一種推刀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種可安裝在推力測(cè)試機(jī)上的推刀。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在LED晶圓或芯片焊線作業(yè)后需通過推力測(cè)試機(jī)進(jìn)行推力測(cè)試，來確認(rèn)芯粒電極附著性的強(qiáng)弱。現(xiàn)有的推力測(cè)試機(jī)上均使用單點(diǎn)式推力作業(yè)，人員作業(yè)效率和機(jī)臺(tái)產(chǎn)能均較低。而在單個(gè)晶圓上通常設(shè)置多個(gè)測(cè)試點(diǎn)，例如5個(gè)，進(jìn)行測(cè)試。因此，為了提高機(jī)臺(tái)作業(yè)效率，有必要設(shè)計(jì)一種針對(duì)不同尺寸的晶圓、不同分布類型的測(cè)試點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)一次性對(duì)多個(gè)測(cè)試點(diǎn)同時(shí)進(jìn)行推力測(cè)試的推刀器具。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述現(xiàn)有推力測(cè)試機(jī)上推刀的不足，本實(shí)用新型提供了一種可根據(jù)晶圓尺寸的大小以及晶圓上測(cè)試點(diǎn)分布類型，實(shí)現(xiàn)一次對(duì)多處或多顆晶圓同時(shí)進(jìn)行推力測(cè)試的推刀器具。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:一種推刀，應(yīng)用于推力測(cè)試機(jī)，其包括:一個(gè)中心支撐桿，安裝于所述推力測(cè)試機(jī)上；若干個(gè)外圍支撐桿，圍繞并連接于所述中心支撐桿；若干個(gè)外圍推刀，分別設(shè)置于所述若干個(gè)外圍支撐桿上；其中，所述外圍支撐桿上設(shè)置有貫通槽，所述外圍推刀位于對(duì)應(yīng)的所述貫通槽內(nèi)，所述外圍推刀沿所述貫通槽滑動(dòng)。
[0005]優(yōu)選的，所述外圍推刀端部一側(cè)設(shè)置有滑動(dòng)件，所述滑動(dòng)件位于對(duì)應(yīng)的所述貫通槽內(nèi)，使所述外圍推刀可沿所述貫通槽滑動(dòng)；所述滑動(dòng)件包括固定于外圍推刀上的環(huán)狀結(jié)構(gòu)或支架結(jié)構(gòu)；所述環(huán)狀結(jié)構(gòu)的外徑和所述支架結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)度均大于所述貫通槽的寬度。
[0006]優(yōu)選的，所述支架結(jié)構(gòu)的端部設(shè)置有旋緊結(jié)構(gòu)，以及與所述旋緊結(jié)構(gòu)匹配的螺紋結(jié)構(gòu)，使所述外圍推刀固定在外圍支撐桿上。
[0007]優(yōu)選的，所述外圍推刀的端部具有旋緊結(jié)構(gòu)，以及與所述旋緊結(jié)構(gòu)匹配的螺紋結(jié)構(gòu)，使所述外圍推刀固定在外圍支撐桿上。
[0008]優(yōu)選的，所述旋緊結(jié)構(gòu)的外徑大于所述貫通槽的寬度，以將外圍推刀固定在對(duì)應(yīng)的外圍支撐桿上。
[0009]優(yōu)選的，所述貫通槽邊緣設(shè)置有刻度，用以計(jì)量外圍推刀沿所述貫通槽滑動(dòng)的距離。
[0010]優(yōu)選的，所述若干個(gè)外圍支撐桿中相鄰的夾角固定或可調(diào)節(jié)。
[0011]優(yōu)選的，所述中心支撐桿上設(shè)置有中心推刀。
[0012]本實(shí)用新型至少包括以下有益效果:本實(shí)用新型通過設(shè)置多個(gè)外圍推刀，可一次性對(duì)晶圓上的多個(gè)測(cè)試點(diǎn)進(jìn)行推力測(cè)試，提高人員作業(yè)效率和機(jī)臺(tái)產(chǎn)能；外圍推刀可在外圍支撐桿上滑動(dòng)，針對(duì)不同尺寸的晶圓均可進(jìn)行推力測(cè)試；相鄰?fù)鈬频吨g的夾角可調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了針對(duì)不同分布類型的測(cè)試點(diǎn)也可進(jìn)行測(cè)試。
【附圖說明】
[0013]附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本實(shí)用新型的實(shí)施例一起用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，附圖數(shù)據(jù)是描述概要，不是按比例繪制。
[0014]圖1為本實(shí)用新型之實(shí)施例1中固定推刀俯視圖。
[0015]圖2為本實(shí)用新型之實(shí)施例1中固定推刀側(cè)視圖。
[0016]圖3為本實(shí)用新型之實(shí)施例1中設(shè)置有測(cè)試點(diǎn)的晶圓俯視圖。
[0017]圖4為本實(shí)用新型之實(shí)施例1中帶有中心推刀的固定推刀側(cè)視圖。
[0018]圖5為本實(shí)用新型之實(shí)施例1中帶有中心推刀的固定推刀推動(dòng)測(cè)試點(diǎn)時(shí)的側(cè)視圖。
[0019]圖6為本實(shí)用新型之實(shí)施例1中外圍推刀的立體圖。
[0020]圖7為本實(shí)用新型之實(shí)施例1中可調(diào)節(jié)式推刀俯視圖。
[0021]圖8為本實(shí)用新型之實(shí)施例2中外圍推刀的立體圖。
[0022]圖9為本實(shí)用新型之實(shí)施例2中外圍推刀的立體圖。
[0023]附圖標(biāo)注:1:中心支撐桿；2:外圍支撐桿；31:外圍推刀；311:環(huán)狀結(jié)構(gòu)；312:旋緊結(jié)構(gòu)；313:螺紋結(jié)構(gòu)；314:支架結(jié)構(gòu)；32:中心推刀；4:貫通槽；5:刻度；6:晶圓；61:中心測(cè)試點(diǎn)；62:外圍測(cè)試點(diǎn)。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0025]實(shí)施例1
[0026]請(qǐng)參看附圖1和附圖2，本實(shí)用新型提供的推刀，包括一個(gè)中心支撐桿1，安裝于推力測(cè)試機(jī)(圖中未示出)上；若干個(gè)外圍支撐桿2，圍繞并連接于中心支撐桿I ;若干個(gè)外圍推刀31，分別設(shè)置于若干個(gè)外圍支撐桿2上，附圖1和附圖2中均以4個(gè)外圍支撐桿2和4個(gè)外圍推刀31為例；外圍支撐桿2上設(shè)置有貫通槽4，外圍推刀31位于對(duì)應(yīng)的所述貫通槽4內(nèi)，外圍推刀31可以沿貫通槽4滑動(dòng)，用以實(shí)現(xiàn)外圍推刀31相對(duì)于中心支撐桿I的距離調(diào)節(jié)。貫通槽4邊緣設(shè)置有刻度5，用以計(jì)量外圍推刀31在貫通槽4內(nèi)滑動(dòng)的距離，通過讀取刻度值，以更方便地將外圍推刀31滑動(dòng)到設(shè)定位置。
[0027]請(qǐng)參看附圖3，目前通常在晶圓6上設(shè)置多個(gè)測(cè)試點(diǎn)供推力測(cè)試，常用的2寸晶圓，通常設(shè)置5個(gè)推力測(cè)試點(diǎn)，包括中心位置的中心測(cè)試點(diǎn)61，以及圍繞中心測(cè)試點(diǎn)的外圍測(cè)試點(diǎn)62，并且外圍測(cè)試點(diǎn)呈十字形分布，因此，針對(duì)該種分布類型的測(cè)試點(diǎn)，如附圖4所示，優(yōu)選呈十字形的4個(gè)外圍支撐桿固定在中心支撐桿上的外圍，即形成固定推刀，并且在中心支撐桿上設(shè)置中心推刀32，同時(shí)對(duì)4個(gè)外圍測(cè)試點(diǎn)62和I個(gè)中心測(cè)試點(diǎn)61進(jìn)行推力測(cè)試。
[0028]請(qǐng)參看附圖5，目前常用的另一種4寸晶圓，通常在晶圓上設(shè)置5個(gè)推力測(cè)試點(diǎn)，由于外圍測(cè)試點(diǎn)62與中心測(cè)試點(diǎn)61的距離相對(duì)于2寸晶圓增大，需將外圍推刀31在貫通槽4內(nèi)向遠(yuǎn)離中心支撐桿的方向(附圖5中虛線箭頭所示)滑動(dòng)到設(shè)定位置并固定在外圍支撐桿2上，其滑動(dòng)的距離可根據(jù)貫通槽4邊緣的刻度5計(jì)量。因此，為了實(shí)現(xiàn)外圍推刀31的滑動(dòng)和固定功能，請(qǐng)參考附圖6，在外圍推刀31的端部一側(cè)設(shè)置有滑動(dòng)件，本實(shí)施例中滑動(dòng)件優(yōu)選環(huán)狀結(jié)構(gòu)311，環(huán)狀結(jié)構(gòu)311位于其對(duì)應(yīng)的貫通槽4內(nèi)，環(huán)狀結(jié)構(gòu)311的直徑大于貫通槽4的寬度，使外圍推刀31可以沿貫通槽4滑動(dòng)；同時(shí)，在外圍推刀31的端部設(shè)置旋緊結(jié)構(gòu)312及與其匹配的螺紋結(jié)構(gòu)313，旋緊結(jié)構(gòu)312的外徑大于貫通槽4的寬度，如此，當(dāng)旋緊結(jié)構(gòu)312于外圍推刀31的端部旋緊時(shí)，通過環(huán)狀結(jié)構(gòu)311和旋緊結(jié)構(gòu)312，將外圍推刀31卡緊在外圍支撐桿2上。
[0029]請(qǐng)參考附圖7，對(duì)其他分布類型的測(cè)試點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試時(shí)，相鄰?fù)鈬螚U2之間的夾角的大小可調(diào)節(jié)(如附圖6中虛線所示的夾角)，如此形成可調(diào)節(jié)式推刀，實(shí)現(xiàn)推刀的靈活運(yùn)用。
[0030]實(shí)施例2
[0031]請(qǐng)參看附圖8，本實(shí)施例與實(shí)施例1的區(qū)別在于，為了達(dá)到使外圍推刀31在貫通槽4內(nèi)滑動(dòng)的目的，外圍推刀31的端部一側(cè)可設(shè)置支架結(jié)構(gòu)314，支架結(jié)構(gòu)314位于其對(duì)應(yīng)的貫通槽4內(nèi)，支架結(jié)構(gòu)314的長(zhǎng)度大于貫通槽4的寬度，使外圍推刀31可以沿貫通槽4滑動(dòng)。為了固定外圍推刀314，外圍推刀端部設(shè)置旋緊結(jié)構(gòu)312及與其匹配的螺紋結(jié)構(gòu)313，旋緊結(jié)構(gòu)312的外徑大于貫通槽4的寬度，如此當(dāng)旋緊結(jié)構(gòu)312于外圍推刀31的端部旋緊時(shí)，通過支架結(jié)構(gòu)314和旋緊結(jié)構(gòu)312，將外圍推刀31卡緊在外圍支撐桿2上。
[0032]請(qǐng)參看附圖9，為了將外圍推刀31固定在對(duì)應(yīng)的貫通槽4上的設(shè)定位置，還可在支架結(jié)構(gòu)314的端部設(shè)置旋緊結(jié)構(gòu)312和與其匹配的螺紋結(jié)構(gòu)313，旋緊結(jié)構(gòu)312和螺紋結(jié)構(gòu)313各至少I個(gè)，旋緊結(jié)構(gòu)312的外徑大于貫通槽4的寬度，使外圍推刀31可以沿貫通槽4滑動(dòng)。為了穩(wěn)固固定外圍推刀31，請(qǐng)參看附圖6，本實(shí)施例優(yōu)選2個(gè)旋緊結(jié)構(gòu)312和螺紋結(jié)構(gòu)313，如此當(dāng)旋緊結(jié)構(gòu)312于支架結(jié)構(gòu)314端部旋緊時(shí)，通過支架結(jié)構(gòu)314兩端的旋緊結(jié)構(gòu)312和外圍支撐桿2，將外圍推刀31卡緊在外圍支撐桿2上。
[0033]應(yīng)當(dāng)理解的是，上述具體實(shí)施方案為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，本實(shí)用新型的范圍不限于該實(shí)施例，凡依本實(shí)用新型所做的任何變更，皆屬本本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種推刀，應(yīng)用于推力測(cè)試機(jī)，其包括: 一個(gè)中心支撐桿，安裝于所述推力測(cè)試機(jī)上；若干個(gè)外圍支撐桿，圍繞并連接于所述中心支撐桿；若干個(gè)外圍推刀，分別設(shè)置于所述若干個(gè)外圍支撐桿上；其特征在于:所述外圍支撐桿上設(shè)置有貫通槽，所述外圍推刀位于對(duì)應(yīng)的貫通槽內(nèi)，并沿所述貫通槽滑動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種推刀，其特征在于:所述外圍推刀端部一側(cè)設(shè)置有滑動(dòng)件，所述滑動(dòng)件位于對(duì)應(yīng)的所述貫通槽內(nèi)，使所述外圍推刀沿所述貫通槽滑動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種推刀，其特征在于:所述滑動(dòng)件包括固定于外圍推刀上的環(huán)狀結(jié)構(gòu)或支架結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種推刀，其特征在于:所述環(huán)狀結(jié)構(gòu)的外徑和所述支架結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)度均大于所述貫通槽的寬度。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種推刀，其特征在于:所述支架結(jié)構(gòu)的端部設(shè)置有旋緊結(jié)構(gòu)，以及與所述旋緊結(jié)構(gòu)匹配的螺紋結(jié)構(gòu)，使所述外圍推刀固定在外圍支撐桿上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種推刀，其特征在于:所述外圍推刀的端部設(shè)置有旋緊結(jié)構(gòu)，以及與所述旋緊結(jié)構(gòu)匹配的螺紋結(jié)構(gòu)，使所述外圍推刀固定在外圍支撐桿上。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的一種推刀，其特征在于:所述旋緊結(jié)構(gòu)的外徑大于所述貫通槽的寬度，以將所述外圍推刀固定在相應(yīng)的外圍支撐桿上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種推刀，其特征在于:所述貫通槽邊緣設(shè)置有刻度，用以計(jì)量外圍推刀沿所述貫通槽滑動(dòng)的距離。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種推刀，其特征在于:所述若干個(gè)外圍支撐桿中相鄰的夾角固定或可調(diào)節(jié)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種推刀，其特征在于:所述中心支撐桿上設(shè)置有中心推刀。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種推刀，其包括：可安裝于所述推力測(cè)試機(jī)上的中心支撐桿，圍繞并連接于所述中心支撐桿上的若干個(gè)外圍支撐桿，分別設(shè)置于所述若干個(gè)外圍支撐桿上的若干個(gè)外圍推刀，外圍支撐桿上還設(shè)置有貫通槽，外圍推刀位于其對(duì)應(yīng)的所述貫通槽內(nèi)，并可以沿所述貫通槽滑動(dòng)，用以實(shí)現(xiàn)所述外圍推刀相對(duì)于所述中心支撐桿的距離改變。利用上述推刀，對(duì)于不同尺寸的晶圓，對(duì)于晶圓上不同分布類型的測(cè)試點(diǎn)，上述推刀均可實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)對(duì)多個(gè)測(cè)試點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試的目的，從而提高推力測(cè)試機(jī)的作業(yè)效率。
【IPC分類】H01L21-66
【公開號(hào)】CN204497197
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520172769
【發(fā)明人】汪瑩, 徐勝娟, 黃照明, 余學(xué)志, 邱樹添
【申請(qǐng)人】安徽三安光電有限公司
【公開日】2015年7月22日
【申請(qǐng)日】2015年3月25日