技術(shù)總結(jié)
提供一種用于處理在太陽能電池制造中使用的基板(10)的裝置(100)。所述裝置(100)包括：檢查組件(110)，所述檢查組件被配置為檢測(cè)第一基板上的第一線路圖案(13)的第一尺寸；處理設(shè)備(120)，所述處理設(shè)備被配置為在所述第一線路圖案(13)上方提供第二線路圖案(14)，以便形成組合的線路圖案(12)，其中所述檢查組件(110)還配置為檢測(cè)所述組合的線路圖案(12)的第二尺寸；以及對(duì)準(zhǔn)設(shè)備(130)，所述對(duì)準(zhǔn)設(shè)備被配置為基于所述第一尺寸和所述第二尺寸來將所述處理設(shè)備(120)和第二基板中的至少一者對(duì)準(zhǔn)。

技術(shù)研發(fā)人員：A·沃爾坦;M·佳利亞佐;L·德桑蒂
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料意大利有限公司
文檔號(hào)碼：201621193630
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.28
技術(shù)公布日：2017.09.05