直線電動(dòng)機(jī)裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及直線電動(dòng)機(jī)裝置，具備：沿移動(dòng)方向延伸且具有磁鐵的軌道部件；及以能夠移動(dòng)的方式裝架于軌道部件且具有線圈的移動(dòng)體，直線電動(dòng)機(jī)裝置向線圈通入電流而在線圈與磁鐵之間產(chǎn)生移動(dòng)方向上的推力，其中，具有線圈的移動(dòng)體具有：磁屏蔽對(duì)象物，該磁屏蔽對(duì)象物需要緩和磁鐵形成的磁場(chǎng)的影響；及磁屏蔽部件，該磁屏蔽部件由強(qiáng)磁性材料形成并對(duì)磁屏蔽對(duì)象物進(jìn)行屏蔽以免受到磁場(chǎng)的影響，磁屏蔽部件具有：平行屏蔽板，在磁屏蔽對(duì)象物與磁鐵之間與移動(dòng)方向平行地配置；及垂直屏蔽板，與移動(dòng)方向垂直地從平行屏蔽板的移動(dòng)方向的前緣及后緣中的至少一方朝遠(yuǎn)離磁鐵遠(yuǎn)離的方向配置。由此，對(duì)磁屏蔽對(duì)象物進(jìn)行磁屏蔽以免受到磁鐵形成的磁場(chǎng)的影響的效果比以往提高。
【專利說(shuō)明】
直線電動(dòng)機(jī)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及利用在通入有電流的線圈與磁鐵之間產(chǎn)生的推力而移動(dòng)體沿著軌道部件移動(dòng)的直線電動(dòng)機(jī)裝置，更詳細(xì)而言，涉及對(duì)磁鐵形成的磁場(chǎng)的影響進(jìn)行緩和的磁屏蔽構(gòu)造。
【背景技術(shù)】
[0002]作為生產(chǎn)安裝有多個(gè)電子元件的基板的設(shè)備，存在焊料印刷機(jī)、元件安裝機(jī)、回流爐、基板檢查機(jī)等。通常以基板輸送裝置連接上述設(shè)備來(lái)構(gòu)筑基板生產(chǎn)線。在元件安裝機(jī)或基板檢查機(jī)中，作為安裝頭或檢查頭的驅(qū)動(dòng)裝置，以往使用進(jìn)給絲杠驅(qū)動(dòng)裝置。近年來(lái)，對(duì)于頭的高速移動(dòng)及高精度位置控制的要求提高，從而使用直線電動(dòng)機(jī)裝置作為驅(qū)動(dòng)裝置。尤其是在有限的設(shè)置空間中能夠產(chǎn)生較大的推力的軸型直線電動(dòng)機(jī)裝置引起注目。
[0003]本申請(qǐng)的
【申請(qǐng)人】在專利文獻(xiàn)I中公開(kāi)了這種軸型直線電動(dòng)機(jī)裝置的技術(shù)例。專利文獻(xiàn)I的圓筒型直線電動(dòng)機(jī)具備:直線狀地組裝有多個(gè)永久磁鐵的軸狀的定子、內(nèi)置有多個(gè)線圈的動(dòng)子，在定子的永久磁鐵之間夾入厚度尺寸受到限定的磁性體隔片。由此，能夠抑制推力下降，并能夠高效率地對(duì)定子進(jìn)行組裝作業(yè)。
[0004]然而，不限于軸型，當(dāng)在一般的直線電動(dòng)機(jī)裝置中為了得到較大的推力而增加線圈的通電電流時(shí)，損失熱量增加而溫度上升變得顯著。因此，例如需要使用散熱片或冷卻風(fēng)扇來(lái)強(qiáng)制性地對(duì)線圈進(jìn)行冷卻。另外，當(dāng)為了得到較大的推力而使用強(qiáng)力的永久磁鐵時(shí)，永久磁鐵所形成的磁場(chǎng)會(huì)對(duì)附近的電裝元件造成影響。因此，需要將磁屏蔽部件用于對(duì)磁場(chǎng)的影響進(jìn)行緩和。作為需要磁屏蔽的電裝元件(磁屏蔽對(duì)象物)，能夠例示以CPU為首的電子控制元件、利用了磁場(chǎng)變化的檢測(cè)方式的傳感器等。專利文獻(xiàn)2及專利文獻(xiàn)3公開(kāi)了在直線電動(dòng)機(jī)裝置中進(jìn)行磁屏蔽的技術(shù)例。
[0005]專利文獻(xiàn)2的權(quán)利要求4的直線電動(dòng)機(jī)對(duì)的特征在于，由磁屏蔽件包圍構(gòu)成動(dòng)子的4N組的磁鐵對(duì)及磁軛。此外，在專利文獻(xiàn)2的實(shí)施例2中公開(kāi)了以包圍動(dòng)子的周?chē)拇蟛糠值姆绞脚渲脙蓪哟牌帘渭男螒B(tài)。由此，能夠減少來(lái)自動(dòng)子的漏泄磁場(chǎng)。
[0006]另外，專利文獻(xiàn)3的權(quán)利要求1的電氣機(jī)械具備:第一工作部分、第二工作部分及對(duì)兩工作部分之間的運(yùn)動(dòng)量(相對(duì)移動(dòng)量)進(jìn)行檢測(cè)的傳感器裝置。并且，感應(yīng)雜散磁場(chǎng)的傳感器裝置安裝于一個(gè)工作部分，在傳感器裝置與至少一個(gè)工作部分之間配置有磁屏蔽裝置。在專利文獻(xiàn)3的權(quán)利要求2中，電氣機(jī)械構(gòu)成為直線電動(dòng)機(jī)，第一工作部分被確定為第一次部分(移動(dòng)體)，第二工作部分被確定為第二次部分(軌道部件)。此外，在專利文獻(xiàn)3的實(shí)施方式中，傳感器裝置設(shè)為安裝于移動(dòng)體而對(duì)軌道部件的度量器(直線刻度尺)進(jìn)行掃描的位置檢測(cè)傳感器。另外，磁屏蔽裝置設(shè)為簡(jiǎn)單的細(xì)片的屏蔽板，立設(shè)于軌道部件的永久磁鐵與移動(dòng)體的傳感器裝置之間。
[0007]另外，直線電動(dòng)機(jī)裝置不限定于元件安裝機(jī)或基板檢查機(jī)的用途，可廣泛使用于具有直線前進(jìn)可動(dòng)部的各種產(chǎn)業(yè)機(jī)械中。
[0008]專利文獻(xiàn)I:日本特開(kāi)2008-206335號(hào)公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2011-193703號(hào)公報(bào)
[0010]專利文獻(xiàn)3:日本特表2009-529131號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
[0011]發(fā)明要解決的課題
[0012]然而，優(yōu)選的是利用專利文獻(xiàn)2的直線電動(dòng)機(jī)對(duì)的磁屏蔽件減少來(lái)自動(dòng)子(移動(dòng)體)的漏泄磁場(chǎng)而能夠緩和磁場(chǎng)對(duì)其他裝置的影響。但是，該磁屏蔽件無(wú)法對(duì)配置在動(dòng)子上的電裝元件進(jìn)行磁屏蔽。因此，無(wú)法消除動(dòng)子上的電裝元件受到磁鐵對(duì)的磁場(chǎng)的影響而發(fā)生功能停止、進(jìn)行誤動(dòng)作、精度降低的可能性。
[0013]與此相對(duì)，專利文獻(xiàn)2公開(kāi)的細(xì)片的屏蔽板對(duì)移動(dòng)體的傳感器裝置進(jìn)行磁屏蔽以免受到軌道部件的永久磁鐵的影響。然而，當(dāng)想要增強(qiáng)永久磁鐵的磁場(chǎng)來(lái)得到較大的推力時(shí)，在細(xì)片的屏蔽板的情況下，難以得到充分的磁屏蔽效果，未消除傳感器裝置受到磁場(chǎng)的影響的可能性。作為其對(duì)策，若充分地?cái)U(kuò)大屏蔽板的面積，則磁屏蔽效果會(huì)提高。但是，屏蔽板由鐵等強(qiáng)磁性材料形成，因此會(huì)從永久磁鐵對(duì)屏蔽板作用較強(qiáng)的磁吸引力。該磁吸引力與移動(dòng)體的移動(dòng)方向交叉，并且對(duì)應(yīng)于屏蔽板的面積而增加，因此會(huì)妨礙移動(dòng)體的順暢的移動(dòng)。
[0014]本發(fā)明鑒于上述【背景技術(shù)】的問(wèn)題點(diǎn)而作出，要解決的課題在于提供一種直線電動(dòng)機(jī)裝置，與以往相比提高了對(duì)磁屏蔽對(duì)象物進(jìn)行磁屏蔽以免受到磁鐵形成的磁場(chǎng)的影響的效果，并且抑制了從磁鐵作用于磁屏蔽部件而妨礙移動(dòng)體的順暢的移動(dòng)的磁吸引力的增加。
[0015]用于解決課題的方案
[0016]解決上述課題的第一方案的直線電動(dòng)機(jī)裝置的發(fā)明具備:沿移動(dòng)方向延伸且具有磁鐵及線圈中的一方的軌道部件;及以能夠移動(dòng)的方式架設(shè)于上述軌道部件且具有上述磁鐵及上述線圈中的另一方的移動(dòng)體，上述直線電動(dòng)機(jī)裝置向上述線圈通入電流而在上述線圈與上述磁鐵之間產(chǎn)生上述移動(dòng)方向上的推力，具有上述線圈的上述軌道部件或上述移動(dòng)體具有:磁屏蔽對(duì)象物，上述磁屏蔽對(duì)象物需要緩和上述磁鐵形成的磁場(chǎng)的影響;及磁屏蔽部件，上述磁屏蔽部件由強(qiáng)磁性材料形成并對(duì)上述磁屏蔽對(duì)象物進(jìn)行屏蔽以免受到上述磁場(chǎng)的影響，上述磁屏蔽部件具有:平行屏蔽板，在上述磁屏蔽對(duì)象物與上述磁鐵之間與上述移動(dòng)方向平行地配置;及垂直屏蔽板，與上述移動(dòng)方向垂直地從上述平行屏蔽板的上述移動(dòng)方向的前緣及后緣中的至少一方朝遠(yuǎn)離上述磁鐵的方向配置。
[0017]由此，在具有線圈的軌道部件或移動(dòng)體上設(shè)有磁屏蔽對(duì)象物及磁屏蔽部件，對(duì)磁屏蔽對(duì)象物進(jìn)行屏蔽以免受到磁鐵形成的磁場(chǎng)的影響的磁屏蔽部件具有平行屏蔽板及垂直屏蔽板。另一方面，在現(xiàn)有技術(shù)的直線電動(dòng)機(jī)裝置中，未設(shè)置磁屏蔽部件，即便假設(shè)設(shè)置磁屏蔽部件也僅由平行屏蔽板構(gòu)成。因此，根據(jù)本發(fā)明，能夠通過(guò)垂直屏蔽板及平行屏蔽板更有效地屏蔽在現(xiàn)有技術(shù)中到達(dá)了磁屏蔽對(duì)象物的磁力線的一部分，而阻止其到達(dá)磁屏蔽對(duì)象物，提高了磁屏蔽效果。
[0018]另外，從磁鐵對(duì)由鐵等強(qiáng)磁性材料形成的磁屏蔽部件作用有較強(qiáng)的磁吸引力。在現(xiàn)有技術(shù)中，在為了提高磁屏蔽效果而擴(kuò)大平行屏蔽板的面積的情況下，磁吸引力對(duì)應(yīng)于面積地增加。另一方面，在本發(fā)明中，垂直屏蔽板與平行屏蔽板的前緣及后緣中的至少一方相連，并朝遠(yuǎn)離磁鐵的方向配置。因此，假設(shè)即便磁屏蔽部件的面積增加相同程度，在本發(fā)明中，能夠?qū)?yīng)于垂直屏蔽板遠(yuǎn)離磁鐵地與現(xiàn)有技術(shù)相比抑制磁吸引力的增加。由此，在本發(fā)明中，不會(huì)由于磁吸引力而妨礙移動(dòng)體的順暢的移動(dòng)。
【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1是構(gòu)成實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置的軸狀軌道部件的立體圖。
[0020]圖2是構(gòu)成實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置的筒狀移動(dòng)體的立體圖。
[0021]圖3是對(duì)作為磁屏蔽對(duì)象物的后側(cè)冷卻風(fēng)扇進(jìn)行屏蔽以免受到永磁場(chǎng)的影響的磁屏蔽部件的立體圖。
[0022]圖4是為了安裝后側(cè)冷卻風(fēng)扇而在現(xiàn)有技術(shù)中使用的安裝部件的立體圖。
[0023]圖5是表示在沒(méi)有磁屏蔽部件的條件下模擬磁場(chǎng)強(qiáng)度的分布而得到的非屏蔽模型的形狀的圖。
[0024]圖6是表不圖5的Al截面的磁場(chǎng)強(qiáng)度的分布的圖。
[0025]圖7是表不圖5的A2截面的磁場(chǎng)強(qiáng)度的分布的圖。
[0026]圖8是表示在使用了由平行屏蔽板及外側(cè)平行屏蔽板構(gòu)成的磁屏蔽部件的條件下模擬磁場(chǎng)強(qiáng)度的分布而得到的平行屏蔽模型的形狀的圖。
[0027]圖9是表不圖8的BI截面的磁場(chǎng)強(qiáng)度的分布的圖。
[0028]圖10是表不圖8的B2截面的磁場(chǎng)強(qiáng)度的分布的圖。
[0029]圖11是表示在使用了從上方觀察時(shí)為矩形的磁屏蔽部件的條件下，模擬磁場(chǎng)強(qiáng)度的分布而得到的矩形屏蔽模型的形狀的圖。
[0030]圖12是表示圖11的Cl截面的磁場(chǎng)強(qiáng)度的分布的圖。
[0031]圖13是表示圖11的C2截面的磁場(chǎng)強(qiáng)度的分布的圖。
[0032]圖14是在實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置中對(duì)在筒狀移動(dòng)體移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的橫擺的振動(dòng)量進(jìn)行測(cè)定而得到的波形。
[0033]圖15是從實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置拆下磁力抵消部件，并對(duì)在筒狀移動(dòng)體移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的橫擺的振動(dòng)量進(jìn)行測(cè)定而得到的波形。
【具體實(shí)施方式】
[0034]以圖1?圖15為參考而對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置進(jìn)行說(shuō)明。實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置由軸狀軌道部件I及筒狀移動(dòng)體2構(gòu)成。圖1是構(gòu)成實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置的軸狀軌道部件I的立體圖。軸狀軌道部件I將多個(gè)永久磁鐵11沿著移動(dòng)方向排列設(shè)置而形成。另外，圖2是構(gòu)成實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置的筒狀移動(dòng)體2的立體圖。筒狀移動(dòng)體2具有供軸狀軌道部件I卡入的內(nèi)筒部31，并以能夠移動(dòng)的方式裝架于軸狀軌道部件I。筒狀移動(dòng)體2從圖2的右前側(cè)向左里側(cè)往復(fù)移動(dòng)。為了方便，將左里側(cè)設(shè)為前側(cè)，將右前側(cè)設(shè)為后側(cè)。
[0035]如圖1所示，軸狀軌道部件I由多個(gè)永久磁鐵11、多個(gè)磁性體隔片12及省略圖示的管材構(gòu)成。管材是由非磁性材料形成且在筒狀移動(dòng)體2的移動(dòng)范圍內(nèi)延伸的細(xì)長(zhǎng)的圓筒狀部件。多個(gè)永久磁鐵11及多個(gè)磁性體隔片12沿移動(dòng)方向交替相接而收納在管材的內(nèi)部空間中。
[0036]永久磁鐵11使用強(qiáng)磁性材料而形成為圓柱形狀，該圓柱形狀具有比管材的內(nèi)徑稍小的外徑。在永久磁鐵11的圓柱形狀的上底面111形成N極，在下底面112形成S極。磁性體隔片12使用強(qiáng)磁性材料而形成為厚度尺寸為T(mén)的圓板形狀，該圓板形狀具有與永久磁鐵11大致相同的外徑。關(guān)于磁性體隔片的厚度尺寸T的決定方法，由于已經(jīng)公開(kāi)于專利文獻(xiàn)I，因此省略詳細(xì)的說(shuō)明。隔著磁性體隔片12而相鄰的永久磁鐵11以極性相同的磁極彼此相對(duì)的方式配置(圖1中由S、N表示)。多個(gè)永久磁鐵11不受有無(wú)管材的影響地在周?chē)目臻g形成永磁場(chǎng)。
[0037]如圖2所示，筒狀移動(dòng)體2由筒狀主體單元3及冷卻單元4等構(gòu)成。筒狀主體單元3是外形形狀在移動(dòng)方向上較長(zhǎng)的大致長(zhǎng)方體，并形成有沿移動(dòng)方向貫通的內(nèi)筒部31。詳細(xì)而言，筒狀主體單元3的與移動(dòng)方向垂直的截面是大致正方形的一角被傾斜地切斷的五角形，在其中心形成有內(nèi)筒部31。筒狀主體單元3具有沿移動(dòng)方向排列設(shè)置的11個(gè)線圈。各線圈以環(huán)繞軸狀軌道部件I的方式卷繞，并埋設(shè)于筒狀主體單元3的內(nèi)部。
[0038]筒狀移動(dòng)體2搭載有省略圖示的位置檢測(cè)部、移動(dòng)控制部及電源部。位置檢測(cè)部對(duì)軸狀軌道部件I上的筒狀移動(dòng)體2的當(dāng)前位置進(jìn)行檢測(cè)。移動(dòng)控制部基于檢測(cè)到的當(dāng)前位置及移動(dòng)指令，可變地控制從電源部流向線圈的電流的大小及方向。由此，在筒狀移動(dòng)體2的線圈形成的電流磁場(chǎng)與軸狀軌道部件I的永久磁鐵11形成的永磁場(chǎng)之間產(chǎn)生移動(dòng)方向的推力。為了得到較大的推力而使較大的電流通過(guò)線圈，因此需要強(qiáng)制性地對(duì)線圈進(jìn)行冷卻。另外，電源部也對(duì)后述的冷卻風(fēng)扇51、55供給電源。
[0039]冷卻單元4附設(shè)于筒狀主體單元3的一方的側(cè)面。即，冷卻單元4配置于筒狀移動(dòng)體2的周向的特定角度范圍內(nèi)。冷卻單元4是外形形狀在移動(dòng)方向上較長(zhǎng)的大致長(zhǎng)方體形狀。冷卻單元4的移動(dòng)方向的長(zhǎng)度尺寸與筒狀主體單元3的長(zhǎng)度相等，與移動(dòng)方向垂直的寬度尺寸小于筒狀主體單元3。冷卻單元4從前側(cè)朝后側(cè)依次排列設(shè)置前側(cè)冷卻風(fēng)扇51、6組前側(cè)散熱片52、分隔板53、5組后側(cè)散熱片54及后側(cè)冷卻風(fēng)扇55而構(gòu)成。
[0040]6組前側(cè)散熱片52及5組后側(cè)散熱片54與筒狀主體單元3內(nèi)的線圈一對(duì)一地設(shè)置。各散熱片52、54由導(dǎo)熱率較高的材質(zhì)例如鋁等形成。散熱片52、54的一側(cè)接近線圈，或者經(jīng)由導(dǎo)熱性絕緣物而與線圈相接，另一側(cè)遠(yuǎn)離線圈地配置。散熱片52、54允許空氣沿移動(dòng)方向(連接前側(cè)與后側(cè)的方向)進(jìn)行流通，并且空氣能夠從上方流入流出。散熱片52、54接收線圈所產(chǎn)生的熱損失，并向空氣中放散。
[0041]前側(cè)冷卻風(fēng)扇51從前側(cè)散熱片52吸入空氣，并朝前方吹出。冷卻用空氣從上方流入前側(cè)散熱片52(圖2的箭頭Fl)并在內(nèi)部流通之后，從前側(cè)冷卻風(fēng)扇51向前方流出(圖2的箭頭F2)。后側(cè)冷卻風(fēng)扇55從后方吸入冷卻用空氣(圖2的箭頭F3)，并朝后側(cè)散熱片54吹出?？諝庠诤髠?cè)散熱片54的內(nèi)部流通之后，從任一個(gè)向上方流出(圖2的箭頭F4)。通過(guò)采用使空氣向散熱片52、54流通的強(qiáng)制冷卻方式，與自然冷卻方式相比，可格外提高熱放散特性。分隔板53將前側(cè)散熱片52與后側(cè)散熱片54之間的空氣的流通隔斷。另外，通過(guò)設(shè)于分隔板53的安裝部56的螺紋緊固，從而將冷卻單元4安裝于筒狀主體單元3。
[0042]前側(cè)冷卻風(fēng)扇51及后側(cè)冷卻風(fēng)扇55內(nèi)置有對(duì)風(fēng)扇的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行控制的控制基板及對(duì)風(fēng)扇的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的霍爾傳感器?；魻杺鞲衅魇抢昧舜艌?chǎng)變化的檢測(cè)方式的傳感器，因此有可能受到永久磁鐵11形成的永磁場(chǎng)的影響而檢測(cè)精度下降或發(fā)生誤動(dòng)作。因此，前側(cè)冷卻風(fēng)扇51及后側(cè)冷卻風(fēng)扇55相當(dāng)于需要緩和永磁場(chǎng)的影響的本發(fā)明的磁屏蔽對(duì)象物。為了緩和永磁場(chǎng)的影響而在前側(cè)冷卻風(fēng)扇51及后側(cè)冷卻風(fēng)扇55的周?chē)謩e配置磁屏蔽部件6。另外，磁屏蔽對(duì)象物不限定于冷卻風(fēng)扇51、55。例如，有時(shí)上述筒狀移動(dòng)體2的位置檢測(cè)部或移動(dòng)控制部等電子控制元件也相當(dāng)于磁屏蔽對(duì)象物。
[0043]在前側(cè)冷卻風(fēng)扇51及后側(cè)冷卻風(fēng)扇55的周?chē)渲玫膬蓚€(gè)磁屏蔽部件6為相互鏡面對(duì)稱(鏡像)的同一形狀。因此，以后側(cè)冷卻風(fēng)扇55側(cè)的磁屏蔽部件6為例進(jìn)行說(shuō)明。圖3是對(duì)作為磁屏蔽對(duì)象物的后側(cè)冷卻風(fēng)扇55進(jìn)行屏蔽以免受到永磁場(chǎng)的影響的磁屏蔽部件6的立體圖。磁屏蔽部件6形成為大致向上方開(kāi)口的長(zhǎng)方體的箱形狀，以下詳細(xì)敘述。
[0044]磁屏蔽部件6由大致矩形的底板、從底板的四邊分別立設(shè)的平行屏蔽板61、前側(cè)垂直屏蔽板62、后側(cè)垂直屏蔽板63及外側(cè)平行屏蔽板64形成。平行屏蔽板61在后側(cè)冷卻風(fēng)扇55與永久磁鐵11 (圖3中位于左前的位置)之間與移動(dòng)方向平行配置。前側(cè)垂直屏蔽板62與平行屏蔽板51的移動(dòng)方向的前緣相連，與移動(dòng)方向垂直地朝遠(yuǎn)離永久磁鐵11的方向配置。后側(cè)垂直屏蔽板63與平行屏蔽板61的移動(dòng)方向的后緣相連，與移動(dòng)方向垂直地朝遠(yuǎn)離永久磁鐵11的方向配置。外側(cè)平行屏蔽板64連接前側(cè)垂直屏蔽板62及后側(cè)垂直屏蔽板63的遠(yuǎn)離永久磁鐵11 一側(cè)的緣部地配置。并且，在底板的上方固定設(shè)置后側(cè)冷卻風(fēng)扇55。因此，從上方觀察時(shí)，磁屏蔽部件6以矩形包圍后側(cè)冷卻風(fēng)扇55。
[0045]前側(cè)垂直屏蔽板62在中央形成有大致圓形的較大的通孔621。后側(cè)垂直屏蔽板63在中央形成有圓形的稍大的中央通孔631，在中央通孔631的周?chē)纬捎邪藗€(gè)稍小的周邊通孔632。通過(guò)上述通孔621、631、632，而不會(huì)妨礙后側(cè)冷卻風(fēng)扇55對(duì)空氣的吸入及吹出。
[0046]磁屏蔽部件6例如能夠?qū)涜F等強(qiáng)磁性材料的板材實(shí)施沖裁沖壓加工或彎曲成形加工等來(lái)制作。磁屏蔽部件6也可以由軟鐵以外的強(qiáng)磁性材料制作，另外，制作方法不作特別約束。
[0047]僅供參考的是，圖4是為了安裝后側(cè)冷卻風(fēng)扇55而在現(xiàn)有技術(shù)中使用的安裝部件9的立體圖?，F(xiàn)有技術(shù)的安裝部件9通過(guò)大致矩形的底板91及從底板91的一邊立設(shè)的矩形的平行屏蔽板92而形成為在主視觀察時(shí)為L(zhǎng)字狀。
[0048]如圖2所示，筒狀主體單元3還具有磁力抵消部件7。磁力抵消部件7例如由軟鐵等強(qiáng)磁性材料構(gòu)成，由在移動(dòng)方向上較長(zhǎng)的矩形的板材形成。磁力抵消部件7附設(shè)于筒狀主體單元3的另一方的側(cè)面。即，磁力抵消部件7配置于筒狀移動(dòng)體2的配置有冷卻單元4的周向的特定角度范圍的相反側(cè)的角度范圍。具體而言，磁力抵消部件7以筒狀主體單元3為中心而配置在后側(cè)冷卻風(fēng)扇55的大致對(duì)稱位置。
[0049]磁力抵消部件7是用于抵消永久磁鐵11吸引磁屏蔽部件6的磁吸引力的部件。在此，已知若制作與磁屏蔽部件6為同一形狀且同一材質(zhì)的虛設(shè)部件，并配置于磁屏蔽部件6的對(duì)稱位置，則能夠抵消磁吸引力。其原因是，永久磁鐵11吸引磁屏蔽部件6的磁吸引力與吸引虛設(shè)部件的磁吸引力的大小相同且方向相反。但是，這樣的虛設(shè)部件使筒狀移動(dòng)體2的寬度尺寸顯著增加，因此不優(yōu)選。
[0050]因此，優(yōu)選的是進(jìn)行磁吸引力的模擬，以便即使是單純的板材的磁力抵消部件7也能得到與虛設(shè)部件同等的效果。此外，優(yōu)選的是模擬以形成磁力抵消部件7的板材的大小、厚度、配置位置、安裝方法等為參數(shù)而進(jìn)行多次。由此，能夠求出在不增大筒狀移動(dòng)體2的情況下有效地抵消磁吸引力且安裝方法容易的最佳的磁力抵消部件7的板材形狀。
[0051]另外，在圖2中，不僅在后側(cè)冷卻風(fēng)扇55的大致對(duì)稱位置配置磁力抵消部件7，而且也可以在前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的大致對(duì)稱位置配置磁力抵消部件7。另外，也能夠想到在筒狀主體單元3的移動(dòng)方向的中間位置的附近僅配置一個(gè)磁力抵消部件7。磁力抵消部件7不限定為板材，其形狀、個(gè)數(shù)、配置位置及安裝方法等具有自由度。
[0052]接下來(lái)，以模擬結(jié)果為參考來(lái)對(duì)如上所述地構(gòu)成的實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置的磁屏蔽的作用進(jìn)行說(shuō)明。模擬以非屏蔽模型、平行屏蔽模型及矩形屏蔽模型這三個(gè)模型實(shí)施。作為三個(gè)模型的共同條件，對(duì)前側(cè)冷卻風(fēng)扇51位于某永久磁鐵11的正旁邊的位置的情況進(jìn)行模型化。在模型化中，僅考慮前側(cè)冷卻風(fēng)扇51、永久磁鐵11及磁屏蔽部件6B、6C，設(shè)為其他部件的相對(duì)磁導(dǎo)率大致為I，而不進(jìn)行考慮。
[0053]圖5是表示在沒(méi)有磁屏蔽部件的條件下，模擬磁場(chǎng)強(qiáng)度的分布而得到的非屏蔽模型的形狀的圖。在非屏蔽模型中，僅考慮前側(cè)冷卻風(fēng)扇51及永久磁鐵11。圖5的紙面上下方向設(shè)為筒狀移動(dòng)體2的移動(dòng)方向，從紙面左側(cè)朝右側(cè)的方向設(shè)為垂直外方向。另外，圖中的位置Pl表示前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的接近永久磁鐵11的一側(cè)面，位置P3表示前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的遠(yuǎn)離永久磁鐵11的另一側(cè)面。此外，位置P2表示配置在前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的靠前中央的霍爾傳感器的位置P2。在該位置P2處，緩和磁場(chǎng)的必要性最高。圖5的Al截面是通過(guò)前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的中心位置的截面。圖5的A2截面是通過(guò)前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的霍爾傳感器的位置P2的截面。另外，后述的圖8的B I截面及圖11的Cl截面對(duì)應(yīng)于與Al截面相同的位置，圖8的B2截面及圖11的C2截面對(duì)應(yīng)于與A2截面相同的位置。
[0054]在圖5所示的非屏蔽模型中，得到圖6及圖7所示的模擬結(jié)果。圖6是表示圖5的Al截面的磁場(chǎng)強(qiáng)度HAl的分布的圖，圖7是表不圖5的A2截面的磁場(chǎng)強(qiáng)度HA2的分布的圖。在部考慮磁屏蔽部件的非屏蔽模型中，整個(gè)區(qū)域的相對(duì)磁導(dǎo)率為I，因此形成磁偶極子的一般的磁場(chǎng)。由此，磁場(chǎng)強(qiáng)度HAl及磁場(chǎng)強(qiáng)度HA2隨著向距永久磁鐵11的中心的距離增加的垂直外方向前進(jìn)而平緩地減少。
[0055]圖8是表示在使用了由平行屏蔽板61及外側(cè)平行屏蔽板64構(gòu)成的磁屏蔽部件6B的條件下模擬磁場(chǎng)強(qiáng)度的分布而得到的平行屏蔽模型的形狀的圖。平行屏蔽板61與前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的一側(cè)面(位置Pl)相接地配置，外側(cè)平行屏蔽板64與前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的另一側(cè)面(位置P3)相接地配置。在平行屏蔽模型中，得到圖9及圖10所示的模擬結(jié)果。
[0056]圖9是表不圖8的BI截面的磁場(chǎng)強(qiáng)度HBl的分布的圖。磁場(chǎng)強(qiáng)度HBl隨著從永久磁鐵11的中心位置向垂直外方向前進(jìn)而大幅地減少。由此，位置PI的磁場(chǎng)強(qiáng)度HBI (PI)比圖6所示的非屏蔽模型的磁場(chǎng)強(qiáng)度HAl(Pl)減少很多。另外，位置P3的磁場(chǎng)強(qiáng)度HB1(P3)大致成為零。
[0057]另一方面，在比位置P3向垂直外方向分離的區(qū)域，磁場(chǎng)強(qiáng)度HBl也比非屏蔽模型的磁場(chǎng)強(qiáng)度HAl增加。即，在非屏蔽模型中到達(dá)前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的磁力線的一部分，在平行屏蔽模型中被引導(dǎo)至前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的外側(cè)，而阻止其到達(dá)前側(cè)冷卻風(fēng)扇51。作為磁屏蔽的定量的評(píng)價(jià)，磁場(chǎng)強(qiáng)度HBl的前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的寬度范圍(Pl?P3的范圍)的平均值減少至非屏蔽模型的平均值的32%。即，圖9的斜線所示的面積SB為圖6的斜線所示的面積SA的32%。
[0058]圖10是表示圖8的B2截面的磁場(chǎng)強(qiáng)度HB2的分布的圖。位置Pl處的磁場(chǎng)強(qiáng)度HB2(Pl)及位置P3處的磁場(chǎng)強(qiáng)度HB2(P3)大致成為零。定性來(lái)說(shuō)，與BI截面的磁場(chǎng)強(qiáng)度HBl相同地產(chǎn)生了磁屏蔽的效果。但是，霍爾傳感器的位置P2處的磁場(chǎng)強(qiáng)度HB2(P2)只不過(guò)減少至圖7所示的非屏蔽模型的磁場(chǎng)強(qiáng)度HA2(P2)的64%。因此，雖然在霍爾傳感器的位置P2處產(chǎn)生了磁屏蔽效果，定量來(lái)說(shuō)未必充分。
[0059]圖11是表示在使用了從上方觀察時(shí)為矩形的磁屏蔽部件6C的條件下，模擬磁場(chǎng)強(qiáng)度的分布而得到的矩形屏蔽模型的形狀的圖。磁屏蔽部件6C設(shè)為與前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的四個(gè)側(cè)面相接地配置。在圖11所示的矩形屏蔽模型中，得到圖12及圖13所示的模擬結(jié)果。
[0060]圖12是表示圖11的Cl截面的磁場(chǎng)強(qiáng)度HCl的分布的圖。磁場(chǎng)強(qiáng)度HCl在前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的寬度范圍(PI?P3的范圍)內(nèi)極小。另外，在比位置P3向垂直外方向分離的區(qū)域，磁場(chǎng)強(qiáng)度HCl比非屏蔽模型的磁場(chǎng)強(qiáng)度HAl增加。即，在非屏蔽模型中到達(dá)了前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的磁力線的大部分，在矩形屏蔽模型中被引導(dǎo)至前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的外側(cè)，阻止其到達(dá)前側(cè)冷卻風(fēng)扇51。
[0061 ]圖13是表示圖11的C2截面的磁場(chǎng)的強(qiáng)度HC2的分布的圖。磁場(chǎng)強(qiáng)度HC2在前側(cè)冷卻風(fēng)扇51的寬度范圍(Pl?P3的范圍)內(nèi)減小。并且，霍爾傳感器的位置P2處的磁場(chǎng)強(qiáng)度HC2(P2)減少至圖7所示的非屏蔽模型的磁場(chǎng)強(qiáng)度HA2(P2)的32%，S卩1/3以下。因此，在霍爾傳感器的位置P2，定量來(lái)說(shuō)可得到充分的磁屏蔽效果。
[0062]與實(shí)際的磁屏蔽部件6不同，模擬所使用的矩形的磁屏蔽部件6C在相當(dāng)于前側(cè)垂直屏蔽板62及后側(cè)垂直屏蔽板63的位置不具有通孔621、631、632。因此，由實(shí)際的磁屏蔽部件6得到的磁屏蔽效果比矩形屏蔽模型的效果稍削弱，但是可靠地超過(guò)平行屏蔽模型的效果。這種情況通過(guò)使用了實(shí)際的磁屏蔽部件6的實(shí)驗(yàn)也能證實(shí)。
[0063]另外，在本實(shí)施方式中，線圈形成的電流磁場(chǎng)的影響小于永久磁鐵11形成的永磁場(chǎng)的影響，因此在上述模擬中進(jìn)行了省略。即使假設(shè)在電流磁場(chǎng)比較大的情況下，磁屏蔽部件6對(duì)于電流磁場(chǎng)及永磁場(chǎng)具有同等的磁屏蔽性能。
[0064]接下來(lái)，以實(shí)驗(yàn)結(jié)果為參考來(lái)對(duì)實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置的磁吸引力抵消的作用進(jìn)行說(shuō)明。圖14是在實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置中，測(cè)定筒狀移動(dòng)體2移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的橫擺的振動(dòng)量而得到的波形。另外，圖15是從實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置拆下磁力抵消部件7，并測(cè)定筒狀移動(dòng)體2移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的橫擺的振動(dòng)量而得到的波形。圖14及圖15的波形的橫軸表示時(shí)間，縱軸表示與移動(dòng)方向垂直的橫擺的振動(dòng)量。并且，圖14及圖15的波形以相同的掃描時(shí)間及相同的測(cè)定范圍測(cè)定。
[0065]圖14的實(shí)施方式的橫擺的振幅為圖15的拆下了磁力抵消部件7時(shí)的振幅的大致一半。該振幅的差異僅以有無(wú)磁力抵消部件7為起因而產(chǎn)生。在拆下了磁力抵消部件7的結(jié)構(gòu)中，永久磁鐵11吸引磁屏蔽部件6的磁吸引力根據(jù)筒狀移動(dòng)體2與永久磁鐵11的位置關(guān)系而變化較大。例如，當(dāng)筒狀移動(dòng)體2的磁屏蔽部件6位于永久磁鐵11的N極或S極的正旁邊時(shí)，磁吸引力最大，當(dāng)磁屏蔽部件6位于永久磁鐵11的N極與S極的中間時(shí)，磁吸引力最小。由此，筒狀移動(dòng)體2會(huì)產(chǎn)生較大的橫擺，順暢的移動(dòng)受到妨礙。
[0066]與此相對(duì)，在實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)中，永久磁鐵11吸引磁屏蔽部件6的磁吸引力的至少一部分由永久磁鐵11吸引磁力抵消部件7的磁吸引力抵消。由此，作用于筒狀移動(dòng)體2的橫擺方向的實(shí)質(zhì)的磁吸引力減少，結(jié)果是橫擺減輕為1/2左右。因此，筒狀移動(dòng)體2的順暢的移動(dòng)不會(huì)受到妨礙。
[0067]實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置具備:沿移動(dòng)方向延伸且具有多個(gè)永久磁鐵11的軸狀軌道部件I;及以能夠移動(dòng)的方式裝架于軸狀軌道部件I且具有線圈的筒狀移動(dòng)體2，直線電動(dòng)機(jī)裝置向線圈通入電流而在線圈與永久磁鐵11之間產(chǎn)生移動(dòng)方向上的推力，具有線圈的筒狀移動(dòng)體2具有:冷卻風(fēng)扇51、55 (磁屏蔽對(duì)象物)，該冷卻風(fēng)扇51、55 (磁屏蔽對(duì)象物)需要緩和永久磁鐵形成的永磁場(chǎng)的影響;及磁屏蔽部件6，該磁屏蔽部件6由強(qiáng)磁性材料形成并對(duì)冷卻風(fēng)扇51、55進(jìn)行屏蔽以免受到永磁場(chǎng)的影響，磁屏蔽部件6具有:平行屏蔽板61，在冷卻風(fēng)扇51、55與永久磁鐵11之間與移動(dòng)方向平行地配置;及前側(cè)垂直屏蔽板62和后側(cè)垂直屏蔽板63，與移動(dòng)方向垂直地從平行屏蔽板61的移動(dòng)方向的前緣及后緣朝遠(yuǎn)離永久磁鐵的方向配置。
[0068]由此，在具有線圈的筒狀移動(dòng)體2上設(shè)置冷卻風(fēng)扇51、55(磁屏蔽對(duì)象物)及磁屏蔽部件6，對(duì)冷卻風(fēng)扇51、55進(jìn)行屏蔽以免受到永久磁鐵11形成的永磁場(chǎng)的影響的磁屏蔽部件
6具有平行屏蔽板61及垂直屏蔽板62、63。另一方面，在現(xiàn)有技術(shù)的直線電動(dòng)機(jī)裝置中，未設(shè)置磁屏蔽部件，或者即便設(shè)置磁屏蔽部件也僅由平行屏蔽板構(gòu)成。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠通過(guò)平行屏蔽板61及垂直屏蔽板62、63而有效地屏蔽在現(xiàn)有技術(shù)中到達(dá)磁屏蔽對(duì)象物的磁力線的一部分來(lái)阻止其到達(dá)冷卻風(fēng)扇51、55，磁屏蔽效果提高。
[0069]另外，較強(qiáng)的磁吸引力從永久磁鐵11作用于由軟鐵等強(qiáng)磁性材料形成的磁屏蔽部件6。在現(xiàn)有技術(shù)中在為了提高磁屏蔽效果而擴(kuò)大平行屏蔽板的面積的情況下，磁吸引力對(duì)應(yīng)于面積而增加。另一方面，在本實(shí)施方式中，垂直屏蔽板62、63與平行屏蔽板61的前緣及后緣相連，并朝遠(yuǎn)離永久磁鐵11的方向配置。因此，假設(shè)即便磁屏蔽部件的面積增加相同程度，在本實(shí)施方式中，能夠?qū)?yīng)于垂直屏蔽板62、63遠(yuǎn)離磁鐵地與現(xiàn)有技術(shù)相比抑制磁吸引力的增加。由此，在本實(shí)施方式中，不會(huì)由于磁吸引力而妨礙筒狀移動(dòng)體2的順暢的移動(dòng)。
[0070]此外，在實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置中，磁屏蔽部件6具有:平行屏蔽板61、從平行屏蔽板61的移動(dòng)方向的前緣及后緣配置的前側(cè)垂直屏蔽板62及后側(cè)垂直屏蔽板63和對(duì)兩塊垂直屏蔽板62、63的遠(yuǎn)離永久磁鐵11的一側(cè)的緣部進(jìn)行連接的外側(cè)平行屏蔽板64，磁屏蔽部件6以矩形包圍冷卻風(fēng)扇51、55(磁屏蔽對(duì)象物)。
[0071]由此，在擔(dān)心永磁場(chǎng)的影響的冷卻風(fēng)扇51、55的霍爾傳感器的位置P2處，與未使用磁屏蔽部件6的情況相比，能夠?qū)⒋艌?chǎng)強(qiáng)度HC2(P2)減少至1/3左右。換言之，在霍爾傳感器的位置P2處，定量來(lái)說(shuō)可得到充分的磁屏蔽效果。
[0072]另外，在實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置中，軌道部件是將多個(gè)永久磁鐵11以極性相同的磁極彼此相對(duì)的方式沿移動(dòng)方向排列而形成的軸狀軌道部件I，移動(dòng)體是具有被環(huán)繞軸狀軌道部件I地進(jìn)行卷繞的線圈的筒狀移動(dòng)體2。
[0073]由此，在適合于得到較大的推力的軸型直線電動(dòng)機(jī)裝置中，即使增強(qiáng)永久磁鐵11的磁場(chǎng)，也能得到充分的磁屏蔽效果，因此在內(nèi)置于冷卻風(fēng)扇51、55的霍爾傳感器中不會(huì)產(chǎn)生檢測(cè)精度的降低或誤動(dòng)作。
[0074]另外，在實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置中，筒狀移動(dòng)體2在周向的特定角度范圍內(nèi)具有冷卻風(fēng)扇51、55(磁屏蔽對(duì)象物)及磁屏蔽部件6，而且，在周向的特定角度范圍外具有由強(qiáng)磁性材料形成的磁力抵消部件7，多個(gè)永久磁鐵11吸引磁屏蔽部件6的磁吸引力的至少一部分由多個(gè)永久磁鐵11吸引磁力抵消部件7的磁吸引力抵消。
[0075]由此，作用于筒狀移動(dòng)體2的橫擺方向的實(shí)質(zhì)的磁吸引力減少，從而橫擺減輕。因此，筒狀移動(dòng)體2的順暢的移動(dòng)不會(huì)受到妨礙。
[0076]此外，在實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置中，磁力抵消部件7是配置在筒狀移動(dòng)體2的周向的特定角度范圍的相反側(cè)的角度范圍內(nèi)的板材。
[0077]由此，通過(guò)使用單純的板材的磁力抵消部件7，而能夠在不增大筒狀移動(dòng)體2的情況下有效地抵消磁吸引力。并且，磁力抵消部件7的安裝方法容易。
[0078]另外，在實(shí)施方式的直線電動(dòng)機(jī)裝置中，磁屏蔽對(duì)象物是對(duì)線圈進(jìn)行冷卻的冷卻風(fēng)扇51、55，磁屏蔽部件6的前側(cè)垂直屏蔽板62具有允許冷卻用空氣進(jìn)行流通的通孔621，后側(cè)垂直屏蔽板63具有允許冷卻用空氣進(jìn)行流通的中央通孔631及周邊通孔632。
[0079]由此，由于通孔621、631、632，冷卻風(fēng)扇51、55對(duì)空氣的吸入及吹出不會(huì)受到妨礙。
[0080]另外，在磁屏蔽對(duì)象物不是冷卻風(fēng)扇51、55的情況下，不需要前側(cè)垂直屏蔽板62的通孔621、后側(cè)垂直屏蔽板63的中央通孔631及周邊通孔632。在該情況下，磁屏蔽效果進(jìn)一步可靠地提高。另外，軸狀軌道部件I及筒狀移動(dòng)體2的構(gòu)造能夠進(jìn)行各種變形。本發(fā)明還可以進(jìn)行其他各種應(yīng)用或變形。
[0081 ] 工業(yè)上的可用性
[0082]本發(fā)明的直線電動(dòng)機(jī)裝置不限定于元件安裝機(jī)或基板檢查機(jī)的頭驅(qū)動(dòng)裝置，能夠廣泛地利用于具有直線前進(jìn)可動(dòng)部的各種產(chǎn)業(yè)機(jī)械中。
[0083]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0084]1:軸狀軌道部件11:永久磁鐵12:磁性體隔片
[0085]2:筒狀移動(dòng)體3:筒狀主體單元4:冷卻單元
[0086]51:前側(cè)冷卻風(fēng)扇52:前側(cè)散熱片53:分隔板
[0087]54:后側(cè)散熱片55:后側(cè)冷卻風(fēng)扇
[0088]6:磁屏蔽部件61:平行屏蔽板62:前側(cè)垂直屏蔽板
[0089]63:后側(cè)垂直屏蔽板64:外側(cè)平行屏蔽板
[0090]6B、6C:在模擬中使用的磁屏蔽部件
[0091]7:磁力抵消部件
[0092]9:現(xiàn)有技術(shù)的安裝部件
[0093]P2:內(nèi)置于前側(cè)冷卻風(fēng)扇的霍爾傳感器的位置
[0094]HAl、HA2、HB1、HB2、HC1、HC2:磁場(chǎng)強(qiáng)度
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種直線電動(dòng)機(jī)裝置，具備:沿移動(dòng)方向延伸且具有磁鐵及線圈中的一方的軌道部件;及以能夠移動(dòng)的方式架設(shè)于所述軌道部件且具有所述磁鐵及所述線圈中的另一方的移動(dòng)體，所述直線電動(dòng)機(jī)裝置向所述線圈通入電流而在所述線圈與所述磁鐵之間產(chǎn)生所述移動(dòng)方向上的推力， 具有所述線圈的所述軌道部件或所述移動(dòng)體具有:磁屏蔽對(duì)象物，所述磁屏蔽對(duì)象物需要緩和所述磁鐵形成的磁場(chǎng)的影響；及磁屏蔽部件，所述磁屏蔽部件由強(qiáng)磁性材料形成并對(duì)所述磁屏蔽對(duì)象物進(jìn)行屏蔽以免受到所述磁場(chǎng)的影響， 所述磁屏蔽部件具有:平行屏蔽板，在所述磁屏蔽對(duì)象物與所述磁鐵之間與所述移動(dòng)方向平行地配置;及垂直屏蔽板，與所述移動(dòng)方向垂直地從所述平行屏蔽板的所述移動(dòng)方向的前緣及后緣中的至少一方朝遠(yuǎn)離所述磁鐵的方向配置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直線電動(dòng)機(jī)裝置，其中， 所述磁屏蔽部件具有:所述平行屏蔽板、從所述平行屏蔽板的所述移動(dòng)方向的前緣及后緣配置的兩塊所述垂直屏蔽板、及對(duì)兩塊所述垂直屏蔽板的遠(yuǎn)離所述磁鐵的一側(cè)的緣部進(jìn)行連接的外側(cè)平行屏蔽板，所述磁屏蔽部件以矩形包圍所述磁屏蔽對(duì)象物。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的直線電動(dòng)機(jī)裝置，其中， 所述軌道部件是將多個(gè)所述磁鐵以極性相同的磁極彼此相對(duì)的方式沿所述移動(dòng)方向排列而形成的軸狀軌道部件，所述移動(dòng)體是具有被環(huán)繞所述軸狀軌道部件地進(jìn)行卷繞的線圈的筒狀移動(dòng)體。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直線電動(dòng)機(jī)裝置，其中， 所述筒狀移動(dòng)體在周向的特定角度范圍內(nèi)具有所述磁屏蔽對(duì)象物及所述磁屏蔽部件，而且，在周向的特定角度范圍外具有由強(qiáng)磁性材料形成的磁力抵消部件， 多個(gè)所述磁鐵吸引所述磁屏蔽部件的磁吸引力的至少一部分由多個(gè)所述磁鐵吸引所述磁力抵消部件的磁吸引力抵消。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的直線電動(dòng)機(jī)裝置，其中， 所述磁力抵消部件是配置在所述筒狀移動(dòng)體的所述周向的特定角度范圍的相反側(cè)的角度范圍內(nèi)的板材。6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中任一項(xiàng)所述的直線電動(dòng)機(jī)裝置，其中， 所述磁屏蔽對(duì)象物是對(duì)所述線圈進(jìn)行冷卻的冷卻風(fēng)扇，所述磁屏蔽部件的所述垂直屏蔽板具有允許冷卻用空氣進(jìn)行流通的通孔。
【文檔編號(hào)】H02K41/03GK105830322SQ201380081719
【公開(kāi)日】2016年8月3日
【申請(qǐng)日】2013年12月20日
【發(fā)明人】永田良, 城戶隆志, 白川佳宏, 黑野真樹(shù)
【申請(qǐng)人】富士機(jī)械制造株式會(huì)社