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基于硫化鎢薄膜結(jié)構(gòu)可調(diào)太赫茲波濾波器的制作方法

文檔序號:11926715閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于硫化鎢薄膜結(jié)構(gòu)可調(diào)太赫茲波濾波器。它包括Y形硫化鎢薄膜、圓環(huán)形硫化鎢薄膜、矩形硫化鎢薄膜、二氧化硅層、基底層、信號輸入端、信號輸出端;基底層的上層為二氧化硅層,二氧化硅層上鋪有Y形硫化鎢薄膜、圓環(huán)形硫化鎢薄膜、矩形硫化鎢薄膜;通過調(diào)節(jié)施加在圓環(huán)形硫化鎢薄膜與基底層之間的偏置直流電壓,調(diào)節(jié)圓環(huán)形硫化鎢薄膜的有效介電常數(shù),實現(xiàn)可調(diào)濾波功能。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單緊湊,尺寸小,響應(yīng)快,設(shè)計原理簡單等優(yōu)點。

技術(shù)研發(fā)人員:章樂;李九生
受保護的技術(shù)使用者:中國計量大學(xué)
文檔號碼:201611236877
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.28
技術(shù)公布日:2017.05.17

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