消，不需要額外的元器件，并且效率高發(fā)熱小，即使發(fā)熱也能通過線路板把熱量導(dǎo)到地下的散熱板帶走。
[0026]參考圖4，圖中為功率合成微帶電路圖8，射頻電流從輸入端20，21輸入，射頻電流經(jīng)過微帶線最終聚集合成到輸出端22上，其中原理為射頻電流通過特定寬度和長(zhǎng)度的微帶敷銅線后，能合成在一起，其中微帶的作用是匹配和減少損耗。第三微帶傳輸部27是一根寬4mm，長(zhǎng)度398mm的敷銅線路，其中由9根34mm長(zhǎng)的直線與8個(gè)半徑為3.67mm的半圓首尾相接而成，以上所述微帶傳輸部都是關(guān)鍵部位，這樣設(shè)計(jì)能起到縮小體積減小損耗的作用。原理是射頻電流流過這些微帶線后能在輸出端保持同樣的相位，并均勻地輸出到輸出端。功率合成微帶電路8是由兩個(gè)總微帶合成傳輸部組成，這兩個(gè)部分都是一根寬4mm，長(zhǎng)557mm的微帶銅線，其區(qū)別在于因?yàn)殡娐钒宓某叽缍叩奈恢貌灰粯?，還有就是連接順序不一樣，第七總微帶合成傳輸部35的輸入接的是第一總微帶合成傳輸部29和第二總微帶合成傳輸部30與第三總微帶合成傳輸部31的微帶輸出端，而第八總微帶合成傳輸部36的微帶輸入接的是第四總微帶合成傳輸部32和第五總微帶合成傳輸部33與第六總微帶合成傳輸部34的微帶輸出端，最后第七總微帶合成傳輸部35與第八總微帶合成傳輸部36的微帶的輸出端連接到一起，這樣的微帶合成線路的設(shè)計(jì)好處是能把電流平均地合成為一路并保持各線路的相位不會(huì)互相抵消，不需要額外的元器件，并且效率高發(fā)熱小，即使發(fā)熱也能通過線路板把熱量導(dǎo)到地下的散熱板帶走。
[0027]參考圖5，輸出匹配微帶電路10，射頻電流從23輸入進(jìn)匹配端，經(jīng)過電容電感匹配后從輸出端24輸出到激光器。第四微帶傳輸部28是一根寬8mm，長(zhǎng)度51.5mm的敷銅線路，射頻電流經(jīng)過時(shí)起到匹配的作用。
[0028]參考圖6，第一總微帶合成傳輸部29詳細(xì)布線圖，所述傳輸部是一根寬3.2mm，總長(zhǎng)557mm的微帶銅線，其中是由10根直線與6個(gè)半徑為4.5mm半圓，4個(gè)半徑為4.5mm的I/4圓組成。
[0029]參考圖7，第二總微帶合成傳輸部30詳細(xì)布線圖，所述傳輸部是一根寬3.2mm，總長(zhǎng)557mm的微帶銅線，其中是由8根直線與6個(gè)半徑為4.5mm半圓，3個(gè)半徑為4.5mm的I/4圓組成。
[0030]參考圖8，第三總微帶合成傳輸部31詳細(xì)布線圖，所述傳輸部是一根寬3.2mm，總長(zhǎng)557mm的微帶銅線，其中是由11根直線與9個(gè)半徑為4.5mm半圓，2個(gè)半徑為4.5mm的I/4圓組成。
[0031]參考圖9，第四總微帶合成傳輸部32詳細(xì)布線圖，所述傳輸部是一根寬3.2_，總長(zhǎng)557mm的微帶銅線，其中是由11根直線與9個(gè)半徑為4.5mm半圓，2個(gè)半徑為4.5mm的I/4圓組成。
[0032]參考圖10，第五總微帶合成傳輸部33詳細(xì)布線圖，所述傳輸部是一根寬3.2mm，總長(zhǎng)557mm的微帶銅線，其中是由8根直線與6個(gè)半徑為4.5mm半圓，3個(gè)半徑為4.5mm的1/4圓組成。
[0033]參考圖11，第六總微帶合成傳輸部34詳細(xì)布線圖，所述傳輸部是一根寬3.2mm，總長(zhǎng)557mm的微帶銅線，其中是由10根直線與6個(gè)半徑為4.5mm半圓，4個(gè)半徑為4.5mm的1/4圓組成。
[0034]參考圖12，第七總微帶合成傳輸部35詳細(xì)布線圖，所述傳輸部是一根寬4mm，總長(zhǎng)557mm的微帶銅線，其中是由14根直線與13個(gè)半徑為3.67mm半圓，I個(gè)半徑為3.67mm的1/4圓組成。
[0035]參考圖13，第八總微帶合成傳輸部36詳細(xì)布線圖，所述傳輸部是一根寬4mm，總長(zhǎng)557mm的微帶銅線，其中是由14根直線與6個(gè)半徑為3.67mm半圓，9個(gè)半徑為3.67mm的1/4圓組成。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于激光器的射頻電源，其特征在于:包括第一功率放大模塊，第二功率放大模塊，第三功率放大模塊，第四功率放大模塊，第五功率放大模塊，第六功率放大模塊，第一微帶功率合成電路，第二微帶功率合成電路，第三功率合成微帶電路，射頻輸出匹配電路和水冷散熱器;其中，第一功率放大模塊，第二功率放大模塊，第三功率放大模塊，第四功率放大模塊，第五功率放大模塊，第六功率放大模塊，這六個(gè)模塊同時(shí)給出81.36Mhz的射頻功率電流，通過電極傳輸給第一功率合成微帶電路，第三功率合成微帶電路，所述第一功率合成微帶電路和第三功率合成微帶電路，各將三路功率放大模塊輸出的信號(hào)合成為一路，輸出給到第二功率合成微帶電路的輸入端，所述第二功率合成微帶電路把兩路輸入功率電流合成為一路，并通過電極輸送給輸出匹配微帶電路，經(jīng)過所述輸出匹配微帶電路匹配后輸出到二氧化碳激光器。2.一種功率合成微帶電路，其特征在于:包括第一微帶傳輸部;射頻電流從三個(gè)輸入端輸入，射頻電流經(jīng)過微帶線最終聚集合成到輸出端上；其中第一微帶傳輸部是一根寬3.2mm，長(zhǎng)度237mm的敷銅線路，其中由3根69.6mm長(zhǎng)的直線與2個(gè)半徑為4.5mm的半圓首尾相接而成。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的功率合成微帶電路，其特征在于:所述功率合成微帶電路由三個(gè)總微帶合成傳輸部組成，這三個(gè)部分都是一根寬3.2mm，長(zhǎng)557mm的微帶銅線，其中，第一總微帶合成傳輸部和第二總微帶合成傳輸部與第三總微帶合成傳輸部的微帶輸入端是分開的，輸出接到一起。4.一種功率合成微帶電路，其特征在于:包括第二微帶傳輸部;射頻電流從三個(gè)輸入端輸入，射頻電流經(jīng)過微帶線最終聚集合成到輸出端上；其中第二微帶傳輸部是一根寬3.2mm，長(zhǎng)度186.3mm的敷銅線路，其中由4根36mm長(zhǎng)的直線與3個(gè)半徑為4.5mm的半圓首尾相接而成。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的功率合成微帶電路，其特征在于:所述功率合成微帶電路由三個(gè)總微帶合成傳輸部組成，這三個(gè)部分都是一根寬3.2mm，長(zhǎng)557mm的微帶銅線，第四總微帶合成傳輸部和第五總微帶合成傳輸部與第六總微帶合成傳輸部的微帶輸入端是分開的，輸出接到一起。6.一種功率合成微帶電路，其特征在于:包括第三微帶傳輸部;射頻電流從兩個(gè)輸入端輸入，射頻電流經(jīng)過微帶線最終聚集合成到輸出端上;其中第三微帶傳輸部是一根寬4mm，長(zhǎng)度398mm的敷銅線路，其中由9根34mm長(zhǎng)的直線與8個(gè)半徑為3.67mm的半圓首尾相接而成。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的功率合成微帶電路，其特征在于:所述功率合成微帶電路由兩個(gè)總微帶合成傳輸部組成，這兩個(gè)部分都是一根寬4_，長(zhǎng)557_的微帶銅線，第七總微帶合成傳輸部的輸入接的是如權(quán)利要求2所述的第一總微帶合成傳輸部和第二總微帶合成傳輸部與第三總微帶合成傳輸部的微帶輸出端，而第八總微帶合成傳輸部的微帶輸入接的是如權(quán)利要求4所述的第四總微帶合成傳輸部和第五總微帶合成傳輸部與第六總微帶合成傳輸部的微帶輸出端，最后第七總微帶合成傳輸部與第八總微帶合成傳輸部的微帶的輸出端連接到一起。8.—種輸出匹配微帶電路，其特征在于:射頻電流輸入進(jìn)匹配端，經(jīng)過電容電感匹配后從輸出端輸出到激光器，其中第四微帶傳輸部是一根寬8mm，長(zhǎng)度51.5mm的敷銅線路，射頻電流經(jīng)過時(shí)起到匹配的作用。
【專利摘要】一種用于激光器的射頻電源，其特征在于：包括第一功率放大模塊，第二功率放大模塊，第三功率放大模塊，第四功率放大模塊，第五功率放大模塊，第六功率放大模塊，第一微帶功率合成電路，第二微帶功率合成電路，第三功率合成微帶電路，射頻輸出匹配電路和水冷散熱器；其中，第一功率放大模塊，第二功率放大模塊，第三功率放大模塊，第四功率放大模塊，第五功率放大模塊，第六功率放大模塊。
【IPC分類】H01S3/041, H01S3/09
【公開號(hào)】CN105449502
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510923985
【發(fā)明人】徐海軍
【申請(qǐng)人】北京熱刺激光技術(shù)有限責(zé)任公司
【公開日】2016年3月30日
【申請(qǐng)日】2015年12月14日