本技術(shù)涉及晶圓，具體為一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置。

背景技術(shù)：

1、晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)是指將半導(dǎo)體材料(如硅、氮化鎵等)通過高溫處理，使其形成具有特定電學(xué)和結(jié)構(gòu)性質(zhì)的晶體結(jié)構(gòu)。燒結(jié)是半導(dǎo)體工藝中的關(guān)鍵步驟，用于改善晶體的純度、結(jié)晶度和電學(xué)特性，從而滿足半導(dǎo)體器件的要求。而晶圓燒結(jié)裝置是用于將混合材料進(jìn)行燒結(jié)的設(shè)備，通常在真空或惰性氣氛中操作。晶圓燒結(jié)裝置通常將混合材料放置在一個(gè)容器內(nèi)，在真空或惰性氣氛中進(jìn)行燒結(jié)過程。在高溫條件下，混合材料的顆粒會(huì)因?yàn)闊崮艿淖饔枚l(fā)生結(jié)合，形成形狀良好、密度均勻的塊狀體。

2、但是在晶圓成型完成后，通常會(huì)面臨取出的挑戰(zhàn)，因?yàn)闊Y(jié)后的塊狀體可能與容器內(nèi)壁粘附在一起，需要采取適當(dāng)?shù)姆椒▉硎咕A容易取出，而目前常見的方法是在容器內(nèi)壁涂覆一層非粘附性材料，以減少晶圓與容器內(nèi)壁的粘附，但是還需工作人員將容器翻面才能將其取出，從而影響生產(chǎn)脫模效率。

3、因此，有必要提供一種新的晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置解決上述技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種具有方便脫模的晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置。

2、本實(shí)用新型提供的晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，包括：真空燒結(jié)爐體，還包括：設(shè)置于真空燒結(jié)爐體頂部的抽氣系統(tǒng)，所述真空燒結(jié)爐體內(nèi)腔的兩側(cè)均設(shè)置有加熱裝置，所述真空燒結(jié)爐體前側(cè)的左側(cè)通過軸銷固定連接有門體；設(shè)置于所述真空燒結(jié)爐體內(nèi)腔后側(cè)兩側(cè)的支撐板，所述支撐板的兩側(cè)均開設(shè)有透氣槽，兩個(gè)支撐板內(nèi)腔的頂部和底部均設(shè)置有成型容器，所述成型容器的內(nèi)腔活動(dòng)連接有隔板；設(shè)置于所述成型容器內(nèi)腔底部的輔助組件，所述成型容器前側(cè)的兩側(cè)均固定連接有連接板，所述連接板的后側(cè)固定連接有第一卡板，所述門體的前側(cè)固定連接有控制器本體。

3、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，優(yōu)選的，所述支撐板的一側(cè)固定連接有加固板，所述加固板的后側(cè)與真空燒結(jié)爐體固定連接。

4、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，優(yōu)選的，所述支撐板遠(yuǎn)離成型容器的一側(cè)固定連接有連接殼，所述連接殼的內(nèi)腔設(shè)置有彈簧，兩個(gè)彈簧相反的一側(cè)均與連接殼的內(nèi)壁固定連接，兩個(gè)彈簧相對的一側(cè)均固定連接有第二卡板。

5、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，優(yōu)選的，所述第二卡板的前側(cè)固定連接有推板，所述推板的前側(cè)貫穿至連接板的外側(cè)，所述連接板的前側(cè)開設(shè)有配合推板使用的開口。

6、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，優(yōu)選的，兩個(gè)第二卡板相反的一側(cè)均固定連接有滑套，所述滑套的內(nèi)腔設(shè)置有限位桿，所述限位桿的兩端分別與連接殼和支撐板固定連接。

7、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，優(yōu)選的，所述輔助組件包括螺紋套，所述螺紋套的后側(cè)與成型容器固定連接，所述螺紋套的內(nèi)腔設(shè)置有雙向絲桿，所述雙向絲桿表面的前側(cè)和后側(cè)均設(shè)置有螺紋環(huán)，所述螺紋環(huán)的兩側(cè)均固定連接有導(dǎo)向板，所述導(dǎo)向板遠(yuǎn)離螺紋環(huán)的一側(cè)固定連接有滑動(dòng)塊，所述滑動(dòng)塊的內(nèi)腔設(shè)置有滑桿，所述滑桿的兩側(cè)均與成型容器的內(nèi)壁固定連接，所述滑動(dòng)塊的頂部通過鉸座固定連接有推桿，所述推桿遠(yuǎn)離滑動(dòng)塊的一側(cè)通過鉸座與隔板固定連接，所述雙向絲桿的前側(cè)固定連接有扭塊。

8、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，優(yōu)選的，所述雙向絲桿的表面套設(shè)有軸承座，所述軸承座的底部與成型容器固定連接。

9、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

10、該晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，本實(shí)用新型當(dāng)使用者需要將成型的晶圓取出時(shí)，首先通過扭動(dòng)扭塊帶動(dòng)雙向絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，在雙向絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)會(huì)使兩個(gè)螺紋環(huán)相對移動(dòng)，在螺紋環(huán)移動(dòng)時(shí)會(huì)帶動(dòng)導(dǎo)向板以及滑動(dòng)塊在滑桿的表面移動(dòng)，此時(shí)滑動(dòng)塊通過鉸座使推桿帶動(dòng)隔板升起，從而將成狀的晶圓出模，解決了現(xiàn)有的燒結(jié)裝置，在燒結(jié)成型之后不方便對晶圓脫模的問題。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，其特征在于，包括真空燒結(jié)爐體(1)，還包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，其特征在于：所述支撐板(5)的一側(cè)固定連接有加固板(13)，所述加固板(13)的后側(cè)與真空燒結(jié)爐體(1)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，其特征在于：所述支撐板(5)遠(yuǎn)離成型容器(7)的一側(cè)固定連接有連接殼(14)，所述連接殼(14)的內(nèi)腔設(shè)置有彈簧(15)，兩個(gè)彈簧(15)相反的一側(cè)均與連接殼(14)的內(nèi)壁固定連接，兩個(gè)彈簧(15)相對的一側(cè)均固定連接有第二卡板(16)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，其特征在于：所述第二卡板(16)的前側(cè)固定連接有推板(17)，所述推板(17)的前側(cè)貫穿至連接板(10)的外側(cè)，所述連接板(10)的前側(cè)開設(shè)有配合推板(17)使用的開口。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，其特征在于：兩個(gè)第二卡板(16)相反的一側(cè)均固定連接有滑套(18)，所述滑套(18)的內(nèi)腔設(shè)置有限位桿(19)，所述限位桿(19)的兩端分別與連接殼(14)和支撐板(5)固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，其特征在于：所述輔助組件(9)包括螺紋套(901)，所述螺紋套(901)的后側(cè)與成型容器(7)固定連接，所述螺紋套(901)的內(nèi)腔設(shè)置有雙向絲桿(902)，所述雙向絲桿(902)表面的前側(cè)和后側(cè)均設(shè)置有螺紋環(huán)(903)，所述螺紋環(huán)(903)的兩側(cè)均固定連接有導(dǎo)向板(904)，所述導(dǎo)向板(904)遠(yuǎn)離螺紋環(huán)(903)的一側(cè)固定連接有滑動(dòng)塊(905)，所述滑動(dòng)塊(905)的內(nèi)腔設(shè)置有滑桿(906)，所述滑桿(906)的兩側(cè)均與成型容器(7)的內(nèi)壁固定連接，所述滑動(dòng)塊(905)的頂部通過鉸座固定連接有推桿(907)，所述推桿(907)遠(yuǎn)離滑動(dòng)塊(905)的一側(cè)通過鉸座與隔板(8)固定連接，所述雙向絲桿(902)的前側(cè)固定連接有扭塊(908)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，其特征在于：所述雙向絲桿(902)的表面套設(shè)有軸承座(909)，所述軸承座(909)的底部與成型容器(7)固定連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，該晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置，包括真空燒結(jié)爐體，還包括：設(shè)置于真空燒結(jié)爐體頂部的抽氣系統(tǒng)，所述真空燒結(jié)爐體內(nèi)腔的兩側(cè)均設(shè)置有加熱裝置，所述真空燒結(jié)爐體前側(cè)的左側(cè)通過軸銷固定連接有門體；設(shè)置于所述真空燒結(jié)爐體內(nèi)腔后側(cè)兩側(cè)的支撐板，所述支撐板的兩側(cè)均開設(shè)有透氣槽，兩個(gè)支撐板內(nèi)腔的頂部和底部均設(shè)置有成型容器，所述成型容器的內(nèi)腔活動(dòng)連接有隔板；設(shè)置于所述成型容器內(nèi)腔底部的輔助組件，所述成型容器前側(cè)的兩側(cè)均固定連接有連接板，所述連接板的后側(cè)固定連接有第一卡板。本技術(shù)提供的晶圓生產(chǎn)的燒結(jié)裝置解決了現(xiàn)有的燒結(jié)裝置，在燒結(jié)成型之后不方便對晶圓脫模的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：李春財(cái),張吉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇晶利恒半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240222
技術(shù)公布日：2025/1/6