平面顯示裝置用陣列基板的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及平面顯示裝置用陣列基板的制造方法。本發(fā)明特別涉及包括下述工序的平面顯示裝置用陣列基板的制造方法:在用于進行拼板(日語原文:多面取<9 multipleprinted panel)的母基板上，設置配線圖案等格子狀的圖案，然后形成樹脂膜。
【背景技術】
[0002]能夠進行圖像顯示的平面顯示裝置通常包含顯示面板及其驅動系統(tǒng)，顯示面板包含陣列基板。在陣列基板上，在像素以矩陣狀排列的顯示區(qū)域內，具備每個像素點(亞像素，sub-pixel)的開關元件(通常為TFT)和像素電極以及沿著矩陣的行和列分別排列的掃描線及信號線。液晶顯示裝置用的顯示面板在陣列基板與對置基板之間保持有液晶材料層，液晶材料層被密封材料從周圍密封。另一方面，在有機EL顯示裝置用的陣列基板的情況下，在像素電極上配置陽極層、發(fā)光層和陰極層，并且以密封膜進行覆蓋。在“圍堰&填充(dam&fill) ”方式的情況下，陣列基板介由沿著周邊部延伸的與密封材料相同的圍堰材料以及填充在其內側的填充材料與對置基板組合，由此形成顯示面板。
[0003]對于平面顯示裝置用的陣列基板，進行在陣列基板的大致整個面上設置樹脂膜的工序。上述樹脂膜起到絕緣膜、平坦化膜和濾色器層中的至少任一種的作用，通常在形成構成開關元件、掃描線和信號線的配線圖案后進行設置；在形成樹脂膜后，通過成膜及布圖來形成像素電極。
[0004]此外，在制造陣列基板時，通常以被稱為母基板的大號基板的狀態(tài)進行層疊膜、圖案的形成，然后切出各個顯示面板。在與對置基板組合的情況下，將陣列基板的母基板與對置基板的母基板組合，由此得到大號顯示面板(稱為“拼板用面板”)，然后切出各個顯示面板。
[0005]專利文獻I提出了下述方案:在以旋涂法來涂布用于形成樹脂膜的樹脂液時，為了減輕外部連接端子附近的涂布不均，在間隔寬的配線間配置虛設圖案。通過這樣配置虛設圖案，樹脂液的流動的阻力變得均勻，因此能夠抑制涂布不均。另一方面，專利文獻2提出了下述方案:根據樹脂液的粘度來優(yōu)化旋涂的轉速，由此抑制涂布不均。
[0006]現(xiàn)有技術文獻
[0007]專利文獻
[0008]專利文獻1:日本特開2008-199048
[0009]專利文獻2:日本特開2003-075868

【發(fā)明內容】

[0010]發(fā)明所要解決的問題
[0011]近年來，當在平面顯示裝置用的陣列基板上涂布樹脂膜時，使用狹縫涂布法。狹縫涂布法為下述方法:從狹縫狀的噴嘴孔噴出樹脂液，并緩緩地使噴嘴或基板水平地移動，由此進行涂布。在狹縫涂布法的情況下，能夠容易應對母基板的大型化，而且不需要旋轉裝置，從而能夠減輕裝置負擔。
[0012]本申請的發(fā)明者們發(fā)現(xiàn):當以狹縫涂布法從母基板的基板一端向基板另一端依次進行樹脂液的涂布時，根據條件不同，涂布到配線圖案上的膜的厚度在開始涂布的基板端的附近會產生不均。并且，在對其原因進行深入研宄時，本申請的發(fā)明者們發(fā)現(xiàn):樹脂液的流動性越低，越容易產生厚度不均。另外，本申請的發(fā)明者們還發(fā)現(xiàn):其與涂布的開始部位是母基板中不具有配線圖案的外周部有關。即，本申請的發(fā)明者們通過試驗發(fā)現(xiàn):在從配線圖案的配置位置進行了涂布的情況下，涂布不均顯著減輕，從而得到了本申請發(fā)明的構思。
[0013]本發(fā)明的目的在于:提供在基板上形成至少一層的配線圖案層后以狹縫涂布法在基板上涂布樹脂液來形成樹脂膜的平面顯示裝置用基板的制造方法中能夠降低涂布厚度的不均、降低樹脂膜的厚度的不均的平面顯示裝置用基板的制造方法。
[0014]用于解決問題的手段
[0015]本發(fā)明的平面顯示裝置用陣列基板的制造方法的優(yōu)選實施方案包括下述工序:在基板上的像素排列區(qū)域，設置以向一個方向延伸的方式排列的一系列配線；沿著與上述一系列配線交叉的方向，以狹縫涂布法在基板上涂布樹脂液；以及使這樣涂布后的樹脂液固化，由此形成包覆上述一系列配線的樹脂膜，其特征在于，以上述設置一系列配線的工序，預先在基板上的涂布開始部位設置以沿著上述一系列配線的延伸方向或涂布寬度方向延伸的方式排列的一系列虛設配線。
【附圖說明】
[0016]圖1是示意性地示出以一個實施方式的制造方法中的配線圖案的形成工序在基板上的涂布開始部位形成了虛設配線圖案的情況的立體俯視圖。也同時示出水平棒狀的狹縫噴嘴。
[0017]圖2是示意性地示出以狹縫涂布法對圖1的基板進行涂布的情況的一系列側視圖。
[0018]圖3是比較例的與圖2相對應的一系列側視圖。
[0019]圖4是示出形成樹脂膜之后的母基板的一個例子的層疊剖視圖。
[0020]圖5是示意性地示出涂布樹脂液之前的母基板的主要部分的立體局部剖視圖。
[0021]符號說明
[0022]I 虛設配線圖案
[0023]10 母基板(形成樹脂膜之前)
[0024]11 虛設配線
[0025]12 掃描線
[0026]12A來自掃描線的分支部
[0027]13 涂布開始部位
[0028]14 涂布進行方向
[0029]15 面板區(qū)域
[0030]16 預切斷線
[0031]17 預除去的外周部
[0032]18 像素排列區(qū)域
[0033]19驅動-連接用配線區(qū)域
[0034]2像素點
[0035]21信號線
[0036]22TFT
[0037]23多晶硅圖案
[0038]24島狀圖案
[0039]25玻璃基板
[0040]25A、25B 第一及第二底涂層
[0041]26柵絕緣膜
[0042]27層間絕緣膜
[0043]28接觸孔
[0044]3狹縫噴嘴
[0045]31噴嘴頭
[0046]32樹脂液
[0047]33鼓起部
[0048]35厚型樹脂膜(平坦化膜)
[0049]36接觸孔
[0050]4涂布寬度方向
【具體實施方式】
[0051]使用圖1?2，對本發(fā)明的一個實施方式的平面顯示裝置用陣列基板的制造方法進行說明。圖1示意性地示出在母基板10上的涂布開始部位設置了虛設配線圖案I的情況。圖2示意性地示出一邊使狹縫噴嘴3以固定速度移動一邊進行涂布的情況。圖3示出與圖2相對應的比較例。另外，圖4示出形成樹脂膜之后的母基板的一個例子；圖5示意性地示出涂布樹脂液之前的母基板10的主要部分。
[0052]如圖1所示，在母基板10上，與各個顯示面板相對應的面板區(qū)域15以矩陣狀排列。在一系列成膜工序結束后，與對置基板組合，然后沿著預切斷線16切斷，由此切出各個顯示面板。此時，母基板10的外周部17在切斷后被廢棄。在矩形的各面板區(qū)域15，存在一個矩形的像素排列區(qū)域18 ;各面板區(qū)域15的周邊部是形成有驅動電路系統(tǒng)或與其連接的連接部以及各種輸入用配線的驅動-連接用配線區(qū)域19。
[0053]在外周部17之中沿著矩形的母基板10的一邊的部分，存在涂布開始部位13。這里，涂布開始部位13是指:在以狹縫涂布法進行涂布時，從噴嘴頭31噴出的樹脂液32與母基板10最先接觸的部位。一邊將噴嘴頭31的前端開口部與母基板10的上表面之間的間隔保持為微小的固定間隔，一邊使狹縫噴嘴3相對于母基板10移動，由此進行涂布。其中，固定間隔被設定為比與涂布厚度相對應的尺寸例如涂布時的規(guī)定厚度略小的尺寸。以狹縫涂布法進行的涂布特別是利用了下述作用:通過先