一種控制離子注入的二維掃描裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種控制離子注入的二維掃描裝置，該裝置包括主控機(jī)、通信接口電路、DSP處理器、FPGA、鍵盤、兩路高速DAC轉(zhuǎn)換電路、兩路濾波電路、兩路緩沖放大電路和高壓放大電路。兩路高壓放大電路和兩路緩沖放大電路連接，兩路緩沖放大電路和兩路高速DAC連接，F(xiàn)PGA和兩路高速DAC連接，DSP處理器與FPGA連接，主控機(jī)通過通信接口電路連接DSP處理器進(jìn)行數(shù)據(jù)通信，啟停控制和工作狀態(tài)指示。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)離子注入晶片的圓周形掃描，任意區(qū)域掃描，減少掃描時(shí)間。
【專利說明】
一種控制離子注入的二維掃描裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種控制離子注入的二維掃描裝置，屬于半導(dǎo)體裝備制造領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]離子注入技術(shù)是近30年來在國(guó)際上蓬勃發(fā)展和廣泛應(yīng)用的一種材料表面改性高新技術(shù)，已經(jīng)在半導(dǎo)體材料摻雜，金屬、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上獲得了極為廣泛的應(yīng)用，取得了巨大的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。在電子工業(yè)中，離子注入成為了微電子工藝中的一種重要的摻雜技術(shù)，在當(dāng)代制造大規(guī)模集成電路中，可以說是一種必不可少的手段。
[0003]離子注入目前都采用二維掃描控制裝置控制掃描輸出，掃描方式有電掃描:晶片固定，水平與垂直方向都采用電子束掃描;機(jī)械掃描:束流固定，晶片運(yùn)動(dòng);混合掃描:水平方向電子束掃描，晶片垂直方向機(jī)械運(yùn)動(dòng)。這些掃描方式都是矩形掃描，不能實(shí)現(xiàn)圓形掃描和任意區(qū)域掃描。
[0004]本實(shí)用新型提供了一種可以實(shí)現(xiàn)離子注入圓形掃描和任意區(qū)域掃描的二維掃描
目.ο

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中離子注入機(jī)無控制圓形掃描和局域掃描的二維掃描裝置這一問題而提出的一種離子圓形注入的二維掃描控制裝置，該實(shí)用新型應(yīng)用于離子注入機(jī)，能夠精確控制掃描裝置進(jìn)行圓周掃描和局域掃描。
[0006]本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0007]—種控制離子注入的二維掃描裝置，包括主控機(jī)、通信接口電路、DSP處理器、FPGA、鍵盤、兩路高速DAC轉(zhuǎn)換電路、兩路濾波電路、兩路緩沖放大電路和高壓放大電路。兩路高壓放大電路和兩路緩沖放大電路連接，兩路緩沖放大電路和兩路高速DAC連接，F(xiàn)PGA和兩路高速DAC連接，DSP處理器與FPGA連接，主控機(jī)通過通信接口電路連接DSP處理器。
[0008]上述的一種控制離子注入的二維掃描裝置，其特征在于:DSP處理器與FPGA相連，DSP處理器通過接收鍵盤接口傳來的控制命令，進(jìn)行高速數(shù)據(jù)處理和掃描區(qū)域的計(jì)算，控制掃描速度，控制FPGA完成波形的產(chǎn)生。
[0009]上述的一種控制離子注入的二維掃描裝置，其特征在于:FPGA和兩路高速DAC連接，控制兩路高速DAC產(chǎn)生水平和垂直方向的掃描電壓，將其送入濾波電路濾掉高頻噪聲，然后送入緩沖放大電路，經(jīng)過緩沖放大電路以后的輸出波形電壓幅值最高均可達(dá)到正負(fù)10伏，再經(jīng)過高壓電放大電路，輸出一萬伏以上的高壓掃描電壓控制電子束的偏轉(zhuǎn)，實(shí)時(shí)改變水平和垂直方向掃描電壓的大小就可以實(shí)時(shí)改變電子束水平移動(dòng)速度和垂直移動(dòng)速度，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域的控制。
[0010]上述的一種控制離子注入的二維掃描裝置，其特征在于:主控機(jī)通過通信接口電路連接DSP處理器進(jìn)行數(shù)據(jù)通信，啟停控制和工作狀態(tài)指示。
[0011]本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)離子注入晶片的圓形掃描、減少掃描時(shí)間；實(shí)現(xiàn)區(qū)域掃描，加強(qiáng)局域掃描。
【附圖說明】
[0012]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0013]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)框圖；
[0014]圖2為本實(shí)用新型的水平和垂直方向掃描電壓輸出波形圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]參見圖1，整個(gè)系統(tǒng)由主控機(jī)、通信接口電路、DSP處理器、FPGA、鍵盤、兩路高速DAC轉(zhuǎn)換電路、兩路濾波電路、兩路緩沖放大電路和高壓放大電路組成。DSP處理器和FPGA是整個(gè)系統(tǒng)的核心模塊，DSP采用選用ADI公司的ADSP-BF531嵌入式處理器，利用其自帶的豐富接口特性，構(gòu)建LAN、USB、UART等外設(shè)，完成與主控機(jī)的數(shù)據(jù)通信、鍵盤、網(wǎng)口等外部接口電路的設(shè)計(jì)。FPGA采用Cyclone III的EP3C16Q240C8N，利用內(nèi)部的RAM存儲(chǔ)波形數(shù)據(jù)，完成波形的產(chǎn)生功能。
[0016]DSP處理器具有超強(qiáng)的數(shù)字信號(hào)處理和綜合控制能力，完成整個(gè)系統(tǒng)的控制，通過接收鍵盤接口傳來的控制命令，對(duì)FPGA進(jìn)行操作，利用FPGA產(chǎn)生水平和垂直方向的掃描電壓所需要的兩路波形并經(jīng)過高速D/A轉(zhuǎn)換，送入濾波電路濾掉高頻噪聲然后送入緩沖放大電路，經(jīng)過緩沖放大電路以后的輸出波形電壓幅值最高均可達(dá)到正負(fù)10伏，再經(jīng)過高壓電放大電路，輸出一萬伏以上的高壓掃描電壓控制電子束的偏轉(zhuǎn)，實(shí)時(shí)改變水平和垂直方向掃描電壓的大小就可以實(shí)時(shí)改變電子束水平移動(dòng)速度和垂直移動(dòng)速度，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域的控制。
[0017]本實(shí)用新型的水平和垂直方向掃描電壓輸出波形圖如圖2所示，水平方向掃描電壓從O伏開始峰值逐步增加，掃到晶圓的中部時(shí)輸出最大掃描峰值電壓，與此同時(shí)，垂直方向掃描電壓從正值的最大輸出開始逐步減少到O伏，完成晶圓上半部分離子注入掃描。晶圓下半部分離子注入掃描時(shí)水平和垂直方向掃描電壓輸出情況剛好相反。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種控制離子注入的二維掃描裝置，包括主控機(jī)、通信接口電路、DSP處理器、FPGA、鍵盤、兩路高速DAC轉(zhuǎn)換電路、兩路濾波電路、兩路緩沖放大電路和高壓放大電路;兩路高壓放大電路和兩路緩沖放大電路連接，兩路緩沖放大電路和兩路高速DAC連接，F(xiàn)PGA和兩路高速DAC連接，DSP處理器與FPGA連接，主控機(jī)通過通信接口電路連接DSP處理器。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種控制離子注入的二維掃描裝置，其特征在于:DSP處理器與FPGA相連，DSP處理器通過接收鍵盤接口傳來的控制命令，進(jìn)行高速數(shù)據(jù)處理和掃描區(qū)域的計(jì)算，控制掃描速度，控制FPGA完成波形的產(chǎn)生。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種控制離子注入的二維掃描裝置，其特征在于:FPGA和兩路高速DAC連接，控制兩路高速DAC產(chǎn)生水平和垂直方向的掃描電壓，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域的控制。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種控制離子注入的二維掃描裝置，其特征在于:主控機(jī)通過通信接口電路連接DSP處理器進(jìn)行數(shù)據(jù)通信，啟?？刂坪凸ぷ鳡顟B(tài)指示。
【文檔編號(hào)】H01J37/302GK205428869SQ201620277974
【公開日】2016年8月3日
【申請(qǐng)日】2016年4月6日
【發(fā)明人】劉輝, 童雪林, 劉光燦, 謝明華, 熊躍軍
【申請(qǐng)人】長(zhǎng)沙學(xué)院, 長(zhǎng)沙米德電子科技有限公司