一種發(fā)光二極管led及其制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種發(fā)光二極管LED及其制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著第三代半導(dǎo)體技術(shù)的興起和不斷成熟，半導(dǎo)體照明以能耗小、無污染、高亮度、長壽命等優(yōu)勢，成為人們關(guān)注的焦點(diǎn)，也帶動了整個行業(yè)上中下游產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展。其中，半導(dǎo)體發(fā)光二極管(Light Emitting D1de，簡稱LED)的制造是核心技術(shù)之一，不斷提高LED的發(fā)光亮度是自始至終追求的目標(biāo)。
[0003]現(xiàn)有的LED包括襯底、以及依次層疊在襯底上的N型層、發(fā)光層、P型層、電流阻擋層、透明導(dǎo)電層、鈍化層，P型層上開設(shè)有從P型層延伸到N型層的凹槽，P型層上設(shè)有依次穿過電流阻擋層、透明導(dǎo)電層、鈍化層的P型電極，N型層上設(shè)有穿過鈍化層的N型電極。
[0004]在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下問題:
[0005]為了將N型電極設(shè)置N型層上，從P型層延伸到N型層的凹槽的面積較大，使得設(shè)置在P型層和N型層之間的發(fā)光層的面積較小，導(dǎo)致LED的發(fā)光亮度低、電壓高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為了解決現(xiàn)有技術(shù)發(fā)光亮度低的問題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種發(fā)光二極管及其制作方法。所述技術(shù)方案如下:
[0007]—方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種發(fā)光二極管，所述發(fā)光二極管包括襯底、以及依次層疊在所述襯底上的N型層、發(fā)光層、P型層，所述P型層上開設(shè)有從所述P型層延伸到所述N型層的凹槽，所述P型層上依次層疊有第一電流阻擋層、第一透明導(dǎo)電層、以及延伸到所述凹槽內(nèi)的鈍化層，所述第一電流阻擋層和所述第一透明導(dǎo)電層內(nèi)設(shè)有延伸到所述P型層的第一通孔和延伸到所述第一透明導(dǎo)電層的第二通孔，P型焊盤設(shè)置在所述第一通孔內(nèi)，P型電極線設(shè)置在所述第二通孔內(nèi)，所述N型層上層疊有第二電流阻擋層、第二透明導(dǎo)電層、以及N型焊盤和N型電極線，所述第二電流阻擋層和所述第二透明導(dǎo)電層內(nèi)沿所述N型電極線的延伸方向設(shè)有若干延伸到所述N型層的第三通孔，所述N型焊盤和所述N型電極線通過所述第三通孔與所述N型層形成歐姆接觸。
[0008]可選地，所述第二電流阻擋層包括若干由所述第三通孔分離的單元，所述單元的形狀為圓形、環(huán)形、三角形、五角星形中的一種或多種。
[0009]優(yōu)選地，所述單元沿所述N型電極線的延伸方向的長度與所述單元之間的間距之比為1/4?3/4。
[0010]可選地，所述N型焊盤與所述N型層之間層疊有所述第二電流阻擋層和所述第二透明導(dǎo)電層。
[0011]另一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種發(fā)光二極管的制作方法，所述制作方法包括:
[0012]在襯底上依次形成N型層、發(fā)光層、P型層；
[0013]在所述P型層上開設(shè)從所述P型層延伸到所述N型層的凹槽；
[0014]在所述P型層上形成第一電流阻擋層，在所述N型層上形成第二電流阻擋層，所述第二電流阻擋層內(nèi)設(shè)有多個延伸到所述N型層的第三通孔；
[0015]在所述P型層上、以及所述第一電流阻擋層上形成第一透明導(dǎo)電層，在所述第二電流阻擋層上形成第二透明導(dǎo)電層；
[0016]在所述第一透明導(dǎo)電層上形成延伸到所述凹槽內(nèi)的鈍化層，所述鈍化層內(nèi)設(shè)有延伸到所述P型層的第一通孔、以及延伸到所述第一透明導(dǎo)電層的第二通孔；
[0017]在所述第一通孔內(nèi)設(shè)置P型焊盤，在所述第二通孔內(nèi)設(shè)置P型電極線，在所述第三通孔內(nèi)設(shè)置N型焊盤，在所述第三通孔內(nèi)和所述第二透明導(dǎo)電層上設(shè)置N型電極線。
[0018]可選地，所述第二電流阻擋層包括若干由所述第三通孔分離的單元，所述單元的形狀為圓形、環(huán)形、三角形、五角星形中的一種或多種。
[0019]優(yōu)選地，所述單元沿所述N型電極線的延伸方向的長度與所述單元之間的間距之比為1/4?3/4。
[0020]可選地，所述N型焊盤與所述N型層之間層疊有所述第二電流阻擋層和所述第二透明導(dǎo)電層。
[0021]可選地，所述在所述第一透明導(dǎo)電層上形成延伸到所述凹槽內(nèi)的鈍化層，所述鈍化層內(nèi)設(shè)有延伸到所述P型層的第一通孔、以及延伸到所述第一透明導(dǎo)電層的第二通孔，包括:
[0022]在所述第一透明導(dǎo)電層和所述第二透明導(dǎo)電層上鋪設(shè)一層鈍化層；
[0023]采用光刻工藝在所述鈍化層上形成設(shè)定圖形的光刻膠；
[0024]利用所述設(shè)定圖形的光刻膠對所述鈍化層進(jìn)行刻蝕，在所述鈍化層內(nèi)形成延伸到所述P型層的第一通孔、以及延伸到所述第一透明導(dǎo)電層的第二通孔。
[0025]優(yōu)選地，所述在所述第一通孔內(nèi)設(shè)置P型焊盤，在所述第二通孔內(nèi)設(shè)置P型電極線，在所述第三通孔內(nèi)設(shè)置N型焊盤，在所述第三通孔內(nèi)和所述第二透明導(dǎo)電層上設(shè)置N型電極線，包括:
[0026]在所述第一通孔內(nèi)、第二通孔內(nèi)、第三通孔內(nèi)、以及所述光刻膠上形成電極；
[0027]剝離所述光刻膠，得到所述P型焊盤、所述P型電極線、所述N型焊盤、以及所述N型電極線。
[0028]本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來的有益效果是:
[0029]通過在N型層上層疊第二電流阻擋層、第二透明導(dǎo)電層、以及N型焊盤和N型電極線，第二電流阻擋層和第二透明導(dǎo)電層中沿N型電極線的延伸方向設(shè)有若干延伸到N型層的第三通孔，N型焊盤和N型電極線通過第三通孔與N型層形成歐姆接觸，N型焊盤接入的電流分別通過各個通孔內(nèi)的N型電極線進(jìn)入，電流分區(qū)域聚集，有利于電流的擴(kuò)散，提高了 LED的發(fā)光亮度，同時各個區(qū)域的電流之間形成并聯(lián)電路，降低了 LED的電壓。
【附圖說明】
[0030]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。[0031 ]圖1是本發(fā)明實(shí)施例一提供的一種發(fā)光二極管的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖2是本發(fā)明實(shí)施例一提供的電極的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖3是本發(fā)明實(shí)施例一提供的N型電極線的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖4是本發(fā)明實(shí)施例二提供的一種發(fā)光二極管的的制作方法的流程圖；
[0035]圖5a_圖5f是本發(fā)明實(shí)施例二提供的發(fā)光二極管的制作過程中的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0036]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0037]實(shí)施例一
[0038]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種發(fā)光二極管，適用于正裝單顆、正裝串并聯(lián)的LED芯片，參見圖1，該發(fā)光二極管包括襯底1、以及依次層疊在襯底I上的N型層2、發(fā)光層3、P型層4，P型層4上開設(shè)有從P型層4延伸到N型層2的凹槽10，P型層4上依次層疊有第一電流阻擋層5a、第一透明導(dǎo)電層6a、以及延伸到凹槽10內(nèi)的鈍化層7，第一電流阻擋層5a和第一透明導(dǎo)電層6a內(nèi)設(shè)有延伸到P型層4的第一通孔(圖1未示出)和第二通孔20b，P型焊盤Saa(見圖2)設(shè)置在第一通孔內(nèi)4型電極線Sab設(shè)置在第二通孔20b內(nèi)，N型層2上層疊有第二電流阻擋層5b、第二透明導(dǎo)電層6b、以及N型焊盤8ba和N型電極線8bb，參見圖3，第二電流阻擋層5b和第二透明導(dǎo)電層6b內(nèi)沿N型電極線8bb的延伸方向設(shè)有若干延伸到N型層4的第三通孔20c，N型焊盤8ba和N型電極線8bb通過第三通孔20c與N型層4形成歐姆接觸。
[0039]參見圖2，P型焊盤Saa與P型電極線Sab之間歐姆接觸，P型電極線Sab沿垂直于發(fā)光二極管的生長方向延伸;N型焊盤8ba與N型電極線8bb之間歐姆接觸，N型電極線8bb沿垂直于發(fā)光二極管的生長方向延伸。容易知道，圖1是圖2中A-A方向的剖視圖，圖3是圖2中B-B方向的剖視圖。
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