電池片臭氧氧化裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及電池領域；
[0002]尤其涉及一種電池片臭氧氧化裝置。
【背景技術】
[0003]PID(Potential Induced Degradat1n俗稱電位誘發(fā)衰減)是光伏發(fā)電系統(tǒng)實際使用時在尚溫尚濕和尚壓偏壓環(huán)境下，因漏電流而引起功率發(fā)減的現(xiàn)象?，F(xiàn)在主流的抗PID方式是PECVD鍍膜之前采用臭氧氧化硅片表面生長一層致密的二氧化硅阻擋層，可以有效的阻止鈉離子迀移到電池表面，從而避免電池組件的功率衰減。臭氧氧化系統(tǒng)主要由臭氧發(fā)生裝置、臭氧氧化裝置和抽風裝置組成。
[0004]參閱圖1所示，顯示為現(xiàn)有技術中的臭氧氧化裝置的結(jié)構示意圖。硅片從氧化反應器下經(jīng)過時，氣體從氣體噴孔排出對硅片進行氧化，在硅片表面生長一層二氧化硅氧化膜。現(xiàn)有臭氧氧化裝置存在的不足是，氧化反應器底部為平面，臭氧向四周擴散，，部分臭氧未經(jīng)充分利用便被排走，能夠保存的臭氧有限。同時氧化反應器下方的臭氧易于向外界環(huán)境散逸，環(huán)境中的臭氧濃度過高有危害人體健康的風險。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術的種種不足，本實用新型要解決的技術問題在于提供一種電池片臭氧氧化裝置，以克服現(xiàn)有技術的上述缺陷。
[0006]為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種電池片臭氧氧化裝置，包括設于電池片輸送帶上方的氧化反應器，所述氧化反應器底部設有多個氣體噴孔，所述氧化反應器底部相鄰的氣體噴孔之間設有內(nèi)凹的開口槽結(jié)構。
[0007 ]優(yōu)選地，氧化反應器內(nèi)設有勻流板。
[0008]優(yōu)選地，沿硅片輸送方向排列的每兩個相鄰的氣體噴孔之間設有內(nèi)凹的開口槽結(jié)構。
[0009]優(yōu)選地，位于最外側(cè)的氣體噴孔的出氣方向呈45°向內(nèi)傾斜出氣。
[0010]優(yōu)選地，電池片輸送帶下方設有抽風裝置。
[0011]優(yōu)選地，所述開口槽結(jié)構為三角形、U形、V形、方形的任一種。
[0012]通過以上技術方案，本實用新型相較于現(xiàn)有技術具有以下技術效果:氧化反應器底部相鄰的氣體噴孔之間設置的內(nèi)凹開口槽結(jié)構能保存部分臭氧氣體，這部分臭氧氣體能夠繼續(xù)和經(jīng)過的硅片反應，在達到相同氧化效果的前提下，相比現(xiàn)有結(jié)構更為節(jié)省臭氧，臭氧利用更為充分。同時由于內(nèi)凹開口槽結(jié)構的層層阻攔，能減緩臭氧向外界環(huán)境的散逸，具備高度產(chǎn)業(yè)利用價值。
【附圖說明】
[0013]圖1顯示為現(xiàn)有技術中的臭氧氧化裝置的結(jié)構示意圖；
[0014]圖2顯示為本實用新型較佳實施例的結(jié)構示意圖。
[0015]元件標號說明:
[0016]I氧化反應器
[0017]2勻流板
[0018]3氣體噴孔
[0019]4開口槽結(jié)構
[0020]5抽風裝置
【具體實施方式】
[0021]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0022]請參閱圖1至圖2。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構的修飾、比例關系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術內(nèi)容下，當亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0023]太陽能電池主要以硅片作為原料，本實用新型的電池片以硅片為例。參閱圖2所示，顯示為本實用新型電池片臭氧氧化裝置較佳實施例的結(jié)構示意圖，包括設于電池片輸送帶上方的氧化反應器I，氧化反應器I內(nèi)設有勻流板2，氧化反應器底部設有多個氣體噴孔3，硅片從氧化反應器下經(jīng)過時，氣體經(jīng)勻流板2均勻分至每個氣體噴孔3排出對硅片進行氧化。本實用新型通過對氣體噴孔之間的區(qū)域加以利用，在氧化反應器I底部相鄰的氣體噴孔之間設置開口槽結(jié)構4構成內(nèi)凹空間，當臭氧氣體排出時，該空間能保存部分臭氧氣體，這部分臭氧氣體能夠繼續(xù)和經(jīng)過的硅片反應，在達到相同氧化效果的前提下，相比現(xiàn)有結(jié)構更為節(jié)省臭氧，臭氧利用更為充分。同時由于內(nèi)凹開口槽結(jié)構的層層阻攔，能減緩了臭氧向外界環(huán)境的散逸。
[0024]作為本實用新型的進一步改進，開口槽結(jié)構4設置于沿硅片輸送方向排列的每兩個相鄰的氣體噴孔之間，以達到最優(yōu)空間布置。
[0025]作為本實用新型的另一改進，位于最外側(cè)的氣體噴孔的出氣方向呈45°向內(nèi)傾斜出氣，電池片輸送帶下方設有抽風裝置5，進一步減少臭氧向外界環(huán)境的散逸。
[0026]作為本實用新型的另一改進，開口槽結(jié)構4優(yōu)選為三角形、U形、V形、方形的任一種。
[0027]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術領域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
【主權項】
1.一種電池片臭氧氧化裝置，包括設于電池片輸送帶上方的氧化反應器，其特征在于，所述氧化反應器底部設有多個氣體噴孔，所述氧化反應器底部相鄰的氣體噴孔之間設有內(nèi)凹的開口槽結(jié)構。2.根據(jù)權利要求1所述的電池片臭氧氧化裝置，其特征在于，氧化反應器內(nèi)設有勻流板。3.根據(jù)權利要求1所述的電池片臭氧氧化裝置，其特征在于，沿硅片輸送方向排列的每兩個相鄰的氣體噴孔之間設有內(nèi)凹的開口槽結(jié)構。4.根據(jù)權利要求1所述的電池片臭氧氧化裝置，其特征在于，位于最外側(cè)的氣體噴孔的出氣方向呈45°向內(nèi)傾斜出氣。5.根據(jù)權利要求1所述的電池片臭氧氧化裝置，其特征在于，電池片輸送帶下方設有抽風裝置。6.根據(jù)權利要求1-5任一項所述的電池片臭氧氧化裝置，其特征在于，所述開口槽結(jié)構為三角形、U形、V形、方形的任一種。
【專利摘要】本實用新型提供一種電池片臭氧氧化裝置，包括設于電池片輸送帶上方的氧化反應器，所述氧化反應器底部設有多個氣體噴孔，所述氧化反應器底部相鄰的氣體噴孔之間設有內(nèi)凹的開口槽結(jié)構。氧化反應器底部相鄰的氣體噴孔之間設置的內(nèi)凹開口槽結(jié)構能保存部分臭氧氣體，這部分臭氧氣體能夠繼續(xù)和經(jīng)過的硅片反應，在達到相同氧化效果的前提下，相比現(xiàn)有結(jié)構更為節(jié)省臭氧，臭氧利用更為充分。同時由于內(nèi)凹開口槽結(jié)構的層層阻攔，能減緩臭氧向外界環(huán)境的散逸，具備高度產(chǎn)業(yè)利用價值。
【IPC分類】H01L21/67, H01L31/18
【公開號】CN205319178
【申請?zhí)枴緾N201521128955
【發(fā)明人】柯希滿, 童銳, 張小剛, 楊大誼
【申請人】太極能源科技（昆山）有限公司
【公開日】2016年6月15日
【申請日】2015年12月30日