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帶有多指接通用同步和分布式自偏壓功能的靜電放電(esd)保護裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:6980630

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本發(fā)明總體而言涉及靜電放電(ESD)保護電路領域,更具體而言,涉及對一種集成電路(IC)的多指式MOS保護電路的改進。背景技術 在CMOS技術中,魯棒的NMOS及其它ESD保護對于獲得高度的ESD魯棒性而言甚為重要。在選擇采用硅化物局部阻斷的工藝中,引入了鎮(zhèn)流電阻來保證等電流分布及一致的多指觸發(fā)。為獲得具有高故障臨限值及良好箝位能力的足夠高的ESD保護電平,必須提供足夠大的裝置寬度。因此,目前已構建了若干多指式MOS結構來進行ESD保護。此外,由于焊墊間距...
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