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一種用于空間X射線通信的激光調(diào)制脈沖X射線源的制作方法

文檔序號:11709213閱讀:240來源:國知局
一種用于空間X射線通信的激光調(diào)制脈沖X射線源的制作方法與工藝

技術(shù)領(lǐng)域:

本發(fā)明涉及一種用于空間x射線通信的激光調(diào)制脈沖x射線源,是實現(xiàn)空間x射線通信的關(guān)鍵裝置,本裝置同樣適用于x射線脈沖星導航的x射線探測器性能測試以及導航算法驗證實驗。



背景技術(shù):

x射線通信——以x射線攜帶信息進行通信的一種方式,是一種潛在的革命性的技術(shù),它能夠使得星際旅行者在行星際的距離上以每秒數(shù)gbit的速率進行數(shù)據(jù)傳輸。美國航空航天局戈達德太空飛行中心(goddardspaceflightcenter)天文物理學家keithgendreau博士,于2007年提出了利用x射線實現(xiàn)空間衛(wèi)星與飛行器點對點通信的概念,并首次證明了x射線通信的可行性。中國科學院西安光學精密機械研究所趙寶升團隊提出了一種柵控x射線調(diào)制源,實現(xiàn)了優(yōu)于20kbit/s的基于語音信號調(diào)制的x射線通信,初步實驗驗證了這一創(chuàng)新性的設想。受制于x射線發(fā)射和探測的技術(shù),目前x射線通信系統(tǒng)均基于強度調(diào)制/直接檢測原理,即通過控制x射線脈沖的有無使數(shù)字通信信號加載于x射線脈沖序列上進行發(fā)射,接收端通過對脈沖信號探測和解調(diào)獲得加載在x射線脈沖序列上的信息。在這樣的通信模式下,通信速率很大程度上受制于x射線源脈沖發(fā)射速率,而現(xiàn)有的用于x射線通信的脈沖x射線源存在功率不足、脈沖發(fā)射速率較低的問題,則大大限制了x射線通信的速率。那么開發(fā)一種大功率、能夠高速調(diào)制的x射線脈沖發(fā)射源就十分必要。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明結(jié)合激光通信的成熟技術(shù),在現(xiàn)有x射線管及射線探測的研究基礎之上,提出了一種用于空間x射線通信的激光調(diào)制脈沖x射線源。

本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種用于空間x射線通信的激光調(diào)制脈沖x射線源,其特征在于:包括光纖接口、陰極底座、激光調(diào)制陰極、聚焦電極、除氣裝置、真空腔室外殼以及陽極金屬靶,所述光纖接口與用于輸入激光信號的光纖相連,激光調(diào)制陰極與光纖接口相鄰,并通過陰極底座固定于真空腔室外殼上,聚焦電極位于真空腔室外殼的內(nèi)側(cè)壁上,除氣裝置位于真空腔室外殼的內(nèi)側(cè)壁上且位于聚焦電極的下方,陽極金屬靶固定于真空腔室外殼上。

進一步地,所述激光調(diào)制陰極由負陰極親和勢光電陰極與微通道板疊合而成,且外側(cè)包裹有陰極外殼,所述負陰極親和勢光電陰極為由玻璃基底、si3n4增透層、窗口層、砷化鎵gaas發(fā)射層、cs:o激活層自上而下緊密貼合形成的多層結(jié)構(gòu)。

進一步地,所述砷化鎵gaas發(fā)射層內(nèi)部由于摻雜方式不同分為兩個區(qū)域:一區(qū)為大梯度指數(shù)摻雜區(qū)域,滿足:一區(qū)內(nèi)任意厚度x處的空穴摻雜濃度為n(x)=n0exp(-βx),其中系數(shù)β=4×ln10/l,l為砷化鎵gaas發(fā)射層一區(qū)的厚度,在厚度為0處,即砷化鎵gaas發(fā)射層一區(qū)左界面處,空穴摻雜濃度n(0)為1019cm-3量級,而在厚度為l處,即砷化鎵gaas發(fā)射層一區(qū)右界面處,空穴摻雜濃度n(l)為1015cm-3量級,一區(qū)中產(chǎn)生一個強度為的勻強電場,其中k為玻爾茲曼常數(shù),溫度t=300k,q為電子電荷量,二區(qū)為重摻雜區(qū)域,二區(qū)摻雜濃度na在1018~1019cm-3之間,厚度為亞微米量級。

進一步地,所述微通道板由圓形片狀鉛玻璃制成,厚度d為300~500μm,微通道板的兩個面鍍有電極,電極兩端外加高壓v1,v1≥1000v,且電子輸出面為高電勢。

進一步地,所述微通道板開孔直徑為5~20μm,微通道傾斜角度為θ為8~10°,工作區(qū)直徑l1≥14.5mm,電極區(qū)直徑l2≥17mm,整體直徑l3≥17.9mm。

進一步地,所述聚焦電極為中空圓柱結(jié)構(gòu),內(nèi)徑≥18mm,由導電材料制成,保持聚焦電極與激光調(diào)制陰極之間的電勢差v2為100~900v,且聚焦電極為高電勢端,作用于陽極金屬靶上的電子束斑面積≤2mm2。

進一步地,所述陽極金屬靶為透射式薄靶,由金屬銀ag制成,厚度為2~8μm,出射面鍍有0.1~0.8mm厚鈹be材質(zhì)窗口層,陽極金屬靶與聚焦電極間電勢差v3維持在20kv~100kv之間,且陽極金屬靶為高電勢端。

本發(fā)明具有如下有益效果:本發(fā)明激光調(diào)制脈沖x射線源能夠發(fā)射脈寬為ps量級的脈沖x射線,x射線脈沖寬度和位置由激光脈沖精確調(diào)控,并能夠在輸入激光脈沖重復頻率低于1010的情況下,實現(xiàn)x射線脈沖信號對輸入激光信號的良好還原。

附圖說明:

圖1為x射線通信發(fā)射端示意圖。

圖2為用于空間x射線通信的激光調(diào)制脈沖x射線源結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為激光調(diào)制陰極結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為負陰極親和勢材料能帶示意圖。

圖5為微通道板示意圖。

圖6為真空腔室示意圖。

圖7為用于空間x射線通信的激光調(diào)制脈沖x射線源脈沖響應圖。

其中附圖標記為:1—光纖接口,2—陰極底座,3—激光調(diào)制陰極,4—聚焦電極,5—除氣裝置,6—真空腔室外殼,7—陽極金屬靶,31—玻璃基底,32—si3n4增透層,33—窗口層,34—砷化鎵gaas發(fā)射層,35—cs:o激活層,36—微通道板,37—陰極外殼。

具體實施方式:

本發(fā)明提出一種用于空間x射線通信的激光調(diào)制脈沖x射線源,具體實施如下。x射線通信發(fā)射端如圖1所示,選用具備高重頻、窄脈寬特征的脈沖激光器,其輸出波長為(850nm)短脈寬(5-20ps)的激光脈沖信號,通過激光調(diào)制器加載通信信號,將載有信息的激光脈沖信號經(jīng)光纖傳輸至激光調(diào)制脈沖x射線源的激光輸入端口,經(jīng)過轉(zhuǎn)換,在激光調(diào)制脈沖x射線源的輸出端口輸出加載信號的x射線脈沖。

如圖2所示,本發(fā)明用于空間x射線通信的激光調(diào)制脈沖x射線源,包括:光纖接口1、陰極底座2、激光調(diào)制陰極3、聚焦電極4、除氣裝置5、真空腔室外殼6以及陽極金屬靶7。所述光纖接口1與用于輸入激光信號的光纖相連,激光調(diào)制陰極3與光纖接口1相鄰,并通過陰極底座2固定于真空腔室外殼6上,聚焦電極4位于真空腔室外殼6的內(nèi)側(cè)壁上,除氣裝置5位于真空腔室外殼6的內(nèi)側(cè)壁上且位于聚焦電極4的下方,陽極金屬靶7固定于真空腔室外殼6上。

如圖1所示,激光調(diào)制脈沖x射線源,通過光纖接口1與光纖直接連接,激光脈沖從高重頻脈沖激光器輸出,通過激光調(diào)制器加載信息,經(jīng)光纖傳輸至激光調(diào)制脈沖x射線源,激光脈沖與激光調(diào)制陰極3作用轉(zhuǎn)換為電子脈沖。

激光調(diào)制脈沖x射線源能夠發(fā)射脈寬為ps量級的脈沖x射線,x射線脈沖寬度和位置由激光脈沖精確調(diào)控,并能夠在輸入激光脈沖重復頻率低于1010的情況下,實現(xiàn)x射線脈沖信號對輸入激光信號的良好還原。

激光調(diào)制陰極3用于吸收入射激光的光子,通過外光電效應高效地將其轉(zhuǎn)換為電子,并通過二次電子發(fā)射效應將電子倍增,輸出由大量電子組成的電子云。

激光調(diào)制陰極3能夠?qū)⒚}寬為皮秒量級的激光脈沖轉(zhuǎn)化為皮秒量級的電子脈沖,并能夠在輸入激光脈沖重復頻率低于1010的情況下,實現(xiàn)電子脈沖信號對輸入激光信號的良好還原。

如圖3所示,激光調(diào)制陰極3由負陰極親和勢光電陰極與微通道板(36)疊合而成,且外側(cè)包裹有陰極外殼(37)。所述負陰極親和勢光電陰極為由玻璃基底31、si3n4增透層32、窗口層33、砷化鎵gaas發(fā)射層34、cs:o激活層35自上而下緊密貼合形成的多層結(jié)構(gòu)。

其中負陰極親和勢光電陰極制備過程如下:在gaas襯底上用液相外延生長砷化鎵鋁gaalas阻擋層/砷化鎵gaas發(fā)射層/砷化鎵鋁ga1-xalxas窗口層的多層結(jié)構(gòu);然后在砷化鎵鋁ga1-xalxas窗口層上用半導體鈍化工藝沉積厚度為0.1μm的si3n4減反增透膜,再在其上沉積一層sio2,用來防止與玻璃粘接時破壞si3n4并阻止有害元素進入砷化鎵鋁ga1-xalxas窗口層/砷化鎵gaas發(fā)射層;將上述結(jié)構(gòu)與2~5mm厚的光學玻璃粘接在一起;用選擇性腐蝕的方法除去gaas襯底和砷化鎵鋁gaalas阻擋層,制成四層結(jié)構(gòu)的透射式gaas光電陰極組件;對透射式gaas光電陰極組件要經(jīng)過化學清洗和超高真空的加熱凈化,去除表面污染,得到原子級清潔表面;最后在超高真空系統(tǒng)中將銫cs、氧o按照一定比例和順序交替覆蓋在表面上,使表面的真空能級降到導帶底以下,即達到負陰極親和勢(nea)狀態(tài),從而使陰極體內(nèi)的光電子更容易逸出到真空。

負陰極親和勢(nea-gaas)光電陰極,用于實現(xiàn)激光脈沖到電子脈沖的轉(zhuǎn)換,在保證高量子效率的同時還具有響應速快的特點。

砷化鎵gaas發(fā)射層34內(nèi)部由于摻雜方式不同分為兩個區(qū)域,如圖4所示,一區(qū)為大梯度指數(shù)摻雜區(qū)域,滿足:一區(qū)內(nèi)任意厚度x處的空穴摻雜濃度為n(x)=n0exp(-βx),其中系數(shù)β=4×ln10/l,l為砷化鎵gaas發(fā)射層一區(qū)的厚度,在厚度為0處,即砷化鎵gaas發(fā)射層一區(qū)左界面處,空穴摻雜濃度n(0)為1019cm-3量級,而在厚度為l處,即砷化鎵gaas發(fā)射層一區(qū)右界面處,空穴摻雜濃度n(l)為1015cm-3量級。在這種情況下,一區(qū)中將產(chǎn)生一個對光電子輸運非常有利的強度為的勻強電場,其中k為玻爾茲曼常數(shù),溫度t=300k,q為電子電荷量。二區(qū)為重摻雜區(qū)域,二區(qū)摻雜濃度na選擇在1018~1019cm-3之間,厚度為亞微米量級,以保證負陰極親和勢光電陰極在經(jīng)過cs:o激活層后,表面處電子勢壘被完全消除,即電子親和勢ea為負值,此時光電子能量只需達到禁帶寬度與電子親和勢之和eg+ea便能夠逸出,由于此時電子親和勢ea為負值,電子會很容易的發(fā)射到真空,因此能夠獲得30%以上的量子效率。圖4為gaas光電陰極的能帶結(jié)構(gòu)圖,如圖所示,當外界有一個理想的δ(t),即:脈沖寬度為0,高度為1,位置在t處的脈沖入射時,這個光脈沖內(nèi)包含若干光子,光子穿過窗口層進入砷化鎵gaas發(fā)射層一區(qū),光子被砷化鎵gaas材料吸收,光子的能量將砷化鎵gaas材料中一部分電子的能量從價帶ev激發(fā)到導帶ec,這些激發(fā)態(tài)的電子將在發(fā)射層一區(qū)內(nèi)的內(nèi)建電場ein作用下快速向真空方向移動,在移動的過程中由于與gaas材料原子的碰撞而損失能量,這樣只有一部分激發(fā)態(tài)電子能夠到達gaas陰極與真空的界面處,由于砷化鎵gaas發(fā)射層二區(qū)和cs:o激活層的共同的作用,真空能級evac低于這些到達界面處的電子的能量,因此這些電子能夠直接發(fā)射到真空,而無需受表面勢壘的束縛。由于在砷化鎵gaas發(fā)射層一區(qū)內(nèi)有著電場ein的作用,電子能夠快速地發(fā)射到真空,因此發(fā)射到的真空中的電子脈沖j(t)將具備窄脈寬的特點。所述大梯度指數(shù)摻雜負陰極親和勢光電陰極能夠?qū)崿F(xiàn)輸出電子脈沖j(t)半高寬低于21ps,時間延遲低于10ps。

如圖3所示,微通道板36由圓形片狀鉛玻璃制成,厚度d為300~500μm,其工作區(qū)由大量帶有一定切斜角度的微型通道組成,兩個面鍍有電極,電極兩端外加高壓v1,v1≥1000v,且電子輸出面為高電勢。低電勢面為電子輸入面,微通道板面入端與負陰極親和勢光電陰極電子輸出端貼近,接收從光電陰極逸出的電子,電子進入微通道后在加速電場作用下向輸出面移動,與通道壁發(fā)生多次碰撞,由于平均每次碰撞二次電子產(chǎn)生數(shù)量大于1,整體呈現(xiàn)倍增效果,因此在輸出端將產(chǎn)生大量電子構(gòu)成的電子云,微通道板的倍增效率約為103~104。本方案采用的微通道板參數(shù)如圖5所示,微通道板整體厚度為d=400μm,微通道開孔直徑為10μm,微通道傾斜角度為θ=8°,工作區(qū)直徑l1=14.5mm,電極區(qū)直徑l2=17mm,整體直徑l3=17.9mm。在保證倍增效率達到103以上的同時,還能夠?qū)崿F(xiàn)半高寬低于200ps,延時低于400ps的電子脈沖輸出。

激光調(diào)制陰極3通過陰極底座2固定于真空腔室外殼6上,利用除氣裝置5使得真空腔室中達到激光調(diào)制脈沖x射線源工作所需的≤10-8pa的真空狀態(tài)。

如圖2所示,聚焦電極4為中空圓柱結(jié)構(gòu),內(nèi)徑≥18mm,由導電材料制成,如圖6所示,保持聚焦電極與激光調(diào)制陰極之間的電勢差v2為100~900v,且聚焦電極為高電勢端,真空腔室中的電場形成透鏡的效果使得電子束達到聚焦的效果,最終作用于陽極金屬靶7上的電子束斑面積≤2mm2

如圖2所示,陽極金屬靶7為透射式薄靶,由金屬銀ag制成,厚度為2~8μm,出射面鍍有0.1~0.8mm厚的鈹be材質(zhì)窗口層,陽極金屬靶與聚焦電極間電勢差v3維持在20kv~100kv之間,且陽極金屬靶為高電勢端。陽極高壓對真空腔室內(nèi)的電子束形成了加速的作用,并在聚焦電極的共同作用下形成高速強聚焦的電子束,電子束轟擊在ag靶上,由韌致輻射在靶的出射端釋放x射線光子。

如圖7所示,激光調(diào)制脈沖x射線源能夠發(fā)射脈寬為ps量級的脈沖x射線,x射線脈沖寬度和位置由激光脈沖精確調(diào)控,并能夠在輸入激光脈沖重復頻率低于1010的情況下,實現(xiàn)x射線脈沖信號對輸入激光信號的良好還原。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,應當指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明原理的前提下還可以作出若干改進,這些改進也應視為本發(fā)明的保護范圍。

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