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一種激光調(diào)阻機的制作方法

文檔序號:8286005閱讀:561來源:國知局
一種激光調(diào)阻機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于調(diào)阻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種激光調(diào)阻機。
【背景技術(shù)】
[0002]調(diào)阻機工藝已經(jīng)成熟應(yīng)用在厚膜、薄膜及半導(dǎo)體電路中,現(xiàn)今由于人們對器件的微型化要求越來越高,甚至到苛刻的地步,電路的微型化要求也越來越高,在一些精密的厚、薄膜電路以及一些半導(dǎo)體電路中,在我國,電子信息產(chǎn)業(yè)已成為國民經(jīng)濟和社會發(fā)展的第一大支柱產(chǎn)業(yè),電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展推動了相關(guān)電子元器件的加速發(fā)展,片式元器件由于體積小、制造成本低等優(yōu)勢,正在被電子應(yīng)用領(lǐng)域廣泛使用,而實現(xiàn)片式元器件工藝技術(shù)的載體是專用設(shè)備,在片式電阻生產(chǎn)工藝中對精密調(diào)阻機有著相當(dāng)高的要求,而且這些電阻的生產(chǎn)工藝只有激光調(diào)阻才能解決,這種激光調(diào)阻機除了基本的測量精度外,對產(chǎn)品的運動精度及定位精度要求也非常高,因此,開發(fā)一種結(jié)構(gòu)簡單、運行成本低、調(diào)阻精度高、功能全面的激光調(diào)阻機具有十分重要的意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,而提供一種結(jié)構(gòu)簡單、運行成本低、調(diào)阻精度高、功能全面的激光調(diào)阻機。
[0004]本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的:一種激光調(diào)阻機,它包括機架,所述的機架從下至上一次設(shè)置有聯(lián)動機構(gòu)、測阻機構(gòu)和調(diào)節(jié)機構(gòu),所述的聯(lián)動機構(gòu)包括底座和與底座連接的工作臺,所述的底座連接有軌道A,所述的軌道A內(nèi)設(shè)置有與底座相配合的螺桿A,所述的螺桿A的右端連接有電機A,底座的上側(cè)面設(shè)置有軌道B,所述的軌道B內(nèi)設(shè)置有與工作臺相配合的螺桿B,所述的螺桿B連接有電機B,所述的測阻機構(gòu)與聯(lián)動機構(gòu)相配合,測阻機構(gòu)設(shè)置有測阻座,所述的測阻座連接有測阻臺,所述的測阻臺的中部設(shè)置有測阻孔,測阻臺的上側(cè)面上設(shè)置有與測阻孔相配合的測阻針,所述的調(diào)節(jié)機構(gòu)與測阻機構(gòu)相配合,調(diào)節(jié)機構(gòu)設(shè)置有外殼,所述的外殼通過調(diào)節(jié)架與機架連接,外殼內(nèi)設(shè)置有調(diào)節(jié)支架,所述的調(diào)節(jié)支架連接有激光調(diào)節(jié)裝置,調(diào)節(jié)機構(gòu)還設(shè)置有與激光調(diào)節(jié)裝置相配合的激光反射裝置和與激光調(diào)節(jié)裝置相配合的攝像頭,所述的激光反射裝置連接有與激光反射裝置相配合的激光發(fā)射裝置,所述的攝像頭連接有成像裝置,所述的成像裝置通過信號線連接有顯示器,所述的顯示器通過信號裝置連接有控制終端,所述的控制終端通過信號線與激光調(diào)節(jié)裝置連接。
[0005]所述的軌道A和軌道B為垂直設(shè)置。
[0006]所述的底座的設(shè)置有與工作臺相配合的限位裝置。
[0007]所述的測阻臺通過卡接的方式與測阻座連接,且通過螺栓固定測阻臺。
[0008]所述的測阻針的數(shù)量為三個,且沿測阻孔圓周均勻分布。
[0009]所述的成像裝置為CCD成像裝置。
[0010]所述的激光調(diào)節(jié)裝置的數(shù)量為兩個,且兩個激光調(diào)節(jié)裝置為垂直設(shè)置。
[0011]所述的激光發(fā)射裝置為雙鏡片組合結(jié)構(gòu)的激光發(fā)射裝置。
[0012]所述的工作臺通過負(fù)壓的方式固定被測片阻。
[0013]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明包括機架,機架下部設(shè)置的聯(lián)動機構(gòu)是由底座和底座連接的工作臺組成,底座連接的軌道A是為了將底座沿軌道A運動,具有限制底座運動軌跡的作用,底座通過電機A帶動螺桿A將底座沿軌道A運動,另外工作臺在電機B的作用下帶動螺桿B將工作臺沿軌道B運動,而且由于軌道A和軌道B為垂直設(shè)置,這種設(shè)置使聯(lián)動機構(gòu)能夠在縱向方向和橫向方向都能運動,從而實現(xiàn)工作臺在平面上任意改變位置,具有使用范圍廣的優(yōu)點,而且在結(jié)構(gòu)上簡單合理、制造成本低,機架上部設(shè)置的測阻機構(gòu)是主要起到測量片阻的阻值,測阻機構(gòu)包括測阻臺,測阻臺的上側(cè)面上設(shè)置的測阻針能夠精確的測量片阻的阻值,在測量片阻的阻值時聯(lián)動機構(gòu)和測阻機構(gòu)相配合達(dá)到測量阻值的作用,機架的上部設(shè)置的調(diào)節(jié)機構(gòu)主要是起到對測量的阻值進行調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)機構(gòu)設(shè)置有調(diào)節(jié)支架,調(diào)節(jié)支架起到支撐激光反射裝置的作用,在使用時激光發(fā)射裝置發(fā)射出激光,激光通過激光調(diào)節(jié)裝置的調(diào)節(jié)后,將調(diào)節(jié)后的激光再反射給激光反射裝置,通過激光反射裝置的激光對片阻進行調(diào)節(jié)阻值,由于激光反射裝置的數(shù)量為兩個,且垂直設(shè)置,這種設(shè)置能夠很好的將激光反射出去,并且能夠根據(jù)需要隨意的調(diào)節(jié)激光的角度,這種設(shè)置在調(diào)節(jié)片阻時精確度高,使用方便,攝像頭的設(shè)置是為了對激光進行實施檢測,并將檢測結(jié)構(gòu)通過成像裝置在顯示器顯示出來,這樣更能直觀的觀察激光的動態(tài),顯示器連接的控制終端起到控制整個調(diào)阻過程,使調(diào)節(jié)的片阻的阻值精確度更高,本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、運行成本低、調(diào)阻精度高、功能全面的優(yōu)點。
【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明一種激光調(diào)阻機的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖2為本發(fā)明一種激光調(diào)阻機的聯(lián)動機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖3為本發(fā)明一種激光調(diào)阻機的測阻機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖中:1、機架2、聯(lián)動機構(gòu)3、測阻機構(gòu)4、調(diào)節(jié)機構(gòu)5、底座6、工作臺7、軌道8、螺桿A 9、電機A 10、軌道B 11、螺桿B 12、電機B 13、測阻座14、測阻臺15、測阻孔16、測阻針17、外殼18、調(diào)節(jié)架19、調(diào)節(jié)支架20、激光調(diào)節(jié)裝置21、激光反射裝置22、攝像頭23、激光發(fā)射裝置24、成像裝置25、顯示器26、控制終端27、限位裝置。
【具體實施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步的說明。
[0019]實施例1
[0020]如圖1、圖2和圖3所示,一種激光調(diào)阻機,它包括機架I,所述的機架I從下至上一次設(shè)置有聯(lián)動機構(gòu)2、測阻機構(gòu)3和調(diào)節(jié)機構(gòu)4,所述的聯(lián)動機構(gòu)2包括底座5和與底座5連接的工作臺6,所述的底座5連接有軌道A7,所述的軌道A7內(nèi)設(shè)置有與底座5相配合的螺桿A8,所述的螺桿A8的右端連接有電機A9,底座5的上側(cè)面設(shè)置有軌道B10,所述的軌道BlO內(nèi)設(shè)置有與工作臺6相配合的螺桿B11,所述的螺桿Bll連接有電機B12,所述的測阻機構(gòu)3與聯(lián)動機構(gòu)2相配合,測阻機構(gòu)3設(shè)置有測阻座13,所述的測阻座13連接有測阻臺14,所述的測阻臺14的中部設(shè)置有測阻孔15,測阻臺14的上側(cè)面上設(shè)置有與測阻孔15相配合的測阻針16,所述的調(diào)節(jié)機構(gòu)4與測阻機構(gòu)3相配合,調(diào)節(jié)機構(gòu)4設(shè)置有外殼17,所述的外殼17通過調(diào)節(jié)架18與機架I連接,外殼17內(nèi)設(shè)置有調(diào)節(jié)支架19,所述的調(diào)節(jié)支架19連接有激光調(diào)節(jié)裝置20,調(diào)節(jié)機構(gòu)4還設(shè)置有與激光調(diào)節(jié)裝置20相配合的激光反射裝置21和與激光調(diào)節(jié)裝置20相配合的攝像頭22,所述的激光反射裝置21連接有與激光反射裝置21相配合的激光發(fā)射23裝置,所述的攝像頭22連接有成像裝置24,所述的成像裝置24通過信號線連接有顯示器25,所述的顯示器25通過信號裝置連接有控制終端26,所述的控制終端26通過信號線與激光調(diào)節(jié)裝置20連接。
[0021]本發(fā)明包括機架,機架下部設(shè)置的聯(lián)動機構(gòu)是由底座和底座連接的工作臺組成,底座連接的軌道A是為了將底座沿軌道A運動,具有限制底座運動軌跡的作用,底座通過電機A帶動螺桿A將底座沿軌道A運動,另外工作臺在電機B的作用下帶動螺桿B將工作臺沿軌道B運動,而且由于軌道A和軌道B為垂直設(shè)置,這種設(shè)置使聯(lián)動機構(gòu)能夠在縱向方向和橫向方向都能運動,從而實現(xiàn)工作臺在平面上任意改變位置,具有使用范圍廣的優(yōu)點,而且在結(jié)構(gòu)上簡單合理、制造成本低,機架上部設(shè)置的測阻機構(gòu)是主要起到測量片阻的阻值,測阻機構(gòu)包括測阻臺,測阻臺的上側(cè)面上設(shè)置的測阻針能夠精確的測量片阻的阻值,在測量片阻的阻值時聯(lián)動機構(gòu)和測阻機構(gòu)相配合達(dá)到測量阻值的作
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