準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置，所述準(zhǔn)分子激光器包含MO腔、PA腔和PA腔光路轉(zhuǎn)置單元，PA腔光路轉(zhuǎn)置單元用于引導(dǎo)MO腔輸出的種子光傳輸，使種子光進(jìn)入PA腔進(jìn)行放大，同時(shí)透射來自PA腔的輸出激光。所述可見光引導(dǎo)裝置包括可見光激光器和可見光光路轉(zhuǎn)置單元，其中，所述可見光激光器用于產(chǎn)生可見光波段的激光，所述可見光光路轉(zhuǎn)置單元用于將所述可見光激光器產(chǎn)生的可見光波段的激光引導(dǎo)至與所述來自PA腔的激光共軸輸出。本實(shí)用新型能基于可見光光路為參考，完成后續(xù)光學(xué)組件與準(zhǔn)分子激光器之間的有效對(duì)準(zhǔn)，提高對(duì)準(zhǔn)精度及有效避免對(duì)操作人員危害大等不利影響。
【專利說明】
準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于激光器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]準(zhǔn)分子激光器是目前大規(guī)模集成電路芯片制造業(yè)所采用的主流曝光光源。193nm高能量、窄線寬準(zhǔn)分子激光器是生產(chǎn)線上廣泛采用的光刻用準(zhǔn)分子激光器。
[0003]圖1為光刻用193nm準(zhǔn)分子激光器基本結(jié)構(gòu)示意圖，主要包含種子腔(MO腔)、放大腔(PA腔)、線寬壓窄單元I (LNM)、輸出耦合鏡2(0C)、M0腔在線檢測(cè)單元3(LAM)、M0腔光路轉(zhuǎn)置單元4、PA腔光路轉(zhuǎn)置單元5、PA腔光路反轉(zhuǎn)單元6、PA腔在線檢測(cè)單元7(BAM)、脈沖展寬單元8 (OPus)等組成。MO腔與PA腔在空間上垂直擺放。LNM用于對(duì)MO腔原始光譜寬度進(jìn)行壓窄，LNM、OC與MO腔共同組成MO諧振腔，實(shí)現(xiàn)窄線寬種子激光輸出；4-M0腔光路轉(zhuǎn)置單元、5-PA腔光路轉(zhuǎn)置單元、6-PA腔光路反轉(zhuǎn)單元組成光路傳輸模塊，共同引導(dǎo)MO腔種子光兩次通過PA腔進(jìn)行雙程能量放大;LAM和BAM作為在線檢測(cè)模塊實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)顯示激光器能量、波長(zhǎng)、光譜等參數(shù);OPus用于對(duì)PA腔輸出激光進(jìn)行脈沖寬度展寬，降低激光峰值功率密度，提高后續(xù)光學(xué)元件的使用壽命。準(zhǔn)分子激光器輸出激光后續(xù)還需經(jīng)一系列光路變換系統(tǒng)后用于光刻物鏡投影成像。
[0004]193nm屬于深紫外波段，非可見光，肉眼不可見。因此基于193nm準(zhǔn)分子激光器輸出的193nm激光來完成后續(xù)光路變換系統(tǒng)等一系列光學(xué)組件與準(zhǔn)分子激光器之間的對(duì)準(zhǔn)過程，會(huì)存在一定困難，難于分辨，不利于觀察后續(xù)光學(xué)組件與準(zhǔn)分子激光器是否實(shí)現(xiàn)有效的高精度對(duì)準(zhǔn)。同時(shí)193nm激光會(huì)造成接觸物的冷灼傷，造成燒蝕效果，所以對(duì)操作人員人身安全存在一定危險(xiǎn)性。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005](一)要解決的技術(shù)問題
[0006]本實(shí)用新型在準(zhǔn)分子激光器光路傳輸模塊PA腔光路轉(zhuǎn)置單元中引入可見光引導(dǎo)功能，通過可見光引導(dǎo)裝置將633nm紅光調(diào)整到與激光器輸出的193nm激光共心共軸傳輸。利用633nm紅光完成后續(xù)光路系統(tǒng)或光學(xué)元件與準(zhǔn)分子激光器之間的有效校準(zhǔn)，對(duì)準(zhǔn)操作過程簡(jiǎn)單，對(duì)準(zhǔn)精度高，同時(shí)避免了采用193nm激光對(duì)準(zhǔn)而存在著不易獲得高精度對(duì)準(zhǔn)、人身安全危害大等弊端。
[0007](二)技術(shù)方案
[0008]本實(shí)用新型提出一種用于準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置，所述準(zhǔn)分子激光器包含MO腔、PA腔和PA腔光路轉(zhuǎn)置單元，PA腔光路轉(zhuǎn)置單元用于引導(dǎo)MO腔輸出的種子光傳輸，使種子光進(jìn)入PA腔進(jìn)行放大，同時(shí)透射來自PA腔的輸出激光，所述可見光引導(dǎo)裝置包括可見光激光器和可見光光路轉(zhuǎn)置單元，所述可見光激光器用于產(chǎn)生可見光波段的激光;所述可見光光路轉(zhuǎn)置單元用于將所述可見光激光器產(chǎn)生的可見光波段的激光引導(dǎo)至與所述來自PA腔的激光共軸輸出。
[0009]根據(jù)本實(shí)用新型的一種【具體實(shí)施方式】，所述PA腔光路轉(zhuǎn)置單元包括PA腔輸出鏡；所述可見光光路轉(zhuǎn)置單元包括反射鏡組，所述反射鏡組對(duì)于所述可見光激光器產(chǎn)生的可見光具有高反射率，用于將所述可見光激光器產(chǎn)生的可見光引導(dǎo)至PA腔輸出鏡的反射輸出面;所述PA腔輸出鏡透射來自PA腔的輸出激光，同時(shí)反射來自反射鏡組的可見光，所述透射的輸出激光和反射的可見光共軸輸出。
[0010]根據(jù)本實(shí)用新型的一種【具體實(shí)施方式】，所述PA腔光路轉(zhuǎn)置單元和可見光光路轉(zhuǎn)置單元還共用一個(gè)狹縫，輸出激光和可見光均通過該狹縫輸出。
[0011 ]根據(jù)本實(shí)用新型的一種【具體實(shí)施方式】，所述狹縫為兩個(gè)小孔光闌。
[0012]根據(jù)本實(shí)用新型的一種【具體實(shí)施方式】，所述PA腔輸出鏡為采用CaF2基底制成。
[0013]根據(jù)本實(shí)用新型的一種【具體實(shí)施方式】，所述反射鏡組包括三個(gè)45°入射高反射鏡。
[0014]根據(jù)本實(shí)用新型的一種【具體實(shí)施方式】，所述三個(gè)45°入射高反射鏡為第一反射鏡、第二反射鏡和第三反射鏡，第一反射鏡在PA腔光路轉(zhuǎn)置單元的外部，第二反射鏡和第三反射鏡在PA腔光路轉(zhuǎn)置單元的內(nèi)部。
[0015]根據(jù)本實(shí)用新型的一種【具體實(shí)施方式】，第二反射鏡和第三反射鏡為可調(diào)諧元件。
[0016]根據(jù)本實(shí)用新型的一種【具體實(shí)施方式】，所述PA腔光路轉(zhuǎn)置具有定位裝置，用于定位輸出激光與可見光使之保持共軸。
[0017]根據(jù)本實(shí)用新型的一種【具體實(shí)施方式】，所述可見光激光器為He-Ne激光器。
[0018](三)有益效果
[0019]本實(shí)用新型中在準(zhǔn)分子激光器光路傳輸模塊PA腔光路轉(zhuǎn)置單元中增加可見光引導(dǎo)裝置，通過可見光引導(dǎo)裝置實(shí)現(xiàn)633nm可見紅光與193nm準(zhǔn)分子激光共心共軸傳輸。PA腔光路轉(zhuǎn)置單元后續(xù)的光學(xué)組件均可以基于633nm紅光光路為參考，完成與準(zhǔn)分子激光器之間的有效對(duì)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)模塊之間的級(jí)聯(lián)對(duì)接，對(duì)準(zhǔn)操作過程簡(jiǎn)單，對(duì)準(zhǔn)精度高，同時(shí)有效避免了采用準(zhǔn)分子激光器發(fā)出的193nm激光來進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，所帶來的不易獲得高精度對(duì)準(zhǔn)、對(duì)操作人員人身安全危害大等不利影響。
【附圖說明】
[0020]圖1為現(xiàn)有的光刻用193nm準(zhǔn)分子激光器基本結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖2為可見光引導(dǎo)裝置應(yīng)用于準(zhǔn)分子激光器光路傳輸模塊PA腔光路轉(zhuǎn)置單元中的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖3為調(diào)整633nm引導(dǎo)紅光與193nm激光共心共軸傳輸?shù)牟襟E。
【具體實(shí)施方式】
[0023]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0024]如前所述準(zhǔn)分子激光器包含種子腔(MO腔)、放大腔(PA腔)、線寬壓窄單元(LNM)l、輸出耦合鏡(0C)2、M0腔在線檢測(cè)單元(LAM)3、M0腔光路轉(zhuǎn)置單元4、PA腔光路轉(zhuǎn)置單元5、PA腔光路反轉(zhuǎn)單元6、PA腔在線檢測(cè)單元(BAM) 7、脈沖展寬單元(OPus )8等。
[0025]PA腔光路轉(zhuǎn)置單元5—方面用于引導(dǎo)MO腔輸出的種子光傳輸，使種子光進(jìn)入PA腔進(jìn)行放大，另一方面用于透射來自PA腔的輸出激光。
[0026]本實(shí)用新型的可見光引導(dǎo)裝置包括可見光激光器和可見光光路轉(zhuǎn)置單元，可見光激光器用于產(chǎn)生可見光波段的激光。本實(shí)用新型提出在PA腔光路轉(zhuǎn)置單元5中并入可見光光路轉(zhuǎn)置單元，可見光光路轉(zhuǎn)置單元用于將所述可見光激光器產(chǎn)生的可見光波段的激光引導(dǎo)至與所述來自PA腔的激光共軸輸出，以輔助后續(xù)光學(xué)變換系統(tǒng)等一系列光學(xué)組件與準(zhǔn)分子激光器之間的有效對(duì)準(zhǔn)。
[0027]本實(shí)用新型的可見光光路轉(zhuǎn)置單元包括反射鏡組。反射鏡組對(duì)于所述可見光激光器產(chǎn)生的可見光具有高反射率，用于將所述可見光激光器產(chǎn)生的可見光引導(dǎo)至PA腔輸出鏡的出光面。所述PA腔輸出鏡透射來自PA腔的輸出激光，同時(shí)反射來自反射鏡組的可見光。PA腔輸出鏡的透射光和反射光共軸輸出。
[0028]例如，在具體實(shí)施時(shí)，準(zhǔn)分子激光器為193nm波段，可見光激光器是633nm的He-Ne激光器，反射鏡組的各反射鏡均為633nm波段45°角入射高反射鏡。PA腔光路轉(zhuǎn)置單元和可見光光路轉(zhuǎn)置單元還共用一個(gè)狹縫，狹縫由兩個(gè)小孔光闌組成。PA腔輸出鏡的出射面同時(shí)鍍0°入射193nm減反膜以及45°入射633nm部分反射膜。
[0029]圖2為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例的可見光引導(dǎo)裝置與準(zhǔn)分子激光器的PA腔光路轉(zhuǎn)置單元中進(jìn)行集成的光路結(jié)構(gòu)示意圖。PA腔光路轉(zhuǎn)置單元為193nm光路轉(zhuǎn)置單元，其與633nm可見光光路轉(zhuǎn)置單元共用部分光路。圖中光學(xué)元件101、102、103為193nm波段45°角入射高反射鏡，引導(dǎo)MO腔輸出的193nm種子光傳輸，使種子光按照特定角度進(jìn)入PA腔進(jìn)行放大。PA腔光路轉(zhuǎn)置單元采用101、102、103三面(奇數(shù)面)高反射鏡引導(dǎo)光路，可以保證在傳輸過程中保持MO腔輸出的矩形光斑形狀不變，同時(shí)降低光路調(diào)整難度，提高光路微調(diào)精度，使入射到P A腔的種子光與放電腔電極中心軸線的夾角精確控制在特定的范圍內(nèi)，如大約7mrad。其中，元件1I使沿Y軸垂直向下傳輸?shù)姆N子光轉(zhuǎn)折90°，反射光沿Z軸反向傳輸，入射至IJ102表面；102將種子光轉(zhuǎn)折90°，反射光沿X軸反向傳輸，入射到103表面；103使種子光轉(zhuǎn)折(90-θ)°，使反射光與PA腔電極中心軸線在水平面內(nèi)相交并成微小夾角Θ，入射到PA腔內(nèi)進(jìn)行第一程能量放大(此為入程激光)。103元件具有微調(diào)功能，在保證入程激光與電極中心軸線成微小夾角Θ的同時(shí)，使入程激光與PA腔電極中心軸線的交點(diǎn)基本位于軸線中心處，即入程激光在PA腔內(nèi)對(duì)稱分布在電極中心軸線兩側(cè)，以獲得特定夾角情況下最大程度的能量放大。穿過PA腔獲得第一程放大的入程激光經(jīng)PA腔光路反轉(zhuǎn)單元再次返回PA腔進(jìn)行第二程能量放大(此為回程激光)，回程激光沿著電極中心軸線傳輸，與入程激光在水平面內(nèi)相交并成微小夾角Θ。放大后的激光穿過PA腔光路轉(zhuǎn)置單元輸出。調(diào)整PA腔光路轉(zhuǎn)置單元中狹縫401、402的空間位置，使193nm激光先后通過兩個(gè)狹縫中心輸出，狹縫采用小孔光闌。
[0030]可見光引導(dǎo)裝置包括He-Ne可見光激光器，光學(xué)元件201、202、203構(gòu)成反射鏡組、PA腔輸出鏡301，狹縫401、402、及定位裝置403為與193醒輸出激光共用元件。201、202、203為可見光轉(zhuǎn)置元件，采用633nm波段45°入射高反射鏡。該實(shí)施例中采用具有高指向性能的He-Ne激光器作為引導(dǎo)激光器，指向穩(wěn)定性優(yōu)選Imrad以下。He-Ne激光器作為引導(dǎo)光源具有如下優(yōu)點(diǎn):輸出激光為單模，光束質(zhì)量好、單色性好、穩(wěn)定性高、激光發(fā)散角小，有利于長(zhǎng)距離傳輸時(shí)能保持與193nm激光共軸傳輸；同時(shí)，He-Ne激光器輸出激光為633nm紅色可見光，紅光具有肉眼易于觀察的優(yōu)點(diǎn)，有利于光路的調(diào)諧對(duì)準(zhǔn)。此外，He-Ne激光器價(jià)格較為低廉，便于工程應(yīng)用中的成本控制。
[0031]調(diào)整633nm光路與193nm光路雙光路至共軸傳輸，通常需要借助兩個(gè)可調(diào)諧反射鏡以及兩個(gè)小孔光闌來完成，本實(shí)用新型中考慮到PA腔光路轉(zhuǎn)置單元結(jié)構(gòu)緊湊、空間尺寸有限的問題，將引導(dǎo)激光器設(shè)置在PA腔光路轉(zhuǎn)置單元外側(cè)緊貼盒壁放置，可以避免大幅增加額外的空間尺寸，為此需要多引入一面反射鏡用于轉(zhuǎn)折光路。633nm引導(dǎo)紅光先后入射在第一至第三反射鏡201、202、203及卩八腔輸出鏡301表面，第一至第三反射鏡201、202、203作為反射鏡組，入射角均為45°，經(jīng)反射后光路轉(zhuǎn)折90°，在PA腔輸出鏡301的出光面反射后與193nm激光共心共軸傳輸。整個(gè)可見光光路始終在水平面內(nèi)傳輸。第一反射鏡201在PA腔光路轉(zhuǎn)置單元外部，不設(shè)調(diào)諧功能，有利于保持長(zhǎng)時(shí)間位置穩(wěn)定性;PA腔輸出鏡301為共用元件，為保持193nm激光傳輸方向不變，同樣為固定元件；因此，將第二反射鏡202和第三反射鏡203設(shè)為可調(diào)諧元件，可繞Y軸和Z軸進(jìn)行兩維角度微調(diào)，用于調(diào)諧633nm激光傳輸方向。可調(diào)諧元件202與203的支撐架具有兩維高精度調(diào)諧功能，可采用調(diào)諧精度低于5yrad的高穩(wěn)定度不銹鋼鏡架，獲得高精度調(diào)諧對(duì)準(zhǔn)。
[0032]圖3為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中調(diào)整633nm引導(dǎo)紅光與193nm激光共心共軸傳輸?shù)牟襟E流程圖。首先，調(diào)整小孔光闌401、402的空間位置，使193nm激光完全通過小孔光闌401、402中心后，關(guān)閉19311111激光輸出；打開633醒He-Ne激光器，微調(diào)第二反射鏡202使He-Ne激光器發(fā)出的633nm紅光通過小孔光闌401中心;放大小孔光闌401的通光孔尺寸;微調(diào)第三反射鏡203使633nm紅光通過小孔光闌402的中心；縮小小孔光闌401的通光孔至原尺寸，觀察633nm紅光是否通過小孔光闌401中心；如未通過，重復(fù)微調(diào)第二反射鏡202和第三反射鏡203的步驟，最終使633nm紅光完全通過小孔光闌401、402中心輸出，此時(shí)實(shí)現(xiàn)633nm紅光與193nm激光共心共軸傳輸。由于采用雙調(diào)諧元件方法用于調(diào)諧兩光束共軸，同時(shí)調(diào)諧過程采用步距低于5yrad的高調(diào)諧精度的支撐架來完成，獲得最后雙光束的高精度對(duì)準(zhǔn)。調(diào)諧完成后將第二反射鏡202、第三反射鏡203固定定位住，保持穩(wěn)定位置。本實(shí)用新型中將He-Ne激光器緊貼光路轉(zhuǎn)置單元外壁設(shè)計(jì)，以及采用多面反射鏡作為導(dǎo)光元件，將光路多次折疊，縮短空間長(zhǎng)度，提高空間利用的緊湊性，避免因?yàn)橐肟梢姽庖龑?dǎo)光路而大幅提高PA腔光路轉(zhuǎn)置單元的空間尺寸，有利于后續(xù)準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)的整機(jī)集成。
[0033]PA腔輸出鏡301為633nm紅光與193nm激光共用光學(xué)元件，采用CaF2基底制成，CaF2在193nm波段具有高透過率。在PA腔輸出鏡301表面鍍0°角入射193nm減反膜以及45°角入射633nm部分反射膜，保證在不影響193nm激光高透過率的同時(shí)提高633nm紅光的反射率。193nm激光穿過301后會(huì)沿X軸產(chǎn)生一定偏移，但傳輸方向不變。193nm激光在301出射面上的出射點(diǎn)與633nm紅光在302表面的入射點(diǎn)相重合。待633nm紅光與193nm激光調(diào)整至共心共軸傳輸后，關(guān)閉193nm準(zhǔn)分子激光輸出，借助633nm紅光完成后續(xù)光路及光學(xué)變換系統(tǒng)的輔助裝調(diào)和有效校準(zhǔn)過程，發(fā)揮633nm紅光易于觀察、對(duì)操作人員傷害小等優(yōu)點(diǎn)。為利于后續(xù)定期觀察雙光束是否發(fā)生偏離，在PA腔光路轉(zhuǎn)置單元內(nèi)壁上增加定位裝置403，用于同時(shí)接收193nm激光在元件301表面的反射光以及633nm紅光穿過301后的透射光。定位裝置403可采用193nm至可見光波段寬譜帶響應(yīng)的光電二極管。當(dāng)633nm紅光調(diào)諧至與193nm激光共軸后，193nm反射光與633nm透射光403上基本重合(由于633nm紅光與193nm激光在CaF2鏡片中的折射率不同，兩束光中心在403上會(huì)有微小水平方向偏移，但因193nm激光光斑有一定寬度及301鏡片厚度小，所以在403接收面上633nm紅光仍會(huì)位于193nm激光光斑范圍內(nèi))。后續(xù)可通過觀察定位裝置403上兩束光是否重合，作為判斷633nm激光與193nm激光是否保持共軸傳輸?shù)囊粋€(gè)依據(jù)。該判斷方法簡(jiǎn)單，操作方便。
[0034]由上可知，本實(shí)用新型在準(zhǔn)分子激光器光路傳輸模塊的PA腔光路轉(zhuǎn)置單元中引入可見光引導(dǎo)功能，通過可見光引導(dǎo)裝置將He-Ne激光器發(fā)出的肉眼可見的633nm紅光調(diào)整至與193nm激光共心共軸傳輸，然后基于633nm紅光完成后續(xù)光路變換系統(tǒng)等一系列光學(xué)組件與準(zhǔn)分子激光器之間的高精度對(duì)準(zhǔn)過程。有效避免了采用193nm激光用于后續(xù)光學(xué)組件與激光器之間對(duì)準(zhǔn)所帶來的不易高精度對(duì)準(zhǔn)、以及激光損傷引起的人身安全的問題，對(duì)于深紫外波段激光光源與后續(xù)光學(xué)系統(tǒng)之間的級(jí)聯(lián)對(duì)接具有重要的指導(dǎo)和引導(dǎo)作用。
[0035]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置，所述準(zhǔn)分子激光器包含MO腔、PA腔、線寬壓窄單元、輸出耦合鏡和PA腔光路轉(zhuǎn)置單元，PA腔光路轉(zhuǎn)置單元用于引導(dǎo)MO腔輸出的種子光傳輸，使種子光進(jìn)入PA腔進(jìn)行放大，同時(shí)透射來自PA腔的輸出激光，其特征在于，所述可見光引導(dǎo)裝置包括可見光激光器和可見光光路轉(zhuǎn)置單元，其中， 所述可見光激光器用于產(chǎn)生可見光波段的激光； 所述可見光光路轉(zhuǎn)置單元用于將所述可見光激光器產(chǎn)生的可見光波段的激光引導(dǎo)至與所述準(zhǔn)分子激光共軸輸出。2.如權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置，其特征在于， 所述PA腔光路轉(zhuǎn)置單元包括PA腔輸出鏡； 所述可見光光路轉(zhuǎn)置單元包括反射鏡組，所述反射鏡組對(duì)于所述可見光激光器產(chǎn)生的可見光具有高反射率，用于將所述可見光激光器產(chǎn)生的可見光引導(dǎo)至PA腔輸出鏡的反射輸出面； 所述PA腔輸出鏡透射來自PA腔的輸出激光，同時(shí)反射來自反射鏡組的可見光，所述透射的輸出激光和反射的可見光共軸輸出。3.如權(quán)利要求2所述的準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置，其特征在于，所述PA腔光路轉(zhuǎn)置單元和可見光光路轉(zhuǎn)置單元還共用一個(gè)狹縫，輸出激光和可見光均通過該狹縫輸出。4.如權(quán)利要求3所述的準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置，其特征在于，所述狹縫為兩個(gè)小孔光闌。5.如權(quán)利要求2所述的準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置，其特征在于，所述PA腔輸出鏡為采用CaF2基底制成。6.如權(quán)利要求2所述的準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置，其特征在于，所述反射鏡組包括三個(gè)45°入射高反射鏡。7.如權(quán)利要求6所述的準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置，其特征在于，所述三個(gè)45°入射高反射鏡為第一反射鏡、第二反射鏡和第三反射鏡，第一反射鏡在PA腔光路轉(zhuǎn)置單元的外部，第二反射鏡和第三反射鏡在PA腔光路轉(zhuǎn)置單元的內(nèi)部。8.如權(quán)利要求7所述的準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置，其特征在于，第二反射鏡和第三反射鏡為可調(diào)諧元件。9.如權(quán)利要求2所述的準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置，其特征在于，所述PA腔光路轉(zhuǎn)置具有定位裝置，用于定位輸出激光與可見光使之保持共軸。10.如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的準(zhǔn)分子激光器的可見光引導(dǎo)裝置，其特征在于，所述可見光激光器為He-Ne激光器。
【文檔編號(hào)】H01S3/101GK205657310SQ201620417657
【公開日】2016年10月19日
【申請(qǐng)日】2016年5月10日 公開號(hào)201620417657.2, CN 201620417657, CN 205657310 U, CN 205657310U, CN-U-205657310, CN201620417657, CN201620417657.2, CN205657310 U, CN205657310U
【發(fā)明人】李慧, 趙江山, 周翊, 宋興亮, 范元媛, 沙鵬飛, 蔡茜瑋, 王倩, 鮑洋, 張立佳
【申請(qǐng)人】中國科學(xué)院光電研究院