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TFT基板、使用該TFT基板的掃描天線以及TFT基板的制造方法與流程

文檔序號:11290131閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
TFT基板(101)具有排列在電介質(zhì)基板(1)上的多個天線單位區(qū)域(U),包含發(fā)送接收區(qū)域和非發(fā)送接收區(qū)域,發(fā)送接收區(qū)域包含多個天線單位區(qū)域,非發(fā)送接收區(qū)域位于發(fā)送接收區(qū)域以外的區(qū)域,多個天線單位區(qū)域(U)各自具備:薄膜晶體管(10);第1絕緣層(11),其覆蓋薄膜晶體管,且具有將薄膜晶體管(10)的漏極電極(7D)露出的第1開口部(CH1);以及貼片電極(15),其形成在第1絕緣層(11)上和第1開口部(CH1)內(nèi),電連接到薄膜晶體管的漏極電極(7D),貼片電極(15)包含金屬層,金屬層的厚度大于薄膜晶體管的源極電極(7S)和漏極電極(7D)的厚度。

技術(shù)研發(fā)人員:中澤淳;大類貴俊;森重恭;中野文樹;箕浦潔
受保護(hù)的技術(shù)使用者:夏普株式會社
技術(shù)研發(fā)日:2016.10.06
技術(shù)公布日:2017.09.26
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