本發(fā)明涉及具備線圈的線圈模塊，其中，上述線圈具有線圈芯體與在其周圍以螺旋狀卷繞的線圈電極。

背景技術(shù)：

以往，如圖21所示，提出了在其內(nèi)部構(gòu)成有變壓器的線圈部件500。線圈部件500具備：埋設(shè)于樹脂絕緣層(省略圖示)的線圈芯體501；形成初級線圈的第一線圈電極502a；以及形成次級線圈的第二線圈電極502b。另外，第一、第二線圈電極502a、502b分別具備：沿著線圈芯體501的外周面排列的第一、第二外側(cè)柱狀導(dǎo)體503a、503b；以及沿著線圈芯體501的內(nèi)周面排列的第一、第二內(nèi)側(cè)柱狀導(dǎo)體504a、504b。

而且，利用分別形成于樹脂絕緣層的兩主面的多個第一布線電極圖案505a，將第一外側(cè)柱狀導(dǎo)體503a以及第一內(nèi)側(cè)柱狀導(dǎo)體504a的對應(yīng)的端部彼此連接，從而形成在線圈芯體501的周圍以螺旋狀卷繞的第一線圈電極502a。另外，利用分別形成于樹脂絕緣層的兩主面的多個第二布線電極圖案505b，將第二外側(cè)柱狀導(dǎo)體503b以及第二內(nèi)側(cè)柱狀導(dǎo)體504b的對應(yīng)的端部彼此連接，從而形成在線圈芯體501的周圍以螺旋狀卷繞的第二線圈電極502a。

另外，第一、第二線圈電極502a、502b分別具備：初級、次級線圈電極對506a、506b；以及初級、次級線圈中心抽頭507a、507b。此外，在圖21中，對形成次級線圈的第二布線電極圖案505b、次級線圈電極對506b以及次級線圈中心抽頭507b施加了陰影線。

專利文獻(xiàn)1：日本專利第5270576號公報(參照段落0044～0046、圖3等)

另外，通過將上述線圈部件500安裝于布線基板(省略圖示)而構(gòu)成被賦予了各種功能的線圈模塊。近年，迫切期望這種線圈模塊的低成本化。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于上述課題而完成的，其目的在于提供一種通過簡化制造工序來實現(xiàn)線圈部件的低成本化、從而能夠廉價地制造具備線圈部件的線圈模塊的技術(shù)。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的線圈模塊具備線圈，該線圈具有線圈芯體與在其周圍以螺旋狀卷繞的線圈電極，上述線圈模塊的特征在于，具備：線圈部件，具有埋設(shè)有上述線圈芯體的絕緣層、以及設(shè)置于上述絕緣層并構(gòu)成上述線圈電極的一部分的不具有螺旋狀的部件側(cè)線圈電極；以及布線基板，其配置有上述線圈部件，并設(shè)置有構(gòu)成上述線圈電極的剩下一部分且不具有螺旋狀的基板側(cè)線圈電極以及其他布線電極，上述線圈部件的上述部件側(cè)線圈電極與上述布線基板的上述基板側(cè)線圈電極連接，從而使上述線圈電極形成為螺旋狀。

在這樣構(gòu)成的發(fā)明中，構(gòu)成線圈電極的螺旋狀的一部分且不具有螺旋狀的部件側(cè)線圈電極設(shè)置于埋設(shè)有線圈部件的線圈芯體的絕緣層，其中，上述線圈電極在線圈芯體的周圍以螺旋狀卷繞而形成線圈。另外，構(gòu)成線圈電極的螺旋狀的剩下一部分且不具有螺旋狀的基板側(cè)線圈電極與其他布線電極設(shè)置于布線基板。而且，通過在布線基板配置線圈部件，并將線圈部件的部件側(cè)線圈電極與布線基板的基板側(cè)線圈電極連接來使線圈電極形成為螺旋狀，從而制造線圈模塊。

因此，在線圈部件設(shè)置有構(gòu)成線圈電極的一部分的部件側(cè)線圈電極，而未設(shè)置有線圈電極的全部，由此與具備線圈成品的現(xiàn)有的線圈部件相比，能夠簡化制造工序來實現(xiàn)線圈部件的低成本化。另外，與現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)不同，在布線基板設(shè)置有構(gòu)成線圈電極的剩下一部分的基板側(cè)線圈電極。另外，在使用一般的基板形成技術(shù)來形成布線基板時，能夠與其他布線電極一同形成基板側(cè)線圈電極。因此，不需要用于形成基板側(cè)線圈電極的特別的工序，由此能夠抑制布線基板的制造成本增大。

另外，與以往那樣通過絲網(wǎng)印刷或鍍覆處理、使用了光刻或抗蝕膜處理的金屬箔(膜)的蝕刻加工等一般的布線電極圖案形成技術(shù)、從而在供線圈芯體埋設(shè)的絕緣層的兩主面形成布線電極圖案的結(jié)構(gòu)相比，能夠使用一般的基板形成技術(shù)，非常廉價地將基板側(cè)線圈電極形成于布線基板。因此，通過在布線基板配置線圈部件，從而將部件側(cè)線圈電極與基板側(cè)線圈電極連接來形成線圈電極，由此能夠廉價地制造具備線圈部件的線圈模塊。

另外，也可以構(gòu)成為，上述布線基板具有第一多層絕緣層，上述線圈部件安裝于上述第一多層絕緣層的一主面，上述部件側(cè)線圈電極與形成于上述第一多層絕緣層的上述基板側(cè)線圈電極連接。

這樣，能夠利用在其一主面安裝線圈部件的布線基板的第一多層絕緣層的多層構(gòu)造來形成基板側(cè)線圈電極，因此能夠提高基板側(cè)線圈電極的設(shè)計的自由度。另外，例如，通過將基板側(cè)線圈電極形成于第一多層絕緣層的內(nèi)層，從而與在埋設(shè)有線圈芯體的絕緣層的主面形成有構(gòu)成線圈電極的布線電極圖案的現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)相比，能夠擴(kuò)大線圈芯體與基板側(cè)線圈電極的距離。因此，能夠緩和來自線圈電極的針對線圈芯體的應(yīng)力，由此能夠?qū)崿F(xiàn)線圈特性的提高。另外，能夠在第一多層絕緣層的內(nèi)層配置基板側(cè)線圈電極，從而與現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)相比，能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)一步的高度降低。

另外，也可以構(gòu)成為，上述部件側(cè)線圈電極具有：多個第一柱狀導(dǎo)體，埋設(shè)于上述絕緣層，被配置為與上述線圈電極的卷繞軸的方向交叉，并且在上述線圈芯體的一側(cè)排列，其一端在與上述第一多層絕緣層相反的一側(cè)的上述絕緣層的一主面露出，另一端在上述絕緣層的另一主面露出；多個第二柱狀導(dǎo)體，埋設(shè)于上述絕緣層，被配置為與上述線圈電極的卷繞軸的方向交叉，并且在上述線圈芯體的另一側(cè)被排列為與上述多個第一柱狀導(dǎo)體一起夾持上述線圈芯體，其一端在上述絕緣層的一主面露出，另一端在上述絕緣層的另一主面露出；以及多個第一連接部件，其形成于上述絕緣層的一主面，并將相互成對的上述第一柱狀導(dǎo)體以及上述第二柱狀導(dǎo)體的一端彼此分別連接，上述基板側(cè)線圈電極具有多個第二連接部件，該多個第二連接部件將上述第一柱狀導(dǎo)體的另一端與上述第二柱狀導(dǎo)體的另一端分別連接，其中，該第二柱狀導(dǎo)體與和該第一柱狀導(dǎo)體相互成對的上述第二柱狀導(dǎo)體的一側(cè)鄰接。

若這樣地構(gòu)成，則多個第一柱狀導(dǎo)體被配置為與線圈的中心軸(在線圈芯體內(nèi)部產(chǎn)生的磁通量)的方向即與線圈電極的卷繞軸的方向交叉，并在線圈芯體的一側(cè)排列，從而埋設(shè)于絕緣層。另外，多個第二柱狀導(dǎo)體被配置為與線圈的中心軸的方向即與線圈電極的卷繞軸的方向交叉，并在線圈芯體的另一側(cè)被排列為與多個第一柱狀導(dǎo)體夾持線圈芯體，從而埋設(shè)于絕緣層。另外，各第一柱狀導(dǎo)體以及各第二柱狀導(dǎo)體各自的一端在絕緣層的與形成有基板側(cè)線圈電極的第一多層絕緣層相反側(cè)的一主面露出，各自的另一端在絕緣層的另一主面露出。

而且，相互成對的第一柱狀導(dǎo)體以及第二柱狀導(dǎo)體的一端彼此分別通過形成于絕緣層的一主面的多個第一連接部件而連接，從而形成部件側(cè)線圈電極。因此，能夠提供如下實用結(jié)構(gòu)的線圈模塊：第一柱狀導(dǎo)體的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體相互成對的第二柱狀導(dǎo)體的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體的另一端，分別通過形成于第一多層絕緣層的基板側(cè)線圈電極所具有的多個第二連接部件而連接，從而形成線圈電極。

另外，也可以構(gòu)成為，上述布線基板還具有第二多層絕緣層，該第二多層絕緣層層疊于上述絕緣層的與上述第一多層絕緣層相反側(cè)的一主面，并與上述第一多層絕緣層一起形成有上述基板側(cè)線圈電極，上述部件側(cè)線圈電極具有：多個第一柱狀導(dǎo)體，埋設(shè)于上述絕緣層，被配置為與上述線圈電極的卷繞軸的方向交叉，并且在上述線圈芯體的一側(cè)排列，其一端在上述絕緣層的一主面露出，另一端在上述絕緣層的另一主面露出；以及多個第二柱狀導(dǎo)體，埋設(shè)于上述絕緣層，被配置為與上述線圈電極的卷繞軸的方向交叉，并且在上述線圈芯體的另一側(cè)被排列為與上述多個第一柱狀導(dǎo)體一起夾持上述線圈芯體，其一端在上述絕緣層的一主面露出，另一端在上述絕緣層的另一主面露出，上述基板側(cè)線圈電極具有：多個第一連接部件，其形成于上述第二多層絕緣層，并將相互成對的上述第一柱狀導(dǎo)體以及上述第二柱狀導(dǎo)體的一端彼此分別連接；以及多個第二連接部件，其形成于上述第一多層絕緣層，并將上述第一柱狀導(dǎo)體的另一端與上述第二柱狀導(dǎo)體的另一端分別連接，其中，該第二柱狀導(dǎo)體與和該第一柱狀導(dǎo)體相互成對的上述第二柱狀導(dǎo)體的一側(cè)鄰接。

若這樣地構(gòu)成，則多個第一柱狀導(dǎo)體被配置為與線圈的中心軸的方向即與線圈電極的卷繞軸的方向交叉，并在線圈芯體的一側(cè)排列，從而埋設(shè)于絕緣層。另外，多個第二柱狀導(dǎo)體被配置為與線圈的中心軸的方向即與線圈電極的卷繞軸的方向交叉，并在線圈芯體的另一側(cè)被排列為與多個第一柱狀導(dǎo)體夾持線圈芯體，從而埋設(shè)于絕緣層。而且，各第一柱狀導(dǎo)體以及各第二柱狀導(dǎo)體各自的一端在絕緣層的與形成有基板側(cè)線圈電極的第一多層絕緣層相反側(cè)的一主面露出，各自的另一端在絕緣層的另一主面露出，從而形成部件側(cè)線圈電極。

另外，與第一多層絕緣層一起形成有有基板側(cè)線圈電極的第二多層絕緣層層疊于絕緣層的與第一多層絕緣層相反側(cè)的一主面。另外，相互成對的第一柱狀導(dǎo)體以及第二柱狀導(dǎo)體的一端彼此分別通過形成于第二多層絕緣層的基板側(cè)線圈電極所具有的多個第一連接部件而連接。而且，第一柱狀導(dǎo)體的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體相互成對的第二柱狀導(dǎo)體的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體的另一端分別通過形成于第一多層絕緣層的基板側(cè)線圈電極所具有的多個第二連接部件而連接，從而形成線圈電極。

因此，與線圈部件的絕緣層的另一主面?zhèn)鹊牡谝欢鄬咏^緣層一起，利用在線圈部件的絕緣層的一主面層疊的第二多層絕緣層的多層構(gòu)造來形成基板側(cè)線圈電極，從而能夠進(jìn)一步提高基板側(cè)線圈電極的設(shè)計的自由度。另外，例如，通過將基板側(cè)線圈電極形成于第一、第二多層絕緣層各自的內(nèi)層，從而與在埋設(shè)有線圈芯體的絕緣層的兩主面形成有構(gòu)成線圈電極的布線電極圖案的現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)相比，能夠進(jìn)一步擴(kuò)大線圈芯體與基板側(cè)線圈電極的距離，從而能夠防止不必要的接觸。另外，在線圈芯體具有導(dǎo)電性的情況下，也能夠可靠地形成絕緣。另外，能夠進(jìn)一步緩和來自線圈電極的針對線圈芯體的應(yīng)力，從而能夠?qū)崿F(xiàn)線圈特性的進(jìn)一步提高。

另外，也可以構(gòu)成為，上述部件側(cè)線圈電極具有：多個第一柱狀導(dǎo)體，埋設(shè)于上述絕緣層，被配置為與上述線圈電極的卷繞軸的方向交叉，并且在上述線圈芯體的一側(cè)排列；多個第二柱狀導(dǎo)體，埋設(shè)于上述絕緣層，被配置為與上述線圈電極的卷繞軸的方向交叉，并且在上述線圈芯體的另一側(cè)被排列為與上述多個第一柱狀導(dǎo)體夾持上述線圈芯體；以及多個第一連接部件，以將相互成對的上述第一柱狀導(dǎo)體以及上述第二柱狀導(dǎo)體的與上述第一多層絕緣層相反側(cè)的一端彼此在上述絕緣層內(nèi)分別連接的方式，通過相同的金屬材料而與上述第一柱狀導(dǎo)體以及上述第二柱狀導(dǎo)體的各對分別一體形成，上述各第一柱狀導(dǎo)體以及上述各第二柱狀導(dǎo)體各自的另一端在與上述第一多層絕緣層對置的上述絕緣層的主面露出，上述基板側(cè)線圈電極具有多個第二連接部件，該多個第二連接部件將上述第一柱狀導(dǎo)體的另一端與上述第二柱狀導(dǎo)體的另一端分別連接，其中，該第二柱狀導(dǎo)體與和該第一柱狀導(dǎo)體相互成對的上述第二柱狀導(dǎo)體的一側(cè)鄰接。

若這樣地構(gòu)成，則多個第一柱狀導(dǎo)體被配置為與線圈的中心軸的方向即與線圈電極的卷繞軸的方向交叉，并在線圈芯體的一側(cè)排列，從而埋設(shè)于絕緣層。另外，多個第二柱狀導(dǎo)體被配置為與線圈的中心軸的方向即與線圈電極的卷繞軸的方向交叉，并在線圈芯體的另一側(cè)被排列為與多個第一柱狀導(dǎo)體夾持線圈芯體，從而埋設(shè)于絕緣層。并且，在與形成有基板側(cè)線圈電極的第一多層絕緣層側(cè)相反側(cè)，相互成對的第一柱狀導(dǎo)體以及第二柱狀導(dǎo)體的一端彼此分別在絕緣層內(nèi)通過多個第一連接部件而連接。另外，第一柱狀導(dǎo)體以及第二柱狀導(dǎo)體的各對分別通過相同的金屬材料而與將該對的一端彼此連接的第一連接部件一體形成，從而形成部件側(cè)線圈電極。

而且，各第一柱狀導(dǎo)體以及各第二柱狀導(dǎo)體各自的另一端在與形成有基板側(cè)線圈電極的第一多層絕緣層對置的絕緣層的主面露出。而且，第一柱狀導(dǎo)體的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體相互成對的第二柱狀導(dǎo)體的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體的另一端，分別通過形成于第一多層絕緣層的基板側(cè)線圈電極所具有的多個第二連接部件而連接，從而形成線圈電極。因此，僅使通過相同的金屬材料而一體形成的第一、第二柱狀導(dǎo)體以及第一連接部件被配置為橫跨線圈芯體，就能夠形成部件側(cè)線圈電極，由此能夠簡化制造工序來實現(xiàn)線圈部件的進(jìn)一步的低成本化。另外，在制造線圈部件時，無需考慮第一、第二柱狀導(dǎo)體與第一連接部件之間的位置偏移，因此能夠?qū)崿F(xiàn)部件側(cè)線圈電極的進(jìn)一步的窄間距化。

另外，也可以構(gòu)成為，上述線圈電極具有以各自不同的線圈直徑在上述線圈芯體的周圍呈螺旋狀地卷繞的多個電極組，通過將線圈直徑較小的上述電極組配置于線圈直徑較大的上述電極組的內(nèi)側(cè)從而形成為多重卷繞構(gòu)造。

這樣，由于線圈電極形成為多重卷繞構(gòu)造，從而能夠?qū)崿F(xiàn)線圈的卷繞數(shù)的增大，因此能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)一步的線圈特性的提高。

此外，例如，在埋設(shè)有線圈芯體的絕緣層的兩主面分別層疊有形成了基板側(cè)線圈電極的第一、第二多層絕緣層的情況下，可以如下地進(jìn)行配置。即，可以使分別形成線圈直徑不同的各電極組的第一、第二連接部件各自的第一、第二多層絕緣層的層疊方向上的配置位置在各電極組中的每一組均不同。通過這樣地形成，能夠可靠地改變層來形成線圈芯體上下的布線，減少線圈的布線間的接觸的擔(dān)憂，從而能夠更加容易實現(xiàn)線圈的多重卷繞。

另外，例如，在通過相同的金屬材料而一體形成的第一、第二柱狀導(dǎo)體以及第一連接部件埋設(shè)于線圈部件的絕緣層從而形成部件側(cè)線圈電極的情況下，可以如下地進(jìn)行配置。即，可以使分別形成線圈直徑不同的各電極組的第一、第二柱狀導(dǎo)體各自的長度在各電極組中的每一組均不同，并且使分別形成線圈直徑不同的各電極組的各第二連接部件各自的第二多層絕緣層的層疊方向上的配置位置在各電極組中的每一組均不同。

另外，也可以構(gòu)成為，上述線圈電極由規(guī)定的線圈直徑的第一上述電極組、以及線圈直徑比上述第一電極組小的第二上述電極組構(gòu)成，上述第一電極組的上述各第一連接部件與上述第二電極組的上述各第一連接部件在俯視觀察時交替地配置而排列，上述第一電極組的各環(huán)繞圈各自的布線長度形成為幾乎相同，上述第一電極組的上述各第一、第二柱狀導(dǎo)體分別以交錯狀排列。

若這樣地構(gòu)成，則線圈直徑較大的第一電極組的各圈各自的布線長度形成為幾乎相同，第一電極組的各第一、第二柱狀導(dǎo)體分別以交錯狀排列。因此，能夠防止俯視觀察時交替地配置而排列的各第一、第二電極組各自的各第一連接部件接觸，從而能夠?qū)崿F(xiàn)線圈電極的進(jìn)一步的窄間距化。另外，能夠通過實現(xiàn)線圈電極的窄間距化來實現(xiàn)線圈的卷繞數(shù)的進(jìn)一步增大，因此能夠?qū)崿F(xiàn)線圈特性的進(jìn)一步提高。

另外，也可以構(gòu)成為，上述線圈具有環(huán)形的上述線圈芯體，上述各第一柱狀導(dǎo)體在上述芯體的作為一側(cè)的外側(cè)沿著上述線圈芯體的外周面排列，上述各第二柱狀導(dǎo)體在上述芯體的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著上述線圈芯體的內(nèi)周面排列。

這樣，線圈具有環(huán)形的線圈芯體，并且各第一柱狀導(dǎo)體在線圈芯體的作為一側(cè)的外側(cè)沿著線圈芯體的外周面排列，各第二柱狀導(dǎo)體在線圈芯體的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著線圈芯體的內(nèi)周面排列。因此，形成為由線圈產(chǎn)生的磁力線主要通過環(huán)狀的環(huán)形的線圈芯體的閉合磁路構(gòu)造，由此能夠提供漏磁通較少的線圈模塊。

另外，也可以構(gòu)成為，上述第一柱狀導(dǎo)體以及上述第二柱狀導(dǎo)體分別由金屬銷形成。

這樣，形成與線圈的中心軸的方向即與線圈電極的卷繞軸的方向交叉的方向(以下，也有時稱為“柱狀導(dǎo)體方向”)上的線圈電極的布線的各第一、第二柱狀導(dǎo)體分別由金屬銷形成。因此，僅通過使各金屬銷的長度增長，就能夠容易使柱狀導(dǎo)體方向上的線圈電極的布線長度增長。因此，能夠容易使柱狀導(dǎo)體方向上的線圈芯體的厚度變厚。

另外，由于各第一、第二柱狀導(dǎo)體分別由金屬銷形成，所以為了形成柱狀導(dǎo)體方向上的線圈電極的布線，即使不像貫通孔導(dǎo)體、通孔導(dǎo)體那樣將多個貫通孔形成于印刷電路基板、半固化片等芯基板，而僅通過排列各金屬銷，就能夠形成柱狀導(dǎo)體方向上的線圈電極的布線。另外，不存在如貫通孔導(dǎo)體、通孔導(dǎo)體那樣由各金屬銷形成的柱狀導(dǎo)體方向上的線圈電極的布線的粗細(xì)變化的擔(dān)憂。因此，能夠提供具備線圈芯體的厚度較厚且電感特性優(yōu)良的線圈、并能夠?qū)崿F(xiàn)線圈電極的窄間距化的線圈模塊。

另外，上述基板側(cè)線圈電極由連結(jié)通孔導(dǎo)體形成，其中，該連結(jié)通孔導(dǎo)體通過使多個通孔導(dǎo)體以其一部分重疊的方式沿上述布線基板的面方向排列而形成。

這樣，與通過絲網(wǎng)印刷、金屬箔(膜)的蝕刻處理而形成的一般的布線電極圖案相比，能夠?qū)崿F(xiàn)基板側(cè)線圈電極的進(jìn)一步的低電阻化。

另外，也可以構(gòu)成為，還具備安裝于上述布線基板的其他部件。

這樣，通過將貼片電感器、貼片電容器、貼片電阻等貼片部件、或高頻濾波器、高頻開關(guān)、RF－IC等功能部件作為其他部件而安裝于布線基板，從而能夠提供具備各種功能的實用結(jié)構(gòu)的線圈模塊。

另外，也可以構(gòu)成為，還具備多個第三柱狀導(dǎo)體，該多個第三柱狀導(dǎo)體埋設(shè)于上述絕緣層，其一端作為外部連接端子而從上述絕緣層露出，另一端與上述布線基板連接。

若這樣地構(gòu)成，則用于將布線基板外部連接的多個第三柱狀導(dǎo)體埋設(shè)于線圈部件的絕緣層，因此，能夠在形成線圈部件時同時形成線圈部件的部件側(cè)線圈電極與線圈模塊的外部連接用的多個第三柱狀導(dǎo)體，而不大幅增大制造成本。因此，僅通過將設(shè)置有外部連接用的多個第三柱狀導(dǎo)體的線圈部件配置于布線基板，就能夠利用作為外部連接端子而發(fā)揮功能的各第三柱狀導(dǎo)體各自的一端將線圈模塊容易地外部連接。因此，能夠簡化用于形成外部連接用的連接端子的工序，從而能夠?qū)崿F(xiàn)線圈模塊的制造成本的減少。

根據(jù)本發(fā)明，由于在線圈部件設(shè)置有構(gòu)成線圈電極的螺旋狀的一部分的部件側(cè)線圈電極，而未設(shè)置有線圈電極的全部，所以與具備線圈成品的現(xiàn)有的線圈部件相比，能夠簡化制造工序來實現(xiàn)線圈部件的低成本化。另外，在布線基板設(shè)置有構(gòu)成線圈電極的螺旋狀的剩下一部分的基板側(cè)線圈電極，對于基板側(cè)線圈電極而言，在使用一般的基板形成技術(shù)來形成布線基板時，能夠與其他布線電極一同地容易形成基板側(cè)線圈電極，因此通過在布線基板配置線圈部件，從而將部件側(cè)線圈電極與基板側(cè)線圈電極連接來使線圈電極形成為螺旋狀，由此能夠廉價地制造具備線圈部件的線圈模塊。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的第一實施方式所涉及的線圈模塊的局部剖視圖。

圖2是用于對形成線圈電極的各柱狀導(dǎo)體的連接狀態(tài)進(jìn)行說明的圖。

圖3是表示圖1的線圈模塊的制造方法的一個例子的局部剖視圖，(a)是表示在布線基板安裝有柱狀導(dǎo)體的狀態(tài)的圖，(b)是表示配置有線圈芯體的狀態(tài)的圖，(c)是表示形成有線圈部件的樹脂絕緣層的狀態(tài)的圖，(d)是表示線圈部件完成后的狀態(tài)的圖。

圖4是表示本發(fā)明的第二實施方式所涉及的線圈模塊的圖，(a)是俯視圖，(b)是局部剖視圖。

圖5是表示圖4的線圈模塊的制造方法的一個例子的局部剖視圖，(a)是表示在脫模片上配置有各柱狀導(dǎo)體的狀態(tài)的圖，(b)是表示配置有線圈芯體的狀態(tài)的圖，(c)是表示形成有線圈部件的樹脂絕緣層的狀態(tài)的圖。

圖6是表示形成部件側(cè)布線電極圖案前的線圈部件的圖，(a)是俯視圖，(b)是局部剖視圖。

圖7是表示圖4的線圈模塊的變形例的圖。

圖8是表示本發(fā)明的第三實施方式所涉及的線圈模塊的局部剖視圖。

圖9是表示圖8的線圈模塊的變形例的圖。

圖10是表示本發(fā)明的第四實施方式所涉及的線圈模塊的局部剖視圖。

圖11是表示圖10的線圈模塊的變形例的圖。

圖12是表示本發(fā)明的第五實施方式所涉及的線圈模塊的局部剖視圖。

圖13是表示線圈電極的布線狀態(tài)的圖，(a)是表示金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(b)是表示形成第一電極組的金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(c)是表示形成第二電極組的金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(d)是表示各柱狀導(dǎo)體的排列狀態(tài)的俯視圖。

圖14是表示圖12的線圈模塊的變形例的圖。

圖15是表示圖12的線圈模塊的變形例的圖。

圖16是表示本發(fā)明的第六實施方式所涉及的線圈模塊所具備的線圈的線圈電極的布線狀態(tài)的圖，(a)是表示金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(b)是表示形成第一電極組的金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(c)是表示形成第二電極組的金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(d)是表示各柱狀導(dǎo)體的排列狀態(tài)的俯視圖。

圖17是表示本發(fā)明的第七實施方式所涉及的線圈模塊所具備的線圈的線圈電極的布線狀態(tài)的圖，(a)是表示金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(b)是表示形成第一電極組的金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(c)是表示形成第二電極組的金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(d)是表示各柱狀導(dǎo)體的排列狀態(tài)的俯視圖。

圖18是表示本發(fā)明的第八實施方式所涉及的線圈模塊的局部剖視圖。

圖19是表示本發(fā)明的第九實施方式所涉及的線圈模塊的局部剖視圖。

圖20是表示線圈芯體的變形例的圖，(a)是表示直線狀的線圈芯體的圖，(b)是表示近似C字狀的線圈芯體的圖。

圖21是表示現(xiàn)有的線圈部件的一個例子的圖。

具體實施方式

＜第一實施方式＞

對本發(fā)明的第一實施方式所涉及的線圈模塊進(jìn)行說明。

(線圈模塊的概略結(jié)構(gòu))

參照圖1以及圖2對線圈模塊1的概略結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖1是表示本發(fā)明的第一實施方式所涉及的線圈模塊的局部剖視圖。另外，圖2是用于對形成圖1的線圈模塊所具備的線圈的線圈電極的各柱狀導(dǎo)體的連接狀態(tài)進(jìn)行說明的圖，并且是表示從朝向紙面的下側(cè)觀察圖1的線圈模塊的狀態(tài)的圖。此外，在以下的說明中，在包括所參照的圖1以及圖2在內(nèi)的各附圖中，為了簡化說明，示意地描繪電極等的結(jié)構(gòu)、或者省略各柱狀導(dǎo)體的一部分的圖示，但在以下的說明中省略其詳細(xì)的說明。

如圖1以及圖2所示，線圈模塊1是具備線圈10的模塊，其中，上述線圈10具有線圈芯體11、以及在線圈芯體11的周圍以螺旋狀卷繞的線圈電極12，上述線圈模塊1具備：布線基板20；配置安裝于布線基板20的一主面20a的規(guī)定位置的線圈部件30；以及安裝于布線基板20的另一主面20b的電路部件2。此外，根據(jù)需要，將貼片電感器、貼片電容器、貼片電阻等貼片部件、或高頻濾波器、高頻開關(guān)、RF－IC等功能部件作為本發(fā)明的“其他部件”而安裝于布線基板20的另一主面20b，從而形成具備各種功能的線圈模塊1。另外，在本實施方式中，線圈10具有圓環(huán)狀的環(huán)形的線圈芯體11。

布線基板20具備：構(gòu)成形成于一主面20a的外部連接用的多個接地電極21以及線圈電極12的螺旋狀的一部分的線狀的多個基板側(cè)布線電極圖案16；以及用于對形成于另一主面20b的電路部件2進(jìn)行安裝的多個接地電極22。而且，一主面20a的接地電極21與另一主面20b的接地電極22通過形成于布線基板20的內(nèi)部的層間連接導(dǎo)體(通孔導(dǎo)體)、面內(nèi)導(dǎo)體等的內(nèi)部布線電極23而連接。另外，布線基板20能夠由使用了樹脂、聚合物材料等的樹脂多層基板、印刷電路基板、LTCC、氧化鋁系基板、玻璃基板、復(fù)合材料基板、單層基板、多層基板等形成，只要根據(jù)線圈模塊1的使用目的來適當(dāng)?shù)剡x擇最佳的材質(zhì)從而形成布線基板20即可。

如以上那樣，接地電極21、22、內(nèi)部布線電極23構(gòu)成為本發(fā)明的“其他布線電極”。

線圈部件30具備埋設(shè)有線圈芯體11的單層的樹脂絕緣層31(相當(dāng)于本發(fā)明的“絕緣層”)，在樹脂絕緣層31分別設(shè)置有構(gòu)成線圈電極12的螺旋狀的一部分的、由金屬銷形成的多個第一柱狀導(dǎo)體13、由金屬銷形成的多個第二柱狀導(dǎo)體14、以及線狀的多個部件側(cè)布線電極圖案15。另外，在樹脂絕緣層31埋設(shè)有由金屬銷形成的外部連接用的第三柱狀導(dǎo)體32。另外，在樹脂絕緣層31的一主面31a設(shè)置有外部接合用的安裝用電極33與樹脂保護(hù)層34。

樹脂絕緣層31由熱固化性的環(huán)氧樹脂等一般的樹脂密封(模制)用的樹脂形成。線圈芯體3由鐵素體、鐵等一般作為線圈芯體而采用的磁性材料形成。此外，樹脂絕緣層31也可以由相同的樹脂或不同的樹脂形成為多層。

各第一柱狀導(dǎo)體13分別埋設(shè)于樹脂絕緣層31，并被配置為與線圈10的中心軸的方向即與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并且在線圈芯體11的作為一側(cè)的外側(cè)沿著線圈芯體11的外周面排列。此外，本發(fā)明中的線圈電極的卷繞軸的方向是在環(huán)狀的線圈芯體11內(nèi)部產(chǎn)生的磁通量(磁場)的方向。在第一實施方式中使用圓環(huán)狀的線圈芯體11，以沿其圓周向旋轉(zhuǎn)的方式產(chǎn)生有磁通量。另外，各第一柱狀導(dǎo)體13各自的一端在樹脂絕緣層31的與布線基板20相反側(cè)的一主面31a露出，另一端在樹脂絕緣層31的另一主面31b露出。

各第二柱狀導(dǎo)體14分別埋設(shè)于樹脂絕緣層31，被配置為與線圈10的中心軸的方向即與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并且在線圈芯體11的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著線圈芯體11的內(nèi)周面排列。另外，各第二柱狀導(dǎo)體14各自的一端在樹脂絕緣層31的一主面31a露出，另一端在樹脂絕緣層31的另一主面31b露出。此外，各第一柱狀導(dǎo)體13以及/或者各第二柱狀導(dǎo)體14分別以與線圈10的中心軸的方向即與線圈電極12的卷繞軸的方向交叉的方式配置即可，例如可以相對于與中心軸的方向即與線圈電極12的卷繞軸的方向正交的方向傾斜地配置。

各部件側(cè)布線電極圖案15分別形成于樹脂絕緣層31的一主面31a，并與在樹脂絕緣層31的一主面31a露出的各柱狀導(dǎo)體13、14的一端連接。而且，相互成對的第一柱狀導(dǎo)體13以及第二柱狀導(dǎo)體14的一端彼此分別通過各部件側(cè)布線電極圖案15而連接。

另外，各第一、第二柱狀導(dǎo)體13、14各自的在樹脂絕緣層31的另一主面31b露出的另一端使用焊錫等接合件H而與基板側(cè)布線電極圖案16以如下的方式連接。即，第一柱狀導(dǎo)體13的另一端與第二柱狀導(dǎo)體14的另一端分別通過基板側(cè)布線電極圖案16而連接，其中，上述第二柱狀導(dǎo)體14與和該第一柱狀導(dǎo)體13相互成對的第二柱狀導(dǎo)體14的一側(cè)(本實施方式中為圖2中的逆時針方向)鄰接。這樣，以使線圈電極12形成為螺旋狀的方式，將設(shè)置于線圈部件30的各柱狀導(dǎo)體13、14以及部件側(cè)布線電極圖案15與設(shè)置于布線基板20的一主面20a的基板側(cè)布線電極圖案16連接，從而形成在線圈芯體11的周圍以螺旋狀卷繞的線圈電極12。即，通過將不具有螺旋狀的各柱狀導(dǎo)體13、14以及部件側(cè)布線電極圖案15、與不具有螺旋狀的基板側(cè)布線電極圖案16連接，從而使線圈電極12形成為螺旋狀。

另外，如圖1以及圖2所示，各柱狀導(dǎo)體13、14中的未連接有基板側(cè)布線電極圖案16的柱狀導(dǎo)體13、14的另一端通過使用焊錫等接合件H而與形成于布線基板20的一主面20a的接地電極21連接，從而經(jīng)由內(nèi)部布線電極23與布線基板20的另一主面20b的接地電極22連接，由此作為信號引出用的端子來使用。如以上那樣，在本實施方式中，兩柱狀導(dǎo)體13、14以及部件側(cè)布線電極圖案15構(gòu)成為本發(fā)明的“部件側(cè)線圈電極”，部件側(cè)布線電極圖案15構(gòu)成為本發(fā)明的“第一連接部件”。另外，基板側(cè)布線電極圖案16構(gòu)成為本發(fā)明的“基板側(cè)線圈電極”、“第二連接部件”。

另外，各第三柱狀導(dǎo)體32各自的一端作為外部連接端子而從樹脂絕緣層31的一主面31a露出并與安裝用電極33連接，另一端在樹脂絕緣層31的另一主面31b露出并使用焊錫等接合件H與形成于布線基板20的一主面20a的接地電極21連接。由此，布線基板20(電路部件2、線圈10)經(jīng)由各第三柱狀導(dǎo)體32以及安裝用電極33而被外部連接。

此外，各柱狀導(dǎo)體13、14、32由Cu、Au、Ag、Al、或者它們的合金等一般作為布線電極而采用的金屬材料形成。另外，也可以由實施了Cu鍍或者Ni鍍的引腳狀的部件形成各柱狀導(dǎo)體13、14、32。此外，各柱狀導(dǎo)體13、14、32的長度方向的剖面形狀可以是長方形，也可以是梯形狀。

另外，兩布線電極圖案15、16通過使用光刻、抗蝕膜對金屬箔(膜)進(jìn)行蝕刻加工而形成，或者通過利用絲網(wǎng)印刷來印刷包含Cu、Au、Ag的導(dǎo)電性漿料而形成。另外，也可以對通過絲網(wǎng)印刷形成了的圖案實施鍍覆。另外，將各柱狀導(dǎo)體13、14的對應(yīng)的一端彼此連接的方法并不限定于上述例子，例如，也可以將接合線作為第一連接部件而通過引線接合工藝使各柱狀導(dǎo)體13、14的對應(yīng)的一端彼此連接。

另外，在線圈芯體11的外側(cè)排列的各第一柱狀導(dǎo)體13也可以形成為比在線圈芯體11的內(nèi)側(cè)排列的各第二柱狀導(dǎo)體14大的直徑。在為了實現(xiàn)高電感化而欲增大線圈10的匝數(shù)的情況下，由于環(huán)狀的線圈芯體11的內(nèi)側(cè)的各柱狀導(dǎo)體14的配置空間有限，所以通過使各柱狀導(dǎo)體14小徑化而使其橫截面積減小，從而能夠增大線圈10的匝數(shù)。另外，存在因小徑化而使各柱狀導(dǎo)體14的電阻值增大從而導(dǎo)致線圈特性劣化的擔(dān)憂，但通過使在配置空間比較充裕的線圈芯體11的外側(cè)排列的各柱狀導(dǎo)體13比各柱狀導(dǎo)體14大徑化，從而能夠抑制線圈電極12整體的電阻值增大。

另外，在使第一柱狀導(dǎo)體13與第二柱狀導(dǎo)體14的直徑不同的情況下，兩布線電極圖案15、16也可以形成為使直徑不同的第一柱狀導(dǎo)體13與第二柱狀導(dǎo)體14之間的阻抗相匹配。例如，通過使兩布線電極圖案15、16以從大徑的第一柱狀導(dǎo)體13趨向小徑的第二柱狀導(dǎo)體14而變細(xì)的方式形成為錐形狀，從而能夠使兩柱狀導(dǎo)體13、14間的阻抗相匹配。

(線圈模塊的制造方法)

參照圖3對線圈模塊1的制造方法的一個例子進(jìn)行說明。圖3是表示圖1的線圈模塊的制造方法的一個例子的局部剖視圖，(a)是表示在布線基板安裝有柱狀導(dǎo)體的狀態(tài)的圖，(b)是表示配置有線圈芯體的狀態(tài)的圖，(c)是表示形成有線圈部件的樹脂絕緣層的狀態(tài)的圖，(d)是表示線圈部件完成后的狀態(tài)的圖。

首先，如圖3(a)所示，準(zhǔn)備在兩主面20a、20b各自的規(guī)定位置形成有各接地電極21、22以及基板側(cè)布線電極圖案16并且設(shè)置有內(nèi)部布線電極23的布線基板20。接下來，使用焊錫等接合件H將各第一、第二柱狀導(dǎo)體13、14各自的另一端與布線基板20的一主面20a的各基板側(cè)布線電極圖案16上的規(guī)定位置連接。另外，使用焊錫等接合件H將各第三柱狀導(dǎo)體32各自的另一端與布線基板20的一主面的各接地電極21連接。這樣，能夠同時一并將構(gòu)成線圈電極12的一部分的各第一、第二柱狀導(dǎo)體13、14與外部連接用的第三柱狀導(dǎo)體32配置在布線基板20的一主面20a上。

另外，為了防止線圈芯體11與基板側(cè)布線電極圖案16接觸，也可以在各柱狀導(dǎo)體13、14的另一端的除去連接位置以及接地電極21的部分、與配置有線圈芯體11的部分形成阻焊層。

此外，通過將兩柱狀導(dǎo)體13、14分別與基板側(cè)布線電極圖案16連接，從而第一柱狀導(dǎo)體13的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體13相互成對的第二柱狀導(dǎo)體14的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體14的另一端，分別通過基板側(cè)布線電極圖案16而連接。另外，未與基板側(cè)布線電極圖案16連接的信號引出用的各柱狀導(dǎo)體13、14的另一端分別與接地電極21連接。

接著，如圖3(b)所示，在外側(cè)的各第一柱狀導(dǎo)體13與內(nèi)側(cè)的各第二柱狀導(dǎo)體14所夾持的布線基板20的一主面20a上的圓環(huán)狀的區(qū)域，配置線圈芯體11。因此，各第一柱狀導(dǎo)體13分別被配置為與線圈10的中心軸的方向即與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并且在線圈芯體11的外側(cè)沿著外周面排列，各第二柱狀導(dǎo)體14分別被配置為與線圈10的中心軸的方向幾乎正交，并且在線圈芯體11的內(nèi)側(cè)沿著內(nèi)周面排列，因此各第一柱狀導(dǎo)體13與各第二柱狀導(dǎo)體14被配置為夾著線圈芯體11地對置。

接著，如圖3(c)所示，使用一般的熱固化性的模制樹脂對線圈芯體11與各柱狀導(dǎo)體13、14、32進(jìn)行樹脂密封來形成樹脂絕緣層31。接著，如該圖所示，通過研磨或者研削將樹脂絕緣層31的一主面31a的樹脂除去，以使各柱狀導(dǎo)體13、14、32各自的一端露出。

接下來，如圖3(d)所示，以使在樹脂絕緣層31的一主面31a露出的第一、第二柱狀導(dǎo)體13、14的對應(yīng)的一端彼此連接的方式，形成多個部件側(cè)布線電極圖案15。另外，以與在樹脂絕緣層31的一主面31a露出的各第三柱狀導(dǎo)體32各自的一端連接的方式，形成外部連接用的安裝用電極33。另外，在樹脂絕緣層31的一主面31a，形成對部件側(cè)布線電極圖案15以及安裝用電極33進(jìn)行保護(hù)的樹脂保護(hù)層34。然后，如圖1所示，通過在布線基板20的另一主面20b安裝規(guī)定的電路部件2，從而完成線圈模塊1。

此外，在將樹脂絕緣層31的一主面31a的樹脂除去的工序中，也可以將樹脂絕緣層31的一主面31a的樹脂除去，以使各柱狀導(dǎo)體13、14、32各自的一端從樹脂絕緣層31的一主面31a稍稍突出而露出。另外，例如，通過用比各柱狀導(dǎo)體13、14、32軟且比樹脂絕緣層31硬的材質(zhì)的研磨劑對樹脂絕緣層31a的一主面31a進(jìn)行研磨，從而能夠使各柱狀導(dǎo)體13、14、32的一端以從樹脂絕緣層31突出的方式露出。

如以上那樣，在本實施方式中，構(gòu)成線圈電極12的螺旋狀的一部分的部件側(cè)線圈電極(第一、第二柱狀導(dǎo)體13、14、部件側(cè)布線電極圖案15)設(shè)置于線圈部件30的埋設(shè)有線圈芯體11的單層的樹脂絕緣層31，其中，上述線圈電極12在線圈芯體11的周圍以螺旋狀卷繞而形成線圈10。另外，構(gòu)成線圈電極12的螺旋狀的剩下一部分的基板側(cè)線圈電極(基板側(cè)布線電極圖案16)與其他布線電極(接地電極21、22、內(nèi)部布線電極23)設(shè)置于布線基板20。而且，通過在布線基板20配置線圈部件30，并將線圈部件的部件側(cè)線圈電極與布線基板20的基板側(cè)線圈電極連接而使線圈電極12形成為螺旋狀，從而制造線圈模塊1。

因此，在線圈部件30設(shè)置有構(gòu)成線圈電極12的一部分的部件側(cè)線圈電極(第一、第二柱狀導(dǎo)體13、14、部件側(cè)布線電極圖案15)，而未設(shè)置有線圈電極12的全部，由此與具備線圈成品的圖21所示的現(xiàn)有的線圈部件500相比，能夠簡化制造工序來實現(xiàn)線圈部件30的低成本化。另外，與現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)不同，在布線基板20設(shè)置有構(gòu)成線圈電極12的剩下一部分的基板側(cè)線圈電極(基板側(cè)布線電極圖案16)。另外，在使用一般的基板形成技術(shù)來形成布線基板20時，能夠與其他布線電極(接地電極21、22、內(nèi)部布線電極23)一同形成基板側(cè)線圈電極。因此，不需要用于形成基板側(cè)線圈電極的特別的工序，由此能夠抑制布線基板20的制造成本增大。

另外，與以往那樣通過一般的布線電極圖案形成技術(shù)在供線圈芯體11埋設(shè)的樹脂絕緣層31的兩主面31a、31b形成布線電極圖案的結(jié)構(gòu)相比，能夠使用一般的基板形成技術(shù)將構(gòu)成線圈電極12的一部分的基板側(cè)布線電極圖案16非常地廉價地形成于布線基板20。因此，通過在布線基板20配置線圈部件30，從而將部件側(cè)線圈電極與基板側(cè)線圈電極連接來形成線圈電極12，由此能夠廉價地制造具備線圈部件30的線圈模塊1。

另外，多個第一柱狀導(dǎo)體13被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向交叉，并且在線圈芯體11的作為一側(cè)的外側(cè)排列，從而埋設(shè)于樹脂絕緣層31。另外，多個第二柱狀導(dǎo)體14被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向交叉，并且在線圈芯體11的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)被排列為與多個第一柱狀導(dǎo)體13夾持線圈芯體11，從而埋設(shè)于樹脂絕緣層31。另外，各第一柱狀導(dǎo)體13以及各第二柱狀導(dǎo)體14各自的一端在樹脂絕緣層31的與形成有基板側(cè)布線電極圖案16的布線基板20相反側(cè)的一主面31a露出，各第一柱狀導(dǎo)體13以及各第二柱狀導(dǎo)體14各自的另一端在樹脂絕緣層31的另一主面31b露出。

而且，相互成對的第一柱狀導(dǎo)體13以及第二柱狀導(dǎo)體14的一端彼此分別通過形成于樹脂絕緣層31的一主面31a的多個部件側(cè)布線電極圖案15而連接，從而形成部件側(cè)線圈電極。因此，能夠提供如下實用結(jié)構(gòu)的線圈模塊1：第一柱狀導(dǎo)體13的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體13相互成對的第二柱狀導(dǎo)體14的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體14的另一端，分別通過作為基板側(cè)線圈電極形成于布線基板20的一主面20a的基板側(cè)布線電極圖案16而連接，從而形成線圈電極12。

另外，線圈10具有環(huán)形的線圈芯體11，各第一柱狀導(dǎo)體13在線圈芯體11的作為一側(cè)的外側(cè)沿著外周面排列，各第二柱狀導(dǎo)體14在線圈芯體11的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著內(nèi)周面排列。因此，形成為由線圈10產(chǎn)生的磁通量主要通過環(huán)狀的線圈芯體11的閉合磁路構(gòu)造，由此能夠提供漏磁通較少的線圈模塊1。

另外，形成與線圈電極12的卷繞軸的方向交叉的方向上的線圈電極12的布線的各第一、第二柱狀導(dǎo)體13、14分別由金屬銷形成。因此，僅通過使各金屬銷的長度增長，就能夠容易使柱狀導(dǎo)體方向上的線圈電極12的布線長度增長。因此，能夠容易使柱狀導(dǎo)體方向上的線圈芯體11的厚度變厚。

另外，由于各第一、第二柱狀導(dǎo)體13、14分別由金屬銷形成，所以為了形成柱狀導(dǎo)體方向上的線圈電極12的布線，即使不像貫通孔導(dǎo)體、通孔導(dǎo)體那樣將多個貫通孔形成于印刷電路基板、半固化片等芯基板，而僅通過排列各金屬銷，就能夠形成柱狀導(dǎo)體方向上的線圈電極12的布線。另外，不存在如貫通孔導(dǎo)體、通孔導(dǎo)體那樣由各金屬銷形成的柱狀導(dǎo)體方向上的線圈電極12的布線的粗細(xì)變化的擔(dān)憂。因此，能夠提供具備線圈芯體11的厚度較厚且電感特性優(yōu)良的線圈、并能夠?qū)崿F(xiàn)線圈電極12的窄間距化的線圈模塊1。

另外，通過將貼片電感器、貼片電容器、貼片電阻等貼片部件、或高頻濾波器、高頻開關(guān)、RF－IC等功能部件作為電路部件2而安裝于布線基板20的另一主面20b，從而能夠提供一種具備各種功能的實用結(jié)構(gòu)的線圈模塊1。另外，與現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)不同，在供線圈部件30配置的布線基板20側(cè)形成有線圈電極12的一部分，因此能夠?qū)崿F(xiàn)線圈部件30的小型化，從而能夠?qū)崿F(xiàn)線圈模塊1的高度降低。

另外，用于將布線基板20外部連接的多個第三柱狀導(dǎo)體32埋設(shè)于線圈部件30的樹脂絕緣層31。因此，能夠在形成線圈部件30時同時形成線圈部件30的部件側(cè)線圈電極與線圈模塊1的外部連接用的多個第三柱狀導(dǎo)體32，而不大幅增大制造成本。因此，僅通過將設(shè)置有外部連接用的多個第三柱狀導(dǎo)體32的線圈部件30配置于布線基板20，就能夠利用作為外部連接端子而發(fā)揮功能的各第三柱狀導(dǎo)體32各自的一端將線圈模塊1容易地外部連接。因此，能夠簡化用于形成外部連接用的連接端子的工序，從而能夠?qū)崿F(xiàn)線圈模塊1的制造成本的減少。

＜第二實施方式＞

參照圖4～圖6對本發(fā)明的第二實施方式所涉及的線圈模塊進(jìn)行說明。

圖4是表示本發(fā)明的第二實施方式所涉及的線圈模塊的圖，(a)是俯視圖，(b)是局部剖視圖。圖5是表示圖4的線圈模塊的制造方法的一個例子的局部剖視圖，(a)是表示在脫模片上配置有各柱狀導(dǎo)體的狀態(tài)的圖，(b)是表示配置有線圈芯體的狀態(tài)的圖，(c)是表示形成有線圈部件的樹脂絕緣層的狀態(tài)的圖。另外，圖6是表示形成部件側(cè)布線電極圖案前的線圈部件的圖，(a)是俯視圖，(b)是局部剖視圖。

本實施方式的線圈模塊1與上述第一實施方式的不同之處在于，如圖4(a)、(b)所示，布線基板20具有多層樹脂絕緣層120(相對于本發(fā)明的“第一多層絕緣層”)，在其一主面120a安裝有線圈部件30。另外，構(gòu)成線圈電極12的一部分的基板側(cè)線圈電極的第二連接部件通過基板側(cè)布線電極圖案16以及通孔導(dǎo)體16a而形成于多層樹脂絕緣層120，并且部件側(cè)線圈電極(兩柱狀導(dǎo)體13、14、部件側(cè)布線電極圖案15)與基板側(cè)線圈電極連接而形成線圈電極12。另外，線圈部件30的形成方法與上述第一實施方式不同。在以下的說明中，以與上述第一實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，其他的結(jié)構(gòu)與上述第一實施方式相同，因此引用相同的附圖標(biāo)記而省略其結(jié)構(gòu)的說明。

參照圖5以及圖6對本實施方式的線圈模塊的制造方法的一個例子進(jìn)行說明。

首先，準(zhǔn)備在其一面對形成部件側(cè)線圈電極的多個第一柱狀導(dǎo)體13以及多個第二柱狀導(dǎo)體14各自的一端進(jìn)行支承的板狀的轉(zhuǎn)印體。另外，在轉(zhuǎn)印體的一面上設(shè)定有與圓環(huán)狀的環(huán)形的線圈芯體11在俯視觀察時幾乎呈相同形狀亦即環(huán)狀的規(guī)定區(qū)域。然后，準(zhǔn)備端子集合體，該端子集合體通過如下方式形成：使各第一柱狀導(dǎo)體13在規(guī)定區(qū)域的作為一側(cè)的外側(cè)沿著線圈電極12的卷繞軸(線圈芯體11的中心軸)的方向(規(guī)定區(qū)域的外周方向)排列，使各第二柱狀導(dǎo)體14在規(guī)定區(qū)域的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著線圈電極12的卷繞軸(線圈芯體11的中心軸)的方向(規(guī)定區(qū)域的內(nèi)周方向)排列，并使各第一柱狀導(dǎo)體13與各第二柱狀導(dǎo)體14被配置為夾著規(guī)定區(qū)域地對置。

接著，如圖5(a)所示，在脫模片40上通過熱固化性的樹脂(例如，液狀樹脂)而形成具有粘著性的支承層41，通過使各柱狀導(dǎo)體13、14各自的另一端貫穿支承層41從而立設(shè)端子集合體。接下來，對支承層41進(jìn)行熱固化而將轉(zhuǎn)印體除去。此外，脫模片40也可以使用在聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亞胺等樹脂片形成有脫模層的片材、氟樹脂等樹脂片本身具有脫模功能的片材等任意的脫模片。另外，也可以同時支承外部連接用的第三柱狀導(dǎo)體32來形成端子集合體。在該情況下，第一、第二柱狀導(dǎo)體13、14以及第三柱狀導(dǎo)體32同時被轉(zhuǎn)印至脫模片40上的支承層41。

接下來，如圖5(b)所示，在各第一柱狀導(dǎo)體13與各柱狀導(dǎo)體14之間配置線圈芯體11。接著，如圖5(c)所示，使用和支承層41相同的樹脂對線圈芯體11與各柱狀導(dǎo)體13、14進(jìn)行樹脂密封來形成包含支承層41的樹脂絕緣層31。此外，在多個第三柱狀導(dǎo)體32支承于脫模片40上的支承層41的情況下，各第三柱狀導(dǎo)體32也一同被樹脂絕緣層31樹脂密封。另外，也可以使用與支承層41不同的樹脂來形成樹脂絕緣層31。另外，支承層41可以使用液狀樹脂，也可以使用固形樹脂作為樹脂密封所使用的樹脂。接著，如圖6(a)、(b)所示，在將脫模片40剝離后，通過研磨或者研削將樹脂絕緣層31的兩主面31a、31b的樹脂除去，以使各柱狀導(dǎo)體13、14(各第三柱狀導(dǎo)體32)各自的兩端露出。

接著，如圖4(a)所示，在樹脂絕緣層31的一主面31a，以使相互成對的第一柱狀導(dǎo)體13以及第二柱狀導(dǎo)體14的一端彼此分別連接的方式，形成部件側(cè)布線電極圖案15，從而完成線圈部件30。接下來，如圖4(b)所示，準(zhǔn)備具有多層樹脂絕緣層120的布線基板20，其中，該多層樹脂絕緣層120以使第一柱狀導(dǎo)體13的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體13相互成對的第二柱狀導(dǎo)體14的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體14的另一端分別連接的方式，形成有基板側(cè)線圈電極(基板側(cè)布線電極圖案16、通孔導(dǎo)體16a)。然后，通過將布線基板20層疊于樹脂絕緣層31的另一主面31b而完成線圈模塊1。

此外，具有形成有基板側(cè)線圈電極的多層樹脂絕緣層120的布線基板20能夠通過一般的多層樹脂基板形成工序來形成，因此省略其詳細(xì)的說明。

(變形例)

參照圖7對線圈模塊的變形例進(jìn)行說明。圖7是表示圖4的線圈模塊的變形例的圖。

圖7所示的變形例與圖4所示的線圈模塊1的不同之處在于，在多層樹脂絕緣層120的另一主面120b形成有外部連接用的多個安裝用電極24(相當(dāng)于本發(fā)明的“布線電極”)。各安裝用電極24經(jīng)由內(nèi)部布線電極23而與線圈部件30連接。其他的結(jié)構(gòu)與圖4的線圈模塊1相同，因此引用相同的附圖標(biāo)記而省略其結(jié)構(gòu)的說明。

此外，圖4(b)以及圖7所示的基板側(cè)布線電極圖案16也可以由金屬銷形成。在該情況下，通過在多層樹脂絕緣層120的用于形成基板側(cè)布線電極圖案16的層的主面形成供金屬銷配置的槽，并在該槽配置或者安裝金屬銷，從而能夠形成基板側(cè)布線電極圖案16。

如以上那樣，在本實施方式中，能夠利用在其一主面120a安裝線圈部件30的布線基板20的多層樹脂絕緣層120的多層構(gòu)造來形成基板側(cè)線圈電極(基板側(cè)布線電極圖案16、通孔導(dǎo)體16a)。因此，能夠提高基板側(cè)線圈電極的設(shè)計的自由度。另外，例如，通過將基板側(cè)線圈電極形成于多層樹脂絕緣層120的內(nèi)層，從而與在埋設(shè)有線圈芯體11的樹脂絕緣層31的主面形成有構(gòu)成線圈電極的布線電極圖案的現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)相比，能夠擴(kuò)大線圈芯體11與基板側(cè)線圈電極的距離。因此，能夠緩和來自線圈電極12的針對線圈芯體11的應(yīng)力，從而能夠?qū)崿F(xiàn)線圈特性的提高。另外，通過將基板側(cè)線圈電極形成于多層樹脂絕緣層120的內(nèi)層，從而與現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)相比，能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)一步的高度降低。

＜第三實施方式＞

參照圖8對本發(fā)明的第三實施方式所涉及的線圈模塊進(jìn)行說明。圖8是表示本發(fā)明的第三實施方式所涉及的線圈模塊的局部剖視圖。

本實施方式的線圈模塊1a與上述第二實施方式的不同之處在于，在第二實施方式中參照圖6(a)、(b)說明的在樹脂絕緣層31埋設(shè)形成有線圈芯體11以及第一、第二柱狀導(dǎo)體13、14的部件構(gòu)成為線圈部件130。在以下的說明中，以與上述第二實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，其他的結(jié)構(gòu)與上述第二實施方式相同，因此引用相同的附圖標(biāo)記而省略其結(jié)構(gòu)的說明。

如圖8所示，布線基板20具有多層樹脂絕緣層220(相當(dāng)于本發(fā)明的“第二多層絕緣層”)，該多層樹脂絕緣層220層疊于樹脂絕緣層31的與多層樹脂絕緣層120相反側(cè)的一主面31a，并與多層樹脂絕緣層120一起形成有基板側(cè)線圈電極。即，構(gòu)成線圈電極12的一部分的基板側(cè)線圈電極的第一連接部件通過基板側(cè)布線電極圖案116以及通孔導(dǎo)體116a而形成于多層樹脂絕緣層220。

另外，相互成對的第一柱狀導(dǎo)體13以及第二柱狀導(dǎo)體14的一端彼此分別通過基板側(cè)布線電極圖案116以及通孔導(dǎo)體116a而連接。因此，各柱狀導(dǎo)體13、14的對應(yīng)的一端彼此通過形成于多層樹脂絕緣層220的基板側(cè)線圈電極而連接，各柱狀導(dǎo)體13、14的對應(yīng)的另一端彼此通過形成于多層樹脂絕緣層120的基板側(cè)線圈電極而連接，從而形成線圈電極12。

(變形例)

參照圖9對線圈模塊的變形例進(jìn)行說明。圖9是表示圖8的線圈模塊的變形例的圖。

圖9所示的變形例與圖8所示的線圈模塊1a的不同之處在于，與第二實施方式中的圖7所示的變形例相同，在多層樹脂絕緣層120的另一主面120b形成有外部連接用的多個安裝用電極24。各安裝用電極24經(jīng)由內(nèi)部布線電極23而與線圈部件130連接。其他的結(jié)構(gòu)與圖8的線圈模塊1a相同，因此引用相同的附圖標(biāo)記而省略其結(jié)構(gòu)的說明。

如以上那樣，在本實施方式中，多個第一柱狀導(dǎo)體13被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并且在線圈芯體11的作為一側(cè)的外側(cè)排列，從而埋設(shè)于樹脂絕緣層31。另外，多個第二柱狀導(dǎo)體14被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并且在線圈芯體11的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)被排列為與多個第一柱狀導(dǎo)體13夾持線圈芯體11，從而埋設(shè)于樹脂絕緣層31。而且，各第一柱狀導(dǎo)體13以及各第二柱狀導(dǎo)體14各自的一端在樹脂絕緣層31的一主面31a露出，各第一柱狀導(dǎo)體13以及各第二柱狀導(dǎo)體14各自的另一端在樹脂絕緣層31的另一主面31b露出，從而形成部件側(cè)線圈電極。

另外，與多層樹脂絕緣層120一起形成有基板側(cè)線圈電極的多層樹脂絕緣層220層疊于樹脂絕緣層31的一主面31a。另外，相互成對的第一柱狀導(dǎo)體13以及第二柱狀導(dǎo)體14的一端彼此分別通過形成于多層樹脂絕緣層220的基板側(cè)線圈電極所具有的多個第一連接部件(基板側(cè)布線電極圖案116、通孔導(dǎo)體116a)而連接。而且，第一柱狀導(dǎo)體13的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體13相互成對的第二柱狀導(dǎo)體14的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體14的另一端，分別通過形成于多層樹脂絕緣層120的基板側(cè)線圈電極所具有的多個第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案16、通孔導(dǎo)體16a)而連接，從而形成線圈電極12。

因此，與線圈部件130的樹脂絕緣層31的另一主面31b側(cè)的多層樹脂絕緣層120一起，利用在線圈部件130的樹脂絕緣層31的一主面31a層疊的多層樹脂絕緣層220的多層構(gòu)造，從而能夠形成基板側(cè)線圈電極，由此能夠進(jìn)一步提高基板側(cè)線圈電極的設(shè)計的自由度。另外，例如，通過將基板側(cè)線圈電極形成于多層樹脂絕緣層120、220各自的內(nèi)層，從而與在埋設(shè)有線圈芯體11的樹脂絕緣層31的兩主面31a、31b形成有構(gòu)成線圈電極12的布線電極圖案的現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)相比，能夠進(jìn)一步擴(kuò)大線圈芯體11與基板側(cè)線圈電極的距離。因此，能夠進(jìn)一步緩和來自線圈電極的針對線圈芯體11的應(yīng)力，從而能夠?qū)崿F(xiàn)線圈特性的進(jìn)一步提高。

＜第四實施方式＞

參照圖10對本發(fā)明的第四實施方式所涉及的線圈模塊進(jìn)行說明。圖10是表示本發(fā)明的第四實施方式所涉及的線圈模塊的局部剖視圖。

本實施方式的線圈模塊1b與上述第二實施方式的不同之處在于，如圖10所示，構(gòu)成部件側(cè)線圈電極的訂書針狀的多個金屬銷17被配置為橫跨線圈芯體11而沿著線圈芯體11的周向排列，并埋設(shè)于樹脂絕緣層31從而形成線圈部件230。在以下的說明中，以與上述第二實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，其他的結(jié)構(gòu)與上述第二實施方式相同，因此引用相同的附圖標(biāo)記而省略其結(jié)構(gòu)的說明。

如圖10所示，多個金屬銷17被配置為橫跨線圈芯體11并沿芯體的周向排列。而且，由沿著線圈芯體11的外周面配置的多個金屬銷17的一方的腿部形成多個第一柱狀導(dǎo)體17a，該多個第一柱狀導(dǎo)體17a被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為一側(cè)的外側(cè)沿著外周面排列。另外，由沿著線圈芯體11的內(nèi)周面配置的多個金屬銷17的另一方的腿部形成多個第二柱狀導(dǎo)體17b，該多個第二柱狀導(dǎo)體17b被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著內(nèi)周面排列以便與多個第一柱狀導(dǎo)體17a夾持線圈芯體11。

另外，利用將金屬銷17的兩腿部的一端彼此連接的橋接部，從而形成將相互成對的第一柱狀導(dǎo)體17a以及第二柱狀導(dǎo)體17b的一端彼此分別在樹脂絕緣層31內(nèi)連接的多個第一連接部件17c。如以上那樣，在本實施方式中，第一連接部件17c與一端彼此通過該第一連接部件17c連接的第一柱狀導(dǎo)體17a以及第二柱狀導(dǎo)體17b的對借助相同的金屬材料而一體形成為金屬銷17。

另外，構(gòu)成兩柱狀導(dǎo)體17a、17b各自的另一端的金屬銷17的兩端在與多層樹脂絕緣層120對置的樹脂絕緣層31的另一主面31b露出。而且，第一柱狀導(dǎo)體17a的另一端與由構(gòu)成該第一柱狀導(dǎo)體17a的金屬銷17的一側(cè)所鄰接的金屬銷17形成的第二柱狀導(dǎo)體17b的另一端，分別通過形成于多層樹脂絕緣層120的多個第二連接部件(布線電極圖案16、通孔導(dǎo)體16a)而連接，從而形成線圈電極12。即，與上述第二實施方式相同，第一柱狀導(dǎo)體17a的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體17a相互成對的第二柱狀導(dǎo)體17b的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體17b的另一端分別通過第二連接部件而連接。

(變形例)

參照圖11對線圈模塊的變形例進(jìn)行說明。圖11是表示圖10的線圈模塊的變形例的圖。

圖11所示的變形例與圖10所示的線圈模塊1b的不同之處在于，與第二實施方式中的圖7所示的變形例相同，在多層樹脂絕緣層120的另一主面120b形成有外部連接用的多個安裝用電極24。各安裝用電極24經(jīng)由內(nèi)部布線電極23而與線圈部件230連接。其他的結(jié)構(gòu)與圖10的線圈模塊1b相同，因此引用相同的附圖標(biāo)記而省略其結(jié)構(gòu)的說明。

如以上那樣，在本實施方式中，多個第一柱狀導(dǎo)體17a被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為一側(cè)的外側(cè)沿著外周面排列，從而埋設(shè)于樹脂絕緣層31。另外，多個第二柱狀導(dǎo)體17b被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著內(nèi)周面排列以便與多個第一柱狀導(dǎo)體17a夾持線圈芯體11，從而埋設(shè)于樹脂絕緣層31。并且，在與形成有基板側(cè)線圈電極的第一多層樹脂絕緣層120相反側(cè)，相互成對的第一柱狀導(dǎo)體17a以及第二柱狀導(dǎo)體17b的一端彼此分別在樹脂絕緣層31內(nèi)通過多個第一連接部件17c而連接。另外，利用金屬銷17來形成部件側(cè)線圈電極，其中，該金屬銷17是通過相同的金屬材料使第一柱狀導(dǎo)體17a以及第二柱狀導(dǎo)體17b的各對分別與將該對的一端彼此連接的第一連接部件17c一體形成而成的。

并且，各第一柱狀導(dǎo)體17a以及各第二柱狀導(dǎo)體17b各自的另一端在與形成有基板側(cè)線圈電極的第一多層樹脂絕緣層120對置的樹脂絕緣層31的主面31b露出。而且，使第一柱狀導(dǎo)體17a的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體17a相互成對的第二柱狀導(dǎo)體17b的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體17b的另一端，分別通過形成于第一多層樹脂絕緣層120的基板側(cè)線圈電極所具有的多個第二連接部件(布線電極圖案16、通孔導(dǎo)體16a)而連接，從而形成線圈電極12。因此，僅通過使由相同的金屬材料一體形成的訂書針狀的金屬銷17被配置為橫跨線圈芯體11，就能夠形成部件側(cè)線圈電極，因此能夠簡化制造工序而實現(xiàn)線圈部件230的進(jìn)一步的低成本化。并且，在制造線圈部件230時，無需考慮第一、第二柱狀導(dǎo)體17a、17b與第一連接部件17c之間的位置偏移，因此能夠?qū)崿F(xiàn)部件側(cè)線圈電極的進(jìn)一步的窄間距化。

＜第五實施方式＞

參照圖12以及圖13對本發(fā)明的第五實施方式所涉及的線圈模塊進(jìn)行說明。圖12是表示本發(fā)明的第五實施方式所涉及的線圈模塊的局部剖視圖。圖13是表示線圈電極的布線狀態(tài)的圖，(a)是表示金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(b)是表示形成第一電極組的金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(c)是表示形成第二電極組的金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(d)是表示各柱狀導(dǎo)體的排列狀態(tài)的俯視圖。此外，在圖12以及圖13(a)、(b)、(d)中，為了便于理解，用點填滿設(shè)置于線圈模塊1c的布線電極中的構(gòu)成第一電極組12a的布線電極(金屬銷18、基板側(cè)布線電極圖案216、通孔導(dǎo)體216a)。

本實施方式的線圈模塊1c與上述第四實施方式的不同之處在于，如圖12所示，線圈電極12由以規(guī)定的線圈直徑在線圈芯體11的周圍呈螺旋狀地卷繞的第一電極組12a、以及以比第一電極組12a小的線圈直徑在線圈芯體11的周圍呈螺旋狀地卷繞的第二電極組12b構(gòu)成，線圈直徑小的第二電極組12b配置于線圈直徑大的第一電極組12a的內(nèi)側(cè)，從而線圈電極12形成為多重卷繞構(gòu)造。在以下的說明中，主要對與上述第四實施方式的不同點進(jìn)行說明，其他的結(jié)構(gòu)與上述第四實施方式相同，因此引用相同的附圖標(biāo)記而省略其結(jié)構(gòu)的說明。

如圖12所示，通過將構(gòu)成對第一電極組12a進(jìn)行形成的部件側(cè)線圈電極的訂書針狀的多個金屬銷18、構(gòu)成對第二電極組12b進(jìn)行形成的部件側(cè)線圈電極的訂書針狀的多個金屬銷17、以及線圈芯體11埋設(shè)于樹脂絕緣層31，從而形成線圈部件230。

形成第一電極組12a的多個金屬銷18形成為，與在上述第四實施方式中參照圖10說明的金屬銷17相比，其外形較大。而且，各金屬銷18被配置為橫跨線圈芯體11以及金屬銷17，并沿線圈芯體11的周向排列。另外，與金屬銷17相同，由沿著線圈芯體11的外周面配置的多個金屬銷18的一方的腿部形成多個第一柱狀導(dǎo)體18a，該多個第一柱狀導(dǎo)體18a被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并且在線圈芯體11的作為一側(cè)的外側(cè)沿著外周面排列。并且，由沿著線圈芯體11的內(nèi)周面配置的多個金屬銷18的另一方的腿部形成多個第二柱狀導(dǎo)體18b，該多個第二柱狀導(dǎo)體18b被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并且在線圈芯體11的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著內(nèi)周面排列以便與多個第一柱狀導(dǎo)體17a夾持線圈芯體11。

另外，利用將金屬銷18的兩腿部的一端彼此連接的橋接部，從而形成將相互成對的第一柱狀導(dǎo)體18a以及第二柱狀導(dǎo)體18b的一端彼此在樹脂絕緣層31內(nèi)分別連接的多個第一連接部件18c。換言之，在本實施方式中，第一連接部件18c與一端彼此通過該第一連接部件18c而連接的第一柱狀導(dǎo)體18a以及第二柱狀導(dǎo)體18b的對借助相同的金屬材料而一體形成為金屬銷18。

另外，構(gòu)成兩柱狀導(dǎo)體18a、18b各自的另一端的金屬銷18的兩端在與多層樹脂絕緣層120對置的樹脂絕緣層31的另一主面31b露出。而且，第一柱狀導(dǎo)體18a的另一端與由構(gòu)成該第一柱狀導(dǎo)體18a的金屬銷18的一側(cè)所鄰接的金屬銷18形成的第二柱狀導(dǎo)體18b的另一端，分別通過形成于多層樹脂絕緣層120的多個第二連接部件(布線電極圖案216、通孔導(dǎo)體216a)而連接，從而形成第一電極組12a。即，與上述第四實施方式的金屬銷17相同，第一柱狀導(dǎo)體18a的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體18a相互成對的第二柱狀導(dǎo)體18b的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體18b的另一端分別通過第二連接部件而連接。

形成第二電極組12b的多個金屬銷17與在上述第四實施方式中參照圖11說明的變形例相同，被配置為橫跨線圈芯體11并沿線圈芯體11的周向排列。而且，由沿著線圈芯體11的外周面配置的多個金屬銷17的一方的腿部形成多個第一柱狀導(dǎo)體17a，該多個第一柱狀導(dǎo)體17a被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為一側(cè)的外側(cè)沿著外周面排列。另外，由沿著線圈芯體11的內(nèi)周面配置的多個金屬銷17的另一方的腿部形成多個第二柱狀導(dǎo)體17b，該多個第二柱狀導(dǎo)體17b被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著內(nèi)周面排列以便與多個第一柱狀導(dǎo)體17a夾持線圈芯體11。

另外，利用將金屬銷17的兩腿部的一端彼此連接的橋接部，從而形成將相互成對的第一柱狀導(dǎo)體17a以及第二柱狀導(dǎo)體17b的一端彼此在樹脂絕緣層31內(nèi)分別連接的多個第一連接部件17c。另外，構(gòu)成兩柱狀導(dǎo)體17a、17b各自的另一端的金屬銷17的兩端在與多層樹脂絕緣層120對置的樹脂絕緣層31的另一主面31b露出。而且，第一柱狀導(dǎo)體17a的另一端與由構(gòu)成該第一柱狀導(dǎo)體17a的金屬銷17的一側(cè)所鄰接的金屬銷17形成的第二柱狀導(dǎo)體17b的另一端，分別通過形成于多層樹脂絕緣層120的多個第二連接部件(布線電極圖案16)而連接，從而形成第二電極組12b。即，與上述第二實施方式相同，第一柱狀導(dǎo)體17a的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體17a相互成對的第二柱狀導(dǎo)體17b的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體17b的另一端分別通過第二連接部件而連接。

另外，如圖12所示，各金屬銷18各自的兩端通過多個第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案216)而連接，其中，上述多個第二連接部件形成于比將各金屬銷17各自的兩端連接的多個第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案16)更靠多層樹脂絕緣層120的內(nèi)層側(cè)的位置。

并且，在本實施方式中，如圖13(a)所示，形成第一電極組12a的各金屬銷18(第一連接部件18c)與形成第二電極組12b的各金屬銷17(第一連接部件17c)在俯視觀察時交替地配置而排列。另外，如圖12以及圖13(b)、(d)所示，第一電極組12a的各圈各自的布線長度形成為幾乎相同，各第一柱狀導(dǎo)體18a分別沿著線圈芯體11的外周面以交錯狀排列，各第二柱狀導(dǎo)體18b分別沿著線圈芯體11的內(nèi)周面以交錯狀排列。另外，圖12以及圖13(c)、(d)所示，第二電極組12b的各圈各自的布線長度形成為幾乎相同，各第一、第二柱狀導(dǎo)體17a、17b分別以同心圓狀配置。

此外，在本實施方式中，通過第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案216、通孔導(dǎo)體216a)以螺旋狀串聯(lián)連接有多個金屬銷18的第一電極組12a、與通過第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案16)以螺旋狀串聯(lián)連接有多個金屬銷17的第二電極組12b以串聯(lián)的方式連接，從而形成線圈10的線圈電極12。然而，也可以使形成第一電極組12a的金屬銷18與形成第二電極組12b的金屬銷17交替地以螺旋狀串聯(lián)連接，從而形成線圈電極12。在該情況下，可以構(gòu)成為金屬銷18的一端與和該金屬銷18的一側(cè)鄰接的金屬銷17的另一端通過設(shè)置于布線基板20的第二連接部件而連接，金屬銷17的一端與和該金屬銷17的一側(cè)鄰接的金屬銷18的另一端通過設(shè)置于布線基板20的第二連接部件而連接。

如以上那樣，在本實施方式中，通過使線圈電極12形成為多重卷繞構(gòu)造，從而能夠?qū)崿F(xiàn)線圈10的卷繞數(shù)的增大，由此能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)一步的線圈特性的提高。此外，在本實施方式中，線圈電極12以具有兩個第一、第二線圈電極組12a、12b的方式構(gòu)成，但線圈電極12也可以具有三個以上的線圈電極組。

另外，線圈直徑大的第一電極組12a的各圈各自的布線長度形成為幾乎相同，第一電極組12a的各第一、第二柱狀導(dǎo)體18a、18b分別在俯視觀察時以交錯狀排列。因此，能夠防止俯視觀察時交替地配置而排列的各第一、第二電極組12a、12b各自的各第一連接部件18c、17c接觸，因此能夠?qū)崿F(xiàn)線圈電極12的進(jìn)一步的窄間距化。另外，能夠通過實現(xiàn)線圈電極12的窄間距化來實現(xiàn)線圈10的卷繞數(shù)的進(jìn)一步增大，從而能夠?qū)崿F(xiàn)線圈特性的進(jìn)一步提高。

(變形例)

參照圖14以及圖15對線圈模塊的變形例進(jìn)行說明。圖14以及圖15分別是表示圖12的線圈模塊的變形例的圖。此外，在圖14以及圖15中，為了便于理解，用點填滿設(shè)置于線圈模塊1c的布線電極中的構(gòu)成第一電極組12a的布線電極(金屬銷18、通孔導(dǎo)體216a、連結(jié)通孔導(dǎo)體216b)。在以下的說明中，以與圖12的線圈模塊1c的不同點為中心進(jìn)行說明，其他的結(jié)構(gòu)與圖12的線圈模塊1c相同，因此引用相同的附圖標(biāo)記而省略其結(jié)構(gòu)的說明。

圖14所示的變形例與圖12所示的線圈模塊1c的不同之處在于，金屬銷18的對應(yīng)的端部彼此通過作為基板側(cè)線圈電極的第二連接部件而設(shè)置于布線基板20的通孔導(dǎo)體216a以及連結(jié)通孔導(dǎo)體216b來連接。另外，金屬銷17的對應(yīng)的端部彼此也通過作為基板側(cè)線圈電極的第二連接部件而設(shè)置于布線基板20的連結(jié)通孔導(dǎo)體16b來連接。此外，如圖14所示，連結(jié)通孔導(dǎo)體16b、216b通過使多個通孔導(dǎo)體以其一部分重疊的方式沿絕緣層的面方向排列而形成。這樣，與布線電極圖案16、216相比，能夠?qū)崿F(xiàn)布線電極的低電阻化。

圖15所示的變形例與圖12所示的線圈模塊1c的不同之處在于，金屬銷18的對應(yīng)的端部彼此通過作為基板側(cè)線圈電極的第二連接部件而設(shè)置于布線基板20的通孔導(dǎo)體216a以及連結(jié)通孔導(dǎo)體216b來連接。這樣，與布線電極圖案216相比，能夠?qū)崿F(xiàn)布線電極的低電阻化。

＜第六實施方式＞

參照圖16對本發(fā)明的第六實施方式所涉及的線圈模塊進(jìn)行說明。圖16是表示本發(fā)明的第六實施方式所涉及的線圈模塊所具備的線圈的線圈電極的布線狀態(tài)的圖，(a)是表示金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(b)是表示形成第一電極組的金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(c)是表示形成第二電極組的金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(d)是表示各柱狀導(dǎo)體的排列狀態(tài)的俯視圖。此外，在圖16(a)、(b)、(d)中，為了便于理解，用點填滿設(shè)置于線圈模塊1c的布線電極中的構(gòu)成第一電極組12a的布線電極(由金屬銷18形成的部分)。

本實施方式與上述第五實施方式的不同之處在于，如圖16(b)、(d)所示，與第二電極組12b相同，第一電極組12a的各第一、第二柱狀導(dǎo)體18a、18b分別以同心圓狀配置。其他的結(jié)構(gòu)與上述第五實施方式相同，因此引用相同的附圖標(biāo)記而省略其結(jié)構(gòu)的說明。

＜第七實施方式＞

參照圖17對本發(fā)明的第七實施方式所涉及的線圈模塊進(jìn)行說明。圖17是表示本發(fā)明的第七實施方式所涉及的線圈模塊所具備的線圈的線圈電極的布線狀態(tài)的圖，(a)是表示金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(b)是表示形成第一電極組的金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(c)是表示形成第二電極組的金屬銷的配置狀態(tài)的俯視圖，(d)是表示各柱狀導(dǎo)體的排列狀態(tài)的俯視圖。此外，在圖17(a)、(b)、(d)中，為了便于理解，用點涂滿設(shè)置于線圈模塊1c的布線電極中的構(gòu)成第一電極組12a的布線電極(由金屬銷18形成的部分)。

本實施方式與上述第六實施方式的不同之處在于，如圖17(a)、(b)、(d)所示，金屬銷17、18以在俯視觀察時重疊的方式配置。其他的結(jié)構(gòu)與上述第六實施方式相同，因此引用相同的附圖標(biāo)記而省略其結(jié)構(gòu)的說明。

＜第八實施方式＞

參照圖18對本發(fā)明的第八實施方式所涉及的線圈模塊進(jìn)行說明。圖18是表示本發(fā)明的第八實施方式所涉及的線圈模塊的局部剖視圖。此外，在圖18中，為了便于理解，用點涂滿設(shè)置于線圈模塊1d的布線電極中的構(gòu)成第一電極組12a的布線電極(第一、第二柱狀導(dǎo)體13a、14a、基板側(cè)布線電極圖案216、316、通孔導(dǎo)體216a、316a)。

本實施方式的線圈模塊1d與上述第五實施方式的線圈模塊1c的不同之處在于，如圖18所示，線圈電極12通過使用在上述第三實施方式中參照圖8說明的線圈部件130而形成的第一電極組12a以及第二電極組12b，從而形成為多重卷繞構(gòu)造。在以下的說明中，以與上述第五實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，其他的結(jié)構(gòu)與上述第三以及第五實施方式相同，因此引用相同的附圖標(biāo)記而省略其結(jié)構(gòu)的說明。

如圖18所示，通過將構(gòu)成對規(guī)定的線圈直徑的第一電極組12a進(jìn)行形成的部件側(cè)線圈電極的第一、第二柱狀導(dǎo)體13a、14a、與構(gòu)成對線圈直徑比第一電極組12a小的第二電極組12b進(jìn)行形成的部件側(cè)線圈電極的第一、第二柱狀導(dǎo)體13b、14b埋設(shè)于樹脂絕緣層31，從而形成線圈部件130。

形成第一電極組12a的各第一柱狀導(dǎo)體13a被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為一側(cè)的外側(cè)沿著外周面排列。另外，形成第一電極組12a的各第二柱狀導(dǎo)體14a被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著內(nèi)周面排列以便與多個第一柱狀導(dǎo)體13a夾持線圈芯體11。

另外，相互成對的第一柱狀導(dǎo)體13a以及第二柱狀導(dǎo)體14a的一端彼此分別通過在設(shè)置于樹脂絕緣層31的一主面31的多層樹脂絕緣層220形成的多個第一連接部件(基板側(cè)布線電極圖案316、通孔導(dǎo)體316a)而連接。而且，第一柱狀導(dǎo)體13a的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體13a相互成對的第二柱狀導(dǎo)體14a的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體14a的另一端，分別通過在設(shè)置于樹脂絕緣層31的另一主面31b的多層樹脂絕緣層120形成的多個第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案216、通孔導(dǎo)體216a)而連接，從而形成第一電極組12a。

形成第二電極組12b的各第一柱狀導(dǎo)體13b被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為一側(cè)的外側(cè)沿著外周面排列。另外，形成第二電極組12b的各第二柱狀導(dǎo)體14b被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著內(nèi)周面排列以便與多個第一柱狀導(dǎo)體13b夾持線圈芯體11。此外，形成第二電極組12b的各第一、第二柱狀導(dǎo)體13b、14b配置于比形成第一電極組12a的各第一、第二柱狀導(dǎo)體13a、14a更靠內(nèi)側(cè)的位置。

另外，相互成對的第一柱狀導(dǎo)體13b以及第二柱狀導(dǎo)體14a的一端彼此分別通過在設(shè)置于樹脂絕緣層31的一主面31a的多層樹脂絕緣層220形成的多個第一連接部件(基板側(cè)布線電極圖案116、通孔導(dǎo)體116a)而連接。而且，第一柱狀導(dǎo)體13b的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體13b相互成對的第二柱狀導(dǎo)體14b的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體14b的另一端分別通過在設(shè)置于樹脂絕緣層31的另一主面31b的多層樹脂絕緣層120形成的多個第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案16、通孔導(dǎo)體16a)而連接，從而形成第二電極組12b。

此外，如圖18所示，形成第一電極組12a的各第一、第二柱狀導(dǎo)體13a、14a的對應(yīng)的一端彼此通過第一連接部件(基板側(cè)布線電極圖案316)而連接，其中，上述第一連接部件(基板側(cè)布線電極圖案316)形成于比將形成第二電極組12b的各第一、第二柱狀導(dǎo)體13b、14b各自的對應(yīng)的一端彼此連接的第一連接部件(基板側(cè)布線電極圖案116)更靠多層樹脂絕緣層220的內(nèi)層側(cè)的位置。另外，形成第一電極組12a的各第一、第二柱狀導(dǎo)體13a、14a的對應(yīng)的另一端彼此通過第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案216)而連接，其中，上述第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案216)形成于比將形成第二電極組12b的各第一、第二柱狀導(dǎo)體13b、14b各自的對應(yīng)的另一端彼此連接的第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案16)更靠多層樹脂絕緣層120的內(nèi)層側(cè)的位置。

＜第九實施方式＞

參照圖19對本發(fā)明的第九實施方式所涉及的線圈模塊進(jìn)行說明。圖19是表示本發(fā)明的第九實施方式所涉及的線圈模塊的局部剖視圖。此外，在圖19中，為了便于理解，用點涂滿設(shè)置于線圈模塊1e的布線電極中的構(gòu)成第一電極組12a的布線電極(第一、第二柱狀導(dǎo)體13a、14a、基板側(cè)布線電極圖案216、316、通孔導(dǎo)體216a、316a)。

本實施方式的線圈模塊1e與上述第八實施方式的線圈模塊1d的不同之處在于，如圖19所示，線圈電極12通過第一、第二電極組12a、12b而形成為多重卷繞構(gòu)造，構(gòu)成對規(guī)定的線圈直徑的第一電極組12a進(jìn)行形成的部件側(cè)線圈電極的第一、第二柱狀導(dǎo)體13a、14a、與構(gòu)成對線圈直徑比第一電極組12a小的第二電極組12b進(jìn)行形成的部件側(cè)線圈電極的金屬銷17埋設(shè)于樹脂絕緣層31，從而形成線圈部件330。在以下的說明中，以與上述第八實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，其他的結(jié)構(gòu)與上述第八實施方式相同，因此引用相同的附圖標(biāo)記而省略其結(jié)構(gòu)的說明。

形成第一電極組12a的各第一柱狀導(dǎo)體13a被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為一側(cè)的外側(cè)沿著外周面排列。另外，形成第一電極組12a的各第二柱狀導(dǎo)體14a被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著內(nèi)周面排列以便與多個第一柱狀導(dǎo)體13a夾持線圈芯體11。

另外，相互成對的第一柱狀導(dǎo)體13a以及第二柱狀導(dǎo)體14a的一端彼此分別通過在設(shè)置于樹脂絕緣層31的一主面31a的多層樹脂絕緣層220形成的多個第一連接部件(基板側(cè)布線電極圖案316、通孔導(dǎo)體316a)而連接。而且，第一柱狀導(dǎo)體13a的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體13a相互成對的第二柱狀導(dǎo)體14a的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體14a的另一端分別通過在設(shè)置于樹脂絕緣層31的另一主面31b的多層樹脂絕緣層120形成的多個第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案216、通孔導(dǎo)體216a)而連接，從而形成第一電極組12a。

形成第二電極組12b的多個金屬銷17與在上述第四實施方式中參照圖10說明的線圈模塊1b相同，被配置為橫跨線圈芯體11并沿芯體的周向排列。而且，由沿著線圈芯體11的外周面配置的多個金屬銷17的一方的腿部形成多個第一柱狀導(dǎo)體17a，該多個第一柱狀導(dǎo)體17a被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為一側(cè)的外側(cè)沿著外周面排列。另外，由沿著線圈芯體11的內(nèi)周面配置的多個金屬銷17的另一方的腿部形成多個第二柱狀導(dǎo)體17b，該多個第二柱狀導(dǎo)體17b被配置為與線圈電極12的卷繞軸的方向幾乎正交，并在線圈芯體11的作為另一側(cè)的內(nèi)側(cè)沿著內(nèi)周面排列以便與多個第一柱狀導(dǎo)體17a夾持線圈芯體11。

另外，利用將金屬銷17的兩腿部的一端彼此連接的橋接部，從而形成將相互成對的第一柱狀導(dǎo)體17a以及第二柱狀導(dǎo)體17b的一端彼此在樹脂絕緣層31內(nèi)分別連接的多個第一連接部件17c。另外，構(gòu)成兩柱狀導(dǎo)體17a、17b各自的另一端的金屬銷17的兩端在與多層樹脂絕緣層120對置的樹脂絕緣層31的另一主面31b露出。而且，第一柱狀導(dǎo)體17a的另一端與由構(gòu)成該第一柱狀導(dǎo)體17a的金屬銷17的一側(cè)所鄰接的金屬銷17形成的第二柱狀導(dǎo)體17b的另一端分別通過形成于多層樹脂絕緣層120的多個第二連接部件(布線電極圖案16、通孔導(dǎo)體16a)而連接，從而形成第二電極組12b。即，與上述第五實施方式的金屬銷17相同，第一柱狀導(dǎo)體17a的另一端與和該第一柱狀導(dǎo)體17a相互成對的第二柱狀導(dǎo)體17b的一側(cè)所鄰接的第二柱狀導(dǎo)體17b的另一端分別通過第二連接部件而連接。

如以上那樣，在本實施方式中，通過形成埋設(shè)有兩柱狀導(dǎo)體13a、14a以及金屬銷17的線圈部件330，能夠提高將形成第一電極組12a的基板側(cè)線圈電極形成于布線基板20時的設(shè)計的自由度，進(jìn)而能夠使用金屬銷17來容易地形成第二電極組12b，由此能夠容易形成多重卷繞構(gòu)造的線圈電極12。

另外，如圖19所示，形成第一電極組12a的各第一、第二柱狀導(dǎo)體13a、14a的對應(yīng)的另一端彼此通過第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案216)而連接，其中，上述第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案216)形成于比將形成第二電極組12b的各第一、第二柱狀導(dǎo)體17a、17b各自的對應(yīng)的另一端彼此連接的第二連接部件(基板側(cè)布線電極圖案16)更靠多層樹脂絕緣層120的內(nèi)層側(cè)的位置。

此外，本發(fā)明并不限定于上述各實施方式，只要不脫離其主旨，則除了上述以外還能夠進(jìn)行各種變更，也可以任意地組合上述結(jié)構(gòu)。例如，在上述實施方式中，以環(huán)形的線圈芯體11為例進(jìn)行了說明，但作為線圈芯體的形狀，并不限定于環(huán)形，能夠采用圖20(a)所示的直線狀的線圈芯體11a、圖20(b)所示的近似C字狀的線圈芯體11b等各種形狀的線圈芯體。另外，利用線圈模塊所具備的線圈，能夠構(gòu)成共模噪聲濾波器、扼流線圈等具備各種功能的線圈。

另外，各第一～第三柱狀導(dǎo)體例如也可以由通孔導(dǎo)體形成，其中，上述通孔導(dǎo)體通過在穿透設(shè)置于樹脂絕緣層31、布線基板20的貫通孔內(nèi)實施鍍覆或填充導(dǎo)電性漿料來形成。

另外，本發(fā)明的絕緣層、第一、第二絕緣層也可以由陶瓷材料、玻璃材料形成。

工業(yè)上的可利用性

能夠?qū)⒈景l(fā)明廣泛應(yīng)用于具備線圈的線圈模塊，其中，上述線圈具有線圈芯體與在其周圍以螺旋狀卷繞的線圈電極。

附圖標(biāo)記說明

1、1a、1b、1c、1d、1e...線圈模塊；2...電路部件(其他部件)；10...線圈；11、11a、11b...線圈芯體；12...線圈電極；12a...第一電極組；12b...第二電極組；13、13a、13b...第一柱狀導(dǎo)體(部件側(cè)線圈電極)；14、14a、14b...第二柱狀導(dǎo)體(部件側(cè)線圈電極)；15...部件側(cè)布線電極圖案(部件側(cè)線圈電極、第一連接部件)；16、216...基板側(cè)布線電極圖案(基板側(cè)線圈電極、第二連接部件)；16a、216a...通孔導(dǎo)體(基板側(cè)線圈電極、第二連接部件)；16b、216b...連結(jié)通孔導(dǎo)體(基板側(cè)線圈電極、第二連接部件)；116、316...基板側(cè)布線電極圖案(基板側(cè)線圈電極、第一連接部件)；116a、316a...通孔導(dǎo)體(基板側(cè)線圈電極、第一連接部件)；17、18...金屬銷(部件側(cè)線圈電極、第一柱狀導(dǎo)體、第二柱狀導(dǎo)體、第一連接部件)；17a、18a...第一柱狀導(dǎo)體(部件側(cè)線圈電極)；17b、18b...第二柱狀導(dǎo)體(部件側(cè)線圈電極)；17c、18c...第一連接部件(部件側(cè)線圈電極)；20...布線基板；21、22...接地電極(其他布線電極)；23...內(nèi)部布線電極(其他布線電極)；24...安裝用電極(其他布線電極)；120...多層樹脂絕緣層(第一多層絕緣層)；120a...一主面；220...多層樹脂絕緣層(第二多層絕緣層)；30、130、230、330...線圈部件；31...樹脂絕緣層(絕緣層)；31a...一主面；31b...另一主面；32...第三柱狀導(dǎo)體。