專利名稱：壓電振動(dòng)片的制造方法、壓電振動(dòng)器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在振動(dòng)腕部形成有溝部的壓電振動(dòng)片的制造方法、具有所述壓電振動(dòng)片的壓電振動(dòng)器、具有所述壓電振動(dòng)器的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，在便攜電話或便攜信息終端設(shè)備上，采用具有利用了水晶等作為時(shí)刻源或控制信號(hào)的定時(shí)源、參考信號(hào)源等的壓電振動(dòng)片的壓電振動(dòng)器。隨著被搭載的設(shè)備的小型化，越來(lái)越希望該壓電振動(dòng)器進(jìn)一步小型化。作為謀求小型化的方法，可以考慮幾個(gè)方法，但作為其中之一，有利用在振動(dòng)腕部的兩面形成溝部的音叉型壓電振動(dòng)片的方法。通常，該音叉型壓電振動(dòng)片具有互相平行配置并且基端側(cè)在基部固定成一體的一對(duì)振動(dòng)腕部、和形成在所述一對(duì)振動(dòng)腕部的外表面上(包含溝部)并使一對(duì)振動(dòng)腕部振動(dòng)的激振電極。激振電極是使一對(duì)振動(dòng)腕部以既定的諧振頻率在互相接近或分離的方向上振動(dòng)的電極，經(jīng)由引出電極而與形成在基部的外表面上的裝配電極電連接。而且壓電振動(dòng)片構(gòu)成為經(jīng)由該裝配電極被施加電壓。在此，在一對(duì)振動(dòng)腕部形成有溝部的情況下，如圖27所示，在振動(dòng)腕部90、91的側(cè)面及溝部92的側(cè)面上形成有不同極性的兩個(gè)激振電極93、94。這時(shí)，兩個(gè)激振電極93、94 成為對(duì)置的位置關(guān)系，因此與沒(méi)有形成溝部92的情況相比，電場(chǎng)容易更加有效率地作用。 因此，即便使壓電振動(dòng)片95的尺寸小型化，振動(dòng)損耗也低且能夠極力降低地抑制CI值(等效電阻值)。因而，具有適合小型化的優(yōu)點(diǎn)。可是，該壓電振動(dòng)片95 —般通過(guò)蝕刻加工水晶(石英)等的圓片(wafer)基板來(lái)制造(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。此外，在制造具有溝部92的壓電振動(dòng)片95時(shí)，通過(guò)最初的蝕刻加工來(lái)形成壓電振動(dòng)片95的外形形狀后，通過(guò)其次的蝕刻加工來(lái)形成溝部92。這時(shí)， 通過(guò)利用氟化氫水等的藥液的濕蝕刻來(lái)進(jìn)行加工。專利文獻(xiàn)1 日本特許第37四249號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
但是，上述現(xiàn)有方法中，還遺留以下的課題。首先，利用濕蝕刻進(jìn)行的蝕刻加工，具有受圓片基板的晶體的面方位影響的特性。 因此，在利用濕蝕刻來(lái)進(jìn)行外形形狀的加工和溝部92的加工的現(xiàn)有方法中，被蝕刻的溝部 92的側(cè)面或底面不會(huì)成為平坦面，而如圖觀所示會(huì)成為壓扁的形狀，其面內(nèi)偏差變大。此外，外形形狀也用濕蝕刻來(lái)加工，因此不僅溝部92，而且振動(dòng)腕部90、91和基部的側(cè)面也不會(huì)成為平坦面，而成為壓扁的形狀。因此，無(wú)法在壓電振動(dòng)片95高精度形成所希望形狀的溝部92。此外，根據(jù)面內(nèi)偏差的程度，有時(shí)還需要進(jìn)行追加蝕刻。
此外，若使溝部92的形狀為圖觀那樣的狀態(tài)形成激振電極93、94，則激振電極 93、94的位置關(guān)系不會(huì)成為切實(shí)對(duì)置的狀態(tài)，其結(jié)果無(wú)法使CI值成為所設(shè)計(jì)的值。此外，還有各電極短路的可能性。由此，難以謀求高質(zhì)量化、高性能化。另一方面，用干蝕刻而不用濕蝕刻來(lái)進(jìn)行上述蝕刻加工的情況下，由于不受晶體的面方位的影響，所以不出現(xiàn)上述的問(wèn)題。但是，采用干蝕刻時(shí)存在如下問(wèn)題。在進(jìn)行干蝕刻之際，一般在圓片基板面中進(jìn)行蝕刻的區(qū)域以外的面上形成保護(hù)膜后，對(duì)圓片基板進(jìn)行干蝕刻而加工成所希望的形狀。在此，在圓片基板形成溝部92時(shí)，需要深挖圓片基板，因此采用Ti、M或Cr等的硬質(zhì)金屬元素的膜作為保護(hù)膜，并且需要加厚保護(hù)膜的膜厚。但是，硬質(zhì)金屬元素的膜，由于應(yīng)力較大，所以在加厚保護(hù)膜的膜厚時(shí)，存在圓片基板發(fā)生翹曲的問(wèn)題。即，在圓片基板翹曲的狀態(tài)下進(jìn)行干蝕刻，也有可能無(wú)法形成所希望的溝部92。本發(fā)明鑒于上述狀況構(gòu)思而成，提供能夠用干蝕刻來(lái)在振動(dòng)腕部形成所希望的溝部的壓電振動(dòng)片的制造方法、具有所述壓電振動(dòng)片的壓電振動(dòng)器、而且具有所述壓電振動(dòng)器的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘。本發(fā)明為了解決上述課題，提供以下方案。本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的制造方法，從圓片制造具有平行配置的一對(duì)振動(dòng)腕部、將所述一對(duì)振動(dòng)腕部的基端側(cè)固定成一體的基部、和在所述一對(duì)振動(dòng)腕部的兩面沿著所述振動(dòng)腕部的長(zhǎng)度方向分別形成的溝部的壓電振動(dòng)片，該壓電振動(dòng)片的制造方法的特征在于， 包括在所述圓片中的與所述溝部對(duì)應(yīng)的位置以外的區(qū)域形成保護(hù)膜的保護(hù)膜形成工序； 以及以所述保護(hù)膜為掩模對(duì)所述圓片進(jìn)行干蝕刻來(lái)形成所述溝部的溝部形成工序，在所述保護(hù)膜形成工序中，交互多次進(jìn)行對(duì)所述圓片的第一面形成既定厚度的所述保護(hù)膜的第一保護(hù)膜形成工序和對(duì)所述圓片的第二面形成既定厚度的所述保護(hù)膜的第二保護(hù)膜形成工序。在本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的制造方法中，首先，在圓片中的相當(dāng)于溝部的位置以外的區(qū)域形成保護(hù)膜之后，通過(guò)進(jìn)行干蝕刻，能夠在圓片的兩面形成不受晶體的面方位的影響的所希望形狀的溝部。在此，在保護(hù)膜形成工序中，交互地重復(fù)進(jìn)行第一保護(hù)膜形成工序和第二保護(hù)膜形成工序，構(gòu)成為每次以既定厚度對(duì)圓片的兩面交互地形成保護(hù)膜，以成為所希望的膜厚， 因此能夠在圓片形成保護(hù)膜之際防止圓片上發(fā)生翹曲。即，既定厚度是指即便在圓片形成保護(hù)膜也不會(huì)發(fā)生翹曲的程度的較薄的膜，通過(guò)對(duì)圓片的兩面交互地成膜該既定厚度的保護(hù)膜，在形成保護(hù)膜時(shí)一邊消除產(chǎn)生在圓片兩面的應(yīng)力，一邊形成保護(hù)膜。因而，在形成保護(hù)膜時(shí)圓片上不會(huì)發(fā)生翹曲，所以通過(guò)對(duì)圓片進(jìn)行干蝕刻，能夠形成所希望的溝部。如此，通過(guò)用干蝕刻進(jìn)行溝部的加工，能高精度進(jìn)行加工，并且能夠使溝部的側(cè)面及底面都成為平坦面，而不是壓扁的形狀。因而，能夠在壓電振動(dòng)片的外表面按設(shè)計(jì)的那樣形成激振電極，并能使CI值比用現(xiàn)有方法制造時(shí)更低。因而，能夠謀求高質(zhì)量化、高性能化。此外，本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的制造方法，從圓片制造具有平行配置的一對(duì)振動(dòng)腕部、將所述一對(duì)振動(dòng)腕部的基端側(cè)固定成一體的基部、和在所述一對(duì)振動(dòng)腕部的兩面沿著振動(dòng)腕部的長(zhǎng)度方向分別形成的溝部的壓電振動(dòng)片，該壓電振動(dòng)片的制造方法的特征在于，包括在所述圓片中的與所述溝部對(duì)應(yīng)的位置以外的區(qū)域形成保護(hù)膜的保護(hù)膜形成工序；以及通過(guò)對(duì)所述圓片進(jìn)行干蝕刻來(lái)形成所述溝部的溝部形成工序，在所述保護(hù)膜形成工序中，對(duì)所述圓片的兩面同時(shí)形成所述保護(hù)膜。在本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的制造方法中，首先，在圓片中的與溝部相當(dāng)?shù)奈恢靡酝獾膮^(qū)域形成保護(hù)膜之后，通過(guò)進(jìn)行干蝕刻，能夠在圓片的兩面形成不受晶體的面方位的影響的所希望形狀的溝部。在此，在保護(hù)膜形成工序中，構(gòu)成為對(duì)圓片的兩面同時(shí)形成保護(hù)膜，因此在圓片形成保護(hù)膜之際能夠防止在圓片發(fā)生翹曲。即，通過(guò)對(duì)圓片的兩面同時(shí)成膜保護(hù)膜，在形成保護(hù)膜時(shí)一邊消除在圓片兩面產(chǎn)生的應(yīng)力一邊形成保護(hù)膜。因而，在形成保護(hù)膜時(shí)圓片上不會(huì)發(fā)生翹曲，因此，通過(guò)對(duì)圓片進(jìn)行干蝕刻，能夠形成所希望的溝部。如此，用干蝕刻來(lái)進(jìn)行溝部的加工，從而能高精度地進(jìn)行加工，并能使溝部的側(cè)面及底面都成為平坦面，而不是壓扁的形狀。因而，能夠在壓電振動(dòng)片的外表面按設(shè)計(jì)的那樣形成激振電極，并能使CI值比用現(xiàn)有方法來(lái)制造時(shí)更低。因而，能夠謀求高質(zhì)量化、高性能化。此外，本發(fā)明的壓電振動(dòng)器，其特征在于，具有用上述本發(fā)明的制造方法來(lái)制造的壓電振動(dòng)片。在本發(fā)明的壓電振動(dòng)器中，由于具備用干蝕刻來(lái)高精度加工溝部的壓電振動(dòng)片， 所以能謀求壓電振動(dòng)器的高質(zhì)量化。此外，形成在壓電振動(dòng)片的外表面(包含溝部的外表面)的激振電極也高精度形成。因此，能夠使CI值比現(xiàn)有的更低，并能謀求壓電振動(dòng)器的高性能化。作為這樣的壓電振動(dòng)器，例如，有圓柱封裝型(cylinder package type)的壓電振動(dòng)器和箱型的陶瓷封裝型的壓電振動(dòng)器。此外，本發(fā)明的振蕩器，其特征在于，使上述本發(fā)明的壓電振動(dòng)器，作為振子與集成電路電連接。此外，本發(fā)明的電子設(shè)備，其特征在于，使上述本發(fā)明的壓電振動(dòng)器，與計(jì)時(shí)部電連接。此外，本發(fā)明的電波鐘，其特征在于，使上述本發(fā)明的壓電振動(dòng)器，與濾波部電連接。在本發(fā)明的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘中，由于具有上述的壓電振動(dòng)器，所以同樣能謀求高質(zhì)量化、高性能化。(發(fā)明效果)依據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的制造方法，由于構(gòu)成為在保護(hù)膜形成工序中，每次以既定厚度交互地對(duì)圓片的兩面形成保護(hù)膜而成為所希望的膜厚，因此能夠在圓片形成保護(hù)膜之際防止在圓片發(fā)生翹曲。即，既定厚度是指即便在圓片形成保護(hù)膜也不會(huì)發(fā)生翹曲的程度的較薄的膜，通過(guò)對(duì)圓片的兩面交互成膜該既定厚度的保護(hù)膜，在形成保護(hù)膜時(shí)一邊消除在圓片兩面產(chǎn)生的應(yīng)力一邊形成保護(hù)膜。因而，在形成保護(hù)膜時(shí)在圓片不會(huì)發(fā)生翹曲， 所以通過(guò)對(duì)圓片進(jìn)行干蝕刻，能夠形成所希望的溝部。


圖1是表示本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的第一實(shí)施方式的圖，并且是從上表面觀看壓電振動(dòng)片的圖。圖2是從下表面觀看圖1所示的壓電振動(dòng)片的圖。圖3是圖1所示的切斷線A-A上的剖視圖。圖4是從圖1所示的壓電振動(dòng)片除去電極部分的狀態(tài)的斜視圖。圖5是圖1所示的壓電振動(dòng)片的制造方法的流程圖。圖6是圖5所示的流程圖的一個(gè)工序圖，并且是表示在圓片的兩面成膜蝕刻保護(hù)膜的狀態(tài)的圖。圖7是表示形成蝕刻保護(hù)膜的階段的局部剖視圖(1)。圖8是表示形成蝕刻保護(hù)膜的階段的局部剖視圖(2)。圖9是表示形成蝕刻保護(hù)膜的階段的局部剖視圖(3)。圖10是表示從圖6所示的狀態(tài)構(gòu)圖蝕刻保護(hù)膜后的狀態(tài)的圖，并且是俯視圓片的圖。圖11是表示從圖6所示的狀態(tài)構(gòu)圖蝕刻保護(hù)膜后的狀態(tài)的圖。圖12是表示從圖11所示的狀態(tài)以所構(gòu)圖的蝕刻保護(hù)膜為掩模并利用干蝕刻對(duì)圓片進(jìn)行蝕刻加工的狀態(tài)的圖。圖13是表示從圖10所示的狀態(tài)對(duì)圓片的兩面成膜另外的蝕刻保護(hù)膜的狀態(tài)的圖。圖14是表示從圖13所示的狀態(tài)構(gòu)圖后面成膜的蝕刻保護(hù)膜后的狀態(tài)的圖。圖15是表示從圖14所示的狀態(tài)以兩個(gè)蝕刻保護(hù)膜為掩模并利用濕蝕刻對(duì)圓片進(jìn)行蝕刻加工的狀態(tài)的圖。圖16是表示從圖15所示的狀態(tài)除去兩個(gè)蝕刻保護(hù)膜而制造形成有溝部的一對(duì)振動(dòng)腕部的狀態(tài)的圖。圖17是表示從圖16所示的狀態(tài)對(duì)一對(duì)振動(dòng)腕部的外表面成膜導(dǎo)電膜及光刻膠膜后曝光所述光刻膠膜的既定位置的狀態(tài)的圖。圖18是表示從圖17所示的狀態(tài)使曝光的光刻膠膜顯影的狀態(tài)的圖。圖19是本發(fā)明的第二實(shí)施方式中的濺鍍時(shí)使用的夾具的正面圖。圖20是沿著圖19的B-B線的剖視圖。圖21是表示具有本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的圓柱型封裝式的壓電振動(dòng)器的一實(shí)施方式的圖。圖22是表示具有本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的陶瓷封裝型的壓電振動(dòng)器的一實(shí)施方式的剖視圖。圖23是圖22所示的切斷線C-C上的剖視圖。圖M是表示具有本發(fā)明的壓電振動(dòng)器的振蕩器的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖。圖25是表示具有本發(fā)明的壓電振動(dòng)器的電子設(shè)備的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖。圖沈是表示具有本發(fā)明的壓電振動(dòng)器的電波鐘的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖。圖27是現(xiàn)有的具有溝部的一對(duì)振動(dòng)腕部的剖視圖。圖觀是通過(guò)濕蝕刻而溝部成為壓扁的形狀的現(xiàn)有的壓電振動(dòng)片的剖視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明1壓電振動(dòng)片；2振動(dòng)腕部；3振動(dòng)腕部；4基部；5溝部；8激振電極；20圓片；20a一個(gè)面(第一面)；20b另一面(第二面)；21蝕刻保護(hù)膜；22蝕刻保護(hù)膜；40壓電振動(dòng)器； 50壓電振動(dòng)器；60振蕩器；61集成電路；70電子設(shè)備(便攜信息設(shè)備)；73計(jì)時(shí)部；80電波鐘；81濾波部。
具體實(shí)施例方式(第一實(shí)施方式)以下，參照?qǐng)D1 圖18，對(duì)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片及所述壓電振動(dòng)片的制造方法的第一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。如圖1至圖3所示，本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片1具備平行配置的一對(duì)振動(dòng)腕部2、 3 ；將一對(duì)振動(dòng)腕部2、3的基端側(cè)固定成一體的基部4 ；在一對(duì)振動(dòng)腕部2、3的兩面分別形成的溝部5 ；在包含溝部5的一對(duì)振動(dòng)腕部2、3的外表面上形成并使一對(duì)振動(dòng)腕部2、3振動(dòng)的由第一激振電極6和第二激振電極7構(gòu)成的激振電極8 ；以及與兩激振電極6、7電連接的裝配電極9、10。如圖4所示，上述溝部5沿著一對(duì)振動(dòng)腕部2、3的長(zhǎng)度方向X分別形成，并且從振動(dòng)腕部2、3的基部4側(cè)形成到大致中間附近。此外，在圖4中省略了各電極的圖示。由第一激振電極6和第二激振電極7構(gòu)成的激振電極8，是使一對(duì)振動(dòng)腕部2、3以既定的諧振頻率在互相接近或分離的方向上振動(dòng)的電極，在一對(duì)振動(dòng)腕部2、3的外表面以分別電性切斷的狀態(tài)構(gòu)圖而形成。具體而言，如圖3所示，第一激振電極6主要形成在一個(gè)振動(dòng)腕部2的溝部5上和另一振動(dòng)腕部3的兩側(cè)面上，而第二激振電極7主要形成在一個(gè)振動(dòng)腕部2的兩側(cè)面上和另一振動(dòng)腕部3的溝部5上。此外，如圖1及圖2所示，第一激振電極6及第二激振電極7在基部4的兩面中， 分別經(jīng)由引出電極11、12而與裝配電極9、10電連接。然后壓電振動(dòng)片1構(gòu)成為經(jīng)由該裝配電極9、10被施加電壓。此外，激振電極8、裝配電極9、10及引出電極11、12，例如，用鉻(Cr)、鎳(Ni)、鋁 (Al)或鈦(Ti)等的導(dǎo)電膜的覆膜來(lái)形成。此外，在一對(duì)振動(dòng)腕部2、3的前端，覆蓋有用于調(diào)整(頻率調(diào)整)的重錘金屬膜 13，以使本身的振動(dòng)狀態(tài)在既定頻率的范圍內(nèi)振動(dòng)。此外，該重錘金屬膜13被分為在粗調(diào)頻率時(shí)使用的粗調(diào)膜13a和微調(diào)時(shí)使用的微調(diào)膜13b。利用這些粗調(diào)膜13a及微調(diào)膜1 進(jìn)行頻率調(diào)整，從而能夠使一對(duì)振動(dòng)腕部2、3的頻率落在器件的標(biāo)稱頻率的范圍內(nèi)。如圖4所示，這樣構(gòu)成的壓電振動(dòng)片1用由水晶、鉭酸鋰或鈮酸鋰等的壓電材料構(gòu)成的圓片20制造。這時(shí)，溝部5是對(duì)圓片20進(jìn)行干蝕刻的蝕刻加工來(lái)制造。對(duì)于該制造方法，將在后面做詳細(xì)說(shuō)明。此外，一對(duì)振動(dòng)腕部2、3及基部4，通過(guò)對(duì)圓片20分別輪流進(jìn)行干蝕刻及濕蝕刻這不同的兩個(gè)蝕刻加工來(lái)制造。 此外，作為壓電振動(dòng)片1的尺寸例，如圖4所示，寬度W約為0. 5mm 0. 6mm、全長(zhǎng)L 約為2. Omm 3. 2mm、厚度T約為0. 10mm，溝部5的深度hi (參照?qǐng)D3)約為40 μ m。此外， 激振電極8等的各電極，例如在圓片20為水晶的情況下，是鉻(Cr)和金(Au)的層疊膜，以與水晶的密合性良好的鉻膜為基底成膜之后，對(duì)表面實(shí)施金的薄膜。此外，并不限于該情況，例如，在鉻和鎳鉻(NiCr)的層疊膜的表面再層疊金的薄膜也可。
在使上述的壓電振動(dòng)片1動(dòng)作時(shí)，對(duì)裝配電極9、10施加既定的驅(qū)動(dòng)電壓。由此，經(jīng)由引出電極11、12，能夠使電流在由第一激振電極6和第二激振電極7構(gòu)成的激振電極8 中流過(guò)，并能使一對(duì)振動(dòng)腕部2、3以既定頻率在接近/分離的方向上振動(dòng)。然后，利用該一對(duì)振動(dòng)腕部2、3的振動(dòng)，能夠作為時(shí)刻源、控制信號(hào)的定時(shí)源或參考信號(hào)源等加以利用。接著，參照?qǐng)D5所示的流程圖，下面對(duì)上述壓電振動(dòng)片1的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的制造方法是輪流進(jìn)行保護(hù)膜形成工序、構(gòu)圖工序、第一蝕刻工序、保護(hù)工序、第二蝕刻工序、和除去工序，從圓片20 —次性制造多個(gè)壓電振動(dòng)片1的方法。下面詳細(xì)說(shuō)明這些各工序。首先，在Sl中，準(zhǔn)備圓片20。其次，在S2中，利用濺鍍等，在圓片20的兩面如圖6 所示，分別形成蝕刻加工時(shí)保護(hù)圓片20的蝕刻保護(hù)膜21 (保護(hù)膜形成工序)。作為該蝕刻保護(hù)膜21，例如，將鈦(Ti)約成膜3μπι。在此，在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為每次以既定厚度對(duì)圓片20的兩面交互地形成蝕刻保護(hù)膜21而成為所希望的膜厚。即，如圖7所示，首先在圓片20的一個(gè)面20a形成既定厚度tl(例如，tl = 0.25ym)的保護(hù)膜21a (第一保護(hù)膜形成工序)。接著，如圖8所示，在圓片20的另一面20b同樣形成既定厚度tl的保護(hù)膜21a (第二保護(hù)膜形成工序)。接著， 再度在圓片20的一個(gè)面20a形成既定厚度tl的保護(hù)膜21a，反復(fù)進(jìn)行該工序。然后，如圖 9所示，若在各面20a、20b各12次形成既定厚度tl的保護(hù)膜21a，則在圓片20的兩面分別形成厚度約3μπι的蝕刻保護(hù)膜21。如此，每次以既定厚度tl形成保護(hù)膜21a時(shí)，在圓片 20形成保護(hù)膜之際，能夠防止在圓片20發(fā)生翹曲。此外，如上述那樣圓片20的單個(gè)面逐面上成膜保護(hù)膜21a時(shí)，例如將配置在濺鍍裝置內(nèi)的圓片20按每個(gè)既定時(shí)間翻轉(zhuǎn)而邊更換成膜面邊進(jìn)行成膜即可。接著，在S3中，以空出溝部5的區(qū)域的狀態(tài)將蝕刻保護(hù)膜21構(gòu)圖成為壓電振動(dòng)片 1的外形形狀(構(gòu)圖工序)。詳細(xì)地說(shuō)，首先利用光刻技術(shù)在蝕刻保護(hù)膜21上對(duì)未圖示的光刻膠膜進(jìn)行構(gòu)圖。這時(shí)，以包圍溝部5及壓電振動(dòng)片1周?chē)姆绞竭M(jìn)行構(gòu)圖。然后，以該光刻膠膜為掩模進(jìn)行蝕刻加工，有選擇地除去未被掩蔽的蝕刻保護(hù)膜21。而且，在蝕刻加工后除去光刻膠膜。由此，如圖10及圖11所示，能夠?qū)⑽g刻保護(hù)膜21構(gòu)圖成為上述形狀。 即，以空出溝部5的區(qū)域的狀態(tài)能夠沿著壓電振動(dòng)片1的外形形狀，即，一對(duì)振動(dòng)腕部2、3 及基部4的外形形狀進(jìn)行構(gòu)圖。此外這時(shí)，按多個(gè)壓電振動(dòng)片1的數(shù)量進(jìn)行構(gòu)圖。接著，在S4中，以被構(gòu)圖的蝕刻保護(hù)膜21為掩模，利用氟類氣體的干蝕刻，對(duì)圓片 20的兩面分別進(jìn)行蝕刻加工(第一蝕刻工序)。這時(shí)，將圓片20蝕刻加工到溝部5的深度 hi。由此，如圖12所示，能夠在圓片20的兩面形成溝部5，并且以從表面起溝部5的深度 hi除去沒(méi)有被蝕刻保護(hù)膜21掩蔽的區(qū)域，能夠以溝部5的深度hi的量形成壓電振動(dòng)片1 的外形形狀。此外，在本實(shí)施方式中圓片20上不會(huì)發(fā)生翹曲，因此能夠高精度以深度hi的量除去溝部5。此外，在第一蝕刻工序進(jìn)行了蝕刻加工的部分，如圖12所示，成為沒(méi)有被蝕刻保護(hù)膜21掩蔽而露出的狀態(tài)。因此，在S5中，僅在該露出的部分中的溝部5，成膜當(dāng)蝕刻加工時(shí)保護(hù)圓片20的蝕刻保護(hù)膜22 (保護(hù)工序)。詳細(xì)地說(shuō)，如圖13所示，首先在圓片20的兩面分別成膜蝕刻保護(hù)膜22。該蝕刻保護(hù)膜22例如為樹(shù)脂類的光刻膠膜，通過(guò)實(shí)施噴涂或噴涂和旋涂的組合來(lái)進(jìn)行成膜。這時(shí)，在本實(shí)施方式中，將蝕刻保護(hù)膜22的成膜進(jìn)行到不僅圓片20而且之前成膜的蝕刻保護(hù)膜21完全隱藏為止。
接著，在S6中，與構(gòu)圖蝕刻保護(hù)膜21時(shí)同樣，通過(guò)利用未圖示的光刻膠膜的光刻技術(shù)，對(duì)成膜的蝕刻保護(hù)膜22進(jìn)行構(gòu)圖，如圖14所示，成為僅在溝部5的部分殘留的狀態(tài)。 由此，圓片20成為只有包圍壓電振動(dòng)片1的周?chē)膮^(qū)域才露出的狀態(tài)。
此外，在本實(shí)施方式中，暫且在圓片20的整個(gè)面成膜蝕刻保護(hù)膜22后，進(jìn)行構(gòu)圖， 從而使蝕刻保護(hù)膜22僅成膜在溝部5，但并不限于該情況，例如將僅以溝部5的部分開(kāi)口的未圖示的掩模疊加到圓片20之后，隔著所述掩模成膜蝕刻保護(hù)膜22也可。在該情況下，也能僅在溝部5成膜蝕刻保護(hù)膜22。不管怎樣，只要能僅在溝部5成膜蝕刻保護(hù)膜22，就可以為任何方法。接著，在S7中，以之前成膜的蝕刻保護(hù)膜21和后面成膜的蝕刻保護(hù)膜22為掩模， 通過(guò)氫氟酸等的濕蝕刻來(lái)對(duì)圓片20進(jìn)行蝕刻加工(第二蝕刻加工)。這時(shí)，通過(guò)第一蝕刻工序從表面蝕刻到溝部5的深度hi的量的圓片20的剩余部分被完全除去。即，使圓片20 的兩面貫通。由此，如圖15所示，能夠完整地形成一對(duì)振動(dòng)腕部2、3及基部4，并能得到在基部4 一體地固定一對(duì)振動(dòng)腕部2、3的壓電振動(dòng)片1。然后，在S8中，如圖16所示，最后分別除去蝕刻保護(hù)膜21、22(除去工序)。由此， 能夠制造在一對(duì)振動(dòng)腕部2、3的兩面分別形成溝部5的、圖4所示的壓電振動(dòng)片1。接著，在S9中，分別形成激振電極8、引出電極11、12及裝配電極9、10(電極形成工序)。詳細(xì)地說(shuō)，在壓電振動(dòng)片1的外表面上，如圖17所示，將在后面成為激振電極8、引出電極11、12及裝配電極9、10的導(dǎo)電膜23成膜，并且在所述導(dǎo)電膜23上成膜正型的光刻膠膜對(duì)。接著，使形成既定大小的開(kāi)口部25a的光掩模25，位于光刻膠膜M上。這時(shí)，將光掩模25正確地定位，以使開(kāi)口部2 分別位于夾著溝部5的振動(dòng)腕部2、3上。接著，從光掩模25的上方照射平行光L，穿過(guò)開(kāi)口部2 而曝光光刻膠膜M。這時(shí)，光刻膠膜對(duì)成為僅曝光形成開(kāi)口部25a的區(qū)域的狀態(tài)。接著，在除去光掩模2 之后，進(jìn)行光刻膠膜M的顯影。由此，如圖18所示，光刻膠膜M成為僅除去了曝光的區(qū)域的狀態(tài)。然后，以該光刻膠膜M為掩模對(duì)導(dǎo)電膜23進(jìn)行蝕刻加工后，除去光刻膠膜對(duì)。由此，如圖3所示，能夠在包含溝部5的振動(dòng)腕部2、3的外表面上形成不同極性的兩個(gè)激振電極8。此外，在相同的定時(shí)，從導(dǎo)電膜23也能分別形成引出電極11、12、裝配電極9、10及重錘金屬膜13。其結(jié)果，能夠制造圖1到圖3所示的壓電振動(dòng)片1。依據(jù)本實(shí)施方式的制造方法，首先，在圓片20中與溝部5相當(dāng)?shù)奈恢靡酝獾膮^(qū)域形成蝕刻保護(hù)膜21之后，通過(guò)進(jìn)行干蝕刻，能夠在圓片20的兩面形成不受晶體的面方位的影響的所希望形狀的溝部5。此外，構(gòu)成為對(duì)于圓片20的兩面交互地形成既定厚度tl的保護(hù)膜21a，從而成為所希望的膜厚的蝕刻保護(hù)膜21，因此能夠防止在圓片20發(fā)生翹曲。即，既定厚度tl是指即便對(duì)圓片20成膜也不會(huì)發(fā)生翹曲的程度的較薄的膜(保護(hù)膜21a)，通過(guò)對(duì)圓片20的兩面交互地成膜該既定厚度tl的保護(hù)膜21a，在形成保護(hù)膜時(shí)一邊消除在圓片20的兩面產(chǎn)生的應(yīng)力一邊形成蝕刻保護(hù)膜21。因而，在形成保護(hù)膜時(shí)不會(huì)在圓片20發(fā)生翹曲，所以通過(guò)對(duì)圓片20進(jìn)行干蝕刻，能夠形成所希望的溝部5。如此，利用干蝕刻來(lái)進(jìn)行溝部5的加工，從而能夠高精度地進(jìn)行加工，能夠使溝部 5的側(cè)面及底面都成為平坦面，而不是壓扁的形狀。因而，能夠在壓電振動(dòng)片1的外表面按設(shè)計(jì)的那樣形成激振電極8，并且能夠使CI值比用現(xiàn)有方法制造時(shí)更低。S卩，如圖3所示，能夠使形成在溝部5的側(cè)面的一個(gè)激振電極6 (7)和形成在振動(dòng)腕部2、3的側(cè)面的另一激振電極7(6)，成為比以往更正確地對(duì)置的位置關(guān)系。因此，能夠使 CI值比用現(xiàn)有方法來(lái)制造時(shí)更低。因而，能夠謀求高質(zhì)量化、高性能化。(第二實(shí)施方式)接著，參照?qǐng)D19、圖20，對(duì)本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的制造方法的第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，在該第二實(shí)施方式中，對(duì)于與第一實(shí)施方式中的構(gòu)成要素相同的部分，標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。第二實(shí)施方式和第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)，僅在圓片20上成膜蝕刻保護(hù)膜21的成膜方法上，其它的構(gòu)成大致相同。首先，準(zhǔn)備圓片20 (Si)。接著，如圖6所示，利用濺鍍等來(lái)在圓片20的兩面分別形成蝕刻加工時(shí)保護(hù)圓片20的蝕刻保護(hù)膜21 (S2)。作為該蝕刻保護(hù)膜21，例如，將鈦(Ti) 約成膜3 μ m。在此，在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為對(duì)圓片20的兩面同時(shí)形成蝕刻保護(hù)膜21而成為所希望的膜厚。即，若對(duì)圓片20的一個(gè)面20a及另一面20b同時(shí)成膜蝕刻保護(hù)膜21，則能夠防止在圓片20發(fā)生翹曲。此外，要在圓片20的兩面同時(shí)成膜蝕刻保護(hù)膜21時(shí)，使用例如圖19、圖20所示，在圓片20的兩面的形成蝕刻保護(hù)膜21的區(qū)域具有開(kāi)口部(窗框)31的夾具30。夾具30由一對(duì)板材32、32構(gòu)成，在板材32適宜形成有開(kāi)口部31。此外，成為能在一對(duì)板材32、32之間隔著圓片20。在一對(duì)板材32、32中四角設(shè)有固定用磁體33，并且在夾具30設(shè)有定位銷34，該定位銷34用于在配置了圓片20時(shí)將圓片20定位。在這樣的夾具30安裝圓片20，并將夾具30配置在濺鍍裝置(未圖示)內(nèi)，從而能夠在圓片20的兩面同時(shí)形成蝕刻保護(hù)膜21。在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為能對(duì)圓片20的兩面同時(shí)形成蝕刻保護(hù)膜21，因此能夠防止在圓片20形成蝕刻保護(hù)膜21之際在圓片20發(fā)生翹曲。即，通過(guò)對(duì)圓片20的兩面同時(shí)形成成膜蝕刻保護(hù)膜21，一邊消除在圓片20的兩面產(chǎn)生的應(yīng)力，一邊形成蝕刻保護(hù)膜21。 因而，在形成蝕刻保護(hù)膜21時(shí)在圓片20不會(huì)發(fā)生翹曲，通過(guò)對(duì)圓片20進(jìn)行干蝕刻，能夠形成所希望的溝部5。如此，通過(guò)用干蝕刻來(lái)進(jìn)行溝部5的加工，能夠高精度地進(jìn)行加工，并能使溝部5 的側(cè)面及底面都成為平坦面，而不是壓扁的形狀。因而，能夠按照設(shè)計(jì)的那樣在壓電振動(dòng)片 1的外表面形成激振電極8，并能使CI值比用現(xiàn)有方法來(lái)制造時(shí)更低。因而，能謀求高質(zhì)量化、高性能化。接著，參照?qǐng)D21，對(duì)具有本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的壓電振動(dòng)器的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，在本實(shí)施方式中，以圓柱封裝型的壓電振動(dòng)器為例，對(duì)壓電振動(dòng)器進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)器40，如圖21所示，具備壓電振動(dòng)片1、氣密端子41、和以在內(nèi)部密封電振動(dòng)片1的狀態(tài)與氣密端子41接合的殼體42。氣密端子41包括環(huán)狀的心柱(stem) 43 ；以貫穿所述心柱43的方式配置并且與壓電振動(dòng)片1的兩裝配電極9、10電性及物理性地分別連接的2根引腳44;以及以絕緣狀態(tài)將所述引腳44和心柱43固定成一體并密封殼體42內(nèi)的填充材料45。上述心柱43用金屬材料(例如，低碳鋼0 )、鐵鎳合金O^e-Ni)、鐵鎳鈷合金(Fe-Ni-Co))形成為環(huán)狀。此外，心柱43的外周被覆膜了耐熱焊錫鍍層或錫銅合金、金錫合金等的未圖示的金屬膜。此外，作為上述填充材料45的材料，例如，為硼硅酸玻璃。此外，2根引腳44中，向殼體42內(nèi)突出的部分在為內(nèi)引腳44a，而向殼體42外突出的部分成為外引腳44b。而且， 該外引腳44b作為外部連接端子起作用。上述殼體42對(duì)于心柱43的外周壓入并嵌合固定。具體而言，隔著覆膜在心柱43 的外周上的金屬膜，殼體42和心柱43通過(guò)冷間壓接來(lái)固定。該殼體42的壓入是在真空氣氛下進(jìn)行的，因此殼體42內(nèi)的圍繞壓電振動(dòng)片1的空間以保持真空的狀態(tài)被密閉。依據(jù)這樣構(gòu)成的圓柱封裝型的壓電振動(dòng)器40，具有更加高質(zhì)量化及高性能化的壓電振動(dòng)片1，因此壓電振動(dòng)器40本身也能謀求高質(zhì)量化及高性能化。特別是，由于能夠使殼體42內(nèi)處于真空狀態(tài)，所以能夠提高一對(duì)振動(dòng)腕部2、3的振動(dòng)效率。(壓電振動(dòng)器)接著，參照?qǐng)D22及圖23，對(duì)具有本發(fā)明的壓電振動(dòng)片1的壓電振動(dòng)器的其它例子進(jìn)行說(shuō)明。此外，在本實(shí)施方式中，以在帶有蓋的箱中固定壓電振動(dòng)片1的陶瓷封裝型的壓電振動(dòng)器50為例，對(duì)壓電振動(dòng)器進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)器50，如圖22及圖23所示，包括壓電振動(dòng)片1、底座51及由金屬或玻璃構(gòu)成的蓋體52。壓電振動(dòng)片1的基部4用導(dǎo)電粘接劑53來(lái)固接并固定在底座51的接合部51a。此外，通過(guò)成為蓋子的蓋體52，底座51在真空中利用電子束熔敷或真空焊縫熔敷，或者，低熔點(diǎn)玻璃或共晶金屬的接合等的各種手段來(lái)被真空氣密密封。此外， 形成在壓電振動(dòng)片1的基部4上的裝配電極9、10，穿過(guò)接合部51a并通過(guò)未圖示的內(nèi)部連接來(lái)與底座51的外側(cè)的外部電極M電連接。在這樣構(gòu)成的陶瓷封裝型的壓電振動(dòng)器50中，由于具有更加高質(zhì)量化及高性能化的壓電振動(dòng)片1，壓電振動(dòng)器50本身也能謀求高質(zhì)量化及高性能化。此外，能夠使由底座 51和蓋體52圍住的空間處于真空狀態(tài)，因此同樣能提高一對(duì)振動(dòng)腕部2、3的振動(dòng)效率。(振蕩器)接著，參照?qǐng)DM，對(duì)本發(fā)明的振蕩器的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，本實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明具備包括壓電振動(dòng)片1的壓電振動(dòng)器40的振蕩器60。本實(shí)施方式的振蕩器60如圖M所示，將壓電振動(dòng)器40構(gòu)成為電連接至集成電路 61的振子。該振蕩器60具備安裝了電容器等的電子部件62的基板63。在基板63安裝有振蕩器60用的上述集成電路61，在該集成電路61的附近安裝有壓電振動(dòng)器40的壓電振動(dòng)片1。這些電子部件62、集成電路61及壓電振動(dòng)器40通過(guò)未圖示的布線圖案分別電連接。 此外，各構(gòu)成部件通過(guò)未圖示的樹(shù)脂來(lái)模制(mould)。在這樣構(gòu)成的振蕩器60中，對(duì)壓電振動(dòng)器40施加電壓時(shí)，所述壓電振動(dòng)器40內(nèi)的壓電振動(dòng)片1振動(dòng)。通過(guò)壓電振動(dòng)片1所具有的壓電特性，將該振動(dòng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，以電信號(hào)方式輸入至集成電路61。通過(guò)集成電路61對(duì)輸入的電信號(hào)進(jìn)行各種處理，以頻率信號(hào)的方式輸出。從而，壓電振動(dòng)器40作為振子起作用。此外，根據(jù)需求有選擇地設(shè)定集成電路61的結(jié)構(gòu)，例如RTC(實(shí)時(shí)時(shí)鐘)模塊等， 除了鐘表用單功能振蕩器60等之外，還能夠附加控制該設(shè)備或外部設(shè)備的工作日期或時(shí)刻或者提供時(shí)刻或日歷等的功能。
依據(jù)本實(shí)施方式的振蕩器60，由于具備謀求高質(zhì)量化及高性能化的壓電振動(dòng)器 40，能夠謀求振蕩器60本身的高質(zhì)量化及高性能化，并能提高制品的可靠性。而且，除此之外，能夠得到長(zhǎng)期穩(wěn)定的高精度的頻率信號(hào)。(電子設(shè)備)接著，參照?qǐng)D25，就本發(fā)明的電子設(shè)備的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外作為電子設(shè)備，舉例說(shuō)明了具備包括壓電振動(dòng)片1的壓電振動(dòng)器40的便攜信息設(shè)備70。最初本實(shí)施方式的便攜信息設(shè)備70例如以便攜電話為代表，發(fā)展并改良現(xiàn)有技術(shù)中的手表。外觀類似于手表，在相當(dāng)于文字盤(pán)的部分配有液晶顯示器，能夠在該畫(huà)面上顯示當(dāng)前的時(shí)刻等。此外，在作為通信機(jī)而利用的情況下，從手腕取下，通過(guò)內(nèi)置于表帶的內(nèi)側(cè)部分的揚(yáng)聲器和麥克風(fēng)而能夠進(jìn)行與現(xiàn)有技術(shù)的便攜電話相同的通信。然而，與現(xiàn)有的便攜電話相比較，明顯小型化且輕型化。下面，對(duì)本實(shí)施方式的便攜信息設(shè)備70的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如圖25所示，該便攜信息設(shè)備70具備壓電振動(dòng)器40和供電用的電源部71。電源部71例如由鋰二次電池構(gòu)成。 進(jìn)行各種控制的控制部72、進(jìn)行時(shí)刻等的計(jì)數(shù)的計(jì)時(shí)部73、與外部進(jìn)行通信的通信部74、 顯示各種信息的顯示部75、和檢測(cè)各功能部的電壓的電壓檢測(cè)部76與該電源部71并聯(lián)連接。而且，通過(guò)電源部71來(lái)對(duì)各功能部供電?？刂撇?2控制各功能部，進(jìn)行聲音數(shù)據(jù)的發(fā)送及接收、當(dāng)前時(shí)刻的測(cè)量或顯示等的整個(gè)系統(tǒng)的動(dòng)作控制。此外，控制部72具備預(yù)先寫(xiě)入程序的ROM、讀取寫(xiě)入到該ROM的程序并執(zhí)行的CPU、和作為該CPU的工作區(qū)使用的RAM等。計(jì)時(shí)部73具備內(nèi)置了振蕩電路、寄存器電路、計(jì)數(shù)器電路及接口電路等的集成電路和壓電振動(dòng)器40。對(duì)壓電振動(dòng)器40施加電壓時(shí)壓電振動(dòng)片1振動(dòng)，通過(guò)水晶所具有的壓電特性，所述振動(dòng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，以電信號(hào)的方式輸入到振蕩電路。振蕩電路的輸出被二值化，通過(guò)寄存器電路和計(jì)數(shù)器電路來(lái)計(jì)數(shù)。然后，通過(guò)接口電路，與控制部72進(jìn)行信號(hào)的發(fā)送與接收，在顯示部75顯示當(dāng)前時(shí)刻或當(dāng)前日期或者日歷信息等。通信部74具有與現(xiàn)有的便攜電話相同的功能，具備無(wú)線電部77、聲音處理部78、 切換部79、放大部80、聲音輸入/輸出部81、電話號(hào)碼輸入部82、來(lái)電音發(fā)生部83及呼叫控制存儲(chǔ)器部84。通過(guò)天線85，無(wú)線電部77與基站進(jìn)行收發(fā)聲音數(shù)據(jù)等各種數(shù)據(jù)的交換。聲音處理部78對(duì)從無(wú)線電部77或放大部80輸入的聲音信號(hào)進(jìn)行編碼及解碼。放大部80將從聲音處理部78或聲音輸入/輸出部81輸入的信號(hào)放大到既定電平。聲音輸入/輸出部81由揚(yáng)聲器或麥克風(fēng)等構(gòu)成，擴(kuò)大來(lái)電音或受話聲音，或者將聲音集音。此外，來(lái)電音發(fā)生部83響應(yīng)來(lái)自基站的呼叫而生成來(lái)電音。切換部79僅在來(lái)電時(shí)，通過(guò)將連接在聲音處理部78的放大部80切換到來(lái)電音發(fā)生部83，在來(lái)電音發(fā)生部83 中生成的來(lái)電音經(jīng)由放大部80輸出至聲音輸入/輸出部81。此外，呼叫控制存儲(chǔ)器部84存放與通信的呼叫及來(lái)電控制相關(guān)的程序。此外，電話號(hào)碼輸入部82具備例如0至9的號(hào)碼鍵及其它鍵，通過(guò)按壓這些號(hào)碼鍵等，輸入通話目的地的電話號(hào)碼等。電壓檢測(cè)部76在通過(guò)電源部71對(duì)控制部72等的各功能部施加的電壓小于既定值時(shí)，檢測(cè)其電壓降后通知控制部72。
這時(shí)的既定電壓值是作為使通信部74穩(wěn)定動(dòng)作所需的最低限的電壓而預(yù)先設(shè)定的值，例如，3V左右。從電壓檢測(cè)部76收到電壓降的通知的控制部72禁止無(wú)線電部77、聲音處理部78、切換部79及來(lái)電音發(fā)生部83的動(dòng)作。特別是，停止耗電較大的無(wú)線電部77 的動(dòng)作是必需的。而且，顯示部75顯示通信部74由于電池余量的不足而不能使用的提示。即，能夠由電壓檢測(cè)部76和控制部72禁止通信部74的動(dòng)作并在顯示部75顯示該提示。該顯示可以是文字消息，但作為更直觀的顯示，也可以在顯示于顯示部75的顯示面的上部的電話圖標(biāo)打“ X (叉)”標(biāo)記。此外，通過(guò)具備能夠有選擇地截?cái)嗯c通信部74的功能相關(guān)的部分的電源的電源截?cái)嗖?6，能夠更加可靠地停止通信部74的功能。依據(jù)本實(shí)施方式的便攜信息設(shè)備70，由于具備謀求高質(zhì)量化及高性能化的壓電振動(dòng)器40，能夠謀求便攜信息設(shè)備70本身的高質(zhì)量化及高性能化，并能提高制品的可靠性。 而且，除此之外，能夠顯示長(zhǎng)期穩(wěn)定的高精度的時(shí)鐘信息。(電波鐘)接著，參照?qǐng)D沈，就本發(fā)明的電波鐘的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，在本實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明具備包括壓電振動(dòng)片1的壓電振動(dòng)器40的電波鐘。如圖沈所示，本實(shí)施方式的電波鐘80具備電連接到濾波部81的壓電振動(dòng)器40， 是接收包含時(shí)鐘信息的標(biāo)準(zhǔn)電波，并具有自動(dòng)修正為正確的時(shí)刻并加以顯示的功能的鐘表。在日本國(guó)內(nèi)，在福島縣(40kHz)和佐賀縣(60kHz)有發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)電波的發(fā)送站(發(fā)送局)，分別發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)電波。40kHz或60kHz這樣的長(zhǎng)波兼有沿地表傳播的性質(zhì)和在電離層和地表一邊反射一邊傳播的性質(zhì)，因此其傳播范圍寬，且由上述的兩個(gè)發(fā)送站覆蓋整個(gè)日本國(guó)內(nèi)。以下，對(duì)電波鐘80的功能性結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。天線82接收40kHz或60kHz長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)電波。長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)電波將被稱為定時(shí)碼的時(shí)刻信息AM調(diào)制為40kHz或60kHz的載波。所接收的長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)電波由放大器83放大， 由具有多個(gè)壓電振動(dòng)器40的濾波部81濾波并調(diào)諧。本實(shí)施方式中的壓電振動(dòng)器40分別具備與上述載波頻率相同的40kHz及60kHz 的諧振頻率的水晶振動(dòng)器部84、85。而且，濾波后的既定頻率的信號(hào)通過(guò)檢波、整流電路86來(lái)檢波并解調(diào)。接著，經(jīng)由波形整形電路87而抽出定時(shí)碼，由CPU88計(jì)數(shù)。在CPU88中，讀取當(dāng)前的年、累積日、星期、 時(shí)刻等的信息。被讀取的信息反映于RTC89，顯示出準(zhǔn)確的時(shí)刻信息。由于載波為40kHz或60kHz，所以水晶振動(dòng)器部84、85優(yōu)選具有上述的音叉型結(jié)構(gòu)的振動(dòng)器。此外，雖然上述的說(shuō)明由日本國(guó)內(nèi)的示例表示，但長(zhǎng)波的標(biāo)準(zhǔn)電波的頻率在海外是不同的。例如，在德國(guó)使用77.5KHZ的標(biāo)準(zhǔn)電波。所以，在將即使在海外也能夠?qū)?yīng)的電波鐘80裝入便攜設(shè)備的情況下，還需要與日本的情況不同的頻率的壓電振動(dòng)器40。依據(jù)本實(shí)施方式的電波鐘80，由于具備謀求高質(zhì)量化及高性能化的壓電振動(dòng)器 40，能夠謀求電波鐘80本身的高質(zhì)量化及高性能化，并能提高制品的可靠性。而且，除此之外，能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定且高精度地對(duì)時(shí)刻進(jìn)行計(jì)數(shù)。
此外，本發(fā)明的技術(shù)范圍并不局限于上述實(shí)施的方式，在不超出本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可做各種變更。例如，形成溝部的工序，也可以不是上述的方法，而是在形成溝部的區(qū)域粘貼聚酰亞胺膠帶等的掩模部件后，對(duì)圓片整個(gè)面實(shí)施濺鍍，其后，在除去掩模部件后利用干蝕刻來(lái)形成溝部。即，在使與圓片中的溝部相當(dāng)?shù)奈恢寐冻鲋螅酶晌g刻來(lái)形成溝部即可。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的制造方法能夠適用于在振動(dòng)腕部形成有溝部的壓電振動(dòng)片。
權(quán)利要求
1.一種壓電振動(dòng)片的制造方法，從圓片制造具有平行配置的一對(duì)振動(dòng)腕部、將所述一對(duì)振動(dòng)腕部的基端側(cè)固定成一體的基部、和在所述一對(duì)振動(dòng)腕部的兩面沿著所述振動(dòng)腕部的長(zhǎng)度方向分別形成的溝部的壓電振動(dòng)片，該壓電振動(dòng)片的制造方法的特征在于，包括在所述圓片中的與所述溝部對(duì)應(yīng)的位置以外的區(qū)域形成保護(hù)膜的保護(hù)膜形成工序；以及以所述保護(hù)膜為掩模對(duì)所述圓片進(jìn)行干蝕刻來(lái)形成所述溝部的溝部形成工序， 在所述保護(hù)膜形成工序中，交互多次進(jìn)行對(duì)所述圓片的第一面形成既定厚度的所述保護(hù)膜的第一保護(hù)膜形成工序和對(duì)所述圓片的第二面形成既定厚度的所述保護(hù)膜的第二保護(hù)膜形成工序。
2.一種壓電振動(dòng)片的制造方法，從圓片制造具有平行配置的一對(duì)振動(dòng)腕部、將所述一對(duì)振動(dòng)腕部的基端側(cè)固定成一體的基部、和在所述一對(duì)振動(dòng)腕部的兩面沿著振動(dòng)腕部的長(zhǎng)度方向分別形成的溝部的壓電振動(dòng)片，該壓電振動(dòng)片的制造方法的特征在于，包括在所述圓片中的與所述溝部對(duì)應(yīng)的位置以外的區(qū)域形成保護(hù)膜的保護(hù)膜形成工序；以及通過(guò)對(duì)所述圓片進(jìn)行干蝕刻來(lái)形成所述溝部的溝部形成工序， 在所述保護(hù)膜形成工序中，對(duì)所述圓片的兩面同時(shí)形成所述保護(hù)膜。
3.一種壓電振動(dòng)器，其特征在于，具有用權(quán)利要求1或2所述的制造方法來(lái)制造的壓電振動(dòng)片。
4.一種振蕩器，其特征在于，使權(quán)利要求3所述的壓電振動(dòng)器，作為振子與集成電路電連接。
5.一種電子設(shè)備，其特征在于，使權(quán)利要求3所述的壓電振動(dòng)器，與計(jì)時(shí)部電連接。
6.一種電波鐘，其特征在于，使權(quán)利要求3所述的壓電振動(dòng)器，與濾波部電連接。
全文摘要
本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的制造方法，從圓片制造具有平行配置的一對(duì)振動(dòng)腕部、將所述一對(duì)振動(dòng)腕部的基端側(cè)固定成一體的基部、和在所述一對(duì)振動(dòng)腕部的兩面沿著振動(dòng)腕部的長(zhǎng)度方向分別形成的溝部的壓電振動(dòng)片，該壓電振動(dòng)片的制造方法，包括在所述圓片中的與所述溝部對(duì)應(yīng)的位置以外的區(qū)域形成保護(hù)膜的保護(hù)膜形成工序；以及以所述保護(hù)膜為掩模對(duì)所述圓片進(jìn)行干蝕刻來(lái)形成所述溝部的溝部形成工序，在所述保護(hù)膜形成工序中，交互多次進(jìn)行對(duì)所述圓片的第一面形成既定厚度的所述保護(hù)膜的第一保護(hù)膜形成工序和對(duì)所述圓片的第二面形成既定厚度的所述保護(hù)膜的第二保護(hù)膜形成工序。
文檔編號(hào)H03H9/215GK102204089SQ200880131919
公開(kāi)日2011年9月28日 申請(qǐng)日期2008年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月28日
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