本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石襯底技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種圖形化藍(lán)寶石襯底的酸堿清洗裝置。

背景技術(shù)：

藍(lán)寶石襯底對(duì)于制作LED芯片來(lái)說(shuō)，襯底材料的選用是首要考慮的問(wèn)題。通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長(zhǎng)在藍(lán)寶石襯底上。藍(lán)寶石襯底有許多的優(yōu)點(diǎn)：首先，藍(lán)寶石襯底的生產(chǎn)技術(shù)成熟、器件質(zhì)量較好；其次，藍(lán)寶石的穩(wěn)定性很好，能夠運(yùn)用在高溫生長(zhǎng)過(guò)程中；最后，藍(lán)寶石的機(jī)械強(qiáng)度高，易于處理和清洗，因此大多數(shù)工藝一般都以藍(lán)寶石作為襯底。而現(xiàn)有的圖形化藍(lán)寶石襯底的酸堿清洗裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在清洗過(guò)程中容易損壞襯底部分，通常直接將藍(lán)寶石襯底和清洗劑放入機(jī)器內(nèi)進(jìn)行清洗，智能化程度低，清洗效果差，無(wú)法自行控制進(jìn)出料，使用上存在一定的局限性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一種圖形化藍(lán)寶石襯底的酸堿清洗裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案。

一種圖形化藍(lán)寶石襯底的酸堿清洗裝置，包括殼體，所述殼體為空腔結(jié)構(gòu)，殼體的頂端設(shè)有進(jìn)料口，所述進(jìn)料口的一側(cè)內(nèi)壁鉸接有頂蓋，所述殼體的頂端內(nèi)壁上安裝有引料架，所述殼體的底端內(nèi)壁滑動(dòng)連接有支撐板，所述支撐板的頂端通過(guò)定位銷安裝有清洗座，所述清洗座上設(shè)有多個(gè)第一通孔，所述清洗座的頂端分別設(shè)有弧形的放置槽和豎直設(shè)置的擋板，所述放置槽位于擋板之間，所述清洗座的一側(cè)開(kāi)設(shè)有豎直設(shè)置的滑槽，所述支撐板靠近清洗座的一側(cè)設(shè)有凹槽，所述凹槽內(nèi)設(shè)有水平設(shè)置的導(dǎo)流板，所述導(dǎo)流板上設(shè)有多個(gè)第二通孔，且第二通孔與第一通孔相配合，所述支撐板的底端和殼體的底端均設(shè)有相互連通的出料口，所述出料口分別與第一通孔和第二通孔相對(duì)應(yīng)，所述殼體內(nèi)還設(shè)有豎直設(shè)置的滑動(dòng)桿，其中滑動(dòng)桿的一端延伸至殼體的上方，滑動(dòng)桿的另一端通過(guò)滑槽與導(dǎo)流板固定連接，所述殼體的底端兩側(cè)均設(shè)有豎直設(shè)置的支撐桿，所述支撐桿之間設(shè)有水平設(shè)置的固定板，所述固定板的底端安裝有支撐架，所述支撐架上設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)的輸出軸上連接有豎直設(shè)置的轉(zhuǎn)動(dòng)桿，且轉(zhuǎn)動(dòng)桿與支撐板固定連接。

優(yōu)選的，所述引料架為錐子形結(jié)構(gòu)，所述引料架的底端設(shè)有圓孔，且圓孔位于清洗座的正上方。

優(yōu)選的，所述滑槽為弧形結(jié)構(gòu)，且滑動(dòng)桿與滑槽的內(nèi)壁滑動(dòng)連接，滑槽的滑動(dòng)長(zhǎng)度與第一通孔和第二通孔的配合距離相同。

優(yōu)選的，所述滑動(dòng)桿的頂端設(shè)有手柄，所述進(jìn)料口靠近滑動(dòng)桿的一側(cè)還設(shè)有開(kāi)口，其中手柄的長(zhǎng)度大于開(kāi)口的長(zhǎng)度，且滑動(dòng)桿的一端通過(guò)開(kāi)口延伸至殼體的上方。

優(yōu)選的，所述擋板上設(shè)有隔離腔，所述引料架的一端延伸至隔離腔內(nèi)，且引料架的外側(cè)壁與隔離腔的內(nèi)壁滑動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述引料架的頂端所處直徑大于進(jìn)料口的直徑。

本實(shí)用新型的有益效果是：通過(guò)錐形結(jié)構(gòu)的引料架方便藍(lán)寶石襯底進(jìn)行自然滑落，同時(shí)減輕對(duì)圖形化藍(lán)寶石襯底的損傷；通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)支撐板轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)清洗座進(jìn)行攪動(dòng)清洗工作，便于同時(shí)間對(duì)多個(gè)藍(lán)寶石襯底進(jìn)行清洗，清潔效果顯著，同時(shí)利用滑動(dòng)桿于滑槽內(nèi)往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)導(dǎo)流板上的第二通孔與第一通孔自由對(duì)接，方便清洗完成后酸堿清洗劑從出料口處流出，有效提高清洗質(zhì)量。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)布局合理，操作簡(jiǎn)單，減輕對(duì)藍(lán)寶石襯底的損傷，清潔效果顯著，同時(shí)有效提高清洗質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型提出的一種圖形化藍(lán)寶石襯底的酸堿清洗裝置的主視剖析結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型提出的一種圖形化藍(lán)寶石襯底的酸堿清洗裝置的部分俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1殼體、2擋板、3清洗座、4支撐板、5凹槽、6支撐桿、7進(jìn)料口、8頂蓋、9引料架、10滑動(dòng)桿、11第一通孔、12滑槽、13導(dǎo)流板、14第二通孔、15出料口、16固定板、17轉(zhuǎn)動(dòng)桿、18支撐架、19轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。

參照?qǐng)D1-2，一種圖形化藍(lán)寶石襯底的酸堿清洗裝置，包括殼體1，殼體1為空腔結(jié)構(gòu)，殼體1的頂端設(shè)有進(jìn)料口7，進(jìn)料口7的一側(cè)內(nèi)壁鉸接有頂蓋8，殼體1的頂端內(nèi)壁上安裝有引料架9，殼體1的底端內(nèi)壁滑動(dòng)連接有支撐板4，支撐板4的頂端通過(guò)定位銷安裝有清洗座3，清洗座3上設(shè)有多個(gè)第一通孔11，清洗座3的頂端分別設(shè)有弧形的放置槽和豎直設(shè)置的擋板2，放置槽位于擋板2之間，清洗座3的一側(cè)開(kāi)設(shè)有豎直設(shè)置的滑槽12，支撐板4靠近清洗座3的一側(cè)設(shè)有凹槽5，凹槽5內(nèi)設(shè)有水平設(shè)置的導(dǎo)流板13，導(dǎo)流板13上設(shè)有多個(gè)第二通孔14，且第二通孔14與第一通孔11相配合，支撐板4的底端和殼體1的底端均設(shè)有相互連通的出料口15，出料口15分別與第一通孔11和第二通孔14相對(duì)應(yīng)，殼體1內(nèi)還設(shè)有豎直設(shè)置的滑動(dòng)桿10，其中滑動(dòng)桿10的一端延伸至殼體1的上方，滑動(dòng)桿10的另一端通過(guò)滑槽12與導(dǎo)流板13固定連接，殼體1的底端兩側(cè)均設(shè)有豎直設(shè)置的支撐桿6，支撐桿6之間設(shè)有水平設(shè)置的固定板16，固定板16的底端安裝有支撐架18，支撐架18上設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)19，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)19的輸出軸上連接有豎直設(shè)置的轉(zhuǎn)動(dòng)桿17，且轉(zhuǎn)動(dòng)桿17與支撐板4固定連接。

引料架9為錐子形結(jié)構(gòu)，引料架9的底端設(shè)有圓孔，且圓孔位于清洗座3的正上方，滑槽12為弧形結(jié)構(gòu)，且滑動(dòng)桿10與滑槽12的內(nèi)壁滑動(dòng)連接，滑槽12的滑動(dòng)長(zhǎng)度與第一通孔11和第二通孔14的配合距離相同，滑動(dòng)桿10的頂端設(shè)有手柄，進(jìn)料口7靠近滑動(dòng)桿10的一側(cè)還設(shè)有開(kāi)口，其中手柄的長(zhǎng)度大于開(kāi)口的長(zhǎng)度，且滑動(dòng)桿10的一端通過(guò)開(kāi)口延伸至殼體1的上方，擋板2上設(shè)有隔離腔，引料架9的一端延伸至隔離腔內(nèi)，且引料架9的外側(cè)壁與隔離腔的內(nèi)壁滑動(dòng)連接，引料架9的頂端所處直徑大于進(jìn)料口7的直徑。

工作原理：工作時(shí)，通過(guò)錐形結(jié)構(gòu)的引料架9方便藍(lán)寶石襯底進(jìn)行自然滑落，同時(shí)減輕對(duì)圖形化藍(lán)寶石襯底的損傷；圖形化藍(lán)寶石襯底進(jìn)入清洗座3頂端的弧形放置槽內(nèi)，放入酸堿清洗劑，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)19驅(qū)動(dòng)支撐板4轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)清洗座3進(jìn)行攪動(dòng)清洗工作，便于同時(shí)間對(duì)多個(gè)藍(lán)寶石襯底進(jìn)行清洗，清潔效果顯著，同時(shí)利用滑動(dòng)桿10于滑槽12內(nèi)往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)導(dǎo)流板13上的第二通孔14與第一通孔11自由對(duì)接，方便清洗完成后酸堿清洗劑從出料口15處流出，有效提高清洗質(zhì)量。

以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案及其實(shí)用新型構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的操作范圍之內(nèi)。