技術特征：

技術總結
本發(fā)明提供了一種超結金屬氧化物場效應晶體管。所述超結金屬氧化物場效應晶體管包括N型襯底、形成于N型襯底表面的N型外延層、形成于N型外延層內部的P型深阱、形成于P型深阱上方的P型低摻雜區(qū)、形成于所述N型襯底及所述P型低摻雜區(qū)上方的第一氧化層、形成于所述N型外延層內且夾于所述P型深阱與所述N型襯底之間的第二氧化層、位于所述N型外延層內且連接于所述第一氧化層與第二氧化層之間的第三氧化層、及形成于所述第三氧化層中且與所述第一氧化層相接的TEOS結構。

技術研發(fā)人員：龍霞
受保護的技術使用者：龍霞
技術研發(fā)日：2017.07.12
技術公布日：2017.10.24