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固態(tài)成像元件、制造方法和電子設備與流程

文檔序號:12514014閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種固態(tài)成像裝置,包括:

半導體基板,其具有針對各像素形成的光電二極管,所述光電二極管進行光電轉換;

濾色片,其配置成使顏色與所述各像素對應的光通過,所述濾色片疊置在所述半導體基板的光入射面?zhèn)壬?;?/p>

遮光膜,其設置在所述各像素的所述濾色片之間,所述遮光膜是通過疊置第一遮光膜和第二遮光膜形成的,所述第一遮光膜和所述第二遮光膜是用兩種彼此不同的材料形成的。

2.根據權利要求1所述的固態(tài)成像裝置,其中

所述第一遮光膜疊置在比所述第二遮光膜更靠近所述半導體基板的那側上,

所述第一遮光膜是用具有遮光效果的金屬形成的,且

所述第二遮光膜是用具有光敏性的樹脂形成的。

3.根據權利要求1所述的固態(tài)成像裝置,其中

所述像素中的一些是要用于根據所述固態(tài)成像裝置的成像表面中的相位差來控制自動聚焦的自動聚焦像素,且

所述第一遮光膜和所述第二遮光膜形成在所述自動聚焦像素上,以使所述自動聚焦像素遮光以進行光瞳分割。

4.根據權利要求3所述的固態(tài)成像裝置,其中,在所述自動聚焦像素中,用透明材料填充與其它像素中的所述濾色片相當的部分。

5.根據權利要求1所述的固態(tài)成像裝置,其中所述第二遮光膜在所述像素當中的紅色像素上具有不超過預定厚度的厚度以覆蓋所述紅色像素的所述濾色片,所述紅色像素接收紅色的光。

6.根據權利要求1所述的固態(tài)成像裝置,其中選擇紅色、藍色、綠色、青色、品紅色、黃色、透明和灰色當中的至少兩種顏色并用于針對所述各像素設置的所述濾色片。

7.根據權利要求1所述的固態(tài)成像裝置,其中在所述半導體基板中形成像素分離部,所述像素分離部具有用以將所述像素中的相鄰像素的所述光電二極管彼此分開的絕緣性質。

8.一種制造固態(tài)成像裝置的方法,包括以下步驟:

針對各像素在半導體基板中形成光電二極管,所述光電二極管進行光電轉換;

在所述半導體基板的光入射面?zhèn)壬席B置濾色片,所述濾色片使顏色與所述各像素對應的光通過;以及

在所述各像素的所述濾色片之間設置遮光膜,所述遮光膜是通過疊置第一遮光膜和第二遮光膜形成的,所述第一遮光膜和所述第二遮光膜是用兩種彼此不同的材料形成的。

9.一種電子設備,包括:

固態(tài)成像裝置,其包括:

半導體基板,其具有針對各像素形成的光電二極管,所述光電二極管進行光電轉換;

濾色片,其配置成使顏色與所述各像素對應的光通過,所述濾色片疊置在所述半導體基板的光入射面?zhèn)壬希缓?/p>

遮光膜,其設置在所述各像素的所述濾色片之間,所述遮光膜是通過疊置第一遮光膜和第二遮光膜形成的,所述第一遮光膜和所述第二遮光膜是用兩種彼此不同的材料形成的。

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