專利名稱:一種輝光放電清洗結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及磁約束聚變裝置技術(shù)領(lǐng)域：
，尤其涉及一種輝光放電清洗結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在目前的磁約束聚變裝置中，不管是托卡馬克，還是反場箍縮，甚至是仿形器，潔凈的真空室和超高的真空度是磁約束聚變等離子體的產(chǎn)生和運(yùn)行的前期基礎(chǔ)。對(duì)于目前磁約束聚變反應(yīng)的真空室，僅依靠外部的真空抽氣系統(tǒng)難以達(dá)到聚變反應(yīng)所需要的真空度，這要求在外部真空抽氣系統(tǒng)對(duì)真空室抽氣過程中，還需要依靠一些外部輔助的加熱或清洗設(shè)備對(duì)真空室進(jìn)行加熱烘烤和清洗，使吸附在真空室內(nèi)側(cè)表面上的一些雜質(zhì)和氣體釋放出來，通過外部的真空抽氣系統(tǒng)抽走，從而達(dá)到聚變等離子體運(yùn)行所需要的真空度。輝光放電電極就是其中一種放電清洗設(shè)備。通過以真空室為陰極，外部置入陽極，陰、陽極之間電壓升高到輝光放電的破裂電壓時(shí)，引發(fā)低壓氣體電子雪崩現(xiàn)象，使氣體離子在陰極位降區(qū)轟擊陰極表面，使真空室表面的雜質(zhì)和氣體釋放出來，通過外部真空抽氣系統(tǒng)排出，從而達(dá)到對(duì)真空室清洗作用。目前聚變裝置真空室輝光放電清洗結(jié)構(gòu)，基本為固定式結(jié)構(gòu)，一旦其位于真空室內(nèi)電極頭結(jié)構(gòu)受到損壞，聚變反應(yīng)期間無法及時(shí)更換，若要更換，需要開啟真空法蘭破壞原有的真空環(huán)境進(jìn)入更換，而且固定式輝光清洗結(jié)構(gòu)對(duì)真空室清洗在某局部位置存在不均勻性。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型目的就是為了彌補(bǔ)已有技術(shù)的缺陷，提供一種在不破壞原有真空環(huán)境條件下，操作簡單，易更換，清洗均勻的輝光放電清洗結(jié)構(gòu)。
本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
一種輝光放電清洗結(jié)構(gòu)，包括有后套管，所述的后套管右端密封焊接連接一波紋管的左端，后套管的左端通過固定法蘭連接前套管的右端，波紋管的左端焊接固定有連接法蘭，在連接法蘭上固定有芯軸，且芯軸穿進(jìn)波紋管內(nèi)部，在所述的波紋管和后套管的外側(cè)設(shè)有多根導(dǎo)向桿，所述的導(dǎo)向桿的右端固定在連接法蘭上，左端固定在一活動(dòng)法蘭上，所述的活動(dòng)法蘭套在后套管的外側(cè)，在所述的前套管的左端連接有電極頭，所述的電極頭包括有焊接連接的導(dǎo)電極、陶瓷筒和螺紋套，在所述的前套管的密封槽上壓入密封圈，所述的螺紋套的外螺紋與前套管的內(nèi)螺紋螺旋連接，在所述的導(dǎo)電極上通過螺釘固定有絕緣套和電極帽，一根導(dǎo)線的一端插入所述的導(dǎo)電極中，另一端穿過所述的后套管和波紋管并從連接法蘭上穿出。
所述的波紋管為焊接金屬波紋管。
所述的導(dǎo)向桿沿著連接法蘭的圓周均布，且導(dǎo)向桿均布間隔角度為90度。
所述的導(dǎo)線為銅導(dǎo)體，外表面包繞有絕緣材料。
所述的導(dǎo)電極、陶瓷筒和螺紋套通過真空釬焊連接，導(dǎo)電極和螺紋套材料為無氧銅材料。[0010]本實(shí)用新型的工作原理是:本實(shí)用新型是一種在尾部驅(qū)動(dòng)力的作用下，通過波紋管來回伸縮，使電極頭在真空室內(nèi)位置可調(diào)節(jié)和在真空室窗口內(nèi)可對(duì)電極頭方便進(jìn)行更換的結(jié)構(gòu)，電極頭通過前套管與后套管可拆卸式固定法蘭連接，導(dǎo)線與電極頭中的導(dǎo)電極為插入式連接。需要更換時(shí)，電極頭在尾部的驅(qū)動(dòng)力作用下退縮到真空室窗口內(nèi)通過插板閥切斷內(nèi)部真空與外界大氣的接觸，使電極頭在真空室窗口內(nèi)進(jìn)行更換，而且不需要破壞真空室原有的真空環(huán)境。另外，在清洗真空室壁過程中，可以通過調(diào)節(jié)電極頭在真空室中的位置，使真空室壁清洗效果更加均勻，更加徹底。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:本實(shí)用新型提出使用一種可往復(fù)調(diào)節(jié)的輝光放電清洗結(jié)構(gòu)，可以既有效的避免破壞原有真空環(huán)境方便的更換電極頭的問題，又可以通過調(diào)節(jié)輝光放電電極頭在真空室中的位置，保持真空室輝光放電清洗均勻性，同時(shí)具有操作簡單，安裝、拆卸方便，易更換的特點(diǎn)。


圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)剖視圖。
圖3為電極頭剖視放大圖。
具體實(shí)施方式
如圖1、2、3所示，一種輝光放電清洗結(jié)構(gòu)，包括有后套管1，所述的后套管I右端密封焊接連接一波紋管2的左端，后套管I的左端通過固定法蘭15連接前套管3的右端，波紋管2的左端焊接固定有連接法蘭4，在連接法蘭4上固定有芯軸5，且芯軸5穿進(jìn)波紋管2內(nèi)部，在所述的波紋管2和后套管I的外側(cè)設(shè)有多根導(dǎo)向桿6，所述的導(dǎo)向桿6的右端固定在連接法蘭4上，左端固定在一活動(dòng)法蘭7上，所述的活動(dòng)法蘭7套在后套管I的外側(cè)，在所述的前套管3的左端連接有電極頭8，所述的電極頭8包括有焊接連接的導(dǎo)電極9、陶瓷筒10和螺紋套11，在所述的前套管3的密封槽上壓入密封圈，所述的螺紋套11的外螺紋與前套管3的內(nèi)螺紋螺旋連接，在所述的導(dǎo)電極9上通過螺釘固定有絕緣套12和電極帽13，一根導(dǎo)線14的一端插入所述的導(dǎo)電極9中，另一端穿過所述的后套管I和波紋管2并從連接法蘭4上穿出。
所述的波紋管2為焊接金屬波紋管。
所述的導(dǎo)向桿6沿著連接法蘭4的圓周均布，且導(dǎo)向桿6均布間隔角度為90度。
所述的導(dǎo)線14為銅導(dǎo)體，外表面包繞有絕緣材料。
所述的導(dǎo)電極9、陶瓷筒10和螺紋套11通過真空釬焊連接，導(dǎo)電極9和螺紋套11材料為無氧銅材料。
權(quán)利要求
1.一種輝光放電清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括有后套管，所述的后套管右端密封焊接連接一波紋管的左端，后套管的左端通過固定法蘭連接前套管的右端，波紋管的左端焊接固定有連接法蘭，在連接法蘭上固定有芯軸，且芯軸穿進(jìn)波紋管內(nèi)部，在所述的波紋管和后套管的外側(cè)設(shè)有多根導(dǎo)向桿，所述的導(dǎo)向桿的右端固定在連接法蘭上，左端固定在一活動(dòng)法蘭上，所述的活動(dòng)法蘭套在后套管的外側(cè)，在所述的前套管的左端連接有電極頭，所述的電極頭包括有焊接連接的導(dǎo)電極、陶瓷筒和螺紋套，在所述的前套管的密封槽上壓入密封圈，所述的螺紋套的外螺紋與前套管的內(nèi)螺紋螺旋連接，在所述的導(dǎo)電極上通過螺釘固定有絕緣套和電極帽，一根導(dǎo)線的一端插入所述的導(dǎo)電極中，另一端穿過所述的后套管和波紋管并從連接法蘭上穿出。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的一種輝光放電清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的波紋管為焊接金屬波紋管。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的一種輝光放電清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的導(dǎo)向桿沿著連接法蘭的圓周均布，且導(dǎo)向桿均布間隔角度為90度。
4.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的一種輝光放電清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的導(dǎo)線為銅導(dǎo)體，外表面包繞有絕緣材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的一種輝光放電清洗結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的導(dǎo)電極、陶瓷筒和螺紋套通過真空釬焊連接，導(dǎo)電極和螺紋套材料為無氧銅材料。
專利摘要
本實(shí)用新型公開了一種輝光放電清洗結(jié)構(gòu)，包括有后套管，所述的后套管右端密封焊接連接一波紋管的左端，后套管的左端通過固定法蘭連接前套管的右端，波紋管的左端焊接固定有連接法蘭，在連接法蘭上固定有芯軸，且芯軸穿進(jìn)波紋管內(nèi)部，在所述的波紋管和后套管的外側(cè)設(shè)有多根導(dǎo)向桿，所述的導(dǎo)向桿的右端固定在連接法蘭上，左端固定在一活動(dòng)法蘭上，所述的活動(dòng)法蘭套在后套管的外側(cè)，在所述的前套管的左端連接有電極頭。本實(shí)用新型可以既有效的避免破壞原有真空環(huán)境方便的更換電極頭的問題，又可以通過調(diào)節(jié)輝光放電電極頭在真空室中的位置，保持真空室輝光放電清洗均勻性，同時(shí)具有操作簡單，安裝、拆卸方便，易更換的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)G21B1/25GKCN203165843SQ201320056133
公開日2013年8月28日 申請(qǐng)日期2013年1月31日
發(fā)明者楊慶喜, 陳肇璽, 宋云濤 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院等離子體物理研究所導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan