一種可控的漏電保護(hù)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及離子注入機(jī)配電柜的一種漏電保護(hù)的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]離子注入機(jī)是半導(dǎo)體工藝中離子摻雜的主要設(shè)備，離子源產(chǎn)生需要摻雜的離子束，由引出系統(tǒng)提供所需要的能量，分析器分離出需要的離子束，通過平行透鏡調(diào)節(jié)和校正，最后到達(dá)靶室注入硅片。離子注入機(jī)屬于電子裝備，由于種種原因引起的電氣線路漏電，會(huì)通過跳閘使整機(jī)出于停電狀態(tài)，甚至發(fā)生越級(jí)跳閘影響外電路，檢修時(shí)也不能第一時(shí)間找到故障源。整個(gè)工藝都需要通過很多電源的配合使用來達(dá)到工藝要求，突然地供電斷電會(huì)對(duì)機(jī)臺(tái)某些電氣設(shè)備造成一定的損壞，尤其是在生產(chǎn)過程中，會(huì)對(duì)廠家造成很大的損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題而提出的一種用于離子注入機(jī)的漏電保護(hù)裝置。
[0004]本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0005]—種可控的漏電保護(hù)裝置。包括工控機(jī)、控制器、漏電保護(hù)裝置和三相四線制電路。工控機(jī)通過光纖與控制器相連，控制器通過控制線采集漏電保護(hù)裝置的反饋信號(hào)，并輸出控制信號(hào)改變漏電保護(hù)裝置的狀態(tài)。漏電保護(hù)裝置包括:零序電流互感器(磁環(huán)m和檢測(cè)線圈ab)、閘刀開關(guān)(K1)、壓敏電阻(R1)、整流橋(D1-D8)、可控硅(Tl和T2)、均壓電阻(R3和R4)、電容(Cl和C2)、電阻(R2R5R6R7R8R9)、轉(zhuǎn)換開關(guān)(K2)、電磁鐵線圈(L)。具體連接方式如圖1所示。漏電保護(hù)裝置通過轉(zhuǎn)換開關(guān)(k2)改變其工作狀態(tài)(遠(yuǎn)程/自動(dòng))。
[0006]相對(duì)現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明所述電路的有益效果在于:
[0007]1.工控機(jī)可以顯示漏電狀態(tài)，找到故障源頭，方便維修。
[0008]2.漏電保護(hù)裝置可切換兩種工作狀態(tài)(遠(yuǎn)程/自動(dòng))，可以對(duì)設(shè)備達(dá)到最好的保護(hù)作用。
【附圖說明】
[0009]圖1:是本發(fā)明所述可控的漏電保護(hù)裝置框架圖。
[0010]圖2:是本發(fā)明所述可控的漏電保護(hù)裝置原理圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]正常情況下，穿過磁環(huán)(m)的三相電源線和零線的電流矢量和為零，檢測(cè)線圈(ab)無輸出，可控硅(Tl T2)無觸發(fā)電壓而處于截止?fàn)顟B(tài)。壓敏電阻(Rl)起過壓保護(hù)作用。由于均壓電阻(R3R4)比較大，流經(jīng)電磁鐵線圈(L)的電流比較小，不足以造成閘刀開關(guān)(Kl)斷開；當(dāng)電路出現(xiàn)漏電情況時(shí)，穿過磁環(huán)(m)的三相電源線和零線的電流矢量和不為零，檢測(cè)線圈(ab)有輸出。轉(zhuǎn)換開關(guān)(K2)自動(dòng)狀態(tài)下，檢測(cè)線圈(m)輸出的感應(yīng)電壓立即觸發(fā)可控硅T2導(dǎo)通，由于電容(C2)預(yù)先有一定電壓，可控硅(T2)導(dǎo)通后，電容(C2)便經(jīng)電阻(R5R6)、可控硅(T2)放電，使電阻R5產(chǎn)生電壓觸發(fā)可控硅(Tl)導(dǎo)通，可控硅(T1T2)導(dǎo)通后，流經(jīng)電磁鐵線圈(L)的電流增大，使電磁鐵動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)閘刀開關(guān)斷開，保護(hù)電路。轉(zhuǎn)換開關(guān)(K2)遠(yuǎn)程狀態(tài)下，控制器采集到漏電的反饋狀態(tài)信號(hào)，通過光纖顯示在工控機(jī)上，通過操作員或者程序根據(jù)漏電的大小和機(jī)臺(tái)的工作情況做出最有利的選擇，立即或者延時(shí)通過控制器輸出控制電流使電磁鐵動(dòng)作，保護(hù)電路。
[0012]本發(fā)明專利的特定實(shí)施例已對(duì)本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種可控的漏電保護(hù)裝置。包括工控機(jī)、控制器、、漏電保護(hù)裝置和三相四線制電路。2.如權(quán)利要求1所述的一種可控的漏電保護(hù)裝置，其特征在于:工控機(jī)可以輸出狀態(tài)反饋，并且可以通過遠(yuǎn)程控制或者自動(dòng)控制改變其狀態(tài)。
【專利摘要】一種可控的漏電保護(hù)裝置。包括工控機(jī)、控制器、漏電保護(hù)裝置和三相四線制電路。該裝置特征在于，工控機(jī)上可以顯示漏電保護(hù)狀態(tài)，并可以通過遠(yuǎn)程控制或者自動(dòng)控制改變其狀態(tài)。說明書對(duì)裝置進(jìn)行了詳細(xì)闡述。
【IPC分類】H02H3/32
【公開號(hào)】CN105576602
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410645031
【發(fā)明人】馬少志
【申請(qǐng)人】北京中科信電子裝備有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請(qǐng)日】2014年11月7日