通過通信而間接地控制基板輸送裝置；副控制部，其基于通過從主控制部的通信而接收到的控制信號(hào)，對(duì)基板輸送裝置進(jìn)行控制；以及指示輸入部，其向副控制部輸入從動(dòng)指示或獨(dú)立指示中的任意一種，其中，該從動(dòng)指示用于基于從主控制部接收到的控制信號(hào)控制基板輸送裝置，該獨(dú)立指示用于獨(dú)立地控制基板輸送裝置。

技術(shù)研發(fā)人員：高橋大輔
受保護(hù)的技術(shù)使用者：JUKI株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201310057186
技術(shù)研發(fā)日：2013.02.22
技術(shù)公布日：2017.08.25