本技術(shù)涉及一種晶圓片柔性理片裝置，屬于晶圓理片。

背景技術(shù)：

1、目前，在當(dāng)前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的晶圓檢測領(lǐng)域，由于晶圓片在盒內(nèi)的排列位置各異，會導(dǎo)致機(jī)械手在取片過程中晶圓片的位置不同。這種不同位置使得晶圓片在放置到尋邊器后，可能無法準(zhǔn)確尋找到邊緣，甚至產(chǎn)生晶圓片被甩出的現(xiàn)象，從而需要進(jìn)行理片。

2、在對現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行檢索之后,發(fā)現(xiàn)公開號為cn218215246u的中國專利披露了一種晶圓理片器，該專利提供了使用晶圓花籃放置晶圓片，但在使用過程中發(fā)現(xiàn)，晶圓片放入取出是硬性的過程，因此在使用機(jī)械手取片，容易導(dǎo)致一些晶圓片出現(xiàn)崩角、碎片的情況出現(xiàn)，無法保護(hù)好晶圓片，這不僅影響了下道工序的進(jìn)行，還要從頭再來制作晶圓片，不止經(jīng)濟(jì)損失，還費(fèi)時費(fèi)力。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種晶圓片柔性理片裝置，它能夠在取出和放入晶圓片的過程中減少硬性接觸，避免晶圓片產(chǎn)生崩角、碎片等破壞，減小經(jīng)濟(jì)損失并提高效率。

2、為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案是：一種晶圓片柔性理片裝置，包括：

3、底座；

4、驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件安裝在所述底座上；

5、旋轉(zhuǎn)理片架，所述旋轉(zhuǎn)理片架旋轉(zhuǎn)安裝在所述底座上，所述旋轉(zhuǎn)理片架上設(shè)有適于放置晶圓片的承載平面；

6、所述驅(qū)動組件適于帶動所述旋轉(zhuǎn)理片架在所述底座上旋轉(zhuǎn)；

7、隨動彈性結(jié)構(gòu)，所述隨動彈性結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述底座上，所述隨動彈性結(jié)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)理片架相連，所述隨動彈性結(jié)構(gòu)適于減緩所述旋轉(zhuǎn)理片架旋轉(zhuǎn)，并且在所述旋轉(zhuǎn)理片架旋轉(zhuǎn)后帶動所述旋轉(zhuǎn)理片架回位。

8、進(jìn)一步，為了獲取旋轉(zhuǎn)理片架的旋轉(zhuǎn)位置，晶圓片柔性理片裝置還包括到位感應(yīng)結(jié)構(gòu)，所述到位感應(yīng)結(jié)構(gòu)安裝在所述底座上；

9、所述到位感應(yīng)結(jié)構(gòu)適于檢測所述旋轉(zhuǎn)理片架在所述底座上的旋轉(zhuǎn)位置。

10、進(jìn)一步，提供了一種到位感應(yīng)結(jié)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)，所述到位感應(yīng)結(jié)構(gòu)包括：

11、二個位置感應(yīng)器，二個所述位置感應(yīng)器分別安裝在所述底座上對應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)理片架的旋轉(zhuǎn)極限位置；

12、感應(yīng)器觸發(fā)件，所述感應(yīng)器觸發(fā)件安裝在所述旋轉(zhuǎn)理片架上，所述感應(yīng)器觸發(fā)件適于在所述旋轉(zhuǎn)理片架旋轉(zhuǎn)到位時觸發(fā)對應(yīng)的所述位置感應(yīng)器。

13、進(jìn)一步，為了實現(xiàn)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)理片架旋轉(zhuǎn)，所述驅(qū)動組件包括：

14、驅(qū)動源，所述驅(qū)動源安裝在所述底座上；

15、傳動機(jī)構(gòu)，所述傳動機(jī)構(gòu)分別與所述驅(qū)動源與所述旋轉(zhuǎn)理片架相連；

16、所述驅(qū)動源適于通過所述傳動機(jī)構(gòu)帶動所述旋轉(zhuǎn)理片架旋轉(zhuǎn)。

17、進(jìn)一步，提供了一種驅(qū)動源的具體類型，所述驅(qū)動源為電機(jī)。

18、進(jìn)一步，為了能夠?qū)崿F(xiàn)驅(qū)動源的驅(qū)動力的傳動，所述傳動機(jī)構(gòu)包括：

19、主動輪，所述主動輪安裝在所述驅(qū)動源的輸出端上；

20、從動輪，所述從動輪安裝在所述旋轉(zhuǎn)理片架上；

21、傳動帶,所述傳動帶環(huán)繞所述在主動輪和所述從動輪上；

22、所述主動輪適于通過所述傳動帶帶動所述從動輪旋轉(zhuǎn)。

23、進(jìn)一步，所述旋轉(zhuǎn)理片架包括：

24、旋轉(zhuǎn)柱,所述旋轉(zhuǎn)柱旋轉(zhuǎn)安裝在所述底座上；

25、框架,所述框架固定設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)柱上,所述承載平面設(shè)置在所述框架上。

26、進(jìn)一步，為了限制旋轉(zhuǎn)理片架的旋轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)理片架還包括：

27、限位件，所述限位件安裝在所述底座上，所述限位件適于在所述旋轉(zhuǎn)柱旋轉(zhuǎn)時與所述框架抵接以限制所述旋轉(zhuǎn)柱的旋轉(zhuǎn)范圍。

28、進(jìn)一步，為了實現(xiàn)減緩旋轉(zhuǎn)理片架旋轉(zhuǎn)并回位，所述隨動彈性結(jié)構(gòu)包括：

29、固定柱，所述固定柱固定安裝在所述底座上；

30、連接柱，所述連接柱固定安裝在所述旋轉(zhuǎn)理片架上；

31、彈簧，所述彈簧兩端分別與所述固定柱和所述連接柱相連；

32、在所述旋轉(zhuǎn)理片架轉(zhuǎn)動時，所述彈簧適于減緩所述旋轉(zhuǎn)理片架的旋轉(zhuǎn)，并且在旋轉(zhuǎn)結(jié)束后帶動所述旋轉(zhuǎn)理片架回位。

33、采用了上述技術(shù)方案，本實用新型具有以下的有益效果：

34、在本實用新型的使用過程中，首先將晶圓片放置于旋轉(zhuǎn)理片架的承載平面上。隨后，在機(jī)械手的取放片操作進(jìn)程中，以及驅(qū)動組件帶動旋轉(zhuǎn)理片架進(jìn)行旋轉(zhuǎn)過程中，由于旋轉(zhuǎn)理片架本身具有旋轉(zhuǎn)能力，結(jié)合隨動彈性結(jié)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)理片架的聯(lián)動設(shè)計，使得旋轉(zhuǎn)理片架在滿足取片和放片操作需求的同時，帶有一定的柔性。

35、隨動彈性結(jié)構(gòu)帶來的這種柔性具有減緩旋轉(zhuǎn)理片架旋轉(zhuǎn)速度的功能，并且在旋轉(zhuǎn)結(jié)束后，幫助旋轉(zhuǎn)理片架回位。這種操作方式極大地降低了晶圓片在取出和放入過程中因硬性接觸導(dǎo)致的崩角、碎片等破壞性現(xiàn)象的產(chǎn)生，從而有效解決了硬性放片和取片所導(dǎo)致的問題。

36、此外，本實用新型在底座上設(shè)置了到位感應(yīng)結(jié)構(gòu)。到位感應(yīng)結(jié)構(gòu)能夠檢測旋轉(zhuǎn)理片架在底座上的旋轉(zhuǎn)位置，并在旋轉(zhuǎn)到位時進(jìn)行即時反饋，提升了操作的執(zhí)行效率。

37、綜上所述，本實用新型實現(xiàn)了在取出和放入晶圓片的過程中減少硬性接觸，避免晶圓片產(chǎn)生崩角、碎片等破壞，減小經(jīng)濟(jì)損失，增加了操作的安全性和效率。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓片柔性理片裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片柔性理片裝置，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓片柔性理片裝置，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片柔性理片裝置，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓片柔性理片裝置，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓片柔性理片裝置，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片柔性理片裝置，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓片柔性理片裝置，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片柔性理片裝置，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種晶圓片柔性理片裝置，包括：底座、驅(qū)動組件、旋轉(zhuǎn)理片架和隨動彈性結(jié)構(gòu)，所述驅(qū)動組件安裝在所述底座上；所述旋轉(zhuǎn)理片架旋轉(zhuǎn)安裝在所述底座上，所述旋轉(zhuǎn)理片架上設(shè)有適于放置晶圓片的承載平面；所述驅(qū)動組件適于帶動所述旋轉(zhuǎn)理片架在所述底座上旋轉(zhuǎn)；所述隨動彈性結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述底座上，所述隨動彈性結(jié)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)理片架相連，所述隨動彈性結(jié)構(gòu)適于減緩所述旋轉(zhuǎn)理片架旋轉(zhuǎn)，并且在所述旋轉(zhuǎn)理片架旋轉(zhuǎn)后帶動所述旋轉(zhuǎn)理片架回位，本技術(shù)能夠在取出和放入晶圓片的過程中減少硬性接觸，避免晶圓片產(chǎn)生崩角、碎片等破壞，減小經(jīng)濟(jì)損失并提高效率。

技術(shù)研發(fā)人員：劉軍,張端彬,張彥鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇維普光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231225
技術(shù)公布日：2025/1/6