本公開總體上涉及脈沖激光器和用于脈沖激光器的可調諧太赫茲(thz)突發(fā)模式。

背景技術：

1、對于超短脈沖(usp)激光器，諸如用于材料處理的那些激光器，常見的操作模式是所謂的“突發(fā)模式”。在突發(fā)模式下，發(fā)射一組時間間隔很近的脈沖(通常以規(guī)則的頻率/方案)。突發(fā)內的脈沖組的每個脈沖之間的時間間隔可以小于脈沖組之間的時間間隔。

技術實現(xiàn)思路

1、在一些實施方式中，可調諧脈沖突發(fā)模式激光器包括光束分離光學元件；多個光程差(opd)調諧元件；多個光學放大器；以及光束組合光學元件，其中：所述光束分離光學元件被配置為將輸入光束分離為多個光束，所述多個光束將經(jīng)由多個光路從所述光束分離光學元件傳播到所述光束組合光學元件，所述多個opd調諧元件分別設置在所述多個光路上，并且被配置為修改所述多個光路的相應長度，所述多個光學放大器分別設置在所述多個光路上，并且被配置為放大所述多個光束的相應光功率，并且所述光束組合光學元件被配置為將所述多個光束組合成包括多個脈沖光束的輸出光束，其中，所述多個脈沖光束的特定脈沖光束包括分別來自所述多個光束的多個細光束，并且其中，所述多個細光束以太赫茲(thz)突發(fā)形式提供。

2、在一些實施方式中，可調諧脈沖突發(fā)模式激光器包括光束分離光學元件；多個opd調諧元件；以及光束組合光學元件，其中：所述光束分離光學元件被配置為將輸入光束分離為多個光束，所述多個光束將經(jīng)由多個光路從所述光束分離光學元件傳播到所述光束組合光學元件，所述多個opd調諧元件分別設置在所述多個光路中，并且所述光束組合光學元件被配置為將所述多個光束組合成包括脈沖光束的輸出光束，所述脈沖光束包括分別來自所述多個光束的多個細光束，其中，所述多個細光束以突發(fā)形式提供，并且其中，所述突發(fā)內的連續(xù)細光束之間的時間量小于或等于1皮秒(ps)。

3、在一些實施方式中，可調諧脈沖突發(fā)模式激光器包括光束分離光學元件；多個opd調諧元件；以及光束組合光學元件，其中：所述光束分離光學元件被配置為將輸入光束分離成多個光束，所述多個opd調諧元件分別設置在所述多個光束的多個光路上，并且所述光束組合光學元件被配置為將所述多個光束組合成輸出光束，所述輸出光束包括包含多個細光束的脈沖光束，并且其中，所述多個細光束以可調諧thz突發(fā)形式提供。

技術特征：

1.一種可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述光束分離光學元件包括以下至少一個：

3.根據(jù)權利要求1所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述光束組合光學元件包括以下至少一個：

4.根據(jù)權利要求1所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述多個opd調諧元件包括多個細opd調諧元件，

5.根據(jù)權利要求4所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述多個細opd調諧元件中的細opd調諧元件包括以下至少一個：

6.根據(jù)權利要求1所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述多個opd調諧元件包括多個粗opd調諧元件，

7.根據(jù)權利要求6所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述多個粗opd調諧元件中的粗opd調諧元件包括以下至少一個：

8.根據(jù)權利要求1所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述多個opd調諧元件包括多個細和粗opd調諧元件，

9.根據(jù)權利要求8所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述多個細和粗opd調諧元件中的細和粗opd調諧元件包括以下至少一個：

10.根據(jù)權利要求1所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述光束分離光學元件被配置為將所述輸入光束分離成第一數(shù)量的光束，并且所述光束組合光學元件被配置為將所述第一數(shù)量的光束中的每個光束分離成第二數(shù)量的細光束以形成所述輸出光束，

11.根據(jù)權利要求10所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述輸出光束的特定脈沖光束包括第三數(shù)量的細光束，

12.根據(jù)權利要求11所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述特定脈沖光束的光功率等于所述輸出光束的總光功率除以所述第三數(shù)量。

13.一種可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，包括：

14.根據(jù)權利要求13所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述突發(fā)是可調諧太赫茲thz突發(fā)。

15.根據(jù)權利要求13所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述光束分離光學元件和所述光束組合光學元件中的每一個包括以下至少一個：

16.根據(jù)權利要求13所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述多個opd調諧元件中的每個opd調諧元件被配置為在從0微米μm到299μm的調諧范圍內修改所述多個光路中的光路的長度。

17.根據(jù)權利要求16所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述多個opd調諧元件中的opd調諧元件包括以下至少一個：

18.一種可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，包括：

19.根據(jù)權利要求18所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述可調諧thz突發(fā)內的連續(xù)細光束之間的時間量小于或等于1皮秒ps。

20.根據(jù)權利要求18所述的可調諧脈沖突發(fā)模式激光器，其中，所述多個opd調諧元件中的每個opd調諧元件被配置為修改所述多個光路中的光路的長度，以允許可調諧thz突發(fā)內的連續(xù)細光束之間的時間量小于或等于1皮秒ps。

技術總結
一種可調諧脈沖突發(fā)模式激光器包括光束分離光學元件；多個光程差(OPD)調諧元件；多個光學放大器；和光束組合光學元件。光束分離光學元件被配置為將輸入光束分離成將經(jīng)由多個光路傳播的多個光束。多個OPD調諧元件被配置為修改多個光路的相應長度。多個光學放大器被配置為放大多個光束的相應光功率。光束組合光學元件被配置為將多個光束組合成包括多個脈沖光束的輸出光束，其中特定脈沖光束包括分別來自多個光束的多個細光束，并且其中多個細光束以太赫茲(THz)突發(fā)形式提供。

技術研發(fā)人員：S·皮埃羅特,A·歐勒,F·布魯納,B·赫曼
受保護的技術使用者：朗美通經(jīng)營有限責任公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/2