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一種用于智能調(diào)光玻璃的ito柔性導(dǎo)電膜的制作方法

文檔序號:9975262閱讀:507來源:國知局
一種用于智能調(diào)光玻璃的ito柔性導(dǎo)電膜的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及到導(dǎo)電膜領(lǐng)域,具體涉及一種用于智能調(diào)光玻璃的ITO柔性導(dǎo)電膜。
【背景技術(shù)】
[0002]ITO(Indium Tin Oxide)導(dǎo)電膜是指采用磁控派射的方法在透明有機薄膜材料上濺射透明氧化銦錫(ITO)導(dǎo)電薄膜鍍層并經(jīng)高溫退火處理得到的高技術(shù)產(chǎn)品。由于其低電阻率、高可見光透射率、與玻璃基體結(jié)合牢固、抗擦傷,良好的化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)點,得到了越來越廣泛的應(yīng)用。近年來,ITO導(dǎo)電膜被廣泛應(yīng)用在LCD屏幕和觸控面板,ITO導(dǎo)電膜還被用作飛機座艙玻璃散射雷達波的隱身涂,將雷達波散射到非有效空間方向,從而縮減了飛機座艙的雷達散射截面RCS。此外,在液晶顯示、氣體放電、電致發(fā)光器件以及太陽能電池、建筑玻璃等方面,ITO導(dǎo)電膜也得到了應(yīng)用。
[0003]ITO導(dǎo)電膜的制作過程主要用直流反應(yīng)磁控濺射法在無機玻璃上鍍制ITO膜。濺射時基片不加熱,濺射后進行空氣退火和真空退火。在實際制造過程中,有機襯底在濺射時容易裂解、放氣大的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷和不足,提供一種結(jié)構(gòu)簡單,設(shè)計合理、使用方便的一種用于智能調(diào)光玻璃的ITO柔性導(dǎo)電膜,它采用在有機襯底上鍍膜二氧化硅阻隔層,有效地阻止了有機裂解物對ITO薄膜的污染,也阻擋了有機襯底的放氣,并增強了 ITO薄膜的附著力,且它具有使用方便,操作簡單,實用性強,成本低廉等特點。
[0005]為實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案是:
[0006]本實用新型所述的一種用于智能調(diào)光玻璃的ITO柔性導(dǎo)電膜,包括有機襯底和ITO薄膜,它還包括二氧化硅阻隔層,所述有機襯底采用PET襯底,所述有機襯底與ITO薄膜之間設(shè)置有二氧化硅阻隔層,所述有機襯底厚度為5-10mm,ITO薄膜厚度為2_7mm,所述二氧化娃阻隔層厚度為2-5_。
[0007]所述二氧化硅阻隔層與ITO薄膜之間設(shè)置有石墨烯連接膜,所述石墨烯連接膜呈網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),網(wǎng)孔不下于200目。
[0008]所述石墨稀連接膜的厚度為2_3mm。
[0009]所述有機襯底上層設(shè)置有塑料合金層,所述塑料合金層是聚乙烯和氫化苯乙烯-丁二烯共聚物的塑料合金層。
[0010]所述塑料合金層厚度為3-4mm。
[0011]所述有機襯底厚度為5-8_,ITO薄膜厚度為3-5_,所述二氧化硅阻隔層厚度為3_4mm0
[0012]采用上述結(jié)構(gòu)后,本實用新型有益效果為:本實用新型它采用PET襯底,在較寬的溫度范圍內(nèi)具有優(yōu)良的物理機械性能,長期使用溫度可達120°C,電絕緣性優(yōu)良,甚至在高溫高頻下,其電性能仍較好;在有機襯底與ITO薄膜之間設(shè)有二氧化硅阻隔層,具有良好阻隔效果,在增加PET襯底與ITO薄膜之間的粘結(jié)效果的同時,增加了 ITO薄膜的附著力,而且二氧化硅阻隔層能夠防止有機襯底裂解過程及產(chǎn)物對ITO薄膜放入污染;它同時還具有使用方便,操作簡單,實用性好,成本低廉等特點。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0014]附圖標記說明:
[0015]1、有機襯底;2、二氧化硅阻隔層;3、石墨烯連接膜;4、ITO薄膜;5、塑料合金層。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的說明。
[0017]如圖1所示,本實用新型所述的一種用于智能調(diào)光玻璃的ITO柔性導(dǎo)電膜,包括有機襯底I和ITO薄膜4,它還包括二氧化硅阻隔層2,所述有機襯底I采用PET襯底,所述有機襯底I與ITO薄膜4之間設(shè)置有二氧化硅阻隔層2,所述有機襯底I厚度為5-10mm,ITO薄膜4厚度為2-7mm,所述二氧化硅阻隔層2厚度為2_5mm。
[0018]所述二氧化硅阻隔層2與ITO薄膜4之間設(shè)置有石墨烯連接膜3,所述石墨烯連接膜3呈網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),網(wǎng)孔不下于200目。
[0019]所述石墨稀連接膜3的厚度為2-3mm。
[0020]所述有機襯底I上層設(shè)置有塑料合金層5,所述塑料合金層5是聚乙烯和氫化苯乙烯-丁二烯共聚物的塑料合金層。
[0021]所述塑料合金層5厚度為3-4mm。
[0022]所述有機襯底I厚度為5-8mm,ITO薄膜4厚度為3_5mm,所述二氧化硅阻隔層2厚度為3_4mm。
[0023]實施例1
[0024]有機襯底I厚度為5mm,ITO薄膜4厚度為2mm,所述二氧化娃阻隔層2厚度為2mm。
[0025]實施例2
[0026]有機襯底I厚度為10mm,ITO薄膜4厚度為7mm,所述二氧化硅阻隔層2厚度為5mm ο
[0027]實施例3
[0028]有機襯底I厚度為8mm,ITO薄膜4厚度為5mm,所述二氧化娃阻隔層2厚度為4mm,所述石墨稀連接膜3的厚度為3_。
[0029]實施例4
[0030]有機襯底I厚度為8mm,ITO薄膜4厚度為3mm,所述二氧化娃阻隔層2厚度為3mm,所述石墨稀連接膜3的厚度為2_。
[0031]實施例5
[0032]有機襯底I厚度為8mm,ITO薄膜4厚度為5mm,所述二氧化娃阻隔層2厚度為4mm,所述石墨稀連接膜3的厚度為3mm,塑料合金層5厚度為3mm。
[0033]實施例6
[0034]有機襯底I厚度為8mm,ITO薄膜4厚度為3mm,所述二氧化娃阻隔層2厚度為3mm,所述石墨稀連接膜3的厚度為2mm,塑料合金層5厚度為4mm。
[0035]如實施例1-4所述,采用PET襯底,在較寬的溫度范圍內(nèi)具有優(yōu)良的物理機械性能,長期使用溫度可達120°C,電絕緣性優(yōu)良,甚至在高溫高頻下,其電性能仍較好;在有機襯底與ITO薄膜之間設(shè)有二氧化硅阻隔層,具有良好阻隔效果,在增加PET襯底與ITO薄膜之間的粘結(jié)效果的同時,也增加了 ITO薄膜的附著力,且二氧化硅阻隔層能夠防止有機襯底裂解過程及產(chǎn)物對ITO薄膜放入污染;二氧化硅阻隔層與ITO薄膜之間設(shè)置有石墨烯連接膜,利用石墨烯的高電子迀移率與低電阻率降低了二氧化硅與ITO薄膜之間的材料勢能的變化,使兩者間的電子迀移速率大大升高,同時,石墨烯的電子能量不會被損耗,體現(xiàn)出良好的特性;有機襯底上面特別設(shè)計的以聚乙烯和氫化苯乙烯-丁二烯聚合物為主要成分的塑料合金層,解決了 PET襯底易水解的潛在威脅,塑料合金層的耐水解和耐老化性能更佳,絕緣效果也得到了提升。
[0036]本實用新型它采用在有機襯底上鍍膜二氧化硅阻隔層,有效地阻止了有機裂解物對ITO薄膜的污染,也阻擋了有機襯底的放氣,并增強了薄膜的附著力,且它具有使用方便,操作簡單,實用性強,成本低廉等特點。
[0037]以上所述僅是本實用新型的較佳實施方式,故凡依本實用新型專利申請范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾,均包括于本實用新型專利申請范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種用于智能調(diào)光玻璃的ITO柔性導(dǎo)電膜,包括有機襯底(I)和ITO薄膜(4),其特征在于:它還包括二氧化硅阻隔層(2),所述有機襯底(I)采用PET襯底,所述有機襯底(I)與ITO薄膜(4)之間設(shè)置有二氧化硅阻隔層(2),所述有機襯底(I)厚度為5-10mm,ITO薄膜(4)厚度為2-7mm,所述二氧化硅阻隔層(2)厚度為2_5mm。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于智能調(diào)光玻璃的ITO柔性導(dǎo)電膜,其特征在于:所述二氧化硅阻隔層(2)與ITO薄膜(4)之間設(shè)置有石墨烯連接膜(3),所述石墨烯連接膜(3)呈網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),網(wǎng)孔不下于200目。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于智能調(diào)光玻璃的ITO柔性導(dǎo)電膜,其特征在于:所述石墨稀連接膜(3)的厚度為2-3_。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于智能調(diào)光玻璃的ITO柔性導(dǎo)電膜,其特征在于:所述有機襯底(I)上層設(shè)置有塑料合金層(5),所述塑料合金層(5)是聚乙烯和氫化苯乙烯-丁二烯共聚物的塑料合金層。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于智能調(diào)光玻璃的ITO柔性導(dǎo)電膜,其特征在于:所述塑料合金層(5)厚度為3-4mm。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于智能調(diào)光玻璃的ITO柔性導(dǎo)電膜,其特征在于:所述有機襯底(I)厚度為5-8_,ITO薄膜(4)厚度為3-5_,所述二氧化硅阻隔層(2)厚度為 3_4mm0
【專利摘要】本實用新型涉及導(dǎo)電膜領(lǐng)域,具體涉及一種用于智能調(diào)光玻璃的ITO柔性導(dǎo)電膜,它包括有機襯底和ITO薄膜,它還包括二氧化硅阻隔層,所述有機襯底采用PET襯底,所述有機襯底與ITO薄膜之間設(shè)置有二氧化硅阻隔層,所述有機襯底厚度為5-10mm,ITO薄膜厚度為2-7mm,所述二氧化硅阻隔層厚度為2-5mm。本實用新型它采用在有機襯底上鍍膜二氧化硅阻隔層,有效地阻止了有機裂解物對ITO薄膜的污染,也阻擋了有機襯底的放氣,并增強了薄膜的附著力,且它具有使用方便,操作簡單,實用性強,成本低廉等特點。
【IPC分類】H01B5/14, H01B1/08
【公開號】CN204884600
【申請?zhí)枴緾N201520474898
【發(fā)明人】羅俊欣, 何強民
【申請人】深圳市康盛光電科技有限公司
【公開日】2015年12月16日
【申請日】2015年6月30日
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