一種實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，通過(guò)在壓電陶瓷相對(duì)的兩側(cè)平面上設(shè)置電阻應(yīng)變片，可以有效的消除壓電陶瓷在位移輸出時(shí)的遲滯和蠕變等非線性特性，保證壓電陶瓷正常位移輸出，提高輸出精度。同時(shí)可將位移輸出量通過(guò)電阻應(yīng)變片進(jìn)行反饋，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，使得致動(dòng)器的整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，體積較小。通過(guò)將壓電陶瓷設(shè)置于不銹鋼套管的內(nèi)部，不銹鋼套管可有效保護(hù)壓電陶瓷免受外界的震動(dòng)、沖擊和慣性力等，以提高壓電陶瓷的可靠性、穩(wěn)定性和可安裝性，保證壓電陶瓷的使用壽命。
【專利說(shuō)明】—種實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于微驅(qū)動(dòng)應(yīng)用【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，壓電陶瓷致動(dòng)器件所具有的優(yōu)點(diǎn)已得到廣泛的承認(rèn)和應(yīng)用。壓電陶瓷是利用壓電材料的逆壓電效應(yīng)來(lái)工作的，僅依靠外加電場(chǎng)的大小就能夠?qū)崿F(xiàn)驅(qū)動(dòng)、壓電陶瓷克服了以往機(jī)械式、液壓式、氣動(dòng)式、電磁式等執(zhí)行器慣性大、響應(yīng)慢、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、可靠性差等不足，具有體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、無(wú)機(jī)械摩擦、無(wú)間隙、分辨率高、響應(yīng)快、無(wú)發(fā)熱、不受磁場(chǎng)干擾、可在低溫，真空度環(huán)境下使用等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于微定位技術(shù)中，例如物鏡精密定位、大行程納米對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、高精度顯微納米壓印、主動(dòng)減震、掩模與晶圓對(duì)準(zhǔn)、光刻、光學(xué)干涉、光纖對(duì)接、亞納米測(cè)量、光盤(pán)測(cè)試、光學(xué)測(cè)試、流體控制閥、聲學(xué)儀器換能器、線性電動(dòng)機(jī)和微波聲學(xué)等領(lǐng)域，這種可控的精密微位移執(zhí)行器必將在今后諸多【技術(shù)領(lǐng)域】中發(fā)揮難以估量的作用。但是，一方面由于壓電陶瓷致動(dòng)器為了實(shí)現(xiàn)較大的驅(qū)動(dòng)范圍均采用片層粘疊結(jié)構(gòu)，而且是陶瓷類硬脆性材料，所以在使用中經(jīng)常由于端面受力不均、側(cè)面受剪切力、彎矩、扭矩、震動(dòng)、沖擊和慣性力等因素造成壓電陶瓷的損壞，使得壓電陶瓷的耗損率非常高。另一方面由于壓電陶瓷存在的遲滯和蠕變等特性，導(dǎo)致在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中位移的輸出呈非線性，移動(dòng)精度較差。
[0003]為了提高壓電陶瓷的使用壽命，需對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行封裝處理，目前根據(jù)使用材料和封裝方式的不同分為機(jī)械封裝和柔性鉸鏈封裝兩種方式對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行封裝。其中，采用柔性鉸鏈封裝壓電陶瓷的方式存在一款專利“直驅(qū)式納米級(jí)精密定位平臺(tái)(專利號(hào):201220411967.5)，該定位平臺(tái)包括:臺(tái)體、頂絲、頂塊、壓電陶瓷、螺釘?shù)?，臺(tái)體內(nèi)開(kāi)有凹槽并加工出柔性鉸鏈，壓電陶瓷裝在凹槽內(nèi)，壓電陶瓷的一端及頂塊的一端頂靠在臺(tái)體凹槽一端，頂絲穿過(guò)臺(tái)體頂靠在壓電陶瓷的底端(對(duì)其進(jìn)行預(yù)緊)。工作中壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)柔性鉸鏈實(shí)現(xiàn)微納米定位。但此種結(jié)構(gòu)體積較大，零件數(shù)目較多，對(duì)柔性鉸鏈及工作臺(tái)的加工精度要求較高。還例如“一種柔性微定位平臺(tái)(專利號(hào):201310103681.X)。
[0004]有鑒于此，有必要提出一種新型壓電陶瓷致動(dòng)器，以有效的消除壓電陶瓷在位移輸出時(shí)的遲滯和蠕變等非線性特性，提高輸出精度，提高壓電陶瓷的可靠性、穩(wěn)定性和可安裝性，并實(shí)現(xiàn)位移輸出的有效反饋，達(dá)到閉環(huán)控制的目的。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，以有效的消除壓電陶瓷在位移輸出時(shí)的遲滯和蠕變等非線性特性，提高輸出精度，提高壓電陶瓷的可靠性、穩(wěn)定性和可安裝性，并實(shí)現(xiàn)位移輸出的有效反饋，達(dá)到閉環(huán)控制的目的。
[0006]根據(jù)本實(shí)用新型的目的提出的一種實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，包括底座、套管、位于所述套管內(nèi)部的壓電陶瓷，以及設(shè)置于所述壓電陶瓷上方的預(yù)緊裝置，所述預(yù)緊裝置與所述套管固定連接，所述壓電陶瓷相對(duì)的兩側(cè)平面上設(shè)置有電阻應(yīng)變片；
[0007]所述壓電陶瓷的一端固定于所述底座上，另一端上固定連接有連接頭，所述預(yù)緊裝置中心位置處開(kāi)有通孔，所述連接頭的上端穿過(guò)所述通孔。
[0008]優(yōu)選的，所述預(yù)緊裝置為預(yù)緊彈簧，所述預(yù)緊彈簧固定于所述套管上。
[0009]優(yōu)選的，所述預(yù)緊裝置包括固定連接于所述套管上的預(yù)緊頭，所述連接頭的下端與所述預(yù)緊頭之間設(shè)置有預(yù)緊彈簧。
[0010]優(yōu)選的，所述預(yù)緊彈簧為碟形彈簧。
[0011]優(yōu)選的，所述預(yù)緊頭與所述套管螺紋旋接。
[0012]優(yōu)選的，所述底座與所述套管可拆卸固定。
[0013]優(yōu)選的，所述電阻應(yīng)變片上連接有電極引線，所述壓電陶瓷上連接有屏蔽線，所述套管下端開(kāi)設(shè)有用于引出所述電極引線與屏蔽線的開(kāi)口槽。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型公開(kāi)的一種實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器的優(yōu)點(diǎn)是:通過(guò)在壓電陶瓷相對(duì)的兩側(cè)平面上設(shè)置電阻應(yīng)變片，可以有效的消除壓電陶瓷在位移輸出時(shí)的遲滯和蠕變等非線性特性，保證壓電陶瓷正常位移輸出，提高輸出精度。同時(shí)可將位移輸出量通過(guò)電阻應(yīng)變片進(jìn)行反饋，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，使得致動(dòng)器的整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，體積較小。通過(guò)將壓電陶瓷設(shè)置于不銹鋼套管的內(nèi)部，不銹鋼套管可有效保護(hù)壓電陶瓷免受外界的震動(dòng)、沖擊和慣性力等，以提高壓電陶瓷的可靠性、穩(wěn)定性和可安裝性，保證壓電陶瓷的使用壽命。
[0015]本實(shí)用新型在微納操作、微小型機(jī)器人、生物微操作、光學(xué)以及精密驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)等領(lǐng)域因其結(jié)構(gòu)微小、響應(yīng)快、驅(qū)動(dòng)力大、質(zhì)量輕、驅(qū)動(dòng)功率低和工作頻率寬，不發(fā)熱等優(yōu)點(diǎn)而擁有廣泛的應(yīng)用前景。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為本實(shí)用新型公開(kāi)的一種實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2為內(nèi)螺紋型連接頭的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖3為平頭型連接頭的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖4為球頭型連接頭的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖5為外螺紋型連接頭的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖6為電阻應(yīng)變片的安裝示意圖。
[0023]圖中的數(shù)字或字母所代表的相應(yīng)部件的名稱:
[0024]1、底座2、套管3、壓電陶瓷4、電阻應(yīng)變片5、連接頭6、預(yù)緊彈簧7、預(yù)緊頭8、開(kāi)口槽31、屏蔽線41、電極引線71、通孔
【具體實(shí)施方式】[0025]現(xiàn)有技術(shù)中壓電陶瓷致動(dòng)器為了實(shí)現(xiàn)較大的驅(qū)動(dòng)范圍均采用片層粘疊結(jié)構(gòu)，而且是陶瓷類硬脆性材料，易損壞，所以在使用中耗損率非常高。另一方面由于壓電陶瓷存在的遲滯和蠕變等特性，導(dǎo)致在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中位移的輸出呈非線性，移動(dòng)精度較差。目前一般采用對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行封裝的方式來(lái)提高壓電陶瓷的使用壽命，其中有一款采用柔性鉸鏈封裝壓電陶瓷的方式“直驅(qū)式納米級(jí)精密定位平臺(tái)(專利號(hào):201220411967.5)，但此種結(jié)構(gòu)體積較大，零件數(shù)目較多，對(duì)柔性鉸鏈及工作臺(tái)的加工精度要求較高。
[0026]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型提供了一種實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，以有效的消除壓電陶瓷在位移輸出時(shí)的遲滯和蠕變等非線性特性，提高輸出精度，提高壓電陶瓷的可靠性、穩(wěn)定性和可安裝性，并實(shí)現(xiàn)位移輸出的有效反饋，達(dá)到閉環(huán)控制的目的。
[0027]下面將通過(guò)【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0028]請(qǐng)一并參見(jiàn)圖1至圖6，如圖所示，一種實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，包括底座1、套管2、位于套管2內(nèi)部的壓電陶瓷3，以及設(shè)置于壓電陶瓷3上方的預(yù)緊裝置，預(yù)緊裝置與套管2固定連接，壓電陶瓷3相對(duì)的兩側(cè)平面上粘接有電阻應(yīng)變片4。其中壓電陶瓷為矩形結(jié)構(gòu)，電阻應(yīng)變片粘接在壓電陶瓷3的兩個(gè)相對(duì)的長(zhǎng)側(cè)面上，結(jié)構(gòu)緊湊。
[0029]為了提高壓電陶瓷位移輸出的精度，需要對(duì)壓電陶瓷的輸出位移進(jìn)行測(cè)量以此實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。目前應(yīng)用于微驅(qū)動(dòng)領(lǐng)域的位移傳感器有:電阻應(yīng)變式位移傳感器，電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，雙頻激光干涉儀等。由于電阻應(yīng)變式位移傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，頻響特性好，成本低，易于集成等特點(diǎn)，所以本實(shí)用新型采用此類傳感器來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電陶瓷的閉環(huán)控制。通過(guò)設(shè)置電阻應(yīng)變片，有效的消除壓電陶瓷在位移輸出時(shí)的遲滯和蠕變等非線性特性，提高輸出精度，提高壓電陶瓷的可靠性、穩(wěn)定性和可安裝性，并實(shí)現(xiàn)位移輸出的有效反饋，達(dá)到閉環(huán)控制的目的。
[0030]壓電陶瓷3的一端固定于底座I上，另一端上固定連接有連接頭5，預(yù)緊裝置中心位置處開(kāi)有通孔71，連接頭上端穿過(guò)通孔。外加電場(chǎng)時(shí)，壓電陶瓷3依靠電場(chǎng)的大小實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)，繼而帶動(dòng)連接頭5實(shí)現(xiàn)前后微量移動(dòng)。
[0031]預(yù)緊裝置包括固定連接于套管2上的預(yù)緊頭7，連接頭5的下端與預(yù)緊頭7之間設(shè)置有預(yù)緊彈簧6。通過(guò)設(shè)置預(yù)緊裝置對(duì)壓電陶瓷施加了 一定預(yù)緊力，可以避免壓電陶瓷受外部拉伸力的損壞。
[0032]其中，預(yù)緊彈簧為碟形彈簧。碟形彈簧緩沖吸振能力強(qiáng)，能以小變形承受大載荷，適合于軸向空間要求小的場(chǎng)合。
[0033]預(yù)緊頭7與套管2螺紋旋接。本實(shí)用新型中，可根據(jù)預(yù)緊頭7的旋和松緊以及碟形彈簧使用的數(shù)量和不同組合方式(對(duì)合和疊合)來(lái)控制機(jī)械封裝壓電陶瓷預(yù)緊力的大小。
[0034]底座I與套管2可拆卸固定。具體固定方式可為螺紋旋接固定或卡接固定等，便于將底座與套管分離取放壓電陶瓷。
[0035]套管2為不銹鋼材料。保證壓電陶瓷外部結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度。
[0036]電阻應(yīng)變片4上連接有電極引線41，壓電陶瓷3上連接有屏蔽線31，套管2下端開(kāi)設(shè)有用于引出電極引線41與屏蔽線31的開(kāi)口槽8。電極引線可將電阻應(yīng)變片的變化量反饋給系統(tǒng)的控制部分，使得用戶可清楚的知悉壓電陶瓷的位移。
[0037]—種用于固定電阻應(yīng)變片的方法，具體步驟如下:
[0038](一)、將壓電陶瓷表面的熱塑管剝落，然后采用打磨工具對(duì)壓電陶瓷相對(duì)兩側(cè)平面上待貼位置處進(jìn)行打磨，去除壓電陶瓷表面的污垢覆蓋層，直至表面平整有光澤；其中打磨工具一般為銼刀、砂布等。
[0039](二)、再用細(xì)砂布磨出與電阻應(yīng)變片粘貼方向成30° -60°的條紋，以增強(qiáng)粘結(jié)力；其中條紋的方向與粘貼方向優(yōu)選為呈45°。
[0040](三)、在壓電陶瓷相對(duì)兩側(cè)平面上劃出電阻應(yīng)變片安裝的準(zhǔn)確位置；主要采用直尺與劃針進(jìn)行操作。
[0041](四)、用除垢棉蘸揮發(fā)性溶劑對(duì)兩處貼片部位進(jìn)行反復(fù)擦洗，直至除垢棉上見(jiàn)不到污垢為止；除垢棉一般可為潔凈棉紗或脫脂棉球等，揮發(fā)性溶劑通常采用丙酮。
[0042](五)、待揮發(fā)性溶劑揮發(fā)后，在兩處貼片位置滴一點(diǎn)502膠，將電阻應(yīng)變片粘合上去并將膠水涂勻，然后用鑷子撥動(dòng)電阻應(yīng)變片，調(diào)整位置和角度。定位后，在電阻應(yīng)變片上墊一層聚乙烯或四氟乙烯薄膜，用手指擠壓出多余的膠水和氣泡。待膠水初步固化后即可松開(kāi)。粘貼好的電阻應(yīng)變片應(yīng)保證位置準(zhǔn)確，粘結(jié)牢固、膠層均勻、無(wú)氣泡和整潔干凈。
[0043](六)、最后采用電烙鐵將電極引線焊接固定于電阻應(yīng)變片的端子上。焊接要迅速，時(shí)間不能過(guò)長(zhǎng)，焊點(diǎn)要求光滑，不能虛焊，多余的電極引線可剪斷。
[0044]粘接固定好電阻應(yīng)變片后，采用萬(wàn)用表檢查應(yīng)變片兩引線間電阻是否良好，用熱塑管將壓電陶瓷和電阻應(yīng)變片保護(hù)起，防止電阻應(yīng)變片受潮。
[0045]此外，在粘接電阻應(yīng)變片之前需先檢測(cè)電阻應(yīng)變片有無(wú)銹斑，缺陷，損壞，引線是否完好；檢測(cè)電阻阻值，是否有斷路和短路。并進(jìn)行阻值分選，阻值相差不能超過(guò)±0.5。
[0046]帶電阻應(yīng)變片的壓電陶瓷的封裝步驟如下:
[0047](一)、用環(huán)氧樹(shù)脂膠將粘接有電阻應(yīng)變片4的壓電陶瓷3固定粘貼在底座I上，并保證壓電陶瓷3垂直于底座I且置于中央。
[0048](二)、將連接頭5、預(yù)緊頭7、預(yù)緊彈簧6、壓電陶瓷3、套管2、底座I按如圖1所示
安裝在一起。
[0049](三)、用環(huán)氧樹(shù)脂膠將預(yù)緊頭7和底座I的螺紋部分分別與套管2的螺紋部分粘接在一起，然后根據(jù)所用預(yù)緊彈簧的數(shù)量和組合方式(對(duì)合和疊合)以及壓電陶瓷3的剛度來(lái)調(diào)節(jié)預(yù)緊頭7的旋和圈數(shù)來(lái)獲得一定的預(yù)緊力，使得此結(jié)構(gòu)能夠抵抗一定的拉力。
[0050](四)、用硅膠將屏蔽線31和電極引線41與底座I開(kāi)口槽8處的縫隙填滿。
[0051](五)、檢查此種封裝型壓電陶瓷的位移是否能夠達(dá)到規(guī)定的要求，若不能則將預(yù)緊頭2調(diào)松。
[0052](六)、將位移已合格的封裝型壓電陶瓷進(jìn)行固化處理，使得膠水完全凝固。
[0053]此外，預(yù)緊裝置還可僅采用預(yù)緊彈簧，預(yù)緊彈簧固定于套管上。僅通過(guò)預(yù)緊彈簧對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行預(yù)緊并限位。
[0054]本實(shí)用新型公開(kāi)了一種實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，通過(guò)在壓電陶瓷相對(duì)的兩側(cè)平面上設(shè)置電阻應(yīng)變片，可以有效的消除壓電陶瓷在位移輸出時(shí)的遲滯和蠕變等非線性特性，保證壓電陶瓷正常位移輸出，提高輸出精度。同時(shí)可將位移輸出量通過(guò)電阻應(yīng)變片進(jìn)行反饋，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，使得致動(dòng)器的整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，體積較小。通過(guò)將壓電陶瓷設(shè)置于不銹鋼套管的內(nèi)部，不銹鋼套管可有效保護(hù)壓電陶瓷免受外界的震動(dòng)、沖擊和慣性力等，以提高壓電陶瓷的可靠性、穩(wěn)定性和可安裝性，保證壓電陶瓷的使用壽命。
[0055]本實(shí)用新型在微納操作、微小型機(jī)器人、生物微操作、光學(xué)以及精密驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)等領(lǐng)域因其結(jié)構(gòu)微小、響應(yīng)快、驅(qū)動(dòng)力大、質(zhì)量輕、驅(qū)動(dòng)功率低和工作頻率寬，不發(fā)熱等優(yōu)點(diǎn)而擁有廣泛的應(yīng)用前景。
[0056]對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，其特征在于，包括底座、套管、位于所述套管內(nèi)部的壓電陶瓷，以及設(shè)置于所述壓電陶瓷上方的預(yù)緊裝置，所述預(yù)緊裝置與所述套管固定連接，所述壓電陶瓷相對(duì)的兩側(cè)平面上設(shè)置有電阻應(yīng)變片； 所述壓電陶瓷的一端固定于所述底座上，另一端上固定連接有連接頭，所述預(yù)緊裝置中心位置處開(kāi)有通孔，所述連接頭的上端穿過(guò)所述通孔。
2.如權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，其特征在于，所述預(yù)緊裝置為預(yù)緊彈簧，所述預(yù)緊彈簧固定于所述套管上。
3.如權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，其特征在于，所述預(yù)緊裝置包括固定連接于所述套管上的預(yù)緊頭，所述連接頭的下端與所述預(yù)緊頭之間設(shè)置有預(yù)緊彈簧。
4.如權(quán)利要求2或3所述的實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，其特征在于，所述預(yù)緊彈簧為碟形彈簧。
5.如權(quán)利要求3所述的實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，其特征在于，所述預(yù)緊頭與所述套管螺紋旋接。
6.如權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，其特征在于，所述底座與所述套管可拆卸固定。
7.如權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的封裝型壓電陶瓷致動(dòng)器，其特征在于，所述電阻應(yīng)變片上連接有電極引線，所述壓電陶瓷上連接有屏蔽線，所述套管下端開(kāi)設(shè)有用于引出所述電極引線與屏蔽線的開(kāi)口槽。
【文檔編號(hào)】H02N2/04GK203617933SQ201320736492
【公開(kāi)日】2014年5月28日 申請(qǐng)日期:2013年11月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月19日
【發(fā)明者】鐘博文, 王振華, 孫立寧, 金子祺, 錢哲 申請(qǐng)人:蘇州大學(xué)