一種雙通道多波長脈沖激光器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種雙通道多波長脈沖激光器，包括第一激光產(chǎn)生通道、第二激光產(chǎn)生通道和激光輸出耦合切換機(jī)構(gòu)，所述第一激光產(chǎn)生通道和第二激光產(chǎn)生通道均至少產(chǎn)生兩個(gè)波段的激光，所述激光輸出耦合切換機(jī)構(gòu)對(duì)第一激光產(chǎn)生通道和第二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的多波段激光進(jìn)行選擇切換，使得所述雙通道多波長脈沖激光器能夠?qū)崿F(xiàn)多波段激光輸出。本實(shí)用新型首次在同一臺(tái)激光器上同時(shí)實(shí)現(xiàn)多個(gè)工作模式下多個(gè)波長段的脈沖激光輸出，并首次在一臺(tái)激光器上實(shí)現(xiàn)了高脈沖能量的紅外和雙紫外激光輸出，很好的滿足了激光誘導(dǎo)熒光探測技術(shù)領(lǐng)域?qū)Χ嗖ㄩL紫外激光器的應(yīng)用需求，大大提高了激光器的推廣應(yīng)用領(lǐng)域。
【專利說明】
-種雙通道多波長脈沖激光器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本實(shí)用新型設(shè)及激光技術(shù)領(lǐng)域，具體設(shè)及一種可實(shí)現(xiàn)多種工作模式切換控制的雙 通道多波長脈沖激光器。
【背景技術(shù)】
[0002] 紫外脈沖激光器是開展激光誘導(dǎo)巧光探測技術(shù)的基礎(chǔ)光源設(shè)備，廣泛應(yīng)用于環(huán)境 污染監(jiān)測、食品安全和生物安全預(yù)警等領(lǐng)域。激光誘導(dǎo)巧光探測技術(shù)常用的紫外脈沖激光 波長為355nm和266nm，分別為1064nm波長激光的Ξ倍頻和四倍頻。研究表明，266nm激光可 用于激發(fā)氨基酸類物質(zhì)的誘導(dǎo)巧光，355nm激光可用于激發(fā)輔酶類物質(zhì)的誘導(dǎo)巧光，1064nm 波長可用于被檢測目標(biāo)的定位(通過檢測后向散射信號(hào)實(shí)現(xiàn)）。在環(huán)境污染監(jiān)測和生物安全 預(yù)警等實(shí)際應(yīng)用領(lǐng)域，為了更有效的實(shí)現(xiàn)目標(biāo)污染物信息獲取和實(shí)現(xiàn)更遠(yuǎn)距離的探測應(yīng) 用，對(duì)激光器存在"單臺(tái)同時(shí)覆蓋雙紫外和高脈沖能量輸出"等需求。而當(dāng)前國際和國內(nèi)市 場上可見的紫外脈沖激光器產(chǎn)品，僅能滿足輸出單一紫外波長(355nm或266nm)的激光脈 沖，無法實(shí)現(xiàn)雙紫外的同時(shí)輸出，也無法實(shí)現(xiàn)紫外和紅外的切換控制輸出；另一方面，由于 紫外激光器通常由非線性效應(yīng)產(chǎn)生，存在激光脈沖能量低、穩(wěn)定性差等不足，因此現(xiàn)有技術(shù) 中亟需實(shí)用新型一種能夠在1064/355/266nm多波長模式下進(jìn)行切換輸出控制的高脈沖能 量激光器。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本實(shí)用新型基于上述背景，創(chuàng)新的提出一種結(jié)構(gòu)緊湊、可實(shí)現(xiàn)多種工作模式切換 控制的雙通道多波長脈沖激光器，能夠產(chǎn)生355nm和266nm的雙紫外激光，并能夠?qū)崿F(xiàn)20化 重復(fù)頻率的 1064nm@250mJ、266nm@60mJ、1064 nm +266nm@220mJ+60mJ和 1064 nm+355nm@ 220 mj+130mj四種工作模式的激光脈沖切換輸出，且各模式切換時(shí)間低于2s，且輸出激光 脈沖能力穩(wěn)定性好，能力波動(dòng)均低于3%，能夠很好的滿足激光誘導(dǎo)巧光探測技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng) 用需求。
[0004] 本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案如下：
[0005] -種雙通道多波長脈沖激光器，包括第一激光產(chǎn)生通道、第二激光產(chǎn)生通道和激 光輸出禪合切換機(jī)構(gòu)，所述第一激光產(chǎn)生通道和第二激光產(chǎn)生通道均至少產(chǎn)生兩個(gè)波段的 激光，所述激光輸出禪合切換機(jī)構(gòu)對(duì)第一激光產(chǎn)生通道和第二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的多波段 激光進(jìn)行選擇切換，使得所述雙通道多波長脈沖激光器能夠?qū)崿F(xiàn)多波段激光輸出。
[0006] 進(jìn)一步的根據(jù)本實(shí)用新型所述的雙通道多波長脈沖激光器，其中所述第一激光產(chǎn) 生通道至少產(chǎn)生中屯、波長在紅外波段的基頻激光和中屯、波長在第一紫外波段的基頻激光 四倍頻激光，所述第二激光產(chǎn)生通道至少產(chǎn)生中屯、波長在紅外波段的基頻激光和中屯、波長 在第二紫外波段的基頻激光Ξ倍頻激光，所述激光輸出禪合切換機(jī)構(gòu)對(duì)第一激光產(chǎn)生通道 和第二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的激光進(jìn)行選擇切換，使得所述雙通道多波長脈沖激光器能夠?qū)?現(xiàn)紅外和雙紫外波段激光輸出。
[0007] 進(jìn)一步的根據(jù)本實(shí)用新型所述的雙通道多波長脈沖激光器，其中所述第一激光產(chǎn) 生通道至少產(chǎn)生中屯、波長在l〇64nm的紅外激光和中屯、波長在266nm的紫外激光，所述第二 激光產(chǎn)生通道至少產(chǎn)生中屯、波長在l〇64nm的紅外激光和中屯、波長在355nm的紫外激光，所 述激光輸出禪合切換機(jī)構(gòu)對(duì)第一激光產(chǎn)生通道和第二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的激光進(jìn)行選擇 切換，使得所述雙通道多波長脈沖激光器能夠?qū)崿F(xiàn)W下波段模式中至少一種的激光輸出： 1064nm、1064nm和355nm、1064nm和266nm、266nm、355nm。
[0008] 進(jìn)一步的根據(jù)本實(shí)用新型所述的雙通道多波長脈沖激光器，其中所述第一激光產(chǎn) 生通道產(chǎn)生中屯、波長在1064皿的基頻激光、中屯、波長在53化m的二倍頻激光W及中屯、波長 在266nm的四倍頻激光，所述第二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生中屯、波長在1064nm的基頻激光、中屯、波 長在532nm的二倍頻激光W及中屯、波長在355nm的Ξ倍頻激光，所述第一激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生 的中屯、波長在266nm的四倍頻激光輸出至所述激光輸出禪合切換機(jī)構(gòu)，所述第二激光產(chǎn)生 通道產(chǎn)生的中屯、波長在l〇64nm的基頻激光和中屯、波長在355nm的Ξ倍頻激光輸出至所述激 光輸出禪合切換機(jī)構(gòu)，所述激光輸出禪合切換機(jī)構(gòu)對(duì)中屯、波長在266nm、中屯、波長在355nm 和中屯、波長在l〇64nm的Ξ個(gè)波段激光進(jìn)行組合選擇和切換輸出，使得所述雙通道多波長脈 沖激光器能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)l〇64nm、1064皿和355皿、1064皿和266皿、266皿四種波段模式下的 激光輸出。
[0009] 進(jìn)一步的根據(jù)本實(shí)用新型所述的雙通道多波長脈沖激光器，其中所述第一激光產(chǎn) 生通道包括:第一通道種子激光器、第一通道激光放大器16、第一通道二倍頻晶體18、第一 通道四倍頻晶體25和第一通道輸出分光器，所述第一通道種子激光器產(chǎn)生中屯、波長在 1064nm的第一通道基頻種子激光，并經(jīng)所述第一通道激光放大器16放大后形成中屯、波長在 1064nm的第一通道基頻激光，中屯、波長在1064nm的第一通道基頻激光通過所述第一通道二 倍頻晶體18后產(chǎn)生中屯、波長在532nm的第一通道二倍頻激光，中屯、波長在532nm的第一通道 二倍頻激光通過所述第一通道四倍頻晶體25后產(chǎn)生中屯、波長在266nm的第一通道四倍頻激 光，中屯、波長在266nm的第一通道四倍頻激光經(jīng)所述第一通道輸出分光器輸出至所述激光 輸出禪合切換機(jī)構(gòu);所述第二激光產(chǎn)生通道包括:第二通道種子激光器、第二通道激光放大 器52、第二通道二倍頻晶體57和第二通道Ξ倍頻晶體59,所述第二通道種子激光器產(chǎn)生中 屯、波長在1064nm的第二通道基頻種子激光，并經(jīng)所述第二通道激光放大器52放大后形成中 屯、波長在1064nm的第二通道基頻激光，中屯、波長在1064nm的第二通道基頻激光通過所述第 二通道二倍頻晶體57后產(chǎn)生中屯、波長在53化m的第二通道二倍頻激光，中屯、波長在1064皿 的第二通道基頻激光和中屯、波長在532nm的第二通道二倍頻激光通過所述第二通道Ξ倍頻 晶體59后產(chǎn)生中屯、波長在355nm的第二通道Ξ倍頻激光，中屯、波長在1064皿的第二通道基 頻激光和中屯、波長在355nm的第二通道Ξ倍頻激光輸出至所述激光輸出禪合切換機(jī)構(gòu);所 述激光輸出禪合切換機(jī)構(gòu)包括第一通道輸出控制開關(guān)32、第二通道輸出控制開關(guān)60、雙通 道禪合鏡片34和激光器整體輸出控制開關(guān)35,所述第一通道輸出控制開關(guān)32用于對(duì)第一激 光產(chǎn)生通道輸出的中屯、波長在266nm的第一通道四倍頻激光進(jìn)行切換控制，所述第二通道 輸出控制開關(guān)60用于對(duì)第二激光產(chǎn)生通道輸出的中屯、波長在1064皿的第二通道基頻激光 和中屯、波長在355nm的第二通道Ξ倍頻激光進(jìn)行切換控制，所述雙通道禪合鏡片34將第一 激光產(chǎn)生通道的輸出光路和第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路禪合于同一禪合輸出光路上，所 述激光器整體輸出控制開關(guān)35設(shè)置于所述禪合輸出光路上，用于實(shí)現(xiàn)雙通道多波長脈沖激 光器的整體輸出控制。
[0010] 進(jìn)一步的根據(jù)本實(shí)用新型所述的雙通道多波長脈沖激光器，其中所述第一激光產(chǎn) 生通道中，所述第一通道種子激光器包括第一通道后向反射鏡1、第一通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡3、調(diào) Q裝置、第一通道直角棱鏡5、第一通道激光晶體棒9、第一通道諧振腔輸出鏡10和第一通道 累浦閃光燈71，所述第一通道后向反射鏡1、第一通道直角棱鏡5和第一通道諧振腔輸出鏡 10形成第一通道折疊諧振腔，所述第一通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡3、調(diào)Q裝置和第一通道激光晶體棒9 置于所述第一通道折疊諧振腔內(nèi)；所述第一通道諧振腔輸出鏡10輸出的中屯、波長在l〇64nm 的第一通道基頻種子激光經(jīng)兩個(gè)45°反射鏡折反至第一通道激光放大光路上，所述第一通 道激光放大光路上依次設(shè)置有90°偏振旋轉(zhuǎn)器14、第一通道腔外望遠(yuǎn)鏡15、第一通道激光放 大器16、45°偏振旋轉(zhuǎn)器17和第一通道二倍頻晶體18,所述第一通道累浦閃光燈71同時(shí)對(duì)所 述第一通道激光晶體棒9和第一通道激光放大器16提供側(cè)向累浦，中屯、波長在1064nm的第 一通道基頻種子激光經(jīng)所述第一通道激光放大器16放大后再經(jīng)所述第一通道二倍頻晶體 18的非線性作用產(chǎn)生中屯、波長在532nm的第一通道二倍頻激光，所產(chǎn)生的中屯、波長在532nm 的第一通道二倍頻激光經(jīng)兩個(gè)45°反射鏡折反至四倍頻光路上，所述四倍頻光路上依次設(shè) 置所述第一通道四倍頻晶體25和第一通道輸出分光器，中屯、波長在53化m的第一通道二倍 頻激光經(jīng)所述第一通道四倍頻晶體25的非線性作用產(chǎn)生中屯、波長在266nm的第一通道四倍 頻激光，所產(chǎn)生的中屯、波長在266nm的第一通道四倍頻激光被所述第一通道輸出分光器反 射至第一激光產(chǎn)生通道的輸出光路上，剩余的中屯、波長在532皿的第一通道二倍頻激光經(jīng) 所述第一通道輸出分光器透射輸出后被消光器吸收。
[0011] 進(jìn)一步的根據(jù)本實(shí)用新型所述的雙通道多波長脈沖激光器，其中所述第二激光產(chǎn) 生通道中，所述第二通道種子激光器包括第二通道后向反射鏡38、第二通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡40、 調(diào)Q裝置、第二通道直角棱鏡42、第二通道激光晶體棒46、第二通道諧振腔輸出鏡47和第二 通道累浦閃光燈72,所述第二通道后向反射鏡38、第二通道直角棱鏡42和第二通道諧振腔 輸出鏡47形成第二通道折疊諧振腔，所述第二通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡40、調(diào)Q裝置和第二通道激光 晶體棒46置于所述第二通道折疊諧振腔內(nèi)；所述第二通道諧振腔輸出鏡47輸出的中屯、波長 在1064nm的第二通道基頻種子激光經(jīng)兩個(gè)45°反射鏡折反至第二通道激光放大光路上，所 述第二通道激光放大光路上依次設(shè)置有90°偏振旋轉(zhuǎn)器50、第二通道腔外望遠(yuǎn)鏡51和第二 通道激光放大器52,所述第二通道累浦閃光燈72同時(shí)對(duì)所述第二通道激光晶體棒46和第二 通道激光放大器52提供側(cè)向累浦，中屯、波長在1064nm的第二通道基頻種子激光經(jīng)所述第二 通道激光放大器52放大后形成中屯、波長在1064nm的第二通道基頻激光，所述第二通道基頻 激光經(jīng)兩個(gè)45°反射鏡折反至Ξ倍頻光路上，所述Ξ倍頻光路上依次設(shè)置有第二通道二倍 頻晶體57、45°偏振旋轉(zhuǎn)器58和第二通道Ξ倍頻晶體59,所述中屯、波長在1064nm的第二通道 基頻激光經(jīng)所述第二通道二倍頻晶體57的非線性作用產(chǎn)生中屯、波長在532皿的第二通道二 倍頻激光，所述中屯、波長在l〇64nm的第二通道基頻激光和中屯、波長在532皿的第二通道二 倍頻激光經(jīng)所述第二通道Ξ倍頻晶體59的非線性作用產(chǎn)生中屯、波長在355nm的第二通道Ξ 倍頻激光，所產(chǎn)生的中屯、波長在355nm的第二通道Ξ倍頻激光和剩余的中屯、波長在1064皿 的第二通道基頻激光沿所述第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路上輸出。
[0012] 進(jìn)一步的根據(jù)本實(shí)用新型所述的雙通道多波長脈沖激光器，其中所述激光輸出禪 合切換機(jī)構(gòu)還包括第一通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)2和第二通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)39,所述第 一通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)2設(shè)置于所述第一通道種子激光器的第一通道折疊諧振腔內(nèi)，所 述第二通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)39設(shè)置于所述第二通道種子激光器的第二通道折疊諧振腔 內(nèi)，所述第一通道輸出控制開關(guān)32設(shè)置于第一激光產(chǎn)生通道的輸出光路上，所述第二通道 輸出控制開關(guān)60設(shè)置于所述第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路上，所述第一激光產(chǎn)生通道的輸 出光路垂直于所述第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路，所述第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路與所 述禪合輸出光路共線，所述雙通道禪合鏡片34設(shè)置于所述第一激光產(chǎn)生通道的輸出光路和 所述第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路的相交之處，并將所述第一激光產(chǎn)生通道的輸出光路反 射至第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路上。
[0013] 進(jìn)一步的根據(jù)本實(shí)用新型所述的雙通道多波長脈沖激光器，其中所述第一通道諧 振腔內(nèi)控制開關(guān)2和第二通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)39均為內(nèi)腔式快口，當(dāng)內(nèi)腔式快口打開時(shí) 種子激光在諧振腔內(nèi)振蕩，當(dāng)內(nèi)腔式快口關(guān)閉時(shí)諧振腔光路被物理隔斷;所述第一通道輸 出控制開關(guān)32、第二通道輸出控制開關(guān)60和激光器整體輸出控制開關(guān)35均為包括電動(dòng)旋轉(zhuǎn) 臺(tái)和光學(xué)鏡片的電動(dòng)控制開關(guān)，通過電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)控制光學(xué)鏡片是否插入光路來實(shí)現(xiàn)開關(guān)控 審IJ;其中所述第一通道輸出控制開關(guān)32中的光學(xué)鏡片為45°全反射鏡，當(dāng)?shù)谝煌ǖ垒敵隹刂?開關(guān)32關(guān)閉時(shí)，其45°全反射鏡插入第一激光產(chǎn)生通道的輸出光路內(nèi)并將中屯、波長在266nm 的第一通道四倍頻激光反射至消光器，當(dāng)?shù)谝煌ǖ垒敵隹刂崎_關(guān)32打開時(shí)，其45°全反射鏡 脫離第一激光產(chǎn)生通道的輸出光路，中屯、波長在266nm的第一通道四倍頻激光經(jīng)雙通道禪 合鏡片34反射至禪合輸出光路上；其中所述第二通道輸出控制開關(guān)60中的光學(xué)鏡片為對(duì) 355nm高反、對(duì)1064皿高透的45°透反鏡片，當(dāng)?shù)诙ǖ垒敵隹刂崎_關(guān)60關(guān)閉時(shí)，其45°透反 鏡片插入第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路并將中屯、波長在355nm的第二通道Ξ倍頻激光反射 至消光器，同時(shí)使中屯、波長在l〇64nm的第二通道基頻激光沿第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路 輸出至禪合輸出光路上，當(dāng)?shù)诙ǖ垒敵隹刂崎_關(guān)60打開時(shí)，其45°透反鏡片脫離第二激光 產(chǎn)生通道的輸出光路，從而使中屯、波長在355nm的第二通道Ξ倍頻激光和中屯、波長在 1064皿的第二通道基頻激光沿第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路輸出至禪合輸出光路上;其中 激光器整體輸出控制開關(guān)35中的光學(xué)鏡片為45°全反射鏡，當(dāng)激光器整體輸出控制開關(guān)34 關(guān)閉時(shí)，其45°全反射鏡插入禪合輸出光路并將各波段激光束反射至消光器，當(dāng)激光器整體 輸出控制開關(guān)34打開時(shí)，其45°全反射鏡脫離禪合輸出光路，使各波段激光束沿禪合輸出光 路輸出；所述雙通道禪合鏡片34為對(duì)1064皿高透、對(duì)355nm高透、對(duì)266nm高反的45°透反鏡 片。
[0014] 進(jìn)一步的根據(jù)本實(shí)用新型所述的雙通道多波長脈沖激光器，所述第一通道二倍頻 晶體18為KTP倍頻晶體，所述第一通道四倍頻晶體25為BB0倍頻晶體，所述第二通道二倍頻 晶體57和第二通道Ξ倍頻晶體59均為LB0倍頻晶體。
[0015] 通過本實(shí)用新型的技術(shù)方案至少能夠達(dá)到W下技術(shù)效果：
[0016] 1)、本實(shí)用新型首創(chuàng)在一臺(tái)激光器上實(shí)現(xiàn)了高脈沖能量的紅外和雙紫外激光輸 出，很好的滿足了激光誘導(dǎo)巧光探測技術(shù)領(lǐng)域?qū)Χ嗖ㄩL紫外激光器的應(yīng)用需求。
[0017] 2)、本實(shí)用新型首創(chuàng)的實(shí)現(xiàn)了對(duì)脈沖激光器多種工作模式的切換控制，能夠通過 一臺(tái)激光器實(shí)現(xiàn)至少四種工作方式，大大提高了激光器的推廣應(yīng)用領(lǐng)域。
[001引3)、本實(shí)用新型所述的雙通道多波長脈沖激光器，能夠產(chǎn)生355皿和266皿的雙紫 外激光，并能夠?qū)崿F(xiàn)20化重復(fù)頻率的1064皿@25011^、266皿@6011^、1064皿+266皿@22011^+ 60mJ和1064皿+355皿@220 mj+130mj四種工作模式的激光脈沖切換輸出，且各模式切換 時(shí)間低于2s，且輸出激光脈沖能力穩(wěn)定性好，能力波動(dòng)均低于3%，屬于355nm和266nm波段的 一種全新脈沖激光器，具有廣闊的市場前景。
【附圖說明】

[0019] 附圖1為本實(shí)用新型所述雙通道多波長脈沖激光器的基本光路結(jié)構(gòu)圖；
[0020] 附圖2為本實(shí)用新型所述雙通道多波長脈沖激光器的組成結(jié)構(gòu)原理圖；
[0021 ]圖中各附圖標(biāo)記的含義如下：
[0022 ] 1:第一通道后向反射鏡;2:第一通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān);3:第一通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡； 4:第一通道普克爾盒;5:第一通道直角棱鏡;6:第一通道偏振片;7: S偏振消光片;8: P偏振 消光片;9:第一通道激光晶體棒；10:第一通道諧振腔輸出鏡；11:45°高反射鏡；12:1064皿 光強(qiáng)探頭；13:45°全反射鏡；14:90°偏振旋轉(zhuǎn)器；15:第一通道腔外望遠(yuǎn)鏡；16:第一通道激 光放大器；17:45°偏振旋轉(zhuǎn)器；18:第一通道二倍頻晶體；19:分光器;20:消光器;21:45°高 反射鏡;22:45°高反射鏡;23:532皿窄帶濾光片；24:532nm光強(qiáng)探頭;25:第一通道四倍頻晶 體;26:分光器;27:分光器;28:266nm窄帶濾光片；29:266nm光強(qiáng)探頭;30:分光器;31:消光 器;32:第一通道輸出控制開關(guān);33:45°全反射鏡;34:雙通道禪合鏡片;35:激光器整體輸出 控制開關(guān);36:45°全反射鏡;37:消光器;38:第二通道后向反射鏡;39:第二通道諧振腔內(nèi)控 制開關(guān);40:第二通道諧振腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡;41:第二通道普克爾盒;42:第二通道直角棱鏡;43: 第二通道偏振片;44: S偏振消光片;45: P偏振消光片;46:第二通道激光晶體棒;47:第二通 道諧振腔輸出鏡;48:45°全反射鏡;49:45°全反射鏡;50:90°偏振旋轉(zhuǎn)器;51:第二通道腔外 望遠(yuǎn)鏡；52:第二通道激光放大器;53:45°全反射鏡;54:45°高反射鏡;55:1064nm窄帶濾光 片；56:1064nm光強(qiáng)探頭；57:第二通道二倍頻晶體;58:45°偏振旋轉(zhuǎn)器;59:第二通道二倍頻 晶體;60:第二通道輸出控制開關(guān);61:45°全反射鏡;62:消光器;63:45°鏡片;64:45°全反射 鏡；65:1064nm窄帶濾光片；66:1064nm光強(qiáng)探頭；67:45°反射鏡；68:消光器;69:355nm窄帶 濾光片;70:355nm光強(qiáng)探頭;71:第一通道累浦閃光燈;72:第二通道累浦閃光燈。
【具體實(shí)施方式】
[0023] W下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述，W使本領(lǐng)域技術(shù)人員能 夠更加清楚的理解本實(shí)用新型，但并不因此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0024] 首先說明本實(shí)用新型的基本工作原理，附圖1給出了本實(shí)用新型的基本光路結(jié)構(gòu)， 包括兩條相互獨(dú)立的光路通道，其中第一通道用于產(chǎn)生266nm脈沖激光，第二通道用于產(chǎn)生 1064/355nm脈沖激光，第一通道和第二通道通過控制開關(guān)切換輸出。其中第一通道實(shí)現(xiàn) 266皿脈沖激光的產(chǎn)生過程為:Nd: YAG激光器輸出基頻1064nm波長、重復(fù)頻率20化的脈沖激 光，經(jīng)倍頻晶體SH作用和波長分離后，產(chǎn)生532nm波長激光，剩余的1064nm波長激光被消光 吸收，產(chǎn)生的532nm激光輸出經(jīng)四倍頻晶體FH作用和波長分離后，產(chǎn)生266nm波長激光，剩余 的532nm波長激光被消光吸收。第二通道用于實(shí)現(xiàn)1064+355nm脈沖激光的產(chǎn)生過程為:Nd: YAG激光器輸出基頻1064皿波長、重復(fù)頻率20化的脈沖激光，經(jīng)倍頻晶體SH作用后產(chǎn)生1064 巧32nm組合激光，1064nm和532nm激光再經(jīng)Ξ倍頻晶體TH的和頻作用后，產(chǎn)生1064+355nm激 光輸出。第一通道產(chǎn)生的266nm波長激光和第二通道產(chǎn)生的1064+355nm波長激光經(jīng)禪合后 通過波長反射控制開關(guān)實(shí)現(xiàn)l〇64nm、266nm、1064 nm+266nm和1064nm+355nm四種工作模式 的激光脈沖切換輸出。
[0025] 下面給出本實(shí)用新型所述可實(shí)現(xiàn)多種工作模式切換控制的雙通道多波長脈沖激 光器的具體組成結(jié)構(gòu)及其工作過程。如附圖2所示，本實(shí)用新型所述的雙通道多波長脈沖激 光器整體包括第一激光產(chǎn)生通道、第二激光產(chǎn)生通道和激光輸出禪合切換機(jī)構(gòu)。所述第一 激光產(chǎn)生通道用于產(chǎn)生并輸出中屯、波長為266nm的紫外激光，第二激光產(chǎn)生通道用于產(chǎn)生 并輸出中屯、波長為l〇64nm的紅外激光和中屯、波長為355nm的紫外激光，所述激光輸出禪合 切換機(jī)構(gòu)用于將第一激光產(chǎn)生通道和第二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的激光進(jìn)行禪合輸出和多波 長工作模式的選擇切換輸出。
[0026] 所述第一激光產(chǎn)生通道包括第一通道后向反射鏡1、第一通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡3、第一 通道普克爾盒4、第一通道直角棱鏡5、第一通道偏振片6、S偏振消光片7、P偏振消光片8、第 一通道激光晶體棒9、第一通道諧振腔輸出鏡10、45°高反射鏡11 (1064nm高反）、1064nm光強(qiáng) 探頭12、45°全反射鏡13、90°偏振旋轉(zhuǎn)器14、第一通道腔外望遠(yuǎn)鏡15、第一通道激光放大器 16、45°偏振旋轉(zhuǎn)器17、第一通道二倍頻晶體18、分光器19 (1064nm高透、532nm高反）、消光器 20、45°高反射鏡2U532nm高反）、45°高反射鏡22、532nm窄帶濾光片23、532nm光強(qiáng)探頭24、 第一通道四倍頻晶體25、分光器26巧32皿高透、266皿高反）、分光器27巧32皿高透、266皿高 反）、266皿窄帶濾光片28、266nm光強(qiáng)探頭29、分光器30( 532皿高透、266皿高反）、消光器31 和第一通道累浦閃光燈71。所述第一通道后向反射鏡1和第一通道諧振腔輸出鏡10組成第 一通道基頻種子激光諧振腔，在激光諧振腔內(nèi)沿光路依次設(shè)置有所述第一通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡 3、第一通道普克爾盒4、第一通道直角棱鏡5、第一通道偏振片6、S偏振消光片7、P偏振消光 片8和第一通道激光晶體棒9,其中所述第一通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡3主要作用包括兩方面:一是限 制光束模式，二是熱透鏡補(bǔ)償作用，所述第一通道直角棱鏡5用于實(shí)現(xiàn)光路折疊，通過光路 平行對(duì)折可在保證腔長的前提下壓縮激光器結(jié)構(gòu);所述第一通道偏振片6、S偏振消光片7和 P偏振消光片8組成偏振機(jī)構(gòu)，由所述第一通道普克爾盒4和偏振機(jī)構(gòu)共同組成調(diào)Q開關(guān)，用 于控制脈沖激光輸出，且所述第一通道普克爾盒4和偏振機(jī)構(gòu)分別處于第一通道直角棱鏡5 的輸入輸出兩側(cè)，所述第一通道激光晶體棒9采用Nd:YAG晶體棒，所述第一通道累浦閃光燈 71位于所述第一通道激光晶體棒9的側(cè)邊，所述第一通道累浦閃光燈71采用氣燈累浦燈，通 過第一通道累浦閃光燈71光激勵(lì)累浦Nd:YAG晶體棒，將處于基態(tài)的Nd粒子抽運(yùn)到激發(fā)態(tài) Nd3%形成了集居數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)，激發(fā)態(tài)粒子在回歸至基態(tài)過程中福射出中屯、波長為1064nm的 光子，光子在諧振腔內(nèi)振蕩后經(jīng)第一通道諧振腔輸出鏡10輸出中屯、波長在l〇64nm的基頻種 子激光。在第一通道諧振腔輸出鏡10外沿光路方向設(shè)置所述45°高反射鏡ll(1064nm高反）、 1064nm光強(qiáng)探頭12和45°全反射鏡13,所述1064nm光強(qiáng)探頭12位于所述45°高反射鏡11的后 方，所述45°全反射鏡13位于所述45°高反射鏡11的光路反射方向，通過所述45°高反射鏡11 和45°全反射鏡13實(shí)現(xiàn)光路的平行折疊，所述45°高反射鏡11對(duì)1064nm基頻激光高反，少部 分透過45°高反射鏡11的1064nm基頻激光被1064皿光強(qiáng)探頭12探測到，從而能夠獲知基頻 種子激光的強(qiáng)度，所述45°全反射鏡13將1064基頻激光進(jìn)行45°全反射，在其反射輸出光路 上依次設(shè)置有90°偏振旋轉(zhuǎn)器14、第一通道腔外望遠(yuǎn)鏡15、第一通道激光放大器16、45°偏振 旋轉(zhuǎn)器17和第一通道二倍頻晶體18,形成基頻激光二倍頻光學(xué)結(jié)構(gòu)，所述90°偏振旋轉(zhuǎn)器14 和45°偏振旋轉(zhuǎn)器17設(shè)置于第一通道激光放大器16兩側(cè)，用于控制1064nm基頻激光二倍頻 的偏振旋轉(zhuǎn)，所述第一通道腔外望遠(yuǎn)鏡15設(shè)置于90°偏振旋轉(zhuǎn)器14和第一通道激光放大器 16之間，用于進(jìn)行光束模式限制和熱透鏡補(bǔ)償，所述第一通道激光放大器16對(duì)1064nm基頻 種子激光進(jìn)行放大，包括有Nd: YAG晶體棒，由第一通道累浦閃光燈71同時(shí)提供對(duì)第一通道 激光放大器16的累浦激勵(lì)，1064nm基頻種子激光通過第一通道激光放大器16后將使處于激 發(fā)態(tài)的Nd3+回歸至基態(tài)，從而使得1064nm基頻種子激光被放大，生成高脈沖能量的1064nm基 頻激光，所述第一通道二倍頻晶體18優(yōu)選的采用KTP倍頻晶體，通過90°偏振旋轉(zhuǎn)器14和45° 偏振旋轉(zhuǎn)器17的偏振旋轉(zhuǎn)控制，使得放大后的1064nm基頻激光通過所述KTP二倍頻晶體后 將按照oee型相位匹配非線性效應(yīng)產(chǎn)生倍頻光，形成1064nm和532皿混合激光束。在1064皿 和53化m混合激光束的輸出光路上進(jìn)一步設(shè)置有分光器19、45°高反射鏡21、第一通道四倍 頻晶體25、分光器26、分光器30和消光器31，形成基頻光四倍頻光學(xué)結(jié)構(gòu)，其中分光器19為 對(duì)1064nm高透、532nm高反的45°透反鏡，1064nm和532nm混合激光束中的1064nm光束經(jīng)分光 鏡19增透后由設(shè)置于分光鏡19后側(cè)的消光器20吸收，混合光束中的532nm倍頻光束被分光 鏡19沿與原光路垂直的方向反射至45°高反射鏡21，從而通過分光鏡1則尋基頻光的二倍頻 光巧32nm)與基頻光分離。所述45°高反射鏡21將532nm倍頻光反射向第一通道四倍頻晶體 25, 同時(shí)在45°高反射鏡21后方設(shè)置有45°高反射鏡22,在45°高反射鏡22反射光路上依次設(shè) 置有53化m窄帶濾光片23和532nm光強(qiáng)探頭24,按45°角入射在45°高反射鏡21上的53化m光 束將有少部分透過45°高反射鏡21入射到45°高反射鏡22上，再被45°高反射鏡22反射到 532nm窄帶濾光片23,通過53化m窄帶濾光片23對(duì)532nm倍頻光進(jìn)行濾光處理，然后由532nm 光強(qiáng)探頭24進(jìn)行強(qiáng)度探測分析，從而獲知基頻激光倍頻產(chǎn)生的53化m激光強(qiáng)度。大多數(shù) 53化m倍頻光被45°高反射鏡21反射向第一通道四倍頻晶體25,所述第一通道四倍頻晶體25 為BB0晶體，532nm光束經(jīng)BB0晶體后將按照ooe型相位匹配非線性效應(yīng)再次產(chǎn)生倍頻光，形 成53化m+266nm混合光束，其中BB0晶體對(duì)53化m倍頻光再次進(jìn)行了二倍頻，相當(dāng)于對(duì)基頻 1064nm激光進(jìn)行四倍頻，因此在本方案中是作為了第一通道的四倍頻晶體，所述分光器26、 分光器30和消光器31設(shè)置于532nm+266皿混合光束的輸出光路上，其中分光器26為對(duì)532皿 高透、266nm高反的45°透反鏡，532nm+266nm混合光束中未轉(zhuǎn)化的53化m光束將透過分光器 26, 倍頻產(chǎn)生的266nm激光將被分光器26反射，從而通過分光鏡將53化m+266nm混合光束進(jìn) 行分離，分離的266nm紫外激光被分光器26反射輸出。所述的分光器30和消光器31設(shè)置于分 光器26后方的透射光路上，所述分光器30為對(duì)53化m高透、266皿高反的45°透反鏡，所述消 光器31設(shè)置于分光器30的后方，從而經(jīng)分光器26透射分離出來的未轉(zhuǎn)化的53化m光束穿過 分光器30后被消光器31吸收，進(jìn)一步優(yōu)選地在所述分光器26和30之間設(shè)置有分光器27,所 述分光器27為對(duì)53化m高透、266皿高反的45°透反透鏡，在分光器27的反射光路上進(jìn)一步依 次設(shè)置有266nm窄帶濾光片28和266nm光強(qiáng)探頭29,從而從分光器26透射過來的少部分 266nm倍頻光被分光器27反射至266nm窄帶濾光片28和266nm光強(qiáng)探頭29,由266nm光強(qiáng)探頭 29檢測經(jīng)分光器26透射、分光器27反射和266皿窄帶濾光片28濾波的266nm光束強(qiáng)度，反饋 第一激光產(chǎn)生通道輸出的266nm光強(qiáng)。所述第一激光產(chǎn)生通道的具體工作過程為:第一通道 激光晶體棒9經(jīng)累浦和諧振振蕩產(chǎn)生1064nm基頻脈沖激光，然后在腔外經(jīng)第一通道激光放 大器16放大后輸出一定能量且脈沖重復(fù)頻率為20化的1064nm波長脈沖激光，經(jīng)二倍頻晶體 18作用后，產(chǎn)生1064/532皿激光，然后經(jīng)具有波長分離功能的分光器19分成1064皿和532皿 激光，其中l(wèi)〇64nm激光由消光器吸收，532nm激光再次經(jīng)四倍頻晶體作用后，產(chǎn)生532/266nm 激光，再次經(jīng)分光器26分出53化m和266nm激光，其中532nm激光由消光器吸收，最終產(chǎn)生的 266nm激光由分光器26反射輸出。第一激光產(chǎn)生通道中為壓縮系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，引入多個(gè)45°鏡片， 實(shí)現(xiàn)光路的平行折疊。
[0027]所述第二激光產(chǎn)生通道包括第二通道后向反射鏡38、第二通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡40、第 二通道普克爾盒41、第二通道直角棱鏡42、第二通道偏振片43、S偏振消光片44、P偏振消光 片45、第二通道激光晶體棒46、第二通道諧振腔輸出鏡47、45°全反射鏡48、45°全反射鏡49、 90°偏振旋轉(zhuǎn)器50、第二通道腔外望遠(yuǎn)鏡51、第二通道激光放大器52、45°全反射鏡53、45°高 反射鏡54( 1064nm高反）、1064nm窄帶濾光片55、1064nm光強(qiáng)探頭56、第二通道二倍頻晶體 57、45°偏振旋轉(zhuǎn)器58、第二通道二倍頻晶體59和第二通道累浦閃光燈72。所述第二通道后 向反射鏡38和第二通道諧振腔輸出鏡47共同構(gòu)成第二通道基頻種子激光諧振腔，在激光諧 振腔內(nèi)沿光路依次設(shè)置有所述第二通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡40、第二通道普克爾盒41、第二通道直 角棱鏡42、第二通道偏振片43、S偏振消光片44、P偏振消光片45和第二通道激光晶體棒46， 其中所述第二通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡40主要作用包括兩方面:一是限制光束模式，二是熱透鏡補(bǔ) 償作用，所述第二通道直角棱鏡42用于實(shí)現(xiàn)光路折疊，通過光路平行對(duì)折可在保證腔長的 前提下壓縮激光器結(jié)構(gòu)，所述第二通道偏振片43、S偏振消光片44和P偏振消光片45組成偏 振機(jī)構(gòu)，由所述第二通道普克爾盒41和偏振機(jī)構(gòu)共同組成調(diào)Q開關(guān)，用于控制脈沖激光輸 出，且所述第二通道普克爾盒41和偏振機(jī)構(gòu)分別處于第二通道直角棱鏡42的輸入輸出兩 側(cè)，所述第二通道激光晶體棒46采用Nd:YAG晶體棒，所述第二通道累浦閃光燈72位于所述 第二通道激光晶體棒46的側(cè)邊，所述第二通道累浦閃光燈72采用氣燈累浦燈，通過第二通 道累浦閃光燈72光激勵(lì)累浦Nd: YAG晶體棒，將處于基態(tài)的Nd粒子抽運(yùn)到激發(fā)態(tài)Nd3+，形成了 集居數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài)，激發(fā)態(tài)粒子在回歸至基態(tài)過程中福射出中屯、波長為l〇64nm的光子，光子 在諧振腔內(nèi)振蕩后經(jīng)第二通道諧振腔輸出鏡47輸出中屯、波長在1064nm的基頻種子激光。在 第二通道諧振腔輸出鏡47外沿光路方向設(shè)置所述45°全反射鏡18,由45°全反射鏡18將種子 激光反射至45°全反射鏡49，通過兩個(gè)45°全反射鏡實(shí)現(xiàn)種子激光光路的平行對(duì)折，所述90° 偏振旋轉(zhuǎn)器50、第二通道腔外望遠(yuǎn)鏡51和第二通道激光放大器52依次設(shè)置于45°全反射鏡 49的反射光路上，所述種子激光由90°偏振旋轉(zhuǎn)器50進(jìn)行90°偏振旋轉(zhuǎn)，在第二通道腔外望 遠(yuǎn)鏡51進(jìn)行熱透鏡補(bǔ)償，所述第二通道激光放大器52對(duì)1064nm基頻種子激光進(jìn)行放大，包 括有Nd:YAG晶體棒，由第二通道累浦閃光燈72同時(shí)提供對(duì)第二通道激光放大器52的累浦激 勵(lì)，1064nm基頻種子激光通過第二通道激光放大器52后將使處于激發(fā)態(tài)的Nd3+回歸至基態(tài)， 從而使得1064nm基頻種子激光被放大，生成高脈沖能量的1064nm基頻激光。放大后的 1064nm基頻激光依次被45°全反射鏡53和45°高反射鏡54( 1064nm高反)進(jìn)行平行對(duì)折反射， 其中45°高反射鏡54后方設(shè)置有1064nm窄帶濾光片55和1064nm光強(qiáng)探頭56,透過45°高反射 鏡54的1064nm基頻激光經(jīng)1064nm窄帶濾光片55后被1064nm光強(qiáng)探頭56探測，已反饋其強(qiáng) 度。在45°高反射鏡54的反射光路上依次設(shè)置有第二通道二倍頻晶體57、45°偏振旋轉(zhuǎn)器58 和第二通道二倍頻晶體59,共同構(gòu)成基頻激光的Ξ倍頻機(jī)構(gòu)，所述90°偏振旋轉(zhuǎn)器50和45° 偏振旋轉(zhuǎn)器58用于控制1064nm基頻激光的偏振旋轉(zhuǎn)，通過偏振旋轉(zhuǎn)控制，放大后的1064皿 基頻激光首先經(jīng)過第二通道二倍頻晶體57并按照ooe型相位匹配非線性效應(yīng)產(chǎn)生倍頻光， 形成1064nm和53化m混合激光束，所述1064nm和532nm混合激光束經(jīng)45°偏振旋轉(zhuǎn)器58進(jìn)行 45°偏振旋轉(zhuǎn)后再經(jīng)過第二通道Ξ倍頻晶體59，1064nm和532nm的光束在Ξ倍頻晶體化B0晶 體）中按照ooe型相位匹配非線性效應(yīng)產(chǎn)生355nm和頻激光，通過控制1064nm基頻激光足量 使得532nm激光基本被全部轉(zhuǎn)化，最終輸出1064nm+355nm混合激光束，所述第二通道二倍頻 晶體57和第二通道二倍頻晶體59優(yōu)選的采用LB0晶體，所述1064皿+355nm混合激光束在第 二通道輸出控制開關(guān)60關(guān)閉狀態(tài)下（45°鏡片355nm高反，1064nm高透）將分離出其中的 355nm紫外激光，并經(jīng)由45°全反射鏡61反射至消光器62處進(jìn)行吸收。
[0028]所述激光輸出禪合切換機(jī)構(gòu)包括第一通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)2、第二通道諧振腔 內(nèi)控制開關(guān)39、第一通道輸出控制開關(guān)32、45°全反射鏡33、雙通道禪合鏡片％(1064nm、 355nm高透，266nm高反）、激光器整體輸出控制開關(guān)35(關(guān)閉時(shí)45°全反射）、45°全反射鏡36、 消光器37、第二通道輸出控制開關(guān)60、45°全反射鏡61、消光器62、45°鏡片63(1064nm、355 皿高透）、45°全反射鏡64、1064nm窄帶濾光片65、1064皿光強(qiáng)探頭66、45°反射鏡67、消光器 68、355nm窄帶濾光片69和355nm光強(qiáng)探頭70。所述第一通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)2設(shè)置于第一 激光產(chǎn)生通道中的第一通道基頻種子激光諧振腔內(nèi)，并靠近第一通道后向反射鏡1設(shè)置，所 述第一通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)2優(yōu)選的為內(nèi)腔式快口，用于第一通道基頻種子激光諧振腔 內(nèi)種子光控制，當(dāng)開關(guān)打開時(shí)諧振腔振蕩輸出l〇64nm種子光，當(dāng)開關(guān)關(guān)閉時(shí)，內(nèi)腔式快口物 理隔斷諧振腔光路;所述第二通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)39設(shè)置于第二激光產(chǎn)生通道中的第二 通道基頻種子激光諧振腔內(nèi)，并靠近第二通道后向反射鏡38設(shè)置，所述第二通道諧振腔內(nèi) 控制開關(guān)39優(yōu)選的為內(nèi)腔式快口，用于第二通道基頻種子激光諧振腔內(nèi)種子光控制，當(dāng)開 關(guān)打開時(shí)諧振腔振蕩輸出l〇64nm種子光，當(dāng)開關(guān)關(guān)閉時(shí)，內(nèi)腔式快口物理隔斷諧振腔光路， 通過第一通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)2和第二通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)39分別控制第一激光產(chǎn)生 通道和第二激光產(chǎn)生通道是否產(chǎn)生基頻激光。所述第一通道輸出控制開關(guān)32、第二通道輸 出控制開關(guān)60和激光器整體輸出控制開關(guān)35均為電動(dòng)控制開關(guān)，由電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)和光學(xué)鏡片 組成，通過電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)控制光學(xué)鏡片是否插入光路來實(shí)現(xiàn)開關(guān)控制，所述光學(xué)鏡片優(yōu)選為 45°透反鏡片，當(dāng)控制開關(guān)關(guān)閉時(shí)，電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)控制光學(xué)鏡片插入光路并與光路夾角為45 度，由其自身的透反特性實(shí)現(xiàn)光路內(nèi)光束傳輸路徑的控制，當(dāng)控制開關(guān)打開時(shí)，電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái) 旋轉(zhuǎn)90度，光學(xué)鏡片與光路無交叉，不在對(duì)光路內(nèi)光束的傳輸路徑進(jìn)行控制。具體的所述第 一通道輸出控制開關(guān)32設(shè)置于第一激光產(chǎn)生通道中266nm紫外激光的輸出光路上，用于控 制第一激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的266nm紫外激光是否輸出，所述第一通道輸出控制開關(guān)32上的 光學(xué)鏡片為45°全反射鏡，因此當(dāng)?shù)谝煌ǖ垒敵隹刂崎_關(guān)32關(guān)閉時(shí)，其45°全反射鏡插入第 一激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的266皿紫外激光的輸出光路上，將266nm紫外激光反射至45°全反射 鏡33，并經(jīng)45°全反射鏡33和分光器30最終反射至消光器31，當(dāng)?shù)谝煌ǖ垒敵隹刂崎_關(guān)32打 開時(shí)，其45°全反射鏡脫離第一激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的266nm紫外激光的輸出光路，第一激光 產(chǎn)生通道產(chǎn)生的266nm紫外激光的輸出至雙通道禪合鏡片34(1064nm、355nm高透，266nm高 反)上，經(jīng)雙通道禪合鏡片34垂直反射至禪合輸出光路上。所述第二通道輸出控制開關(guān)60設(shè) 置于第二激光產(chǎn)生通道中l(wèi)〇64nm+355nm混合激光束的輸出光路上，所述1064nm+355nm混合 激光束的輸出光路與禪合輸出光路共線，所述266nm紫外激光的輸出光路垂直于禪合輸出 光路，所述第二通道輸出控制開關(guān)60用于控制第二通道是否輸出355nm激光，所述第二通道 輸出控制開關(guān)60上的光學(xué)鏡片為對(duì)355nm高反、對(duì)1064nm高透的45°透反鏡片，當(dāng)?shù)诙ǖ?輸出控制開關(guān)60關(guān)閉時(shí)，其45°透反鏡片旋轉(zhuǎn)嵌入第二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的1064nm+355皿 混合激光束的輸出光路上，混合激光束中355nm激光束被第二通道輸出控制開關(guān)60的45°透 反鏡片反射至45°全反射鏡61，并經(jīng)由45°全反射鏡61反射至消光器62,混合激光束中 1064nm則透過45°透反鏡片輸出至禪合輸出光路上；當(dāng)?shù)诙ǖ垒敵隹刂崎_關(guān)60打開時(shí)，其 45°透反鏡片脫離第二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的1064nm+355皿混合激光束的輸出光路，1064nm+ 355nm混合激光束直接輸出至禪合輸出光路上。在所述禪合輸出光路上依次設(shè)置有45°鏡片 63(1064nm、355皿高透）、雙通道禪合鏡片34(1064皿、355皿高透，266皿高反)和激光器整 體輸出控制開關(guān)35,所述45°鏡片63對(duì)1064nm和355 nm高透，在45°鏡片63的下方(垂直反射 方向）進(jìn)一步的設(shè)置有45°全反射鏡64，通過45°全反射鏡64將45°鏡片63反射的少部分 1064nm激光反射至1064nm窄帶濾光片65和1064nm光強(qiáng)探頭66，由1064nm光強(qiáng)探頭66探測并 反饋第二激光產(chǎn)生通道裝置產(chǎn)生的l〇64nm基頻激光。在45°鏡片63的下游設(shè)置有所述雙通 道禪合鏡片34,所述雙通道禪合鏡片34用于將第一激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的266nm輸出光束和 第二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的l〇64nm+355nm混合激光束進(jìn)行禪合輸出，所述雙通道禪合鏡片34 為對(duì)1064nm、355nm高透、對(duì)266nm高反的45°透反鏡片，來自第二激光產(chǎn)生通道的1064nm+ 355nm混合激光束透射穿過雙通道禪合鏡片34，來自第一激光產(chǎn)生通道的266nm激光束經(jīng)雙 通道禪合鏡片34垂直反射后與第二激光產(chǎn)生通道的1064nm+355nm混合激光束處于同一禪 合輸出光路，在所述雙通道禪合鏡片34下方設(shè)置有45°反射鏡67,用于將雙通道禪合鏡片34 反射的極少部分355nm反射至355nm窄帶濾光片69和355nm光強(qiáng)探頭70,提供對(duì)355nm紫外激 光的探測反饋。所述激光器整體輸出控制開關(guān)35設(shè)置于雙通道禪合鏡片34的下游，所述激 光器整體輸出控制開關(guān)34中電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的光學(xué)鏡片為45°全反射鏡，當(dāng)激光器整體輸出 控制開關(guān)34關(guān)閉時(shí)時(shí)，其45°全反射鏡旋轉(zhuǎn)嵌入禪合輸出光路，并將1064皿+355nm+266皿混 合激光束全部向上反射至45°全反射鏡36，最后經(jīng)45°全反射鏡36反射至消光器37，運(yùn)種情 況下保證激光器整體輸出控制開關(guān)34關(guān)閉時(shí)不輸出激光束，當(dāng)激光器整體輸出控制開關(guān)34 打開時(shí)，其45°全反射鏡完全脫離禪合輸出光路，使得禪合輸出光路中的各光束能夠自由輸 出。所述第二激光產(chǎn)生通道的具體工作過程為:第二通道激光晶體棒46經(jīng)累浦和諧振振蕩 產(chǎn)生1064nm基頻種子脈沖激光，然后在腔外經(jīng)第二通道激光放大器52放大后輸出一定能量 且脈沖重復(fù)頻率為20化的1064皿波長脈沖激光，經(jīng)二倍頻晶體57作用后，產(chǎn)生1064巧32皿 激光，然后經(jīng)過Ξ倍頻晶體59作用，產(chǎn)生1064+355nm激光，在第二通道輸出控制開關(guān)60關(guān)閉 下實(shí)現(xiàn)355nm激光的單獨(dú)分離，在第二通道輸出控制開關(guān)60打開下實(shí)現(xiàn)1064+355nm激光的 輸出。第二激光產(chǎn)生通道中為壓縮系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，引入多個(gè)45°鏡片，實(shí)現(xiàn)光路的平行折疊。
[0029] 本實(shí)用新型首創(chuàng)的通過一臺(tái)激光器同時(shí)實(shí)現(xiàn)多個(gè)工作模式下多個(gè)波長段的脈沖 激光輸出，創(chuàng)新組合了通過四倍頻產(chǎn)生266nm紫外激光的第一激光產(chǎn)生通道和通過Ξ倍頻 產(chǎn)生355nm紫外激光的第二激光產(chǎn)生通道，首次在一臺(tái)激光器中實(shí)現(xiàn)了 1064nm、355nm、 266ηπιΞ波長的多種工作模式組合輸出，下面在上述控制開關(guān)工作原理下，簡要給出本實(shí)用 新型所述雙通道多波長脈沖激光器在多種工作模式下的切換控制過程，具體的如下表1所 /J、- 〇
[0030] 表1激光器工作控制模式
[0031]
[0032] 下面給出本實(shí)用新型所述雙通道多波長脈沖激光器的具體實(shí)施例。 實(shí)施例
[0033] 根據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)方案，研制了激光器樣機(jī)，通過實(shí)驗(yàn)測試，得到了激光器樣機(jī) 的技術(shù)參數(shù)。經(jīng)實(shí)際測試所述激光器樣機(jī)產(chǎn)生的l〇64nm、355nm和266nm脈沖激光輸出能量 分別可達(dá)223mJ、141mJ和64mJ，脈沖重復(fù)頻率為20Hz、脈沖激光能量波動(dòng)低于3%，輸出激光 脈沖能量和穩(wěn)定性均好于同類產(chǎn)品。激光器樣機(jī)實(shí)測技術(shù)指標(biāo)如表2所示。另外，激光器樣 機(jī)框架采用侶合金材料，結(jié)構(gòu)緊湊、質(zhì)量輕，適合車載系統(tǒng)。
[0034] 表2激光器樣機(jī)實(shí)測技術(shù)指標(biāo)
[0035]
[0036] 本實(shí)用新型首創(chuàng)在一臺(tái)激光器上實(shí)現(xiàn)了高脈沖能量的紅外和雙紫外激光輸出，并 能夠?qū)崿F(xiàn)l〇64nm、266nm、1064皿巧66皿和1064nm+355nm四種工作模式的激光脈沖切換輸 出，且各模式切換時(shí)間低于2s，且輸出激光脈沖能力穩(wěn)定性好，能力波動(dòng)均低于3%，屬于 355nm和266nm波段的一種全新脈沖激光器，能夠很好的滿足了激光誘導(dǎo)巧光探測技術(shù)領(lǐng)域 對(duì)多波長紫外激光W及紅外定位激光的應(yīng)用需求，大大提高了激光器的推廣應(yīng)用領(lǐng)域。
[0037] W上僅是對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行了描述，并不將本實(shí)用新型的技術(shù)方 案限制于此，本領(lǐng)域技術(shù)人員在本實(shí)用新型的主要技術(shù)構(gòu)思的基礎(chǔ)上所作的任何公知變形 都屬于本實(shí)用新型所要保護(hù)的技術(shù)范疇，本實(shí)用新型具體的保護(hù)范圍W權(quán)利要求書的記載 為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種雙通道多波長脈沖激光器，其特征在于，包括第一激光產(chǎn)生通道、第二激光產(chǎn)生 通道和激光輸出耦合切換機(jī)構(gòu)，所述第一激光產(chǎn)生通道和第二激光產(chǎn)生通道均至少產(chǎn)生兩 個(gè)波段的激光，所述激光輸出耦合切換機(jī)構(gòu)對(duì)第一激光產(chǎn)生通道和第二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生 的多波段激光進(jìn)行選擇切換，使得所述雙通道多波長脈沖激光器能夠?qū)崿F(xiàn)多波段激光輸 出。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙通道多波長脈沖激光器，其特征在于，所述第一激光產(chǎn)生通 道至少產(chǎn)生中心波長在紅外波段的基頻激光和中心波長在第一紫外波段的基頻激光四倍 頻激光，所述第二激光產(chǎn)生通道至少產(chǎn)生中心波長在紅外波段的基頻激光和中心波長在第 二紫外波段的基頻激光三倍頻激光，所述激光輸出耦合切換機(jī)構(gòu)對(duì)第一激光產(chǎn)生通道和第 二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的激光進(jìn)行選擇切換，使得所述雙通道多波長脈沖激光器能夠?qū)崿F(xiàn)紅 外和雙紫外波段激光輸出。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙通道多波長脈沖激光器，其特征在于，所述第一激光產(chǎn)生通 道至少產(chǎn)生中心波長在l〇64nm的紅外激光和中心波長在266nm的紫外激光，所述第二激光 產(chǎn)生通道至少產(chǎn)生中心波長在1064nm的紅外激光和中心波長在355nm的紫外激光，所述激 光輸出耦合切換機(jī)構(gòu)對(duì)第一激光產(chǎn)生通道和第二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的激光進(jìn)行選擇切換， 使得所述雙通道多波長脈沖激光器能夠?qū)崿F(xiàn)以下波段模式中至少一種的激光輸出： 1064nm、1064nm和355nm、1064nm和266nm、266nm、355nm〇4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙通道多波長脈沖激光器，其特征在于，所述第一激光產(chǎn)生通 道產(chǎn)生中心波長在1064nm的基頻激光、中心波長在532nm的二倍頻激光以及中心波長在 266nm的四倍頻激光，所述第二激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生中心波長在1064nm的基頻激光、中心波長 在532nm的二倍頻激光以及中心波長在355nm的三倍頻激光，所述第一激光產(chǎn)生通道產(chǎn)生的 中心波長在266nm的四倍頻激光輸出至所述激光輸出耦合切換機(jī)構(gòu)，所述第二激光產(chǎn)生通 道產(chǎn)生的中心波長在l〇64nm的基頻激光和中心波長在355nm的三倍頻激光輸出至所述激光 輸出親合切換機(jī)構(gòu)，所述激光輸出親合切換機(jī)構(gòu)對(duì)中心波長在266nm、中心波長在355nm和 中心波長在1064nm的三個(gè)波段激光進(jìn)行組合選擇和切換輸出，使得所述雙通道多波長脈沖 激光器能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)l〇64nm、1064nm和355nm、1064nm和266nm、266nm四種波段模式下的激 光輸出。5. 根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的雙通道多波長脈沖激光器，其特征在于，所述第一激 光產(chǎn)生通道包括：第一通道種子激光器、第一通道激光放大器（16)、第一通道二倍頻晶體 (18)、第一通道四倍頻晶體(25)和第一通道輸出分光器，所述第一通道種子激光器產(chǎn)生中 心波長在1064nm的第一通道基頻種子激光，并經(jīng)所述第一通道激光放大器（16)放大后形成 中心波長在1064nm的第一通道基頻激光，中心波長在1064nm的第一通道基頻激光通過所述 第一通道二倍頻晶體（18)后產(chǎn)生中心波長在532nm的第一通道二倍頻激光，中心波長在 532nm的第一通道二倍頻激光通過所述第一通道四倍頻晶體(25)后產(chǎn)生中心波長在266nm 的第一通道四倍頻激光，中心波長在266nm的第一通道四倍頻激光經(jīng)所述第一通道輸出分 光器輸出至所述激光輸出耦合切換機(jī)構(gòu);所述第二激光產(chǎn)生通道包括:第二通道種子激光 器、第二通道激光放大器(52)、第二通道二倍頻晶體(57)和第二通道三倍頻晶體(59)，所述 第二通道種子激光器產(chǎn)生中心波長在l〇64nm的第二通道基頻種子激光，并經(jīng)所述第二通道 激光放大器(52)放大后形成中心波長在1064nm的第二通道基頻激光，中心波長在1064nm的 第二通道基頻激光通過所述第二通道二倍頻晶體(57)后產(chǎn)生中心波長在532nm的第二通道 二倍頻激光，中心波長在l〇64nm的第二通道基頻激光和中心波長在532nm的第二通道二倍 頻激光通過所述第二通道三倍頻晶體（59)后產(chǎn)生中心波長在355nm的第二通道三倍頻激 光，中心波長在l〇64nm的第二通道基頻激光和中心波長在355nm的第二通道三倍頻激光輸 出至所述激光輸出耦合切換機(jī)構(gòu);所述激光輸出耦合切換機(jī)構(gòu)包括第一通道輸出控制開關(guān) (32)、第二通道輸出控制開關(guān)(60)、雙通道耦合鏡片(34)和激光器整體輸出控制開關(guān)(35)， 所述第一通道輸出控制開關(guān)(32)用于對(duì)第一激光產(chǎn)生通道輸出的中心波長在266nm的第一 通道四倍頻激光進(jìn)行切換控制，所述第二通道輸出控制開關(guān)(60)用于對(duì)第二激光產(chǎn)生通道 輸出的中心波長在l〇64nm的第二通道基頻激光和中心波長在355nm的第二通道三倍頻激光 進(jìn)行切換控制，所述雙通道耦合鏡片(34)將第一激光產(chǎn)生通道的輸出光路和第二激光產(chǎn)生 通道的輸出光路耦合于同一耦合輸出光路上，所述激光器整體輸出控制開關(guān)(35)設(shè)置于所 述耦合輸出光路上，用于實(shí)現(xiàn)雙通道多波長脈沖激光器的整體輸出控制。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙通道多波長脈沖激光器，其特征在于，所述第一激光產(chǎn)生通 道中，所述第一通道種子激光器包括第一通道后向反射鏡（1 )、第一通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡(3)、調(diào) Q裝置、第一通道直角棱鏡(5)、第一通道激光晶體棒(9)、第一通道諧振腔輸出鏡（10)和第 一通道栗浦閃光燈(71)，所述第一通道后向反射鏡（1)、第一通道直角棱鏡(5)和第一通道 諧振腔輸出鏡（10)形成第一通道折疊諧振腔，所述第一通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡(3)、調(diào)Q裝置和第 一通道激光晶體棒(9)置于所述第一通道折疊諧振腔內(nèi)；所述第一通道諧振腔輸出鏡（10) 輸出的中心波長在l〇64nm的第一通道基頻種子激光經(jīng)兩個(gè)45°反射鏡折反至第一通道激光 放大光路上，所述第一通道激光放大光路上依次設(shè)置有90°偏振旋轉(zhuǎn)器(14)、第一通道腔外 望遠(yuǎn)鏡（15)、第一通道激光放大器（16)、45°偏振旋轉(zhuǎn)器（17)和第一通道二倍頻晶體（18)， 所述第一通道栗浦閃光燈(71)同時(shí)對(duì)所述第一通道激光晶體棒(9)和第一通道激光放大器 (16)提供側(cè)向栗浦，中心波長在1064nm的第一通道基頻種子激光經(jīng)所述第一通道激光放大 器（16)放大后再經(jīng)所述第一通道二倍頻晶體（18)的非線性作用產(chǎn)生中心波長在532nm的第 一通道二倍頻激光，所產(chǎn)生的中心波長在532nm的第一通道二倍頻激光經(jīng)兩個(gè)45°反射鏡折 反至四倍頻光路上，所述四倍頻光路上依次設(shè)置所述第一通道四倍頻晶體(25)和第一通道 輸出分光器，中心波長在532nm的第一通道二倍頻激光經(jīng)所述第一通道四倍頻晶體(25)的 非線性作用產(chǎn)生中心波長在266nm的第一通道四倍頻激光，所產(chǎn)生的中心波長在266nm的第 一通道四倍頻激光被所述第一通道輸出分光器反射至第一激光產(chǎn)生通道的輸出光路上，剩 余的中心波長在532nm的第一通道二倍頻激光經(jīng)所述第一通道輸出分光器透射輸出后被消 光器吸收。7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的雙通道多波長脈沖激光器，其特征在于，所述第二激光產(chǎn)生通 道中，所述第二通道種子激光器包括第二通道后向反射鏡(38)、第二通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡(40)、 調(diào)Q裝置、第二通道直角棱鏡(42)、第二通道激光晶體棒(46)、第二通道諧振腔輸出鏡(47) 和第二通道栗浦閃光燈(72)，所述第二通道后向反射鏡(38)、第二通道直角棱鏡(42)和第 二通道諧振腔輸出鏡(47)形成第二通道折疊諧振腔，所述第二通道腔內(nèi)望遠(yuǎn)鏡(40)、調(diào)Q裝 置和第二通道激光晶體棒(46)置于所述第二通道折疊諧振腔內(nèi)；所述第二通道諧振腔輸出 鏡(47)輸出的中心波長在1064nm的第二通道基頻種子激光經(jīng)兩個(gè)45°反射鏡折反至第二通 道激光放大光路上，所述第二通道激光放大光路上依次設(shè)置有90°偏振旋轉(zhuǎn)器(50 )、第二通 道腔外望遠(yuǎn)鏡(51)和第二通道激光放大器(52)，所述第二通道栗浦閃光燈(72)同時(shí)對(duì)所述 第二通道激光晶體棒(46)和第二通道激光放大器(52)提供側(cè)向栗浦，中心波長在1064nm的 第二通道基頻種子激光經(jīng)所述第二通道激光放大器(52)放大后形成中心波長在1064nm的 第二通道基頻激光，所述第二通道基頻激光經(jīng)兩個(gè)45°反射鏡折反至三倍頻光路上，所述三 倍頻光路上依次設(shè)置有第二通道二倍頻晶體(57)、45°偏振旋轉(zhuǎn)器(58)和第二通道三倍頻 晶體(59)，所述中心波長在1064nm的第二通道基頻激光經(jīng)所述第二通道二倍頻晶體(57)的 非線性作用產(chǎn)生中心波長在532nm的第二通道二倍頻激光，所述中心波長在1064nm的第二 通道基頻激光和中心波長在532nm的第二通道二倍頻激光經(jīng)所述第二通道三倍頻晶體(59) 的非線性作用產(chǎn)生中心波長在355nm的第二通道三倍頻激光，所產(chǎn)生的中心波長在355nm的 第二通道三倍頻激光和剩余的中心波長在1064nm的第二通道基頻激光沿所述第二激光產(chǎn) 生通道的輸出光路上輸出。8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的雙通道多波長脈沖激光器，其特征在于，所述激光輸出耦合切 換機(jī)構(gòu)還包括第一通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)(2)和第二通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)(39)，所述第 一通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)(2)設(shè)置于所述第一通道種子激光器的第一通道折疊諧振腔內(nèi)， 所述第二通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)(39)設(shè)置于所述第二通道種子激光器的第二通道折疊諧 振腔內(nèi)，所述第一通道輸出控制開關(guān)(32)設(shè)置于第一激光產(chǎn)生通道的輸出光路上，所述第 二通道輸出控制開關(guān)(60)設(shè)置于所述第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路上，所述第一激光產(chǎn)生 通道的輸出光路垂直于所述第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路，所述第二激光產(chǎn)生通道的輸出 光路與所述耦合輸出光路共線，所述雙通道耦合鏡片(34)設(shè)置于所述第一激光產(chǎn)生通道的 輸出光路和所述第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路的相交之處，并將所述第一激光產(chǎn)生通道的 輸出光路反射至第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路上。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的雙通道多波長脈沖激光器，其特征在于，所述第一通道諧振腔 內(nèi)控制開關(guān)(2)和第二通道諧振腔內(nèi)控制開關(guān)(39)均為內(nèi)腔式快門，當(dāng)內(nèi)腔式快門打開時(shí) 種子激光在諧振腔內(nèi)振蕩，當(dāng)內(nèi)腔式快門關(guān)閉時(shí)諧振腔光路被物理隔斷;所述第一通道輸 出控制開關(guān)(32)、第二通道輸出控制開關(guān)(60)和激光器整體輸出控制開關(guān)(35)均為包括電 動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)和光學(xué)鏡片的電動(dòng)控制開關(guān)，通過電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)控制光學(xué)鏡片是否插入光路來實(shí)現(xiàn) 開關(guān)控制;其中所述第一通道輸出控制開關(guān)(32)中的光學(xué)鏡片為45°全反射鏡，當(dāng)?shù)谝煌ǖ?輸出控制開關(guān)(32)關(guān)閉時(shí)，其45°全反射鏡插入第一激光產(chǎn)生通道的輸出光路內(nèi)并將中心 波長在266nm的第一通道四倍頻激光反射至消光器，當(dāng)?shù)谝煌ǖ垒敵隹刂崎_關(guān)(32)打開時(shí)， 其45°全反射鏡脫離第一激光產(chǎn)生通道的輸出光路，中心波長在266nm的第一通道四倍頻激 光經(jīng)雙通道耦合鏡片(34)反射至耦合輸出光路上;其中所述第二通道輸出控制開關(guān)(60)中 的光學(xué)鏡片為對(duì)355nm高反、對(duì)1064nm高透的45°透反鏡片，當(dāng)?shù)诙ǖ垒敵隹刂崎_關(guān)(60) 關(guān)閉時(shí)，其45°透反鏡片插入第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路并將中心波長在355nm的第二通 道三倍頻激光反射至消光器，同時(shí)使中心波長在l〇64nm的第二通道基頻激光沿第二激光產(chǎn) 生通道的輸出光路輸出至耦合輸出光路上，當(dāng)?shù)诙ǖ垒敵隹刂崎_關(guān)(60)打開時(shí)，其45°透 反鏡片脫離第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路，從而使中心波長在355nm的第二通道三倍頻激 光和中心波長在l〇64nm的第二通道基頻激光沿第二激光產(chǎn)生通道的輸出光路輸出至耦合 輸出光路上;其中激光器整體輸出控制開關(guān)(35)中的光學(xué)鏡片為45°全反射鏡，當(dāng)激光器整 體輸出控制開關(guān)(35)關(guān)閉時(shí)，其45°全反射鏡插入耦合輸出光路并將各波段激光束反射至 消光器，當(dāng)激光器整體輸出控制開關(guān)(35)打開時(shí)，其45°全反射鏡脫離耦合輸出光路，使各 波段激光束沿耦合輸出光路輸出；所述雙通道耦合鏡片（34)為對(duì)1064nm高透、對(duì)355nm高 透、對(duì)266nm高反的45°透反鏡片。10.根據(jù)權(quán)利要求6-9任一項(xiàng)所述的雙通道多波長脈沖激光器，其特征在于，所述第一 通道二倍頻晶體（18)為KTP倍頻晶體，所述第一通道四倍頻晶體(25)為BBO倍頻晶體，所述 第二通道二倍頻晶體(57)和第二通道三倍頻晶體(59)均為LBO倍頻晶體。
【文檔編號(hào)】H01S3/10GK205693132SQ201620467960
【公開日】2016年11月16日
【申請日】2016年5月20日 公開號(hào)201620467960.3, CN 201620467960, CN 205693132 U, CN 205693132U, CN-U-205693132, CN201620467960, CN201620467960.3, CN205693132 U, CN205693132U
【發(fā)明人】吳慧云, 徐卸古, 孫振海, 李鑫, 王 華, 黃志松, 黃書海, 生甡, 孫中杰
【申請人】中國人民解放軍軍事醫(yī)學(xué)科學(xué)院