開一觀察孔，用厚石英玻璃密封，用于觀察銅肩或銅粉的氧化程度，當(dāng)銅肩或銅粉大部分被氧化時(shí)應(yīng)及時(shí)更換，更換該部件時(shí)只需要關(guān)閉其前后閥門即可將其拆卸更換。
[0032]本發(fā)明干燥冷卻過(guò)濾器有冷卻水進(jìn)水口和冷卻水出水口，用于對(duì)工作氣體進(jìn)行降溫，降溫目標(biāo)為20~25°C，并帶有溫度傳感器用于檢測(cè)冷卻后的工作氣體溫度；設(shè)有排氣排污閥，在更換該部件時(shí)只需要關(guān)閉其前后閥門即可將其拆卸更換。由于工作氣體中含水極少，故采用硅膠吸水，另為防止CuO等固體小顆粒進(jìn)入工作氣體中，此處需要進(jìn)行過(guò)慮處理。
[0033]本發(fā)明低壓側(cè)抽真空電磁閥，其孔徑較大，在剛開機(jī)時(shí)用于迅速降低軸快流0)2激光器工作主體的絕對(duì)壓強(qiáng)，以達(dá)到快速啟動(dòng)的目的；羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱抽真空電磁閥，目的是維持齒輪箱的絕對(duì)壓強(qiáng)低于循環(huán)系統(tǒng)的絕對(duì)壓強(qiáng)，這樣就可以避免大量的潤(rùn)滑油進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng)，但它同時(shí)也使經(jīng)過(guò)羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱抽真空電磁閥的工作氣體含有大量的潤(rùn)滑油蒸汽；在正常工作時(shí)羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱抽真空電磁閥是常開的，而低壓側(cè)抽真空電磁閥根據(jù)情況可適當(dāng)開啟或不開。
[0034]本發(fā)明真空泵排空電磁閥用于真空泵向大氣排空，在剛開機(jī)前，由于因長(zhǎng)時(shí)間未開機(jī)的系統(tǒng)泄漏而造成的循環(huán)系統(tǒng)中含有雜質(zhì)氣體相對(duì)較多，故在剛開機(jī)時(shí)，循環(huán)系統(tǒng)應(yīng)在剛開機(jī)的0.5~1小時(shí)之內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)換氣，具體由氣體單元輸出電磁閥與真空泵排空電磁閥配合進(jìn)行；一般若循環(huán)系統(tǒng)在未開機(jī)期間總泄漏在5mbar以內(nèi)時(shí)，可不進(jìn)行換氣，當(dāng)儲(chǔ)氣罐一輸入電磁閥開啟時(shí)，工作氣體進(jìn)入儲(chǔ)氣罐一就開始了工作氣體凈化流程，并最終經(jīng)儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥進(jìn)入軸快流002激光器工作主體；真空泵排空電磁閥與儲(chǔ)氣罐一輸入電磁閥都是通徑很大阻力很小的大通徑電磁閥，在真空泵開啟時(shí)必須有一個(gè)是開啟的，也只能有一個(gè)是開啟的，當(dāng)然操作者可根據(jù)工作氣體情況隨時(shí)進(jìn)行切換。
[0035]本發(fā)明在工作氣體凈化回收再利用過(guò)程中，儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥的開啟與關(guān)閉是由控制系統(tǒng)根據(jù)軸快流0)2激光器工作主體中的工作壓強(qiáng)高低來(lái)決定的，這還涉及到齒輪箱抽真空電磁閥和低壓側(cè)抽真空電磁閥，它們?nèi)吖餐浜弦员ＷC軸快流CO2激光器工作主體工作在一穩(wěn)定壓強(qiáng)附近。
[0036]本發(fā)明在工作氣體凈化回收再利用過(guò)程中，由于泄漏進(jìn)系統(tǒng)的氮?dú)饨?jīng)過(guò)較長(zhǎng)時(shí)間會(huì)使工作氣體中氮?dú)夂砍^(guò)規(guī)定比例上限，這時(shí)就需要開啟特殊工作體更新程序，即先關(guān)閉儲(chǔ)氣罐一輸入電磁閥，同時(shí)打開真空泵排空電磁閥，系統(tǒng)向外排氣，當(dāng)排氣罐二壓強(qiáng)低于0.12MPa時(shí)，先關(guān)閉真空泵排空電磁閥同時(shí)打開儲(chǔ)氣罐一輸入電磁閥，再停用儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥同時(shí)啟用氣體單元輸出電磁閥，通過(guò)氣體單元輸出電磁閥按比例向系統(tǒng)中送0)2和He，這樣就可以降低工作氣體中的氮?dú)夂浚钡焦ぷ鳉怏w中氮?dú)夂拷档揭?guī)定比例下限附近或排氣罐二壓強(qiáng)達(dá)到0.1SMPa上限時(shí)，再停用氣體單元輸出電磁閥同時(shí)啟用儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥；一般當(dāng)循環(huán)系統(tǒng)漏率一定時(shí)，開啟特殊工作氣體更新程序周期也就定下來(lái)了。
[0037]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非是對(duì)本發(fā)明作任何其他形式的限制，而依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)所作的任何修改或等同變化，仍屬于本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO 2激光器，包括CO 2高壓氣瓶(12)、He高壓氣瓶(13)、隊(duì)高壓氣瓶(14)、氣體單元(15)、軸快流CO 2激光器工作主體(20)、真空泵、儲(chǔ)氣罐一(22)、油水分離冷卻過(guò)濾器(24)、加熱除氧器(25)、干燥冷卻過(guò)濾器(26)、儲(chǔ)氣罐二(28)和真空泵排空電磁閥(37)，其特征在于:所述軸快流0)2激光器工作主體(20)內(nèi)高壓側(cè)熱交換器(3)通過(guò)管道與氣體單元輸出電磁閥(16)和儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥(34)相連，所述氣體單元輸出電磁閥(16)通過(guò)管道與氣體單元(15)相連，所述氣體單元(15)通過(guò)管道與0)2高壓氣瓶減壓閥(17)、He高壓氣瓶減壓閥(18)和N 2高壓氣瓶減壓閥(19)相連，所述CO2高壓氣瓶減壓閥(17 )接CO 2高壓氣瓶(12 )，所述He高壓氣瓶減壓閥(18 )接He高壓氣瓶(13)，所述隊(duì)高壓氣瓶減壓閥(19)接N 2高壓氣瓶(14)，所述儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥(34)接儲(chǔ)氣罐二(28)，所述儲(chǔ)氣罐二(28)通過(guò)干燥冷卻過(guò)濾器輸出閥(33)接干燥冷卻過(guò)濾器(26)，所述干燥冷卻過(guò)濾器(26)下方有干燥冷卻過(guò)濾器進(jìn)水口(41)和干燥冷卻過(guò)濾器出水口(42)，所述干燥冷卻過(guò)濾器(26)通過(guò)干燥冷卻過(guò)濾器輸入閥(32)接加熱除氧器(25)，所述加熱除氧器(25)通過(guò)加熱除氧器輸入閥(31)接油水分離冷卻過(guò)濾器(24)，所述油水分離冷卻過(guò)濾器(24)下方有油水分離冷卻過(guò)濾器進(jìn)水口(39)和油水分離冷卻過(guò)濾器出水口(40)，所述油水分離冷卻過(guò)濾器(24)通過(guò)油水分離冷卻過(guò)濾器輸入閥(30)接儲(chǔ)氣罐一(22 )，所述儲(chǔ)氣罐一(22 )通過(guò)管道儲(chǔ)氣罐一輸入電磁閥(29 )接真空泵，所述儲(chǔ)氣罐一(22)與儲(chǔ)氣罐一輸入電磁閥(29)相連管道一側(cè)有真空泵排空電磁閥(37)，所述真空泵通過(guò)管道接低壓側(cè)抽真空電磁閥(8)和齒輪箱抽真空電磁閥(7)，所述軸快流CO2激光器工作主體(20)內(nèi)低壓側(cè)熱交換器(5)通過(guò)管道與低壓側(cè)抽真空電磁閥(8)相連，所述軸快流CO2激光器工作主體(20 )內(nèi)齒輪箱(11)通過(guò)管道與齒輪箱抽真空電磁閥(7 )相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述軸快流0)2激光器工作主體(20)包括羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)(1)、高壓側(cè)熱交換器(3)、放電管(4)、低壓側(cè)熱交換器(5)和羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱(11)，所述羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)(I)的羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)出風(fēng)口(2)通過(guò)管道與高壓側(cè)熱交換器(3)相連，所述羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)(I)的羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口( 6 )通過(guò)管道與低壓側(cè)熱交換器(5 )相連，所述放電管(4)在高壓側(cè)熱交換器(3)與低壓側(cè)熱交換器(5)之間，所述放電管(4)通過(guò)管道與高壓側(cè)熱交換器(3 )和低壓側(cè)熱交換器(5 )相連，所述羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)(I) 一側(cè)有羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱(11 )，所述高壓側(cè)熱交換器(3)通過(guò)管道與氣體單元輸出電磁閥(16)和儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥(34)相連，所述低壓側(cè)熱交換器(5)通過(guò)管道與低壓側(cè)抽真空電磁閥(8)相連，所述羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱(11)通過(guò)管道與齒輪箱抽真空電磁閥(7)相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述真空泵為正壓輸出真空泵(21)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述儲(chǔ)氣罐一(22)容積為3-5升，額定工作壓強(qiáng)為0.6MPa，所述儲(chǔ)氣罐二(28)容積為1-2升，額定工作壓強(qiáng)為0.6MPa?
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述儲(chǔ)氣罐一(22 )上有壓力傳感器一(23 )，所述儲(chǔ)氣罐二( 28 )上有壓力傳感器二(27)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述儲(chǔ)氣罐一(22 )上設(shè)有儲(chǔ)氣罐一排空取樣閥(36 )，所述儲(chǔ)氣罐二( 28 )上設(shè)有儲(chǔ)氣罐二排空取樣閥(35)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述油水分離冷卻過(guò)濾器(24)下方設(shè)有油水分離冷卻過(guò)濾器排氣排污閥(34)，所述干燥冷卻過(guò)濾器(26)下方設(shè)有干燥冷卻過(guò)濾器排氣排污閥(44)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述加熱除氧器(25)下方有加熱除氧器排氣閥(43)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其特征在于:所述加熱除氧器(25)內(nèi)有銅粉或銅肩，加熱維持溫度為600°C -700°C。
【專利摘要】一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，本申請(qǐng)工作主體與氣體單元輸出電磁閥和儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥相連，氣體單元輸出電磁閥與氣體單元相連，氣體單元與CO2高壓氣瓶、He高壓氣瓶和N2高壓氣瓶相連，儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥接儲(chǔ)氣罐二，儲(chǔ)氣罐二接干燥冷卻過(guò)濾器，干燥冷卻過(guò)濾器接加熱除氧器，加熱除氧器接油水分離冷卻過(guò)濾器，油水分離冷卻過(guò)濾器接儲(chǔ)氣罐一，儲(chǔ)氣罐一接真空泵，真空泵接低壓側(cè)抽真空電磁閥和齒輪箱抽真空電磁閥，工作主體內(nèi)低壓側(cè)熱交換器與低壓側(cè)抽真空電磁閥相連，工作主體內(nèi)齒輪箱與齒輪箱抽真空電磁閥相連。本發(fā)明對(duì)現(xiàn)有軸快流CO2激光器配以相應(yīng)的回收再利用裝置，以實(shí)現(xiàn)對(duì)工作氣體的回收再利用。
【IPC分類】H01S3-036
【公開號(hào)】CN104821476
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510291261
【發(fā)明人】司立眾, 劉旭明, 鞠全勇, 鄭李明, 高峰, 周洪
【申請(qǐng)人】金陵科技學(xué)院
【公開日】2015年8月5日
【申請(qǐng)日】2015年6月1日