一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應器的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應器。
【背景技術】
[0002]低溫等離子體是在常溫下發(fā)生的等離子體(雖然電子的溫度很高)，低溫等離子體可以被用于氧化、變性等表面處理或者在有機物和無機物上進行沉淀涂層處理?，F(xiàn)有的等離子體反應器結構復雜，價格高昂，而且操作麻煩，導致企業(yè)、學校等單位經(jīng)費緊張，更要對操作人員進行培訓，費時耗力。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型針對上述現(xiàn)有技術存在的問題做出改進，即本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單、適用性好的簡易常壓低溫射頻等離子體反應器。
[0004]為了解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是:一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應器，包括橫置的石英玻璃管，所述石英玻璃管的一端連接有進氣總管，所述進氣總管分別連接有用于引入惰性氣體的第一支管和引入反應氣體的第二支管，所述石英玻璃管靠近進氣端的外周壁上交叉纏繞有線圈與水冷紫銅管，所述石英玻璃管內靠近線圈區(qū)域為輝光放電區(qū)，遠離線圈區(qū)域為改性反應區(qū)，所述改性反應區(qū)內置有待改性樣品。
[0005]進一步的，所述待改性樣品置于樣品臺上，所述樣品臺與可動支架栓接，所述可動支架置于鐵架臺并沿鐵架臺上下升降。
[0006]進一步的，所述第一支管和第二支管沿其進氣方向上均依次設置有流量計和針閥。
[0007]進一步的，所述水冷紫銅管上設有水冷循環(huán)機。
[0008]進一步的，所述線圈經(jīng)匹配網(wǎng)絡與射頻電源相連接。
[0009]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型具有以下有益效果:本實用新型不僅能夠產(chǎn)生等離子體，并利用等離子體對待改性產(chǎn)品進行改性，適合在常溫常壓下對各種實驗所需等離子進行科學實驗方面的初步探索，而且用材簡單，價格低廉，適用性好，便于推廣。
[0010]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型做進一步詳細的說明。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型實施例的構造示意圖。
[0012]圖中:1-石英玻璃管，2-進氣總管，21-第一支管，22-第二支管，3-線圈，4-水冷紫銅管，5-輝光放電區(qū)，6-改性反應區(qū)，7-待改性樣品，8-密封塞，9-壓力表，10-樣品臺，11-可動支架，12-鐵架臺，13-流量計，14-針閥，15-水冷循環(huán)機，16-匹配網(wǎng)絡，17-射頻電源。
【具體實施方式】
[0013]如圖1所示，一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應器，包括橫置的石英玻璃管1，所述石英玻璃管I的一端連接有進氣總管2，所述進氣總管2分別連接有用于引入惰性氣體的第一支管21和引入反應氣體的第二支管22，所述石英玻璃管I靠近進氣端的外周壁上交叉纏繞有線圈3與水冷紫銅管4，所述石英玻璃管I內靠近線圈3區(qū)域為輝光放電區(qū)5，遠離線圈3區(qū)域為改性反應區(qū)6，所述改性反應區(qū)6內置有待改性樣品7。優(yōu)選的，所述惰性氣體為氬氣。
[0014]在本實施例中，石英玻璃管I的另一端設有密封塞8，當石英玻璃管I內反應完全后，打開密封塞8，排出氣體；所述石英玻璃管I上設有用于測量管內壓力的壓力表9，避免管內壓力超過一個大氣壓而爆裂，此時石英玻璃管I內的壓力為常壓。當然，石英玻璃管I的另一端也可以不設密封塞8。
[0015]在本實施例中，所述待改性樣品7置于樣品臺10上，所述樣品臺10傾斜設置在石英玻璃管I的改性反應區(qū)6內，所述樣品臺10與可動支架11栓接，所述可動支架11橫置于鐵架臺12上并沿鐵架臺12上下升降，通過左右移動鐵架臺12、上下升降可動支架11將待改性樣品7置于最佳位置；通過轉動樣品臺10從而將待改性樣品7置于適宜角度，所述角度范圍為1(Γ30度，優(yōu)選15度，所采用角度避免樣品從樣品臺10滑落。
[0016]在本實施例中，所述第一支管21和第二支管22沿其進氣方向上均依次設置有流量計13和針閥14，通過流量計13和針閥14便于控制進入進氣總管2的氬氣、反應氣體的量。
[0017]在本實施例中，所述水冷紫銅管4上設有水冷循環(huán)機15，通過水冷循環(huán)機15使得冷卻水得以循環(huán)利用，提高冷卻水的利用率；通過水冷紫銅管4內流通的冷卻水不斷對石英玻璃管1、線圈3進行冷卻，其中線圈3外部包裹有用于絕緣的皮管；纏繞在石英玻璃管I外周壁的水冷紫銅管4使得石英玻璃管I冷卻均勻，避免石英玻璃管I冷卻不均引起破裂；水冷紫銅管4與線圈3并列交叉，加速線圈3的散熱，延緩皮管老化。
[0018]在本實施例中，線圈3經(jīng)匹配網(wǎng)絡16與射頻電源17相連接。
[0019]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，凡依本實用新型申請專利范圍所做的均等變化與修飾，皆應屬本實用新型的涵蓋范圍。
【主權項】
1.一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應器，包括橫置的石英玻璃管，其特征在于:所述石英玻璃管的一端連接有進氣總管，所述進氣總管分別連接有用于引入惰性氣體的第一支管和引入反應氣體的第二支管，所述石英玻璃管靠近進氣端的外周壁上交叉纏繞有線圈與水冷紫銅管，所述石英玻璃管內靠近線圈區(qū)域為輝光放電區(qū)，遠離線圈區(qū)域為改性反應區(qū)，所述改性反應區(qū)內置有待改性樣品。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應器，其特征在于:所述待改性樣品置于樣品臺上，所述樣品臺與可動支架栓接，所述可動支架置于鐵架臺并沿鐵架臺上下升降。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應器，其特征在于:所述第一支管和第二支管沿其進氣方向上均依次設置有流量計和針閥。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應器，其特征在于:所述水冷紫銅管上設有水冷循環(huán)機。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應器，其特征在于:所述線圈經(jīng)匹配網(wǎng)絡與射頻電源相連接。
【專利摘要】本實用新型涉及一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應器，包括橫置的石英玻璃管，所述石英玻璃管的一端連接有進氣總管，所述進氣總管分別連接有用于引入惰性氣體的第一支管和引入反應氣體的第二支管，所述石英玻璃管靠近進氣端的外周壁上交叉纏繞有線圈與水冷紫銅管，所述石英玻璃管內靠近線圈區(qū)域為輝光放電區(qū)，遠離線圈區(qū)域為改性反應區(qū)，所述改性反應區(qū)內置有待改性樣品。本實用新型不僅能夠產(chǎn)生等離子體，并利用等離子體對待改性產(chǎn)品進行改性，而且用材簡單，價格低廉，適合在常溫常壓下使用，適用性好，便于推廣。
【IPC分類】H01J37-32
【公開號】CN204289365
【申請?zhí)枴緾N201420713723
【發(fā)明人】高松華, 高立華, 陳禮煒
【申請人】三明學院
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年11月25日