可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，依次包括被動(dòng)鎖模的可調(diào)皮秒激光振蕩器、光纖預(yù)放大器、脈沖選擇開(kāi)關(guān)、光纖主放大器和固體放大器，設(shè)計(jì)的可調(diào)皮秒激光振蕩器全保偏結(jié)構(gòu)的光纖鏈路可以抵抗環(huán)境干擾，確保振蕩器種子脈沖的長(zhǎng)期穩(wěn)定輸出，同時(shí)確保激光功率放大過(guò)程的偏振對(duì)比度；可預(yù)先設(shè)定應(yīng)用所需的多種脈沖寬度、工作波長(zhǎng)、重復(fù)頻率。通過(guò)光開(kāi)關(guān)，可在多個(gè)激光輸出參數(shù)中靈活切換，滿足應(yīng)用需求，通過(guò)切換脈沖參數(shù)，可以及時(shí)有效的觀察到應(yīng)用效果；固體放大器可避免皮秒脈沖放大過(guò)程的非線性效應(yīng)，確保皮秒脈沖在時(shí)間域和頻率域上均無(wú)畸變放大；模塊化設(shè)計(jì)的功能組件，可靈活組裝，便于實(shí)際應(yīng)用。
【專利說(shuō)明】
可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種激光技術(shù)，特別涉及一種重復(fù)頻率可變、脈沖寬度可變、輸出波長(zhǎng)可變的皮秒固體激光系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]皮秒激光可對(duì)金屬、金屬碳化物、硅片、藍(lán)寶石、陶瓷等工業(yè)材料進(jìn)行高精度加工，特別是5ps-100ps左右的激光脈沖寬度更具優(yōu)勢(shì)。與MOPA納秒脈沖和電調(diào)制百皮秒以上的脈沖相比，5ps_100ps脈沖具有更窄的脈沖寬度，能產(chǎn)生更高的激光峰值功率。更重要的是，皮秒脈沖的時(shí)間寬度之短，可有效的減少激光輻射帶來(lái)的熱效應(yīng)，達(dá)到材料的消融臨界點(diǎn)所需要的峰值能量密度。
[0003]目前，脈寬可調(diào)的皮秒脈沖均為電調(diào)制半導(dǎo)體激光器。該種激光器的輸出脈沖寬度受控于電調(diào)制脈沖信號(hào)的脈寬。為了獲得皮秒脈沖的光信號(hào)，電調(diào)制脈沖信號(hào)占空比極低，因此，半導(dǎo)體激光器的輸出平均功率很低。較低的平均功率難以滿足后續(xù)功率放大對(duì)種子光功率的要求。
[0004]目前，高功率皮秒激光系統(tǒng)中使用的較長(zhǎng)的光纖增益介質(zhì)使得自發(fā)輻射較高。較高比例的自發(fā)輻射會(huì)顯著降低脈沖信噪比，而是激光系統(tǒng)無(wú)法滿足應(yīng)用需求。
[0005]固體放大技術(shù)與光纖預(yù)放大技術(shù)相結(jié)合可以有效克服皮秒脈沖在高能量激光放大過(guò)程的中非線性效應(yīng)，確保皮秒脈沖在時(shí)間和頻率域上無(wú)畸變放大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是針對(duì)皮秒激光運(yùn)用中存在的問(wèn)題，提出了一種可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，設(shè)計(jì)的系統(tǒng)輸出波長(zhǎng)可變、脈沖寬度可變、重復(fù)頻率可變，適應(yīng)應(yīng)用需要。
[0007]本發(fā)明的技術(shù)方案為:一種可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，依次包括被動(dòng)鎖模的可調(diào)皮秒激光振蕩器、光纖預(yù)放大器、脈沖選擇開(kāi)關(guān)、光纖主放大器和固體放大器，可調(diào)皮秒激光振蕩器由全保偏光纖器件連接構(gòu)成，可調(diào)皮秒激光振蕩器的一端為可飽和吸收器件，之后依次連接有第一增益光纖、第一波分復(fù)用器、分束器、光開(kāi)關(guān)、數(shù)條延遲光纖和對(duì)應(yīng)的與延遲光纖一一連接的光纖光柵;第一波分復(fù)用器的另一輸入端口連接第一栗浦源，分束器的另兩個(gè)端口分別作為振蕩器輸出端和監(jiān)測(cè)端;可調(diào)皮秒激光振蕩器的輸出波長(zhǎng)由光開(kāi)關(guān)選取的參數(shù)與激光振蕩的光纖光柵的反射波長(zhǎng)決定;脈沖寬度由光開(kāi)關(guān)選取的參數(shù)與激光振蕩的光纖光柵的反射帶寬決定;重復(fù)頻率由光開(kāi)關(guān)選取的參數(shù)與激光振蕩的光纖鏈路長(zhǎng)度決定，延遲光纖的長(zhǎng)度用于匹配所需的重復(fù)頻率;可調(diào)皮秒激光振蕩器輸出的脈沖激光進(jìn)入光纖預(yù)放大器，經(jīng)預(yù)放大的脈沖激光通過(guò)脈沖選擇開(kāi)關(guān)實(shí)現(xiàn)脈沖選取，進(jìn)入光纖主放大器進(jìn)一步提升脈沖激光的平均功率，光纖主放大器輸出的激光進(jìn)入固體放大器，實(shí)現(xiàn)滿足應(yīng)用需求的功率或能量后，再被光學(xué)器件耦合入輸出隔離器，實(shí)現(xiàn)逆向光光隔離再通過(guò)擴(kuò)束器輸出所需光斑大小的激光。
[0008]所述光纖光柵為可調(diào)皮秒激光振蕩器提供諧振的反饋信號(hào)，通過(guò)光開(kāi)關(guān)選取工作的光纖光柵，實(shí)現(xiàn)多個(gè)波長(zhǎng)之間切換輸出。
[0009]所述光纖預(yù)放大器的輸入端與可調(diào)皮秒激光振蕩器輸出端連接，之后依次連接有第一隔離器、第二波分復(fù)用器及第二增益光纖;第二波分復(fù)用器的另一輸入端連接有第二栗浦源，為光纖預(yù)放大器提供栗浦光。
[0010]所述光纖主放大器的輸入端與可調(diào)皮秒激光振蕩器的輸出端連接，之后依次連接有第二隔離器、合束器及第三增益光纖;合束器的另一輸入端連接有栗浦源，為光纖主放大器提供栗浦光。
[0011]所述合束器為(2+1) X I或(n+1) X I的合束器，耦合多路栗浦光進(jìn)入第三增益光纖中。
[0012]所述第三增益光纖為雙包層增益光纖，或雙包層光子晶體增益光纖，或大模場(chǎng)增益光纖。
[0013]所述第三增益光纖連接有輸出端冒，用于保護(hù)第三增益光纖的切面。
[0014]所述固體放大器為由光學(xué)器件、多個(gè)固體增益介質(zhì)、對(duì)應(yīng)固體增益介質(zhì)個(gè)數(shù)的多模半導(dǎo)體模塊、輸出隔離器及擴(kuò)束器組成的多級(jí)放大器。
[0015]所述光纖主放大器輸出的激光被光學(xué)器件聚焦到固體增益介質(zhì)，多模半導(dǎo)體模塊輸出的栗浦光經(jīng)組合光學(xué)器件耦合照射在固體增益介質(zhì)上，通過(guò)調(diào)整組合光學(xué)器件實(shí)現(xiàn)栗浦光斑和激光光斑的大小和位置匹配。所述固體增益介質(zhì)置于冷卻固件上，用于移除激光放大過(guò)程中的熱效應(yīng)。
[0016]本發(fā)明的有益效果在于:本發(fā)明可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，設(shè)計(jì)的全保偏結(jié)構(gòu)的光纖鏈路可以抵抗環(huán)境干擾，確保振蕩器種子脈沖的長(zhǎng)期穩(wěn)定輸出，同時(shí)確保激光功率放大過(guò)程的偏振對(duì)比度;可預(yù)先設(shè)定應(yīng)用所需的多種脈沖寬度、工作波長(zhǎng)、重復(fù)頻率。通過(guò)光開(kāi)關(guān)，可在多個(gè)激光輸出參數(shù)中靈活切換，滿足應(yīng)用需求，通過(guò)切換脈沖參數(shù)，可以及時(shí)有效的觀察到應(yīng)用效果；固體放大器可避免皮秒脈沖放大過(guò)程的非線性效應(yīng)，確保皮秒脈沖在時(shí)間域和頻率域上均無(wú)畸變放大;模塊化設(shè)計(jì)的功能組件，可靈活組裝，便于實(shí)際應(yīng)用。
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為本發(fā)明可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]如圖1所示可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖，系統(tǒng)依次包括被動(dòng)鎖模的可調(diào)皮秒激光振蕩器、光纖預(yù)放大器、脈沖選擇開(kāi)關(guān)、光纖主放大器、固體放大器。
[0019]被動(dòng)鎖模的可調(diào)皮秒激光振蕩器由全保偏光纖器件連接構(gòu)成，采用可飽和吸收器件實(shí)現(xiàn)被動(dòng)鎖模。振蕩器的一端為可飽和吸收器件，之后依次連接有增益光纖1、波分復(fù)用器1、分束器、光開(kāi)關(guān)、數(shù)條延遲光纖和對(duì)應(yīng)的與延遲光纖一一連接的光纖光柵。波分復(fù)用器I的另一輸入端口連接有栗浦源I。分束器的另外兩個(gè)端口分別作為振蕩器輸出端和監(jiān)測(cè)端?？烧{(diào)皮秒激光振蕩器的輸出波長(zhǎng)由光開(kāi)關(guān)選取的參數(shù)與激光振蕩的光纖光柵的反射波長(zhǎng)決定;脈沖寬度由光開(kāi)關(guān)選取的參數(shù)與激光振蕩的光纖光柵的反射帶寬決定;重復(fù)頻率由光開(kāi)關(guān)選取的參數(shù)與激光振蕩的光纖鏈路長(zhǎng)度決定，其中，延遲光纖的長(zhǎng)度用于匹配所需的重復(fù)頻率。
[0020]可飽和吸收器件為含有可飽和吸收器件的光纖耦合器件；其中，可飽和吸收器件可為透射式或者反射式半導(dǎo)體可飽和體、石墨烯、碳納米管等能起到非線性飽和吸收作用的光學(xué)材料。
[0021]增益光纖I為摻稀土元素的有源光纖，吸收栗浦光并產(chǎn)生激光。
[0022]波分復(fù)用器I用于將栗浦源發(fā)射出的栗浦光耦合入增益光纖I上。
[0023]分束器用于輸出兩束激光。其中，一束由輸出端輸出，用于實(shí)際應(yīng)用；另一束由監(jiān)測(cè)端輸出，用于監(jiān)控激光器的工作狀態(tài)。
[0024]光開(kāi)關(guān)用于選取后續(xù)工作的光纖鏈路。光開(kāi)關(guān)可為機(jī)械光開(kāi)關(guān)、或電光晶體及驅(qū)動(dòng)電源組成的電光開(kāi)關(guān)、或由聲光晶體及驅(qū)動(dòng)電源組成的聲光開(kāi)關(guān)、或能起到切換后續(xù)光路的其他種類光開(kāi)關(guān)。
[0025]延遲光纖用于匹配激光器所需的重復(fù)頻率。依據(jù)激光器所需的重復(fù)頻率，計(jì)算得出激光器的光纖鏈路長(zhǎng)度，除去各個(gè)光纖耦合器件及其尾纖、增益光纖，即為延遲光纖的長(zhǎng)度。
[0026]光纖光柵為激光器提供諧振的反饋信號(hào)。光纖光柵的反射波長(zhǎng)決定了激光器的工作波長(zhǎng)。
[0027]光纖光柵為激光器提供諧振的反饋信號(hào)。根據(jù)皮秒脈沖的時(shí)間帶寬積特性，即脈沖寬度與光譜寬度成反比例關(guān)系，因此，光纖光柵的反射帶寬決定了激光器的輸出脈寬。比如1064nm波長(zhǎng)的激光0.01醒光譜帶寬對(duì)應(yīng)165?8脈沖寬度，0.1醒光譜帶寬對(duì)應(yīng)于16.5?8。Inm光譜帶寬對(duì)應(yīng)于I.65ps。
[0028]振蕩器輸出端連接有光纖預(yù)放大器，用于初步提升脈沖激光的平均功率。光纖預(yù)放大器的輸入端與可調(diào)皮秒激光振蕩器輸出端連接，之后依次連接有隔離器2、波分復(fù)用器
2、增益光纖2;波分復(fù)用器2的另一輸入端連接有栗浦源2，為光纖預(yù)放大器提供栗浦光。
[0029]光纖預(yù)放大器的輸出端連接有脈沖選擇開(kāi)關(guān)，用于降低激光脈沖的重復(fù)頻率，滿足實(shí)際應(yīng)用過(guò)程對(duì)脈沖數(shù)目的需求。同時(shí)，通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)電脈沖重復(fù)頻率和電脈沖寬度可以實(shí)現(xiàn)對(duì)重復(fù)頻率，可實(shí)現(xiàn)對(duì)光脈沖重復(fù)頻率和脈沖數(shù)的控制。
[0030]脈沖選擇開(kāi)關(guān)的輸出端連接有光纖主放大器的輸入端，用于大幅提升脈沖激光的平均功率。光纖主放大器的輸入端與可調(diào)皮秒激光振蕩器的輸出端連接，之后依次連接有隔離器3、合束器3、增益光纖3;合束器的另一輸入端連接有栗浦源3，為光纖主放大器提供栗浦光。合束器可為(2+1) X I也可為(n+1) X I的合束器，耦合多路栗浦光進(jìn)入增益光纖3中。
[0031]增益光纖3可為雙包層增益光纖，可為雙包層光子晶體增益光纖，可為大模場(chǎng)增益光纖等能提供較高增益的光纖。增益光纖3連接有輸出端冒，用于保護(hù)增益光纖3的切面。透鏡I用于將輸出端帽輸出的發(fā)散光準(zhǔn)直為空間平行光。反射鏡I用于將準(zhǔn)直后的平行光注入固體放大器中。
[0032]反射鏡2、反射鏡3和透鏡2相結(jié)合，用于調(diào)整準(zhǔn)直輸出激光的飛行光路并聚焦在固體增益介質(zhì)I中。
[0033]反射鏡4為雙色鏡，鍍膜為栗浦光增透和激光高反。
[0034]反射鏡4，透鏡3和反射鏡5用于將固體增益介質(zhì)I放大后的激光再聚焦在固體增益介質(zhì)2上再次放大。
[0035]多模半導(dǎo)體模塊I輸出的栗浦光經(jīng)由栗浦耦合透鏡組I和反射鏡4照射在固體增益介質(zhì)I上。通過(guò)調(diào)整栗浦耦合透鏡組1、反射鏡2，透鏡2和反射鏡3實(shí)現(xiàn)栗浦光斑和激光光斑的大小和位置匹配。多模半導(dǎo)體模塊2輸出的栗浦光經(jīng)由栗浦耦合透鏡組2和反射鏡5照射在固體增益介質(zhì)2上。通過(guò)調(diào)整栗浦耦合透鏡組2、反射鏡4，透鏡3和反射鏡5實(shí)現(xiàn)栗浦光斑和激光光斑的大小和位置匹配。
[0036]固體增益介質(zhì)為對(duì)入射激光由增益特性的晶體、陶瓷等。固體增益介質(zhì)置于冷卻固件上，用于移除激光放大過(guò)程中的熱效應(yīng)。冷卻固件上累積的熱量可通過(guò)水循環(huán)冷卻、半導(dǎo)體制冷、風(fēng)冷等多種方式移除。
[0037]反射鏡6和透鏡4用于將經(jīng)過(guò)固體增益介質(zhì)2放大后的激光準(zhǔn)直并調(diào)整空間傳播方向，耦合入輸出隔離器。
[0038]輸出隔離器用于實(shí)現(xiàn)逆向光光隔離，保護(hù)固體放大器。擴(kuò)束器用于將輸出隔離器的輸出的激光擴(kuò)束，滿足實(shí)際應(yīng)用對(duì)激光光斑大小的需要。
[0039]由光開(kāi)關(guān)為整個(gè)激光系統(tǒng)選取工作參數(shù)。
[0040]由光纖光柵為可調(diào)皮秒激光振蕩器提供諧振的反饋信號(hào)。光纖光柵的反射波長(zhǎng)決定了激光器的工作波長(zhǎng)。比如，光纖光柵I的反射波長(zhǎng)為1030nm，光纖光柵I的反射波長(zhǎng)為1040nm，光纖光柵I的反射波長(zhǎng)為1050nm。即通過(guò)光開(kāi)關(guān)選取工作的光纖光柵，即可實(shí)現(xiàn)可調(diào)皮秒激光系統(tǒng)在1030nm、1040nm、1050nm三個(gè)甚至多個(gè)波長(zhǎng)之間切換輸出。
[0041]由光纖光柵為可調(diào)皮秒激光振蕩器提供諧振的反饋信號(hào)。根據(jù)皮秒脈沖的時(shí)間帶寬積特性，即脈沖寬度與光譜寬度成反比例關(guān)系，因此，光纖光柵的反射帶寬決定了激光器的輸出脈寬。比如，工作波長(zhǎng)為1064nm光纖光柵，光纖光柵I的光譜帶寬為0.0lnm(對(duì)應(yīng)165ps脈沖寬度)，光纖光柵2的光譜帶寬0.111111(對(duì)應(yīng)16.5?8脈沖寬度)，光纖光柵3的光譜帶寬Inm(對(duì)應(yīng)1.65ps脈沖寬度)。即通過(guò)光開(kāi)關(guān)選取工作的光纖光柵，即可實(shí)現(xiàn)可調(diào)皮秒激光系統(tǒng)在165ps、16.5ps、1.65ps三個(gè)甚至多個(gè)脈沖寬度之間切換輸出。
[0042]延遲光纖的長(zhǎng)度用于匹配激光器所需的重復(fù)頻率。依據(jù)激光器所需的重復(fù)頻率，計(jì)算得出激光器的光纖鏈路長(zhǎng)度，除去各個(gè)光纖耦合器件及其尾纖、增益光纖，即為延遲光纖的長(zhǎng)度。
[0043]光纖光柵的反射波長(zhǎng)和反射帶寬以及延遲光纖的長(zhǎng)度參數(shù)可以任意匹配，可實(shí)現(xiàn)可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)在預(yù)設(shè)的各個(gè)激光參數(shù)之間切換輸出。
[0044]不限定增益光纖1、增益光纖2、增益光纖3的種類，增益光纖可以為摻鐿、鉺、銩、釹等多種光纖，光路中其他器件的工作波段與所用增益光纖自發(fā)輻射譜匹配即可。
[0045]不限定光纖光柵的反射率，能夠滿足產(chǎn)生鎖模脈沖的反射率即可。
[0046]不限定光開(kāi)關(guān)的種類，光開(kāi)關(guān)的插入損耗不超過(guò)鎖模脈沖起振的腔內(nèi)損耗即可。
[0047]不限定光纖鏈路中光纖預(yù)放大的數(shù)目和位置，滿足后續(xù)光路對(duì)注入光的要求即可。
[0048]不限定光纖鏈路中光纖主放大的數(shù)目和位置，滿足實(shí)際應(yīng)用對(duì)激光功率和能量的要求即可。
[0049]不限定放大器的栗浦方式，可以為端面栗浦、側(cè)面栗浦等多種栗浦方式。
[0050]不限定增益介質(zhì)的形狀，可以為長(zhǎng)方體、圓柱體、板條式等多種形狀。增益介質(zhì)形狀與栗浦方式相配合即可。
[0051]不限定固體放大器內(nèi)部的放大級(jí)數(shù)，可以為一級(jí)放大結(jié)構(gòu)，也可為多級(jí)放大結(jié)構(gòu)。
[0052]不限定固體增益介質(zhì)上栗浦和激光的耦合方式，可以為單通放大結(jié)構(gòu)，也可為雙通甚至多通放大結(jié)構(gòu)。
[0053]不限定固體放大器中器件的個(gè)數(shù)，通過(guò)多種光學(xué)鍍膜方式，可以省去放大器中的某些部件。任何多合一功能器件都在該專利的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，其特征在于，依次包括被動(dòng)鎖模的可調(diào)皮秒激光振蕩器、光纖預(yù)放大器、脈沖選擇開(kāi)關(guān)、光纖主放大器和固體放大器，可調(diào)皮秒激光振蕩器由全保偏光纖器件連接構(gòu)成，可調(diào)皮秒激光振蕩器的一端為可飽和吸收器件，之后依次連接有第一增益光纖、第一波分復(fù)用器、分束器、光開(kāi)關(guān)、數(shù)條延遲光纖和對(duì)應(yīng)的與延遲光纖一一連接的光纖光柵;第一波分復(fù)用器的另一輸入端口連接第一栗浦源，分束器的另兩個(gè)端口分別作為振蕩器輸出端和監(jiān)測(cè)端;可調(diào)皮秒激光振蕩器的輸出波長(zhǎng)由光開(kāi)關(guān)選取的參數(shù)與激光振蕩的光纖光柵的反射波長(zhǎng)決定;脈沖寬度由光開(kāi)關(guān)選取的參數(shù)與激光振蕩的光纖光柵的反射帶寬決定;重復(fù)頻率由光開(kāi)關(guān)選取的參數(shù)與激光振蕩的光纖鏈路長(zhǎng)度決定，延遲光纖的長(zhǎng)度用于匹配所需的重復(fù)頻率;可調(diào)皮秒激光振蕩器輸出的脈沖激光進(jìn)入光纖預(yù)放大器，經(jīng)預(yù)放大的脈沖激光通過(guò)脈沖選擇開(kāi)關(guān)實(shí)現(xiàn)脈沖選取，進(jìn)入光纖主放大器進(jìn)一步提升脈沖激光的平均功率，光纖主放大器輸出的激光進(jìn)入固體放大器，實(shí)現(xiàn)滿足應(yīng)用需求的功率或能量后，再被光學(xué)器件耦合入輸出隔離器，實(shí)現(xiàn)逆向光光隔離再通過(guò)擴(kuò)束器輸出所需光斑大小的激光。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，其特征在于，所述光纖光柵為可調(diào)皮秒激光振蕩器提供諧振的反饋信號(hào)，通過(guò)光開(kāi)關(guān)選取工作的光纖光柵，實(shí)現(xiàn)多個(gè)波長(zhǎng)之間切換輸出。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，其特征在于，所述光纖預(yù)放大器的輸入端與可調(diào)皮秒激光振蕩器輸出端連接，之后依次連接有第一隔離器、第二波分復(fù)用器及第二增益光纖;第二波分復(fù)用器的另一輸入端連接有第二栗浦源，為光纖預(yù)放大器提供栗浦光。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，其特征在于，所述光纖主放大器的輸入端與可調(diào)皮秒激光振蕩器的輸出端連接，之后依次連接有第二隔離器、合束器及第三增益光纖;合束器的另一輸入端連接有栗浦源，為光纖主放大器提供栗浦光。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，其特征在于，所述合束器為(2+1)X I或(n+1) X I的合束器，耦合多路栗浦光進(jìn)入第三增益光纖中。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，其特征在于，所述第三增益光纖為雙包層增益光纖，或雙包層光子晶體增益光纖，或大模場(chǎng)增益光纖。7.根據(jù)權(quán)利要求4、5或6中任意一項(xiàng)所述可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，其特征在于，所述第三增益光纖連接有輸出端冒，用于保護(hù)第三增益光纖的切面。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，其特征在于，所述固體放大器為由光學(xué)器件、多個(gè)固體增益介質(zhì)、對(duì)應(yīng)固體增益介質(zhì)個(gè)數(shù)的多模半導(dǎo)體模塊、輸出隔離器及擴(kuò)束器組成的多級(jí)放大器。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，其特征在于，所述光纖主放大器輸出的激光被光學(xué)器件聚焦到固體增益介質(zhì)，多模半導(dǎo)體模塊輸出的栗浦光經(jīng)組合光學(xué)器件耦合照射在固體增益介質(zhì)上，通過(guò)調(diào)整組合光學(xué)器件實(shí)現(xiàn)栗浦光斑和激光光斑的大小和位置匹配。10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述可調(diào)皮秒固體激光系統(tǒng)，其特征在于，所述固體增益介質(zhì)置于冷卻固件上，用于移除激光放大過(guò)程中的熱效應(yīng)。
【文檔編號(hào)】H01S3/067GK105896255SQ201610448001
【公開(kāi)日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2016年6月21日
【發(fā)明人】郝強(qiáng), 趙明, 楊康文, 曾和平
【申請(qǐng)人】上海理工大學(xué)