技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種離子源的電源系統(tǒng)及離子源，所述離子源包括：主陰極、弧板陽極、屏柵、加速柵和中和器；所述電源系統(tǒng)包括：陰極電源、弧極電源、屏柵電源、加速電源、中和電源和耦合電源；以及檢測單元，與所述陰極電源、弧極電源、屏柵電源、加速電源、中和電源和耦合電源連接，用于測量各個(gè)電源的電壓或電流信號(hào)反饋值；電源控制器，用于根據(jù)所述檢測單元測得的電壓或電流信號(hào)反饋值，控制各個(gè)電源的電壓或電流信號(hào)等于或接近設(shè)定值。本發(fā)明根據(jù)反饋的各路電源電壓或電流信號(hào)，對各路電源進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)，克服了現(xiàn)有離子源各路電源獨(dú)立工作、手動(dòng)調(diào)整的缺陷，能夠使離子束自動(dòng)調(diào)諧至最佳傳送狀態(tài)，從而保證離子源系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠、高效運(yùn)行。

技術(shù)研發(fā)人員：刁克明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京埃德萬斯離子束技術(shù)研究所股份有限公司
文檔號(hào)碼：201610792691
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.31
技術(shù)公布日：2016.12.07