一種用于擴散通氣的勻流擋源板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體工藝中擴散通氣的擋源板，具體地說是一種結(jié)構(gòu)簡單、通氣均勻且效率高的用于擴散通氣的勻流擋源板。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有工藝上，一般擴散通氣是直接進行通氣的，沒有勻流擋源板，這種工藝容易造成氣體進入管道內(nèi)分布不均勻，這樣在管道內(nèi)的硅片與氣體的接觸也不均勻，從而引起硅片表面濃度不均勻而導(dǎo)致參數(shù)不一致，影響產(chǎn)品合格率和對擋率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、通氣均勻且效率高的用于擴散通氣的勻流擋源板。
[0004]本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案解決的:
[0005]一種用于擴散通氣的勻流擋源板，包括勻流擋源板本體，其特征在于:所述的勻流擋源板本體設(shè)置在通氣管道內(nèi)，勻流擋源板本體的中軸線與通氣管道的中軸線相同且勻流擋源板本體的外緣與通氣管道的內(nèi)壁之間有間隙，在勻流擋源板本體上設(shè)有通氣勻流孔使得輸入通氣管道的擴散氣體從通氣勻流孔穿過勻流擋源板本體后均勻分布并與硅片接觸。
[0006]所述的勻流擋源板本體直立設(shè)置在位于通氣管道內(nèi)的石英基座上。
[0007]所述的勻流擋源板本體具有一定的壁厚。
[0008]所述的通氣勻流孔呈圓形、橢圓形、方形、長方形或三角形中的一種或幾種。
[0009]所述的通氣勻流孔均勻分布在在勻流擋源板本體上。
[0010]所述的勻流擋源板本體采用石英板制成。
[0011]本實用新型相比現(xiàn)有技術(shù)有如下優(yōu)點:
[0012]本實用新型通過在通氣管道內(nèi)加置帶有通氣勻流孔的勻流擋源板，使得通過勻流擋源板的氣體均勻，能有效提高產(chǎn)品表面濃度的一致性和均勻性、提高參數(shù)的一致性和產(chǎn)品的合格率；勻流擋源板本體的大小和通氣勻流孔的形狀、大小能夠根據(jù)實際氣流量來進行調(diào)整，具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便的特點，故適宜在半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)中推廣使用。
【附圖說明】
[0013]附圖1為本實用新型的用于擴散通氣的勻流擋源板結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]附圖2為本實用新型的勻流擋源板本體設(shè)置在石英基座上的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]其中:1 一勾流擋源板本體；2—通氣勾流孔；3—通氣管道；4一壁厚；5—石英基座。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖與實施例對本實用新型作進一步的說明。
[0017]如圖1、圖2所示:一種用于擴散通氣的勻流擋源板，包括采用石英板制成的勻流擋源板本體1，勻流擋源板本體I具有一定的壁厚4以緩解輸入氣流的沖擊力，勻流擋源板本體I設(shè)置在通氣管道2內(nèi)，勻流擋源板本體I的中軸線與通氣管道3的中軸線相同且勻流擋源板本體I的外緣與通氣管道3的內(nèi)壁之間有間隙，在勻流擋源板本體I上設(shè)有通氣勻流孔2，通氣勻流孔2呈圓形、橢圓形、方形、長方形或三角形中的一種或幾種且均勻分布在在勻流擋源板本體I上，使得輸入通氣管道3的擴散氣體從通氣勻流孔2穿過勻流擋源板本體I后均勻分布并與硅片接觸。
[0018]為實現(xiàn)勻流擋源板本體I的中軸線與通氣管道3的中軸線相同且勻流擋源板本體I的外緣與通氣管道3的內(nèi)壁之間有間隙，該勻流擋源板本體I直立設(shè)置在位于通氣管道3內(nèi)的石英基座5上，石英基座5與擴散石英鉤可連接，勻流擋源板本體I通過石英基座5與石英鉤相連實現(xiàn)進出通氣管道3。
[0019]本實用新型通過在通氣管道3內(nèi)加置帶有通氣勻流孔2的勻流擋源板，使得通過勻流擋源板的氣體均勻，能有效提高產(chǎn)品表面濃度的一致性和均勻性、提高參數(shù)的一致性和產(chǎn)品的合格率；勻流擋源板本體I的大小和通氣勻流孔2的形狀、大小能夠根據(jù)實際氣流量來進行調(diào)整，具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便的特點，故適宜在半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)中推廣使用。
[0020]以上實施例僅為說明本實用新型的技術(shù)思想，不能以此限定本實用新型的保護范圍，凡是按照本實用新型提出的技術(shù)思想，在技術(shù)方案基礎(chǔ)上所做的任何改動，均落入本實用新型保護范圍之內(nèi)；本實用新型未涉及的技術(shù)均可通過現(xiàn)有技術(shù)加以實現(xiàn)。
【主權(quán)項】
1.一種用于擴散通氣的勻流擋源板，包括勻流擋源板本體(1)，其特征在于:所述的勻流擋源板本體(I)設(shè)置在通氣管道(3)內(nèi)，勻流擋源板本體(I)的中軸線與通氣管道(3)的中軸線相同且勻流擋源板本體(I)的外緣與通氣管道(3)的內(nèi)壁之間有間隙，在勻流擋源板本體(I)上設(shè)有通氣勻流孔(2 )使得輸入通氣管道(3 )的擴散氣體從通氣勻流孔(2 )穿過勻流擋源板本體(I)后均勻分布并與硅片接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于擴散通氣的勻流擋源板，其特征在于:所述的勻流擋源板本體(I)直立設(shè)置在位于通氣管道(3 )內(nèi)的石英基座(5 )上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于擴散通氣的勻流擋源板，其特征在于:所述的勻流擋源板本體(I)具有一定的壁厚(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于擴散通氣的勻流擋源板，其特征在于:所述的通氣勻流孔(2)呈圓形、橢圓形、方形、長方形或三角形中的一種或幾種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的用于擴散通氣的勻流擋源板，其特征在于:所述的通氣勻流孔(2)均勻分布在在勻流擋源板本體(I)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于擴散通氣的勻流擋源板，其特征在于:所述的勻流擋源板本體(I)采用石英板制成。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于擴散通氣的勻流擋源板，包括勻流擋源板本體（1），所述的勻流擋源板本體（1）設(shè)置在通氣管道（3）內(nèi)，勻流擋源板本體（1）的中軸線與通氣管道（3）的中軸線相同且勻流擋源板本體（1）的外緣與通氣管道（3）的內(nèi)壁之間有間隙，在勻流擋源板本體（1）上設(shè)有通氣勻流孔（2）使得輸入通氣管道（3）的擴散氣體從通氣勻流孔（2）穿過勻流擋源板本體（1）后均勻分布并與硅片接觸。本實用新型通過勻流擋源板的設(shè)置能有效提高產(chǎn)品表面濃度的一致性和均勻性、提高參數(shù)的一致性和產(chǎn)品的合格率；勻流擋源板本體的大小和通氣勻流孔的形狀、大小能夠根據(jù)實際氣流量來進行調(diào)整，故適宜在半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)中推廣使用。
【IPC分類】H01L21-22, H01L21-67
【公開號】CN204424224
【申請?zhí)枴緾N201420828401
【發(fā)明人】伍林, 張耐君
【申請人】宜興市環(huán)洲微電子有限公司
【公開日】2015年6月24日
【申請日】2014年12月24日