本實用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌。

背景技術(shù)：

目前，在太陽能電池片大規(guī)模生產(chǎn)過程中均采用平板式等離子體化學(xué)沉積法，即PECVD制作減反射膜，其中使用最多的PECVD鍍膜方式就是用石墨框承載太陽能電池片，從太陽能電池片鍍膜設(shè)備的一頭傳輸至另一頭，從而完成減反射膜的鍍膜制作。

如圖1、2所示，現(xiàn)有技術(shù)中，用于PECVD鍍膜的背鈍化機(jī)臺的傳輸導(dǎo)軌包括多個陣列排布的滾輪1，同一列中相鄰兩個滾輪1之間的距離較大，而因機(jī)臺自身設(shè)計的問題，背鈍化機(jī)臺所使用的石墨框10的寬度較窄，且該石墨框10較常規(guī)背鈍化機(jī)臺的石墨框偏小很多，進(jìn)而該石墨框10重量偏輕；這導(dǎo)致石墨框10在背鈍化機(jī)臺腔體內(nèi)的傳輸導(dǎo)軌上傳輸時，石墨框10的側(cè)部經(jīng)常是懸空的，因而傳輸不穩(wěn)定，一旦受到氣體的沖擊、滾輪1上有沉積的氮化硅或者是石墨框的石墨導(dǎo)軌條有被劃傷等等情況，石墨框10在腔體內(nèi)容易歪斜，進(jìn)而極易卡至相鄰兩個滾輪1之間的鏤空處，從而卡框風(fēng)險較大。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提出一種背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌，能夠解決背鈍化機(jī)臺容易卡框的問題。

為達(dá)此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

一種背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌，包括間隔設(shè)置的多列滾輪組，每列所述滾輪組包括并排間隔設(shè)置的多個滾輪，同一列所述滾輪組中相鄰兩個所述滾輪之間設(shè)置有導(dǎo)軌條。

其中，同一列所述滾輪組中相鄰兩個所述滾輪之間設(shè)置有一個所述導(dǎo)軌條，一個所述導(dǎo)軌條設(shè)置于兩個所述滾輪的中間位置。

其中，同一列所述滾輪組中相鄰兩個所述滾輪之間設(shè)置有至少兩個所述導(dǎo)軌條，兩個所述導(dǎo)軌條間隔設(shè)置。

其中，兩個所述導(dǎo)軌條的側(cè)部與對應(yīng)側(cè)的所述滾輪之間的距離等于兩個所述導(dǎo)軌條之間的距離。

其中，所述導(dǎo)軌條的底部連接有導(dǎo)軌支撐結(jié)構(gòu)。

其中，所述導(dǎo)軌支撐結(jié)構(gòu)包括支撐桿，所述支撐桿的頂端連接所述導(dǎo)軌條，所述支撐桿的底端連接有垂直于所述支撐桿設(shè)置的連接板，所述連接板通過連接螺釘連接于背鈍化機(jī)臺的機(jī)臺上。

其中，所述導(dǎo)軌條的垂直于所述滾輪的傳輸方向的截面呈U型。

其中，所述導(dǎo)軌條的長度為10-30cm。

其中，所述導(dǎo)軌條的寬度為4-6cm。

本實用新型的有益效果為：

本實用新型的背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌，包括間隔設(shè)置的多列滾輪組，每列所述滾輪組包括并排間隔設(shè)置的多個滾輪，同一列所述滾輪組中相鄰兩個所述滾輪之間設(shè)置有導(dǎo)軌條；該該背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌，通過增加導(dǎo)軌條，可以配合滾輪實現(xiàn)對石墨框的支撐，從而減小了兩個滾輪之間的鏤空區(qū)域的面積，進(jìn)而在受到氣體的沖擊、滾輪上有沉積的氮化硅或者是石墨框的石墨導(dǎo)軌條有被劃傷等等情況，石墨框在腔體內(nèi)即便歪斜，也不至于卡至相鄰兩個滾輪之間的鏤空處，從而解決背鈍化機(jī)臺容易卡框的問題。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1中的背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實用新型的背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是圖3中的背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌的一種優(yōu)選方式的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是圖3中的背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌的另一種優(yōu)選方式的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是圖3中的導(dǎo)軌條與石墨框配合時的端面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是圖3中的導(dǎo)軌條的連接結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：10-石墨框；1-滾輪；2-導(dǎo)軌條；3-導(dǎo)軌支撐結(jié)構(gòu)；31-支撐桿；32-連接板；4-連接螺釘。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖1-7并通過具體實施方式來進(jìn)一步說明本實用新型的技術(shù)方案。

如圖3所示，一種背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌，包括間隔設(shè)置的多列滾輪組，每列所述滾輪組包括并排間隔設(shè)置的多個滾輪1，同一列所述滾輪組中相鄰兩個所述滾輪1之間設(shè)置有導(dǎo)軌條2。該背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌，通過增加導(dǎo)軌條，可以配合滾輪實現(xiàn)對石墨框10的支撐，從而減小了兩個滾輪之間的鏤空區(qū)域的面積，進(jìn)而在受到氣體的沖擊、滾輪上有沉積的氮化硅或者是石墨10的石墨導(dǎo)軌條有被劃傷等等情況，石墨框10在腔體內(nèi)即便歪斜，也不至于卡至相鄰兩個滾輪之間的鏤空處，從而解決背鈍化機(jī)臺容易卡框的問題。

如圖4所示，作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，同一列所述滾輪組中相鄰兩個所述滾輪1之間設(shè)置有一個所述導(dǎo)軌條2，一個所述導(dǎo)軌條2設(shè)置于兩個所述滾輪1的中間位置。此時，導(dǎo)軌條2幾乎占滿該列中相鄰兩個滾輪1之間的鏤空空間。

如圖5所示，作為本實用新型的另一種優(yōu)選實施方式，同一列所述滾輪組中相鄰兩個所述滾輪1之間設(shè)置有至少兩個所述導(dǎo)軌條2，兩個所述導(dǎo)軌條2間隔設(shè)置。優(yōu)選的，在本實施例中，同一列滾輪組中相鄰兩個滾輪1之間設(shè)置有兩個導(dǎo)軌條，兩個所述導(dǎo)軌條2的側(cè)部與對應(yīng)側(cè)的所述滾輪1之間的距離等于兩個所述導(dǎo)軌條2之間的距離。此時，兩個導(dǎo)軌條幾乎占滿該列中相鄰兩個滾輪1之間的鏤空空間。

如圖6所示，所述導(dǎo)軌條2的垂直于所述滾輪1的傳輸方向的截面呈U型。因此，在傳輸石墨框10時，可以將石墨框10的導(dǎo)軌條固定在導(dǎo)軌條2的U型槽內(nèi)，避免卡框。

優(yōu)選的，所述導(dǎo)軌條2的長度為10-30cm，所述導(dǎo)軌條2的寬度為4-6cm。因此，所述導(dǎo)軌條2的長度可以為10cm、12cm、14cm、16cm、18cm、20cm、22cm、24cm、26cm、28cm、30cm，所述導(dǎo)軌條2的寬度可以為4cm、4.1cm、4.2cm、4.3cm、4.4cm、4.5cm、4.6cm、4.7cm、4.8cm、4.9cm、5.0cm、5.1cm、5.2cm、5.3cm、5.4cm、5.5cm、5.6cm、5.7cm、5.8cm、5.9cm、6.0cm。進(jìn)一步優(yōu)選的，在本實施例中，所述導(dǎo)軌條2的長度為20cm，所述導(dǎo)軌條2的寬度為5cm。

如圖7所示，所述導(dǎo)軌條2的底部連接有導(dǎo)軌支撐結(jié)構(gòu)3。其中，所述導(dǎo)軌支撐結(jié)構(gòu)3包括支撐桿31，所述支撐桿31的頂端連接所述導(dǎo)軌條2，所述支撐桿31的底端連接有垂直于所述支撐桿31設(shè)置的連接板32，所述連接板32通過連接螺釘4連接于背鈍化機(jī)臺的機(jī)臺上。

本實用新型的背鈍化機(jī)臺傳輸導(dǎo)軌，安裝了導(dǎo)軌條之后，石墨框10傳輸時可以在滾輪和導(dǎo)軌條上傳輸，因而導(dǎo)軌條和滾輪共同實現(xiàn)對石墨框10的支撐，進(jìn)而避免石墨框10懸空，從而避免了卡框的現(xiàn)象；其適用于滾輪1是，兩邊雙T型、兩邊雙U型或一邊是T型一邊是U型的情況，適用范圍廣。

以上結(jié)合具體實施例描述了本實用新型的技術(shù)原理。這些描述只是為了解釋本實用新型的原理，而不能以任何方式解釋為對本實用新型保護(hù)范圍的限制。基于此處的解釋，本領(lǐng)域的技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性的勞動即可聯(lián)想到本實用新型的其它具體實施方式，這些方式都將落入本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。