一種激光退火設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及顯示器技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種激光退火設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，廣泛應(yīng)用于顯示器行業(yè)的LTPS技術(shù)(LTPS，英文LowTemperature Poly-silicon的縮寫，低溫多晶硅技術(shù))主要采用激光退火設(shè)備在顯示器的玻璃基板上實(shí)現(xiàn)非晶硅向多晶硅的轉(zhuǎn)變。在退火過程中，硅容易與周圍退火環(huán)境中的氧發(fā)生作用形成硅的氧化物，當(dāng)環(huán)境氧含量不均時，這些表面分布不均的硅的氧化物將嚴(yán)重影響多晶硅表面的粗糙度，進(jìn)而影響顯示器的薄膜晶體管的電學(xué)特性，使最終的產(chǎn)品良率損失巨大。
[0003]為了避免上述問題，現(xiàn)有的激光退火設(shè)備中，設(shè)置有向其內(nèi)部導(dǎo)入惰性氣體的氣體導(dǎo)入裝置，氣體導(dǎo)入裝置將惰性氣體導(dǎo)入到激光退火設(shè)備中，以將退火環(huán)境中的氧排除。在現(xiàn)有技術(shù)中，氣體導(dǎo)入裝置用于輸送惰性氣體的的主體結(jié)構(gòu)為雙層套管，如圖1所示。雙層套管中的內(nèi)管作為輸送惰性氣體的通道，惰性氣體到來之后，經(jīng)過開設(shè)在內(nèi)管的管壁上的內(nèi)管狹縫，流入到外管內(nèi)，再從開設(shè)在外管上的外管狹縫中流至激光退火設(shè)備中。
[0004]但是，實(shí)用新型人發(fā)現(xiàn)，此種結(jié)構(gòu)的氣體導(dǎo)入裝置無法對惰性氣體進(jìn)行充分的混合，導(dǎo)致惰性氣體的混合均勻性較低，使激光退火時所處氣氛的氧濃度無法得到有效控制，影響了多晶娃的結(jié)晶質(zhì)量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]有鑒于此，本實(shí)用新型旨在提供一種新型的激光退火設(shè)備，其在輸送惰性氣體的同時，能夠?qū)Χ栊詺怏w實(shí)現(xiàn)充分的混合與重塑，進(jìn)而提高了多晶硅的結(jié)晶質(zhì)量。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:
[0007]—種激光退火設(shè)備，包括輸送惰性氣體的氣體導(dǎo)入裝置，其中，所述氣體導(dǎo)入裝置包括設(shè)置在惰性氣流的流通路徑上，能夠?qū)λ龆栊詺饬鲗?shí)現(xiàn)攪動和重塑的齒輪組。
[0008]優(yōu)選的，上述激光退火設(shè)備中，所述流通路徑上設(shè)置有多組所述齒輪組。
[0009]優(yōu)選的，上述激光退火設(shè)備中，每組所述齒輪組的齒輪均通過傳動軸可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在殼體上，并且所述殼體上設(shè)置有允許所述惰性氣流流入和流出的進(jìn)氣孔或出氣狹縫。
[0010]優(yōu)選的，上述激光退火設(shè)備中，每組所述齒輪組包括兩個相互嚙合的齒輪，所述進(jìn)氣孔和所述出氣狹縫對正設(shè)置，并且均與所述齒輪的嚙合部位對正。
[0011]本實(shí)用新型提供的激光退火設(shè)備，其上設(shè)置的氣體導(dǎo)入裝置，與原有的氣體導(dǎo)入裝置的不同之處在于，在惰性氣流的流通路徑上增設(shè)了齒輪組。惰性氣流直接吹到齒輪組上，通過齒輪組的轉(zhuǎn)動來擾動并重塑氣流，從而進(jìn)一步提高惰性氣體氣簾沿長軸方向上的均勻性，并且齒輪組以不同轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動時還能夠?qū)崿F(xiàn)對氣簾流量的調(diào)節(jié)，從而達(dá)到控制氧濃度的效果，以適應(yīng)不同的退火需求，從而顯著提高了多晶硅的結(jié)晶質(zhì)量。
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的激光退火設(shè)備中齒輪組對惰性氣體進(jìn)行混合的工作示意圖；
[0014]圖2為齒輪組和殼體的軸測圖。
[0015]以上圖1和圖2中:
[0016]1-齒輪組，2-殼體，3-進(jìn)氣孔，4-出氣狹縫。
【具體實(shí)施方式】
[0017]本實(shí)用新型旨在提供一種新型的激光退火設(shè)備，其在輸送惰性氣體的同時，能夠?qū)Χ栊詺怏w實(shí)現(xiàn)充分的混合與重塑，進(jìn)而提高了多晶硅的結(jié)晶質(zhì)量。
[0018]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0019]如圖1和圖2所示(圖中的箭頭為惰性氣流的流動方向)，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的激光退火設(shè)備，其氣體導(dǎo)入裝置，與原有的氣體導(dǎo)入裝置的不同之處在于，在原有結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)之上，另外在惰性氣流的流通路徑上增設(shè)了齒輪組I。惰性氣流直接吹到齒輪組I上，通過齒輪組I的轉(zhuǎn)動來擾動氣流，齒輪組I的齒輪在轉(zhuǎn)動時，對氣流進(jìn)行攪動并重塑，從而進(jìn)一步提高惰性氣體氣簾沿長軸方向上的均勻性，使激光退火時所處氣氛的氧濃度可均勻控制，從而最終提高結(jié)晶的均勻性。并且，齒輪組I以不同轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動時還能夠?qū)崿F(xiàn)對對氣簾流量的調(diào)節(jié)，從而達(dá)到控制氧濃度的效果，以適應(yīng)不同的退火需求。本實(shí)施例中，令齒輪組I中齒輪的長軸長度大于激光退火設(shè)備中激光光束的長軸長度。
[0020]為了進(jìn)一步優(yōu)化技術(shù)方案，本實(shí)施例提供的激光退火設(shè)備中，優(yōu)選的，在流通路徑上設(shè)置多組齒輪組I。如圖1所示，惰性氣流在吹到齒輪組I上以后，轉(zhuǎn)動的齒輪會改變惰性氣流的流動方向，使惰性氣流更為散亂的分散在流通通道(即【背景技術(shù)】中的內(nèi)管)或后續(xù)提到的殼體2中，以實(shí)現(xiàn)充分混合，提高了其均勻性。而在流通路徑上設(shè)置多組齒輪組I，則能夠使惰性氣流多次的與不同齒輪組I相遇，從而使惰性氣體進(jìn)行多次混合，進(jìn)一步提高混合均勻性，以最大程度的提高多晶硅的結(jié)晶均勻性。齒輪組I設(shè)置的數(shù)量越多，則惰性氣體的混合均勾性就越尚。
[0021]如圖1和圖2所示，每組齒輪組I的齒輪均通過傳動軸可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在殼體2上，并且殼體2上設(shè)置有允許惰性氣流流入和流出的進(jìn)氣孔3或出氣狹縫4。本實(shí)施例中，齒輪組I可以直接設(shè)置在氣體導(dǎo)入裝置用于輸送惰性氣體的通道中，但是限于通道的大小，以此種方式設(shè)置齒輪組I只能選用體積較小的齒輪，導(dǎo)致惰性氣體的混合效果并不是十分理想。所以本實(shí)施例優(yōu)選設(shè)置體積更大的殼體2，將齒輪組I設(shè)置于殼體2內(nèi)，這樣就可以選用體積相對較大的齒輪，并且可以為其提供更大的混合空間，從而提高對惰性氣體的混合均勻性。此殼體2通過進(jìn)氣孔3與上游的通道連通，通過出氣狹縫4與下游的通道連通。
[0022]具體的，每組齒輪組I包括兩個相互嚙合的齒輪，并且優(yōu)選進(jìn)氣孔3和出氣狹縫4對正設(shè)置，并且均與齒輪的嚙合部位對正，如圖1和圖2所示。使用齒輪對惰性氣流實(shí)現(xiàn)攪動，使用兩個嚙合的齒輪即可達(dá)到較為理想的效果，所以為了簡化結(jié)構(gòu)，本實(shí)施例優(yōu)選每組齒輪組I中僅包括兩個齒輪。另外，本實(shí)施例中優(yōu)選進(jìn)氣孔3和出氣狹縫4同軸設(shè)置，并令齒輪的嚙合部位與進(jìn)氣孔3和出氣狹縫4對正，使得進(jìn)氣孔3、嚙合部位和出氣狹縫4位于同一直線上，可以使惰性氣體在進(jìn)行混合后，直接從嚙合間隙中流過，令惰性氣流在殼體2中沿直線流過，從而縮短了輸送距離，提高了輸送效率。當(dāng)然，進(jìn)氣孔3和出氣狹縫4也可以不對正設(shè)置，無論進(jìn)氣孔3設(shè)置在何部位，經(jīng)其流入的惰性氣流進(jìn)入到殼體2中后均可與齒輪相遇，惰性氣體混合后穿過嚙合部位，再從另一側(cè)的出氣狹縫4中流出，也可以實(shí)現(xiàn)技術(shù)目的。或者，令齒輪與殼體2的內(nèi)壁之間存在間隙，惰性氣流從進(jìn)氣孔3中進(jìn)入后，與齒輪相遇進(jìn)行混合，然后再從齒輪與殼體2之間的間隙中流至另一側(cè)的出氣狹縫4中，同樣可以實(shí)現(xiàn)技術(shù)目的。再或者，進(jìn)入到殼體2中的惰性氣流混合后可同時從嚙合間隙以及齒輪與殼體2之間的間隙中同時流向出氣狹縫4。
[0023]本說明書中各個實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。
[0024]對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種激光退火設(shè)備，包括輸送惰性氣體的氣體導(dǎo)入裝置，其特征在于，所述氣體導(dǎo)入裝置包括設(shè)置在惰性氣流的流通路徑上，能夠?qū)λ龆栊詺饬鲗?shí)現(xiàn)攪動和重塑的齒輪組。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光退火設(shè)備，其特征在于，所述流通路徑上設(shè)置有多組所述齒輪組。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光退火設(shè)備，其特征在于，每組所述齒輪組的齒輪均通過傳動軸可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在殼體上，并且所述殼體上設(shè)置有允許所述惰性氣流流入和流出的進(jìn)氣孔或出氣狹縫。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光退火設(shè)備，其特征在于，每組所述齒輪組包括兩個相互嚙合的齒輪，所述進(jìn)氣孔和所述出氣狹縫對正設(shè)置，并且均與所述齒輪的嚙合部位對正。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種激光退火設(shè)備，包括輸送惰性氣體的氣體導(dǎo)入裝置，其中，所述氣體導(dǎo)入裝置包括設(shè)置在惰性氣流的流通路徑上，能夠?qū)λ龆栊詺饬鲗?shí)現(xiàn)攪動和重塑的齒輪組。本實(shí)用新型提供的激光退火設(shè)備，其上設(shè)置的氣體導(dǎo)入裝置，與原有的氣體導(dǎo)入裝置的不同之處在于，在惰性氣流的流通路徑上增設(shè)了齒輪組。惰性氣流直接吹到齒輪組上，通過齒輪組的轉(zhuǎn)動來擾動氣流，將氣流重塑為以沿長軸方向各處流量均勻分布的氣簾，并且齒輪組以不同轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動時還能夠?qū)崿F(xiàn)對氣簾流量的調(diào)節(jié)，從而達(dá)到控制氧濃度的效果，以適應(yīng)不同的退火需求，從而顯著提高了多晶硅的結(jié)晶質(zhì)量。
【IPC分類】H01L21/67, H01L21/268
【公開號】CN205177799
【申請?zhí)枴緾N201521053267
【發(fā)明人】趙雁飛
【申請人】昆山國顯光電有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年12月16日