本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,具體而言,涉及在電阻器上形成保護(hù)層的方法及由該方法制得的電阻器。
背景技術(shù):
電阻器是電路中應(yīng)用最為廣泛的無(wú)源器件之一,在電路中主要起到電源去耦、晶體管工作點(diǎn)偏置、網(wǎng)絡(luò)匹配以及間級(jí)耦合等作用。隨著近年來(lái)收集、筆記本電腦等小型電子設(shè)備的發(fā)展,對(duì)于廣泛應(yīng)用于電子電路中的片式電阻器等小型電子元件的需求也在日益增加。
在片式電阻器中,保護(hù)層是覆蓋在電阻體上,從而起到保護(hù)電阻的作用,一方面,保護(hù)層能夠起到機(jī)械保護(hù)的作用,另一方面,保護(hù)層也能夠使得電阻體表面具有絕緣性,避免電阻與鄰近的導(dǎo)體接觸而產(chǎn)生故障。
在現(xiàn)有的片式電阻器制備方法中,采用光刻工藝進(jìn)行保護(hù)層的制備步驟為勻膠-前烘-光刻-顯影-后烘,即通過(guò)一次成型使得保護(hù)層的厚度達(dá)到工藝要求,然后再進(jìn)行高溫固化。
雖然按照現(xiàn)有技術(shù)的方法能夠得到膜厚符合工藝標(biāo)準(zhǔn)的片式電阻器保護(hù)層,但以這種單層保護(hù)層在覆蓋電阻器圖形的位置處會(huì)存在許多漏洞,也無(wú)法實(shí)現(xiàn)電阻體完全的覆蓋和保護(hù)。而這也會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品在進(jìn)行掛鍍后,漏洞位置的電阻體裸露,并產(chǎn)生金屬電鍍層,從而使得產(chǎn)品溫度漂移系數(shù)變大,產(chǎn)品的整體合格率偏低。
有鑒于此,特提出本發(fā)明。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明的第一目的在于提供一種在電阻器上形成保護(hù)層的方法,所述方法中,通過(guò)采用多次勻膠以及高溫固化的方法,從而能夠使得保護(hù)層干燥膜的厚度達(dá)到工藝要求,同時(shí)也不會(huì)產(chǎn)生漏洞或未覆蓋電阻體的區(qū)域,進(jìn)而不僅能夠解決電鍍時(shí)漏洞裸漏部位產(chǎn)生電鍍層的問(wèn)題,同時(shí)也能夠有效改善保護(hù)層的外觀。
本發(fā)明的第二目的在于提供一種由本發(fā)明方法所制備的電阻器。
本發(fā)明的第三個(gè)目的在于提供包含本發(fā)明電阻器的電子器件和/或裝置。
為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述目的,特采用以下技術(shù)方案:
一種在電阻器上形成保護(hù)層的方法,所述方法中,通過(guò)多次勻膠、前烘、光刻、顯影以及后烘處理,并在每層保護(hù)層形成后進(jìn)行高溫固化以形成多層保護(hù)層,累加成為電阻器的保護(hù)層。
可選的,本發(fā)明所述在電阻器上形成保護(hù)層的方法中,所述多層保護(hù)層為2~10層保護(hù)層;
優(yōu)選的,所述多層保護(hù)層為2~5層保護(hù)層。
可選的,本發(fā)明所述在電阻器上形成保護(hù)層的方法中,所述多層保護(hù)層為2層保護(hù)層。
可選的,本發(fā)明所述在電阻器上形成保護(hù)層的方法中,第一次勻膠的方法包括如下步驟:首先以400~800r/min的轉(zhuǎn)速甩膠8~12s;然后,以1200~1800r/min的轉(zhuǎn)速甩膠8~12s;最后以2200~2800r/min的轉(zhuǎn)速甩膠8~12s。
可選的,本發(fā)明所述在電阻器上形成保護(hù)層的方法中,第二次勻膠的方法包括如下步驟:首先以1800~2200r/min的轉(zhuǎn)速甩膠8~12s,然后再以2300~2700r/min的轉(zhuǎn)速甩膠8~12s。
可選的,本發(fā)明所述在電阻器上形成保護(hù)層的方法中,所述高溫固化為階段升溫高溫固化。
可選的,本發(fā)明所述在電阻器上形成保護(hù)層的方法中,所述高溫固化包括如下步驟:首先在60~90℃條件下處理20~60min;然后在100~120℃條件下處理20~60min;最后在150~180℃條件下處理20~60min。
同時(shí),本發(fā)明還提供了由本發(fā)明方法所制得的電阻器。
可選的,本發(fā)明所述電阻器為合金箔電阻器;優(yōu)選的,所述電阻器為高精度片式合金箔電阻器。
進(jìn)一步的,本發(fā)明也提供了包含本發(fā)明所述電阻器的電子器件和/或裝置。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果為:
本發(fā)明中,通過(guò)采用多次勻膠成型的方法,并累加形成保護(hù)層,從而避免了保護(hù)層出現(xiàn)部分裸露,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)電阻體的充分覆蓋,提高了電阻器的穩(wěn)定性;
同時(shí),本發(fā)明中通過(guò)在每層保護(hù)層成型后,采用階段升溫的方法對(duì)其進(jìn)行固化,也能夠避免保護(hù)層表面出現(xiàn)不平整的裂紋,從而使得保護(hù)層的外觀更加整齊和美觀。
附圖說(shuō)明
為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,以下將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹。
圖1為實(shí)施例1高精度片式合金箔電阻器;
圖2為對(duì)比例1高精度片式合金箔電阻器;
圖3為對(duì)比例2高精度片式合金箔電阻器。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方案進(jìn)行詳細(xì)描述,但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將會(huì)理解,下列實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明,而不應(yīng)視為限制本發(fā)明的范圍。實(shí)施例中未注明具體條件者,按照常規(guī)條件或制造商建議的條件進(jìn)行。所用試劑或儀器未注明生產(chǎn)廠商者,均為可以通過(guò)市售購(gòu)買(mǎi)獲得的常規(guī)產(chǎn)品。
目前,電阻器保護(hù)層主要還是通過(guò)一次成型的方法在電阻體上形成,然而,在進(jìn)行保護(hù)層勻膠的過(guò)程中,勻附膠體中會(huì)出現(xiàn)肉眼無(wú)法發(fā)現(xiàn)的細(xì)小氣泡,在高溫前烘以及后烘等過(guò)程中,這些氣泡會(huì)遇熱釋放形成細(xì)小的孔洞,導(dǎo)致保護(hù)層無(wú)法完全覆蓋電阻體。同時(shí),由于電阻體本身也具有一定的厚度,同時(shí)也是通過(guò)膠粘劑粘附在陶瓷基底之上,因而會(huì)與基底存在一個(gè)厚度的階梯,而保護(hù)層膠體勻附是通過(guò)勻膠機(jī)高速旋轉(zhuǎn),并利用離心力將表面膠體甩勻,從而使得膠體覆蓋整個(gè)電阻體,在階梯棱角部位勻附的膠體相對(duì)較薄,顯影時(shí)該區(qū)域的膠體較易脫落,而這也會(huì)導(dǎo)致電阻體的裸露。
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中所由于一次勻膠成型所存在的電阻體裸漏,進(jìn)而導(dǎo)致的影響電阻器產(chǎn)品合格率以及使用穩(wěn)定性的問(wèn)題,本發(fā)明特提供了一種多次勻膠,并分步成型的方法,本發(fā)明方法步驟可參考如下:
通過(guò)多次勻膠、前烘、光刻(優(yōu)選的采用曝光的方法進(jìn)行光刻)、顯影以及后烘處理,并在每層保護(hù)層形成后進(jìn)行高溫固化,以形成多層保護(hù)層,并通過(guò)多層保護(hù)層的累加,形成電阻器的保護(hù)層;
其中,本發(fā)明方法中所用保護(hù)層膠優(yōu)選的為聚酰亞胺樹(shù)脂,更優(yōu)選的為光刻型聚酰亞胺樹(shù)脂,進(jìn)一步優(yōu)選的為zkpi540光刻型聚酰亞胺樹(shù)脂;
具體的,本發(fā)明中,是通過(guò)多次勻膠-前烘-光刻-顯影-后烘的流程,依次形成多層保護(hù)層,并且在前一保護(hù)層進(jìn)一步高溫固化后,再進(jìn)行后一層的勻膠和成型以及高溫固化,并依次重復(fù)進(jìn)行;而通過(guò)多層保護(hù)層的累積,也使得多層保護(hù)層的整體厚度能夠達(dá)到工藝要求,同時(shí)避免了漏洞的產(chǎn)生,實(shí)現(xiàn)保護(hù)層對(duì)于電阻體的完全覆蓋。
而多層保護(hù)層疊加的方法之所以能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中所存在的種種技術(shù)問(wèn)題,其原因主要包括以下幾個(gè)方面:一方面,在第一層保護(hù)層中所產(chǎn)生的細(xì)小微孔,可以由第二層保護(hù)層進(jìn)行有效覆蓋,這就避免了漏洞的產(chǎn)生;另一方面,每層保護(hù)層在成型過(guò)程中都對(duì)階梯部位進(jìn)行鋪墊,進(jìn)而使得下一層保護(hù)層能夠進(jìn)一步將階梯棱角部位進(jìn)行有效包裹,進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中所存在的技術(shù)問(wèn)題。
進(jìn)一步的,本發(fā)明中,所述多層保護(hù)層為2~10層,例如可以為,但不限于2、3、4、5、6、7、8、9,或者10層,而正是通過(guò)這2~10層的成型和固化疊加,使得其整體厚度能夠滿足工藝要求;優(yōu)選的,多層保護(hù)層的層數(shù)為2~5層;更進(jìn)一步的,出于成本和效果方面的考慮,本發(fā)明中,多層保護(hù)層為兩層保護(hù)層;
即,在本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選的方案中,是采用兩次勻膠、成型以及固化的方法,并依次形成兩層保護(hù)層,所形成的兩層保護(hù)層的總厚度能夠滿足電阻體保護(hù)和電阻器整體的工藝要求;
該優(yōu)選方案的工藝步驟可參考如下:
首先,進(jìn)行第一次勻膠;優(yōu)選的,第一次勻膠的工藝如下:首先以400~800r/min的轉(zhuǎn)速甩膠8~12s;然后,以1200~1800r/min的轉(zhuǎn)速甩膠8~12s;最后以2200~2800r/min的轉(zhuǎn)速甩膠8~12s;
更優(yōu)選的,第一次勻膠的工藝如下:首先以500~600r/min的轉(zhuǎn)速甩膠10~12s;然后,以1200~1500r/min的轉(zhuǎn)速甩膠10~12s;最后以2500~2800r/min的轉(zhuǎn)速甩膠10~12s;
在第一次勻膠后,進(jìn)行前烘、光刻、顯影以及后烘處理,形成第一層保護(hù)層,然后進(jìn)行高溫固化;
優(yōu)選的,所述高溫固化為階段升溫高溫固化;
更優(yōu)選的,階段升溫的方法如下:首先在60~90℃條件下處理20~60min,然后在100~120℃條件下處理20~60min,最后在150~180℃條件下處理20~60min;
進(jìn)一步優(yōu)選的,階段升溫方法如下:首先在70~80℃條件下處理20~60min,然后在110~120℃條件下處理20~60min,最后在160~170℃條件下處理20~60min;
由于本發(fā)明所用保護(hù)層膠為聚酰亞胺樹(shù)脂,而聚酰亞胺樹(shù)脂中含有聚酰亞胺酸(即樹(shù)脂中存在羧基結(jié)構(gòu)),如果不進(jìn)行高溫固化,則無(wú)法使其脫水形成穩(wěn)定的聚酰亞胺,更無(wú)法形成穩(wěn)定的保護(hù)膜層;而不經(jīng)高溫固化所形成的不穩(wěn)定保護(hù)膜層在進(jìn)一步勻膠和成型加工過(guò)程中,會(huì)由于熱脹冷縮產(chǎn)生裂紋,從而影響保護(hù)層整體的結(jié)構(gòu)和性能的穩(wěn)定性,同時(shí)也會(huì)影響保護(hù)層的外觀。
在第一層保護(hù)層成型固化后,再在固化后的第一保護(hù)層上進(jìn)行二次勻膠,優(yōu)選的,二次勻膠工藝如下:首先以1800~2200r/min的轉(zhuǎn)速甩膠8~12s,然后再以2300~2700r/min的轉(zhuǎn)速甩膠8~12s;
更優(yōu)選的,二次勻膠的工藝參數(shù)如下:首先以2000~2200r/min的轉(zhuǎn)速甩膠10~12s,然后再以2500~2700r/min的轉(zhuǎn)速甩膠10~12s;
二次勻膠后,進(jìn)行前烘、光刻、顯影以及后烘處理,形成第二層保護(hù)層,然后再次進(jìn)行高溫固化;
高溫固化的方法參考如下:首先在60~90℃條件下處理20~60min,然后在100~120℃條件下處理20~60min,最后在150~180℃條件下處理20~60min。
經(jīng)如上兩次勻膠、成型和固化所形成的依次累加的兩側(cè)保護(hù)層的厚度能夠滿足電阻器的工藝標(biāo)準(zhǔn)和使用要求;這種累加形成的保護(hù)層能夠?qū)﹄娮梵w進(jìn)行充分的覆蓋和包覆,避免出現(xiàn)漏洞,同時(shí)也能夠表現(xiàn)出完整、且基本無(wú)裂痕等缺陷的外觀形態(tài),既滿足使用功能需求,也能夠更加適合外觀視覺(jué)感官。
進(jìn)一步的,如果是采用兩次以上勻膠、成型和固化的方法形成多層保護(hù)層,則需要在如上所述優(yōu)選方案的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步對(duì)各層保護(hù)層成型過(guò)程中勻膠的轉(zhuǎn)速和甩膠的時(shí)間進(jìn)行調(diào)整,并適當(dāng)提高勻膠的轉(zhuǎn)速和/或延長(zhǎng)甩膠的時(shí)間,從而使得每層保護(hù)層的厚度更薄,從而保證多層保護(hù)層的疊加厚度仍然能夠滿足工藝要求;
同時(shí),第三層保護(hù)層是在第二層保護(hù)層固化后,通過(guò)在第二層保護(hù)層上勻膠-前烘-光刻-顯影-后烘,以及高溫固化所形成的,高溫固化的方法可參考第一保護(hù)層和/或第二保護(hù)層高溫固化的方法;
然后,重復(fù)如上步驟,直至達(dá)到所需保護(hù)層數(shù),并使得保護(hù)層的總厚度達(dá)到工藝要求。
在電阻體上進(jìn)行保護(hù)層后,將半成品電阻器進(jìn)一步進(jìn)行絲網(wǎng)印刷阻擋層,電極濺射,裂片端涂,電鍍等后處理,從而得到相應(yīng)的電阻器。
而由如上所述方法所制備的電阻器優(yōu)選的是一種合金箔電阻器,更優(yōu)選的是一種高精度片式合金箔電阻器。
進(jìn)一步的,本發(fā)明也提供了包含如上所述高精度片式合金箔電阻器的電子器件和/或裝置,所述電子器件和/或裝置具體的可以為高精度測(cè)試儀器儀表、精密音頻設(shè)備、通信行業(yè)等。
實(shí)施例1
以高精度片式合金箔電阻器為目標(biāo)電阻器,其中,其電阻器上保護(hù)層的形成方法如下:
在電阻體上進(jìn)行第一次勻膠,所用保護(hù)層膠為zkpi540光刻型聚酰亞胺樹(shù)脂;
勻膠的方法如下:首先以500r/mi的轉(zhuǎn)速甩膠10s;然后,以1500r/min的轉(zhuǎn)速甩膠10s;最后以2500r/min的轉(zhuǎn)速甩膠10s;
然后進(jìn)行前烘、曝光、顯影以及后烘處理,得到第一保護(hù)層;
接著,表面形成第一保護(hù)層的電阻器首先在80℃條件下處理20min,然后在120℃條件下處理20min,最后在160℃條件下處理20min,進(jìn)行固化;
在固化后的第一保護(hù)層上進(jìn)行第二次勻膠,所用保護(hù)層膠為zkpi540光刻型聚酰亞胺樹(shù)脂;
勻膠工藝如下:首先以2000r/min的轉(zhuǎn)速甩膠10s,然后再以2500r/min的轉(zhuǎn)速甩膠10s;
然后,進(jìn)行前烘、曝光、顯影以及后烘處理,得到第二保護(hù)層;
接著,將形成第二層保護(hù)層后的電阻器首先在80℃條件下處理60min,然后在120℃條件下處理60min,最后在160℃條件下處理60min,進(jìn)行固化,固化后的第一層保護(hù)層和第二層保護(hù)層復(fù)合形成電阻體上的保護(hù)層。
然后進(jìn)行絲網(wǎng)印刷阻擋層,電極濺射,裂片端涂,電鍍以及后續(xù)處理,得到實(shí)施例1的高精度片式合金箔電阻器。
由實(shí)施例1方法所制得的電阻器如圖1所示,由圖1可知,按照實(shí)施例1方法所制得電阻器的表面并無(wú)漏洞,保護(hù)層能夠完全覆蓋電阻體;同時(shí)保護(hù)層上也無(wú)裂痕等缺陷。
實(shí)施例2
按照實(shí)施例1所述方法制備高精度片式合金箔電阻器,其中,實(shí)施例2中,所用保護(hù)層膠為所用保護(hù)層膠為zkpi540光刻型聚酰亞胺樹(shù)脂;
第一次勻膠的工藝如下:首先以400r/min的轉(zhuǎn)速甩膠12s;然后,以1800r/min的轉(zhuǎn)速甩膠8s;最后以2200r/min的轉(zhuǎn)速甩膠12s;
第二次勻膠的工藝如下:首先以2200r/min的轉(zhuǎn)速甩膠9s,然后再以2200r/min的轉(zhuǎn)速甩膠12s。
對(duì)比例1
按照現(xiàn)有技術(shù)方法,通過(guò)一次勻膠成型在電阻體上形成保護(hù)層,對(duì)比例1的目標(biāo)電阻器同樣為高精度片式合金箔電阻器,其所用保護(hù)層膠為zkpi540光刻型聚酰亞胺樹(shù)脂;
具體方法如下:
在電阻體上進(jìn)行第一次勻膠,勻膠的方法如下:首先以300r/min的轉(zhuǎn)速甩膠10s;然后,以800r/min的轉(zhuǎn)速甩膠10s;最后以2000r/min的轉(zhuǎn)速甩膠10s;
然后,進(jìn)行前烘、曝光、顯影以及后烘處理,得到保護(hù)層,保護(hù)層經(jīng)高溫固化;
高溫固化的方法與實(shí)施例1中相同,均采用階段升溫固化的方法;
然后進(jìn)行絲網(wǎng)印刷阻擋層,電極濺射,裂片端涂,電鍍以及后續(xù)處理,得到對(duì)比例1的高精度片式合金箔電阻器。
由對(duì)比例1方法所制得的電阻器如圖2所示,由圖2、以及圖1和圖2的對(duì)比明顯可以看出,按照對(duì)比例1方法所制得的電阻器的保護(hù)層位置存在許多漏洞(圖2中白色亮點(diǎn)為漏洞),而這也會(huì)導(dǎo)致對(duì)比例1產(chǎn)品在進(jìn)行掛鍍后,漏洞位置電阻體裸露,產(chǎn)生金屬電鍍層。
對(duì)比例1中電阻器出現(xiàn)保護(hù)層漏洞的原因主要如下:
1.進(jìn)行保護(hù)層勻膠的過(guò)程中,雖然肉眼無(wú)法看見(jiàn),但是勻附膠體中其實(shí)存在細(xì)小的氣泡,進(jìn)行高溫前烘和堅(jiān)膜后,氣泡遇熱釋放形成細(xì)小孔洞;
2.電阻圖形材料本身具有一定的厚度,通過(guò)膠粘劑粘附在陶瓷基底存上的,與基底存在一個(gè)厚度的階梯,保護(hù)層膠體勻附是通過(guò)勻膠機(jī)高速旋轉(zhuǎn),利用離心力將表面膠體甩勻,膠體覆蓋整個(gè)圖形,階梯棱角部位勻附的膠體相對(duì)較薄,顯影時(shí)該區(qū)域的膠體較易脫落,使電阻體裸露。
相較于對(duì)比例1的方法而言,本發(fā)明方法中,通過(guò)多次的勻膠-前烘-曝光-顯影-后烘流程使保護(hù)層厚度累加,從而既達(dá)到工藝要求,同時(shí)避免了漏洞的產(chǎn)生;
而通過(guò)多層保護(hù)層累加的方法之所以能夠解決漏洞,是因?yàn)樵诘谝粚颖Wo(hù)層在制作的過(guò)程中產(chǎn)生的細(xì)小孔洞,能夠通過(guò)第二層將其覆蓋;同時(shí),在階梯部位,每層保護(hù)層制作時(shí)都能夠?qū)υ撐恢眠M(jìn)行鋪墊,使下一層保護(hù)層能夠?qū)㈦A梯棱角部位包裹住,從而解決了產(chǎn)生漏洞問(wèn)題。
對(duì)比例2
按照實(shí)施例1所述方法制備高精度片式合金箔電阻器,其中,對(duì)比例2中,在第一層保護(hù)層形成后,不進(jìn)行階段升溫固化,直接在所形成的第一保護(hù)層上進(jìn)行二次勻膠和成型,并形成第二保護(hù)層,進(jìn)而累加形成滿足工藝厚度需要的保護(hù)層;然后再進(jìn)行固化和絲網(wǎng)印刷阻擋層,電極濺射,裂片端涂,電鍍以及后續(xù)處理;
對(duì)比例2中形成保護(hù)層后再固化的方法與實(shí)施例1中相同,采用分階段升溫固化的方法。
對(duì)比例2方法所制得的高精度片式合金箔電阻器如圖3所示,由圖3、以及圖1和圖3的對(duì)比可知,按照對(duì)比例3方法所制得的電阻器的保護(hù)層表面出現(xiàn)了不規(guī)則的裂紋,這會(huì)影響保護(hù)層的外觀和穩(wěn)定性。
對(duì)比例2電阻器的保護(hù)層上出現(xiàn)裂紋的原因主要如下:
聚酰亞胺樹(shù)脂中含有聚酰亞胺酸,進(jìn)行勻膠→前烘→曝光→顯影→后烘這個(gè)流程后成膜,聚酰亞胺酸需要進(jìn)行高溫固化,使其脫水成環(huán),形成穩(wěn)定的聚酰亞胺;第一層保護(hù)層制作完成后,膜層不穩(wěn)定,在進(jìn)行第二次保護(hù)層制作過(guò)程中,堅(jiān)膜加熱以及顯影沖洗會(huì)使膜層熱脹冷縮產(chǎn)生裂紋。
相較于對(duì)比例2的方法而言,本發(fā)明方法中,在每次保護(hù)層制作完后,采用短時(shí)間多溫階的方式,讓保護(hù)層進(jìn)行短時(shí)脫水固化,使膜層結(jié)構(gòu)相對(duì)穩(wěn)定,不會(huì)在下一層保護(hù)層覆蓋時(shí)產(chǎn)生裂紋;最終膜厚達(dá)到工藝要求后,進(jìn)行完整的固化流程,讓其形成穩(wěn)定的保護(hù)層結(jié)構(gòu)。
實(shí)驗(yàn)例1
分別按照實(shí)施例1以及對(duì)比例1的方法生產(chǎn)2個(gè)批次的高精度片式合金箔電阻器,然后,分別從兩個(gè)批次中隨機(jī)選取100個(gè)電阻器進(jìn)行合格率檢測(cè);
檢測(cè)結(jié)果顯示,實(shí)施例1方法所制備電阻器的抽檢合格率為85%,而對(duì)比例1方法所制備電阻器的抽檢合格率為45%。由此可見(jiàn),本發(fā)明方法能夠有效提高電阻器產(chǎn)品的合格率。
盡管已用具體實(shí)施例來(lái)說(shuō)明和描述了本發(fā)明,然而應(yīng)意識(shí)到,在不背離本發(fā)明的精神和范圍的情況下可以作出許多其它的更改和修改。因此,這意味著在所附權(quán)利要求中包括屬于本發(fā)明范圍內(nèi)的所有這些變化和修改。