微材料掃描電子顯微系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種用于觀察分析新材料分子或原子量級大小的裝置，尤其涉及 一種微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，屬于顯微電子設備領域。
【背景技術】
[0002] 納米材料是指在三維空間中至少有一個維度的尺寸小于IOOnm或者由它們作為 基本單元構成的材料。由于它的尺寸已經(jīng)接近電子的相干長度，它的性質因為強相干所帶 來的自組織使得性質發(fā)生很大變化，如光學、熱學、電學、磁學、力學以及化學方面的性質和 塊體材料相比將會有顯著的不同。所以，納米尺度和性能特異變化是納米材料必須同時具 備的兩個基本特征。
[0003] 半導體納米材料的量子尺寸效應和表面與界面等效應，使其表現(xiàn)出獨特的光學特 性，如光學發(fā)光性、吸收帶邊藍移、激子發(fā)光等。尤其是II-VI族一維納米材料，它們是寬的 直接帶隙半導體材料，是典型的光電半導體材料。帶隙半導體材料，是典型的光電半導體材 料。以硒化鎘為（CdSe)例，作為典型的光電半導體材料之一，本身具有獨特的光電學性質， 在作為光源、光吸收、光波導、光致發(fā)光和光電轉換等方面有著廣闊的應用前景。
[0004]目前國內尚無成熟的專門用來制備半導體納米材料相關樣品的裝置，也沒有配套 的測試儀器。 【實用新型內容】
[0005] 為了克服現(xiàn)有技術的不足，解決好現(xiàn)有技術的問題，彌補現(xiàn)有目前市場上現(xiàn)有產(chǎn) 品的不足。
[0006] 本實用新型提供了一種微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，主要包括掃描發(fā)生器、顯像管、 放大變換器、放大器、收集器、試樣臺、燈絲、多個透鏡和微電腦，所述放大器分別與顯像管、 收集器和試樣臺連接，多個透鏡設置在燈絲下方，所述微電腦分別與掃描發(fā)生器、放大變換 器和放大器連接。
[0007] 優(yōu)選的，上述多個透鏡包括第一透鏡、第二透鏡和第三透鏡，所述第一透鏡、第二 透鏡和第三透鏡均為電磁透鏡，所述燈絲下方依次設置有柵極和陽極。
[0008] 優(yōu)選的，上述多個透鏡依次從上到下放置，所述收集器和試樣臺對應設置。
[0009] 優(yōu)選的，上述微電腦還連接有一顯示屏。
[0010] 本實用新型提供的微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，具有分辨率高、景深長，視野廣、圖 像富有立體感等特點。
【附圖說明】
[0011] 圖1為本實用新型結構示意圖。
[0012] 附圖標記：1_掃描發(fā)生器；2-顯像管；3-放大變換器；4-放大器；5-收集器；6-試 樣臺；7-燈絲；8-柵極；9-陽極；10-第一透鏡；11-第二透鏡；12-第三透鏡；13-微電腦； 14-顯示器。
【具體實施方式】
[0013] 為了便于本領域普通技術人員理解和實施本實用新型，下面結合附圖及具體實施 方式對本實用新型作進一步的詳細描述。
[0014] 本實用新型提供的微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，主要包括掃描發(fā)生器1、顯像管2、 放大變換器3、放大器4、收集器5、試樣臺6、燈絲7、多個透鏡和微電腦13,放大器4分別與 顯像管2、收集器5和試樣臺6連接，多個透鏡設置在燈絲7下方，微電腦13分別與掃描發(fā) 生器1、放大變換器3和放大器4連接。
[0015] 其中，多個透鏡包括第一透鏡10、第二透鏡11和第三透鏡12,第一透鏡10、第二透 鏡11和第三透鏡12均為電磁透鏡，燈絲7下方依次設置有柵極8和陽極9。多個透鏡依次 從上到下放置，收集器5和試樣臺6對應設置。微電腦13還連接有一顯示屏14。
[0016] 本實用新型提供的微材料掃描電子顯微系統(tǒng)能夠顯示樣品的各種圖像，不同于電 磁透鏡的放大成像，本實用新型的成像方式類似于電視的攝像成像。工作原理可以簡單地 歸納為"光柵掃描，逐點成像"。具體為：從三級電子槍陰極發(fā)射電子束（一般為50 μπι)，經(jīng) 過陰陽極間的加速電壓（2~30kV)后，由聚光鏡及物鏡進行聚焦，形成電子束斑（約IOnm) 然后照射到樣品表面。電子探針通過掃描線圈的作用，在樣品表面做光柵狀掃描（光柵線 條數(shù)目取決于行掃描和幀掃描速度），當入射電子打到樣品表面時，將有99%以上的入射 電子能量轉變成樣品熱能，約1 %的入射電子能量，將激發(fā)樣品產(chǎn)生各種有用的信息，包括 二次電子、背散射電子和X射線等，不同的信息，從試樣中所得到各種信息的強度和分布各 自同試樣表面形貌、成分、晶體取向以及表面狀態(tài)的一些物理性質（如電性質、磁性質等） 等因素有關。
[0017] 如圖1所示，為本實用新型的原理結構示意圖，掃描圖像的放大倍數(shù)定義為：
[0019] L為顯像管的熒光屏尺寸；1為電子束在試樣上掃描距離。
[0020] 本實用新型提供的微材料掃描電子顯微系統(tǒng)具有以下特點：分辨率高、景深長，視 野廣、圖像富有立體感等。
[0021] 以上所述之【具體實施方式】為本實用新型的較佳實施方式，并非以此限定本實用新 型的具體實施范圍，本實用新型的范圍包括并不限于本【具體實施方式】，凡依照本實用新型 之形狀、結構所作的等效變化均在本實用新型的保護范圍內。
【主權項】
1. 一種微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，其特征在于：所述微材料掃描電子顯微系統(tǒng)主要包 括掃描發(fā)生器（1)、顯像管（2)、放大變換器（3)、放大器（4)、收集器（5)、試樣臺（6)、燈絲 (7)、多個透鏡和微電腦（13)，所述放大器（4)分別與顯像管（2)、收集器（5)和試樣臺（6) 連接，多個透鏡設置在燈絲（7)下方，所述微電腦（13)分別與掃描發(fā)生器（1)、放大變換器 (3)和放大器⑷連接。2. 根據(jù)權利要求1所述的微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，其特征在于：所述多個透鏡包括 第一透鏡（10)、第二透鏡（11)和第三透鏡（12)，所述第一透鏡（10)、第二透鏡（11)和第三 透鏡（12)均為電磁透鏡，所述燈絲（7)下方依次設置有柵極（8)和陽極（9)。3. 根據(jù)權利要求2所述的微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，其特征在于：所述多個透鏡依次 從上到下放置，所述收集器（5)和試樣臺（6)對應設置。4. 根據(jù)權利要求1-3之一所述的微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，其特征在于：所述微電腦 (13)還連接有一顯示屏（14)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，主要包括掃描發(fā)生器(1)、顯像管(2)、放大變換器(3)、放大器(4)、收集器(5)、試樣臺(6)、燈絲(7)、多個透鏡和微電腦(13)，所述放大器(4)分別與顯像管(2)、收集器(5)和試樣臺(6)連接，多個透鏡設置在燈絲(7)下方，所述微電腦(13)分別與掃描發(fā)生器(1)、放大變換器(3)和放大器(4)連接。本實用新型提供的微材料掃描電子顯微系統(tǒng)，具有分辨率高、景深長，視野廣、圖像富有立體感等特點。
【IPC分類】H01L21/66, H01J37/244, H01J37/28
【公開號】CN204809185
【申請?zhí)枴緾N201520388360
【發(fā)明人】陳小梅
【申請人】陳小梅
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2015年6月3日