專利名稱:激光器密封接頭的制作方法
本發(fā)明屬激光技術(shù)領域：
現(xiàn)有技術(shù)中，Xecl準分子激光電極引線與器壁(外殼)間的密封結(jié)構(gòu)采用滑動密封，見圖4，(渡部俊太郎，《應用物理》1978、47、№6、560)，其缺點是工藝復雜，真空密封性較差。采用密封圈側(cè)擠密封結(jié)構(gòu)，見圖5，工藝簡單，但密封性較差。直接用環(huán)氧等粘結(jié)劑膠封，雖工藝簡單，密封性良好，但不可拆。
本發(fā)明的目的是研制一種工藝簡單。裝拆方便，在高氣壓差下真空密封性好的用于準分子激光器的電極引線密封接頭和真空接頭。
本發(fā)明為達到上述目的，其特征在于采用盤片螺桿和密封圈等組成直接正向壓緊密封接頭。本發(fā)明的工作原理是通過螺桿的盤片和密封圈，用螺帽壓緊，密封圈和準分子激光器壁表面、螺桿的盤片表面之間直接壓緊，達到密封目的，因壓力大，在高氣壓差下仍保持良好密封。
本發(fā)明與現(xiàn)有準分子激光器電極引線接頭相比具有工藝簡單，裝拆方便和在高氣壓差下真空密封性好的優(yōu)點，還可用于其它真空設備。
圖1是本發(fā)明的真空密封接頭的剖面圖圖2是可接真空橡皮管的帶孔道盤片螺桿剖面圖。
圖3是可接金屬真空管道的帶孔道盤片螺桿的剖面圖。
圖4是滑動真空密封接頭的剖面圖。
圖5是密封圈側(cè)擠真空密封接頭的剖面圖。
本發(fā)明的真空密封接頭，其盤片螺桿(1)采用銅元由車床加工制成，也可用不銹鋼或鋼材表面鍍鎳加工而成。實施例1，內(nèi)密封圈(3)為考慮準分子激光器工作氣體的腐蝕性，可采用氟橡膠或塑料王做成，外密封圈(2)可采用如氯丁橡膠做成，將外殼(5)加工成階梯形，然后將內(nèi)層密封圈、盤片螺桿、外層密封圈(該層僅為增加密封可靠性)，金屬墊片、螺帽(4)相繼排列，另一端亦用螺帽，然后擰緊，顯然密封圈和器壁、盤片之間產(chǎn)生的正向緊密壓緊接觸，達到即使兩側(cè)存在高氣壓差下仍有優(yōu)良真空密封性，(6)(7)為電極引線。實施例2，與橡皮管連接的盤片螺桿(8)，加工成帶孔道，可直接接上真空橡皮管(9)，作為真空管道接頭。實施例3，與金屬管道連接的盤片螺桿(13)，加工成帶孔道，通過密封圈(12)，壓緊螺帽(11)可與金屬管道(10)實現(xiàn)可拆連接，作為真空管道接頭。
權(quán)利要求
1.激光器密封接頭由螺桿、密封圈、壓緊螺帽組成，其特征是將螺桿做成盤片式。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1中所述的接頭，其特征是盤片式螺桿用銅材料、不銹鋼材料或鋼材表面鍍鎳制成。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1或2所述的接頭，其特征在于盤片螺桿在軸向打孔，作為真空管道接頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求
1或2所述的接頭，其特征在于密封圈采用雙層結(jié)構(gòu)，用氟橡膠、塑料王或氯丁橡膠材料做成。
專利摘要
本激光器密封接頭屬于激光技術(shù)領域：
?，F(xiàn)有準分子激光器電極引線采用滑動密封，密封圈側(cè)擠密封式等。這種密封接頭工藝較復雜，真空密封性較差。本發(fā)明的真空密封接頭特征在于采用盤片式螺桿，從而實現(xiàn)對密封圈的正向壓緊密封。這種密封接頭適用于準分子激光器和其它真空設備上的電極引線接頭和真空接頭。
文檔編號H01S3/02GK85201072SQ85201072
公開日1986年1月8日 申請日期1985年4月1日
發(fā)明者劉金綬, 印義言, 張翼翔, 包振華, 肖紅 申請人:南京工學院導出引文BiBTeX, EndNote, RefMan