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薄膜型發(fā)光二極管及其制作方法與流程

文檔序號:12725547閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.薄膜型發(fā)光二極管,包括發(fā)光外延疊層,所述發(fā)光外延疊層包含第一類型導(dǎo)體層、發(fā)光層和第二類型半導(dǎo)體層,具有相對的上表面和下面,所述發(fā)光層在電激發(fā)下輻射光線并向所述上表面射出,其特征在于:所述發(fā)光外延疊層的上表面設(shè)有一系列由透明生長襯底構(gòu)成的微透鏡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜型發(fā)光二極管,其特征在于:還包括一支撐結(jié)構(gòu),其位于所述發(fā)光外延疊層的下表面,用于支撐和保護(hù)所述發(fā)光外延疊層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜型發(fā)光二極管,其特征在于:所述微透鏡呈上寬下窄狀,其尺寸高度為0.5~3.0微米。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜型發(fā)光二極管,其特征在于:所述微透鏡側(cè)面的錐度為30~85°。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜型發(fā)光二極管,其特征在于:所述微透鏡離散分布,相鄰微透鏡之間的間距為1.0~6.0微米。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜型發(fā)光二極管,其特征在于:所述微透鏡之遠(yuǎn)離所述發(fā)外外延疊層的端面為球面狀。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜型發(fā)光二極管,其特征在于:所述微透鏡具有兩個(gè)相對的端部,其中第一個(gè)端部嵌入所述發(fā)光外延疊層內(nèi),第二個(gè)端部高出所述發(fā)光外延疊層的上表面。

8.薄膜型發(fā)光二極管的制作方法,包括以下步驟:

(1)提供圖形化的透明襯底,其上表面具有一系列凸起結(jié)構(gòu);

(2)在所述透明襯底的上表面上外延生長發(fā)光外延疊層,包括第一類型導(dǎo)體層、發(fā)光層和第二類型半導(dǎo)體層;

(3)在所述發(fā)光外延疊層的表面上制作支撐結(jié)構(gòu);

(4)移除所述透明襯底,裸露出部分發(fā)光外延疊層的表面,并使透明襯底的凸起結(jié)構(gòu)從透明襯底的主體上斷裂并保留在發(fā)光外延疊層上,從而在發(fā)光外延疊層表面上形成一系列由透明襯底的尖端組成的微透鏡。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄膜型發(fā)光二極管的制作方法,其特征在于:所述步驟(1)中凸起結(jié)構(gòu)的高度為1~3微米,中心間距為1.0~6.0微米。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄膜型發(fā)光二極管的制作方法,其特征在于:所述步驟(4)中采用激光剝離的方式剝離透明襯底,具體為將激光能量聚集到所述襯底凸起結(jié)構(gòu)的某一厚度D,控制能量參數(shù)使所述透明襯底的凸起斷裂并保留在發(fā)光外延疊層上。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的薄膜型發(fā)光二極管的制作方法,其特征在于:所述步驟(4)中將激光能量聚集到距離所述襯底凸起的頂部0.5~3.0微米厚度的位置。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的薄膜型發(fā)光二極管的制作方法,其特征在于:所述步驟(4)中控制激光能量參數(shù)為100mJ~1000mJ。

13.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜型發(fā)光二極管的制作方法,其特征在于:所述步驟(4)中采用研磨、蝕刻或者其組合移除所述生長襯底,截止位置到距離所述襯底凸起的頂部0.5~3.0微米厚度的位置,裸露出部分發(fā)光外延疊層的表面。

14.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜型發(fā)光二極管的制作方法,其特征在于:所述步驟(4)中還包括采用干法蝕刻或/和濕法蝕刻對微透鏡進(jìn)行修飾,使得所述微透鏡之遠(yuǎn)離所述發(fā)外外延疊層的端面呈球面狀。

15.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜型發(fā)光二極管的制作方法,其特征在于:還包括步驟(5):對裸露出的發(fā)光外延疊層表面進(jìn)行粗化,并制作電極。

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