薄片激光器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及激光器領(lǐng)域，尤其涉及薄片激光器。本發(fā)明提供的薄片激光器通過設(shè)置水箱，并于水箱上設(shè)置噴嘴，使得由噴嘴噴出的水呈水柱，利用水柱傳輸泵浦光，這樣，經(jīng)水柱傳輸?shù)谋闷止饩哂蟹植驾^為均勻的效果。此外，當(dāng)水流經(jīng)所述薄片增益介質(zhì)上表面時(shí)，還能夠?qū)Ρ∑鲆娼橘|(zhì)上表面進(jìn)行冷卻，進(jìn)而帶走薄片增益介質(zhì)上泵浦區(qū)域的熱量。另外根據(jù)不同的泵浦能量，可以通過改變所述水壓泵的運(yùn)轉(zhuǎn)功率，對(duì)水流從所述薄片增益介質(zhì)上表面帶走熱量的效率進(jìn)行控制。最終實(shí)現(xiàn)減小薄片增益介質(zhì)內(nèi)部的溫度梯度及熱膨脹、降低薄片增益介質(zhì)的熱透鏡效應(yīng)、提高激光器的光束質(zhì)量及穩(wěn)定性的目的。
【專利說明】薄片激光器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及激光器領(lǐng)域，尤其涉及薄片激光器。

【背景技術(shù)】
[0002] 全固態(tài)激光器（DPSSL，Diode pumped solid state laser)是指以半導(dǎo)體激光器 (LD)作為泵浦源的固體激光器，其增益介質(zhì)、泵浦源部分均由固體物質(zhì)構(gòu)成，因此集中了傳 統(tǒng)固體激光器和半導(dǎo)體激光器的優(yōu)勢(shì)于一身。其具有體積小、重量輕、效率高、性能穩(wěn)定、可 靠性好、壽命長(zhǎng)、易操作、運(yùn)轉(zhuǎn)靈活(可連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)、脈沖運(yùn)轉(zhuǎn))、易智能化、無污染等優(yōu)點(diǎn)，是目 前最具發(fā)展?jié)摿Φ募す庠粗弧?br> [0003] 薄片激光器是全固態(tài)激光器的一種，自Adolf. Giesen等人1994年首次實(shí)現(xiàn)薄片 激光器以來，得到了迅速發(fā)展。如圖1所示，薄片增益介質(zhì)1'采用厚度很小而橫向尺寸較 大的薄片狀材料作為激光的增益介質(zhì)，將薄片增益介質(zhì)1'固定在高熱導(dǎo)率的微通道冷卻 熱沉2'上，微通道冷卻熱沉2'上有冷卻液微通道，為薄片增益介質(zhì)背面提供冷卻。由于薄 片增益介質(zhì)1'的面積較大且厚度較小，因此薄片增益介質(zhì)1'上的熱量可以快速、有效的傳 遞給微通道冷卻熱沉2'，再由冷卻液帶走。一般薄片激光器采用激光二極管泵浦3'，泵浦 光由光纖耦合輸出，泵浦光A'方向與薄片增益介質(zhì)的法線方向呈一定的角度，在空氣中傳 輸后到達(dá)薄片增益介質(zhì)1'。薄片增益介質(zhì)1'的前表面鍍有對(duì)激光和泵浦光高透射的高透 射膜，在薄片增益介質(zhì)1'后表面（即貼緊冷卻熱沉的面）鍍對(duì)泵浦光及激光的高反射膜，這 樣，泵浦光A'在薄片增益介質(zhì)Γ表面發(fā)生折射并進(jìn)入薄片增益介質(zhì)Γ，進(jìn)入薄片增益介 質(zhì)1'內(nèi)的泵浦光A'部分被薄片增益介質(zhì)Γ吸收。另外部分由薄片增益介質(zhì)Γ后表面 的高反射膜所反射，再次被薄片增益介質(zhì)所吸收，仍然未被吸收的泵浦光B'折射進(jìn)入空氣 中。為了保證薄片增益介質(zhì)1'對(duì)泵浦光的吸收效率，在泵浦光的反射方向上放置泵浦光的 全反射鏡4'，將未被吸收的泵浦光B'反射回薄片增益介質(zhì)Γ，使得未被吸收的泵浦光B' 重新進(jìn)入薄片增益介質(zhì)1'，從而提高薄片增益介質(zhì)1'的吸收效率。由于薄片增益介質(zhì)1' 的后表面(貼緊冷卻熱沉的面）鍍有對(duì)激光C'的高反射膜，因此薄片增益介質(zhì)Γ的后表面 即可作為激光腔的全反射鏡，因此只需在薄片介質(zhì)1'的正前方放置激光輸出鏡5'即可構(gòu) 成諧振腔。
[0004] 由于薄片激光器具有可以高效導(dǎo)出增益介質(zhì)內(nèi)的熱沉積、減弱增益介質(zhì)的熱透鏡 效應(yīng)等優(yōu)點(diǎn)，因此可以實(shí)現(xiàn)高功率、高效率、高光束質(zhì)量的激光輸出。由于薄片激光器具有 上述優(yōu)點(diǎn)，因此已廣泛應(yīng)用于國(guó)防軍事、科學(xué)研究、工業(yè)生產(chǎn)等各個(gè)方面。
[0005] 由于圓形薄片增益介質(zhì)產(chǎn)生的激光具有圓對(duì)稱性，而常用的光學(xué)元器件一般都是 圓形，因此能夠很好的匹配各種光學(xué)元器件，且具有圓對(duì)稱性的激光束在工業(yè)等領(lǐng)域具有 廣泛應(yīng)用，所以薄片激光器增益介質(zhì)1'形狀一般為圓形。
[0006] 現(xiàn)有的薄片激光器一般采用光纖耦合輸出的二極管激光器泵浦。二極管激光經(jīng)過 光纖耦合輸出之后，近似為高斯分布，加載到薄片增益介質(zhì)的泵浦光能量集中在中心，中心 處能量密度最高，邊緣能量密度較弱。而如圖1所示的冷卻熱沉2'僅能夠?yàn)楸∑鲆娼橘|(zhì) Γ的后表面（即貼緊冷卻熱沉的面）提供均勻冷卻，薄片增益介質(zhì)Γ的前表面處在空氣之 中，只能依靠空氣的對(duì)流換熱進(jìn)行冷卻，冷卻效果非常有限。這樣會(huì)導(dǎo)致薄片增益介質(zhì)1' 中心處冷卻力度不夠，使整個(gè)薄片增益介質(zhì)Γ溫度分布呈現(xiàn)出中心溫度偏高，而邊緣溫度 偏低的狀況，即在薄片增益介質(zhì)1'上形成由中心到邊緣的溫度梯度遞減的現(xiàn)象，即現(xiàn)有的 薄片激光器存在泵浦光能量密度分布不均勻的現(xiàn)象。
[0007] 另外，當(dāng)薄片激光器高功率運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，泵浦光功率較高，由于中心處功率密度較大， 熱量較多，導(dǎo)致中心處溫度過高，易導(dǎo)致所以薄片增益介質(zhì)1'的中心處產(chǎn)生嚴(yán)重的膨脹， 形成類似倒扣的"碗狀"變形，對(duì)于這種現(xiàn)象，稱之為薄片激光器的熱透鏡效應(yīng)。在高功率 運(yùn)行時(shí)，薄片增益介質(zhì)的熱透鏡效應(yīng)會(huì)影響激光器的輸出功率、穩(wěn)定性及光束質(zhì)量。當(dāng)薄片 增益介質(zhì)膨脹變形超過材料的承受能力，甚至?xí)?dǎo)致薄片增益介質(zhì)炸裂。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)之缺陷，旨在提供泵浦光能量密度分布均勻且對(duì) 薄片增益介質(zhì)具有良好冷卻效果的薄片激光器。
[0009] 本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，薄片激光器，包括射出泵浦光的泵浦源裝置、接收所述泵浦 光并產(chǎn)生激光的薄片增益介質(zhì)、微通道冷卻熱沉及激光輸出鏡，所述薄片增益介質(zhì)設(shè)于微 通道冷卻熱沉上側(cè)，所述泵浦源裝置與所述薄片增益介質(zhì)之間設(shè)有注有水的水箱及連接所 述水箱且為水箱供水的水壓泵，所述水箱上表面開設(shè)有第一開口，所述水箱下表面開設(shè)有 與所述第一開口相對(duì)設(shè)置的第二開口，所述泵浦源裝置射出的泵浦光穿過所述第一開口進(jìn) 入所述水箱內(nèi)并聚焦于所述第二開口處，所述第二開口處設(shè)有使第二開口噴出水柱的噴 嘴，所述薄片增益介質(zhì)承接所述水柱且與所述水柱的夾角呈銳角設(shè)置，所述薄片增益介質(zhì) 下表面設(shè)有對(duì)泵浦光和激光反射率高的反射膜，所述激光輸出鏡設(shè)于所述薄片增益介質(zhì)上 側(cè)且所述激光輸出鏡與所述薄片增益介質(zhì)相互平行。
[0010] 具體地，所述泵浦源裝置包括泵浦源、光纖、擴(kuò)束器及聚焦鏡，所述光纖兩端分別 連接所述泵浦源和擴(kuò)束器，所述擴(kuò)束器、聚焦鏡及所述水箱之間的位置關(guān)系滿足所述泵浦 源射出的泵浦光經(jīng)所述擴(kuò)束器擴(kuò)束及所述聚焦鏡聚焦，聚焦光束經(jīng)過所述第一開口進(jìn)入所 述水箱內(nèi)其焦點(diǎn)位于所述第二開口處的所述噴嘴中心。
[0011] 具體地，所述第一開口處設(shè)置采用由泵浦光高透射材料制成的透明板。
[0012] 具體地，所述噴口朝向所述所述薄片增益介質(zhì)中心。
[0013] 具體地，所述激光輸出鏡中心正對(duì)所述薄片增益介質(zhì)中心。
[0014] 具體地，所述水柱由堅(jiān)直方向噴出。
[0015] 具體地，薄片激光器該還包括泵浦光反射鏡，所述反射鏡設(shè)置于所述薄片增益介 質(zhì)上側(cè)并反射由所述薄片增益介質(zhì)射出的浦泵光。
[0016] 具體地，所述透明板上表面設(shè)有便于泵浦光通過的第一透射膜。
[0017] 具體地，所述薄片增益介質(zhì)上表面設(shè)有便于泵浦光和激光通過的第二透射膜。
[0018] 具體地，泵浦源裝置還包括連接所述水箱的水溫控制器。
[0019] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的薄片激光器通過設(shè)置水箱，并于水箱上設(shè)置噴嘴， 使得由噴嘴噴出的水呈水柱，利用水柱傳輸泵浦光，這樣，經(jīng)水柱傳輸?shù)谋闷止饩哂蟹植驾^ 為均勻的效果。此外，當(dāng)水流經(jīng)所述薄片增益介質(zhì)上表面時(shí)，還能夠?qū)Ρ∑鲆娼橘|(zhì)上表面 進(jìn)行冷卻，進(jìn)而帶走薄片增益介質(zhì)上泵浦區(qū)域的熱量。另外根據(jù)不同的泵浦能量，可以通 過改變所述水壓泵的運(yùn)轉(zhuǎn)功率，對(duì)水流從所述薄片增益介質(zhì)上表面帶走熱量的效率進(jìn)行控 制。最終實(shí)現(xiàn)減小薄片增益介質(zhì)內(nèi)部的溫度梯度及熱膨脹、降低薄片增益介質(zhì)的熱透鏡效 應(yīng)、提高激光器的光束質(zhì)量及穩(wěn)定性的目的。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020] 圖1是現(xiàn)有技術(shù)的薄片激光器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021] 圖2是本發(fā)明提供的薄片激光器一優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中箭頭表示泵浦 光及激光的傳輸方向；
[0022] 圖3是本發(fā)明提供的薄片激光器一優(yōu)選實(shí)施例中薄片增益介質(zhì)的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0023] 為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì) 本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并 不用于限定本發(fā)明。
[0024] 薄片激光器，包括射出泵浦光的泵浦源裝置1、接收所述泵浦光并產(chǎn)生激光的薄片 增益介質(zhì)2、微通道冷卻熱沉3及激光輸出鏡17,所述薄片增益介質(zhì)2設(shè)于微通道冷卻熱沉 3上側(cè)，所述泵浦源裝置1與所述薄片增益介質(zhì)2之間設(shè)有注有水的水箱15及連接所述水 箱15且為水箱15供水的水壓泵16,所述水箱15上表面開設(shè)有第一開口 151，所述水箱下 表面開設(shè)有與所述第一開口 151相對(duì)設(shè)置的第二開口 152,所述泵浦源裝置1射出的泵浦 光穿過所述第一開口 151進(jìn)入所述水箱15內(nèi)并聚焦于所述第二開口 152處，所述第二開口 152處設(shè)有使第二開口 152噴出水柱18的噴嘴6,所述薄片增益介質(zhì)2承接所述水柱18且 與所述水柱18的夾角呈銳角設(shè)置，所述薄片增益介質(zhì)2下表面設(shè)有對(duì)泵浦光和激光反射率 高的反射膜21，所述激光輸出鏡17設(shè)于所述薄片增益介質(zhì)2上側(cè)且所述激光輸出鏡17與 所述薄片增益2介質(zhì)相互平行。
[0025] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的薄片激光器通過設(shè)置水箱，并于水箱上設(shè)置噴嘴， 使得由噴嘴噴出的水呈水柱，利用水柱傳輸泵浦光，這樣，經(jīng)水柱傳輸?shù)谋闷止饩哂蟹植驾^ 為均勻的效果。此外，當(dāng)水流經(jīng)所述薄片增益介質(zhì)上表面時(shí)，還能夠?qū)Ρ∑鲆娼橘|(zhì)上表面 進(jìn)行冷卻，進(jìn)而帶走薄片增益介質(zhì)上泵浦區(qū)域的熱量。另外根據(jù)不同的泵浦能量，可以通 過改變所述水壓泵的運(yùn)轉(zhuǎn)功率，對(duì)水流從所述薄片增益介質(zhì)上表面帶走熱量的效率進(jìn)行控 制。最終實(shí)現(xiàn)減小薄片增益介質(zhì)內(nèi)部的溫度梯度及熱膨脹、降低薄片增益介質(zhì)的熱透鏡效 應(yīng)、提高激光器的光束質(zhì)量及穩(wěn)定性的目的。
[0026] 在本實(shí)施例中，所述泵浦源裝置1包括泵浦源11、光纖12、擴(kuò)束器13及聚焦鏡13， 所述光纖12兩端分別連接所述泵浦源11和擴(kuò)束器13,所述擴(kuò)束器13、聚焦鏡14及所述水 箱15之間的位置關(guān)系滿足所述泵浦源11射出的泵浦光經(jīng)所述擴(kuò)束器13擴(kuò)束及所述聚焦 鏡13聚焦，聚焦光束經(jīng)過所述第一開口 151進(jìn)入所述水箱15內(nèi)其焦點(diǎn)位于所述第二開口 152處的所述噴嘴6中心
[0027] 具體地，所述第一開口 151處設(shè)置采用由泵浦光高透射材料制成的透明板4。這 樣，使得所述水箱15成為一封閉的箱體結(jié)構(gòu)，可以防止使用本發(fā)明提供的薄片激光器使用 時(shí)所述水箱15內(nèi)的水溢出。另外，由于所述水箱15形成一封閉的箱體結(jié)構(gòu)，這樣可通過調(diào) 整所述水壓泵16的輸出壓力，進(jìn)而調(diào)整由所述噴嘴18的輸出水壓和輸出流速。
[0028] 下面就本發(fā)明的工作原理對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。
[0029] 所述泵浦源11產(chǎn)生泵浦光，并通過光纖將泵浦光傳輸至擴(kuò)束器13內(nèi)，經(jīng)擴(kuò)束器13 的作用，將泵浦光轉(zhuǎn)化成平行的泵浦光束。泵浦光束經(jīng)所述聚焦鏡14折射聚焦后穿過所述 透明板4并進(jìn)入所述水箱15內(nèi)，最終聚焦于所述第二開口 152處。這里，為實(shí)現(xiàn)泵浦光束 在所述第二開口 152處的聚焦利用光學(xué)的相關(guān)原理是易于推算出來的，這里不作贅述。接 著，泵浦光束將進(jìn)入所述水柱18,由于水的折射率高于空氣，因此，泵浦光束進(jìn)入所述水柱 18后，不會(huì)折射到空氣中，而是在水柱18內(nèi)傳輸，在這樣的傳輸過程中，有利于提高所述泵 浦光束的均勻性，使得當(dāng)泵浦光束由所述水柱18管端射入所述薄片增益介質(zhì)2時(shí)分布均 勻，從而保證了泵浦光能量密度分布均勻。泵浦光束進(jìn)入所述薄片增益介質(zhì)2后，會(huì)部分為 所述薄片增益介質(zhì)2接收，并促使所述薄片增益介質(zhì)2產(chǎn)生泵浦效應(yīng)。這里，所述薄片增益 介質(zhì)2下表面設(shè)有對(duì)泵浦光和激光反射率高的反射膜21，同時(shí)相對(duì)所述薄片增益介質(zhì)2相 互平行方向設(shè)置有所述激光輸出鏡17,這樣，所述反射膜21與所述激光輸出鏡17將形成完 整的諧振腔，即可形成激光振蕩并輸出激光束，激光將垂直于所述薄片增益介質(zhì)2上泵浦 區(qū)域垂直向上側(cè)射出。與此同時(shí)，由所述噴口 6流出的水將沿所述薄片增益介質(zhì)2上表面 流動(dòng)，從而帶去所述薄片增益介質(zhì)2上表面的熱量，從而提高所述薄片增益介質(zhì)2的散熱效 果。另外，為控制由所述噴口 6的流出水帶走所述薄片增益介質(zhì)2能量的大小，本發(fā)明是通 過在所述水箱15上設(shè)置水壓泵16,進(jìn)而通過調(diào)節(jié)所述水壓泵16的輸出功率，進(jìn)而改變所述 噴口 6的流量，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)由所述噴口 6流出的水帶走所述薄片增益介質(zhì)2能量的大小的 控制，間接的實(shí)現(xiàn)對(duì)所述薄片增益介質(zhì)2工作溫度的調(diào)控，確保所述薄片增益介質(zhì)2對(duì)能夠 適應(yīng)各能量強(qiáng)度的泵浦光。
[0030] 優(yōu)選地，所述噴口 6朝向所述所述薄片增益介質(zhì)2中心。
[0031] 進(jìn)一步的優(yōu)選，所述激光輸出鏡17中心正對(duì)所述薄片增益介質(zhì)2中心。
[0032] 更進(jìn)一步的優(yōu)選，所述水柱18由堅(jiān)直方向噴出。
[0033] 進(jìn)一步，本實(shí)施例中，所述薄片激光器還包括泵浦光反射鏡5,所述反射鏡5設(shè)置 于所述薄片增益介質(zhì)2上側(cè)并反射由所述薄片增益介質(zhì)2射出的浦泵光。當(dāng)泵浦光射入所 述薄片增益介質(zhì)2后，部分被所述薄片增益介質(zhì)2所吸收，未被吸收的部分將在所述所述反 射膜21的作用下反射到空氣，這里，通過設(shè)置所述反射鏡5將未被吸收的泵浦光反射回薄 片增益介質(zhì)2內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)泵浦光的二次利用，提高所述薄片增益介質(zhì)2吸收泵浦光的效 率。
[0034] 進(jìn)一步，為降低所述泵浦光通過所述透明板4的反射率，所述透明板4上表面設(shè)有 便于泵浦光通過的第一透射膜。
[0035] 為便于泵浦光射入或激光射出所述薄片增益介質(zhì)2,所述薄片增益介質(zhì)2上表面 設(shè)有便于泵浦光和激光通過的第二透射膜22。
[0036] 作為上述技術(shù)方案進(jìn)一步的改進(jìn)，所述泵浦源裝置1還包括連接所述水箱15的水 溫控制器19。這樣，通過所述水溫控制器19對(duì)所述水箱15溫度的實(shí)時(shí)控制，來保證由所述 噴口 6流出的水與所述薄片增益介質(zhì)2之間具有一個(gè)合理的溫差，從而保證由所述噴口 6 流出的水的流量與其帶走所述薄片增益介質(zhì)2的熱量存在一個(gè)較為穩(wěn)定的比例關(guān)系，有利 于保證所述薄片增益介質(zhì)2處于較為合理的溫度工作。這里，所述水溫控制器19包括水溫 冷卻裝置和水溫加熱裝置及水溫感應(yīng)裝置，有鑒于實(shí)現(xiàn)水溫控制是現(xiàn)有技術(shù)的內(nèi)容，在此 不對(duì)所述水溫控制器19的具體設(shè)置方式作贅述。
[0037] 以上所述僅為本發(fā)明較佳的實(shí)施例而已，其結(jié)構(gòu)并不限于上述列舉的形狀，凡在 本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù) 范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 薄片激光器，包括射出泵浦光的泵浦源裝置、接收所述泵浦光并產(chǎn)生激光的薄片增 益介質(zhì)、微通道冷卻熱沉及激光輸出鏡，所述薄片增益介質(zhì)設(shè)于微通道冷卻熱沉上側(cè)，其特 征在于：所述泵浦源裝置與所述薄片增益介質(zhì)之間設(shè)有注有水的水箱及連接所述水箱且為 水箱供水的水壓泵，所述水箱上表面開設(shè)有第一開口，所述水箱下表面開設(shè)有與所述第一 開口相對(duì)設(shè)置的第二開口，所述泵浦源裝置射出的泵浦光穿過所述第一開口進(jìn)入所述水箱 內(nèi)并聚焦于所述第二開口處，所述第二開口處設(shè)有使第二開口噴出水柱的噴嘴，所述薄片 增益介質(zhì)承接所述水柱且與所述水柱的夾角呈銳角設(shè)置，所述薄片增益介質(zhì)下表面設(shè)有對(duì) 泵浦光和激光反射率高的反射膜，所述激光輸出鏡設(shè)于所述薄片增益介質(zhì)上側(cè)且所述激光 輸出鏡與所述薄片增益介質(zhì)相互平行。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片激光器，其特征在于：所述泵浦源裝置包括泵浦源、光 纖、擴(kuò)束器及聚焦鏡，所述光纖兩端分別連接所述泵浦源和擴(kuò)束器，所述擴(kuò)束器、聚焦鏡及 所述水箱之間的位置關(guān)系滿足所述泵浦源射出的泵浦光經(jīng)所述擴(kuò)束器擴(kuò)束及所述聚焦鏡 聚焦，聚焦光束經(jīng)過所述第一開口進(jìn)入所述水箱內(nèi)其焦點(diǎn)位于所述第二開口處的所述噴嘴 中心。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片激光器，其特征在于：所述第一開口處設(shè)置采用由泵浦 光高透射材料制成的透明板。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片激光器，其特征在于：所述噴口朝向所述所述薄片增益 介質(zhì)中心。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片激光器，其特征在于：所述激光輸出鏡中心正對(duì)所述薄 片增益介質(zhì)中心。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄片激光器，其特征在于：所述水柱由堅(jiān)直方向噴出。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片激光器，其特征在于：還包括泵浦光反射鏡，所述反射鏡 設(shè)置于所述薄片增益介質(zhì)上側(cè)并反射由所述薄片增益介質(zhì)射出的浦泵光。
8. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄片激光器，其特征在于：所述透明板上表面設(shè)有便于泵浦 光通過的第一透射膜。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄片激光器，其特征在于：所述薄片增益介質(zhì)上表面設(shè)有便 于泵浦光和激光通過的第二透射膜。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的薄片激光器，其特征在于：泵浦源裝置還包括連 接所述水箱的水溫控制器。
【文檔編號(hào)】H01S3/042GK104124604SQ201310157449
【公開日】2014年10月29日 申請(qǐng)日期:2013年4月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月28日
【發(fā)明者】趙建濤, 肖磊, 楊錦彬, 郭瑋, 褚志鵬, 李喜露, 高云峰 申請(qǐng)人:深圳市大族激光科技股份有限公司